JP2015177014A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015177014A JP2015177014A JP2014052170A JP2014052170A JP2015177014A JP 2015177014 A JP2015177014 A JP 2015177014A JP 2014052170 A JP2014052170 A JP 2014052170A JP 2014052170 A JP2014052170 A JP 2014052170A JP 2015177014 A JP2015177014 A JP 2015177014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup member
- substrate
- cup
- semiconductor wafer
- spin chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 73
- 239000003517 fume Substances 0.000 abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100441413 Caenorhabditis elegans cup-15 gene Proteins 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- DAFQZPUISLXFBF-UHFFFAOYSA-N tetraoxathiolane 5,5-dioxide Chemical compound O=S1(=O)OOOO1 DAFQZPUISLXFBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体ウエハ100をSPMで処理するときには、エアシリンダ18の作用により第1カップ部材10のカップ部13を、傾斜部11の上端が処理チャンバー50の上壁51と当接する当接位置まで上昇させる。このカップ部13の上昇に伴いカップ部13の下端に形成された係合部91とカップ部15の上端に形成された係合部92が係合し、カップ部15の下端に形成された係合部93がカップ部16の上端に形成された係合部94と係合することで、カップ部材10を構成するカップ部13、15、16が互いに同期して上昇する。
【選択図】 図2
Description
11 傾斜部
13 カップ部
14 開口部
15 カップ部
16 カップ部
18 エアシリンダ
30 第3カップ部
41 スピンチャック
42 チャック部材
50 処理チャンバー
51 上壁
52 ファンフィルターユニット
60 一体型ヘッド
61 SPMノズル
62 赤外線ランプ
63 ランプハウジング
81 支持アーム
82 ノズル
83 支持アーム
84 ノズル
85 支持アーム
100 半導体ウエハ
Claims (4)
- 処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内において基板を回転可能に保持するスピンチャックと、
前記スピンチャックに保持されて回転する基板の表面に、高温の処理液を含む複数種の処理液を供給する処理液供給手段と、
前記スピンチャックの外周部を取り囲む形状を有し、基板の回転に伴って基板から飛散する処理液を捕獲するカップ部材と、
前記カップ部材を、当該カップ部材の上端が前記スピンチャックに保持された基板より下方となる待機位置と、前記処理チャンバーの上壁に当接する当接位置との間で昇降させるカップ部材昇降機構と、を備え、
基板に対して高温の処理液を供給して処理するときに、前記カップ部材の上端を前記処理チャンバーの上壁に当接させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
赤外線ランプを有し、前記スピンチャックに保持されて回転する基板の表面に供給された高温の処理液を加熱するヒータをさらに備える基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、
前記処理チャンバーの上壁には、処理チャンバー内に空気を送風するファンフィルターユニットが配設されており、
前記カップ部材の上端が前記処理チャンバーの上壁に当接した状態においては、前記ファンフィルターユニットから送風される空気は、前記カップ部材内に送風される基板処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記カップ部材は、複数の同心円状の略円筒状部材から構成さる入れ子構造を有し、当該略円筒状部材の上端と下端とを係合させることで垂直方向に伸縮自在に構成される基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014052170A JP6282904B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014052170A JP6282904B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015177014A true JP2015177014A (ja) | 2015-10-05 |
JP6282904B2 JP6282904B2 (ja) | 2018-02-21 |
Family
ID=54255933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014052170A Active JP6282904B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6282904B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018037982A1 (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN107785293A (zh) * | 2016-08-25 | 2018-03-09 | 株式会社斯库林集团 | 周缘部处理装置及周缘部处理方法 |
KR20190020415A (ko) * | 2017-08-21 | 2019-03-04 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
CN109427619A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理方法以及基板处理装置 |
KR20190117785A (ko) * | 2017-03-06 | 2019-10-16 | 에이씨엠 리서치 (상하이) 인코포레이티드 | 반도체 기판을 세정하기 위한 장치 |
KR20210123205A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-13 | 장순길 | 가변 압축비 엔진 |
KR20210123228A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-13 | 장순길 | 가변 압축비 엔진 |
KR20220045225A (ko) | 2019-09-20 | 2022-04-12 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006237468A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Tdk Corp | カップ内面のレジスト除去装置とレジスト除去用治具とレジスト除去方法 |
JP2009158564A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2012142402A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP2013093361A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP2013182957A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
-
2014
- 2014-03-14 JP JP2014052170A patent/JP6282904B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006237468A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Tdk Corp | カップ内面のレジスト除去装置とレジスト除去用治具とレジスト除去方法 |
JP2009158564A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2012142402A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP2013093361A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP2013182957A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Cited By (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI728346B (zh) * | 2016-08-24 | 2021-05-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
