JP6282904B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
11 傾斜部
13 カップ部
14 開口部
15 カップ部
16 カップ部
18 エアシリンダ
30 第3カップ部
41 スピンチャック
42 チャック部材
50 処理チャンバー
51 上壁
52 ファンフィルターユニット
60 一体型ヘッド
61 SPMノズル
62 赤外線ランプ
63 ランプハウジング
81 支持アーム
82 ノズル
83 支持アーム
84 ノズル
85 支持アーム
100 半導体ウエハ
Claims (5)
- 処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内において基板を回転可能に保持するスピンチャックと、
前記スピンチャックに保持されて回転する基板の表面に、高温の処理液を含む複数種の処理液を供給する処理液供給手段と、
前記スピンチャックの外周部を取り囲み、上方に傾斜部を備えた形状を有し、基板の回転に伴って基板から飛散する処理液を捕獲するカップ部材と、
前記カップ部材を、当該カップ部材における前記傾斜部の上端が前記スピンチャックに保持された基板より下方となる待機位置と、前記処理チャンバーの上壁に当接する当接位置との間で昇降させるカップ部材昇降機構と、を備え、
基板に対して高温の処理液を供給して処理するときに、前記カップ部材における前記傾斜部の上端を前記処理チャンバーの上壁に当接させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
赤外線ランプを有し、前記スピンチャックに保持されて回転する基板の表面に供給された高温の処理液を加熱するヒータをさらに備える基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、
前記処理チャンバーの上壁には、処理チャンバー内に空気を送風するファンフィルターユニットが配設されており、
前記カップ部材における前記傾斜部の上端が前記処理チャンバーの上壁に当接した状態においては、前記ファンフィルターユニットから送風される空気は、前記カップ部材内に送風される基板処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記カップ部材は、複数の同心円状の略円筒状部材から構成さる入れ子構造を有し、当該略円筒状部材の上端と下端とを係合させることで垂直方向に伸縮自在に構成される基板処理装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記カップ部材には、開口部が形成され、
前記カップ部材における前記傾斜部の上端を前記処理チャンバーの上壁に当接させた状態で、前記処理液供給手段の一部が前記開口部を通過する基板処理装置。
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