CN109564862B (zh) * | 2016-08-24 | 2023-06-13 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置及基板处理方法 |
KR20190021418A (ko) * | 2016-08-24 | 2019-03-05 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102208292B1 (ko) * | 2016-08-24 | 2021-01-26 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
CN109564862A (zh) * | 2016-08-24 | 2019-04-02 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置及基板处理方法 |
TWI661467B (zh) * | 2016-08-24 | 2019-06-01 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
WO2018037982A1 (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN107785293A (zh) * | 2016-08-25 | 2018-03-09 | 株式会社斯库林集团 | 周缘部处理装置及周缘部处理方法 |
CN107785293B (zh) * | 2016-08-25 | 2022-08-19 | 株式会社斯库林集团 | 周缘部处理装置及周缘部处理方法 |
US11498100B2 (en) | 2017-03-06 | 2022-11-15 | Acm Research (Shanghai) Inc. | Apparatus for cleaning semiconductor substrates |
CN110383455A (zh) * | 2017-03-06 | 2019-10-25 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 半导体基板清洗装置 |
JP2020509607A (ja) * | 2017-03-06 | 2020-03-26 | エーシーエム リサーチ (シャンハイ) インコーポレーテッド | 半導体基板洗浄装置 |
KR20190117785A (ko) * | 2017-03-06 | 2019-10-16 | 에이씨엠 리서치 (상하이) 인코포레이티드 | 반도체 기판을 세정하기 위한 장치 |
KR102408105B1 (ko) * | 2017-03-06 | 2022-06-14 | 에이씨엠 리서치 (상하이) 인코포레이티드 | 반도체 기판을 세정하기 위한 장치 |
CN110383455B (zh) * | 2017-03-06 | 2023-08-04 | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 半导体基板清洗装置 |
KR102385268B1 (ko) * | 2017-08-21 | 2022-04-12 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
KR20190020415A (ko) * | 2017-08-21 | 2019-03-04 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
JP7017342B2 (ja) | 2017-08-31 | 2022-02-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
CN109427619B (zh) * | 2017-08-31 | 2022-02-08 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理方法以及基板处理装置 |
JP2019046892A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
CN109427619A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理方法以及基板处理装置 |
KR20220045225A (ko) | 2019-09-20 | 2022-04-12 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR20210123205A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-13 | 장순길 | 가변 압축비 엔진 |
KR20210123228A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-13 | 장순길 | 가변 압축비 엔진 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6282904B2 (ja) | 2018-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6282904B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5975563B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP5782279B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
TWI682477B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
US10032654B2 (en) | Substrate treatment apparatus | |
TWI584367B (zh) | Heater cleaning method and substrate processing method | |
JP6875811B2 (ja) | パターン倒壊回復方法、基板処理方法および基板処理装置 | |
JP5604371B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
KR102088539B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
JP6626762B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR20120028212A (ko) | 액처리 장치, 액처리 방법 및 기억 매체 | |
KR102262348B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP5606992B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP2014049605A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009218404A (ja) | 基板処理装置 | |
US10593587B2 (en) | Substrate treatment apparatus | |
JP6028892B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2013207272A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5999625B2 (ja) | 基板処理方法 | |
JP2015170609A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5964372B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP2019121710A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP7182879B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2015177015A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2015005770A (ja) | 液処理装置および液処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171023 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6282904 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |