JP2015176997A - 金属配線の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性に優れた金属配線を形成することができる金属配線の形成方法を提供すること。【解決手段】実施形態に係る金属配線の形成方法は、半導体基板上に金属層、有機系反射防止膜をこの順に積層し、前記有機系反射防止膜の表面上に、カーボンを含むレジストパターンを形成し、前記レジストパターンの間から露出する前記有機系反射防止膜を、酸素を含まないフッ素系のガスを用いてエッチングすると同時に、前記レジストパターンの側壁に側壁保護膜を形成し、前記側壁保護膜が形成された前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジストパターンの間から露出する前記金属層をエッチングする方法である。【選択図】図3
Description
本発明の実施形態は、金属配線の形成方法に関する。
例えばCMOSトランジスタを含む各種半導体装置には、例えばアルミニウム等の金属からなる金属配線が設けられている。一般に、この金属配線は以下のように製造される。
まず、半導体基板上に絶縁膜を介して金属層、有機系反射防止膜、およびレジスト層をそれぞれ一様に形成し、レジスト層を露光、現像することにより有機系反射防止膜上にレジストパターンを形成する。続いて、形成されたレジストパターンから露出する有機系反射防止膜を、酸素を含む例えばフッ素系のエッチングガスを用いてエッチングし、金属層を、例えば塩素系のエッチングガスを用いてエッチングする。これにより、金属層にレジストパターンが転写され、金属配線が形成される。
このように形成される金属配線を有する各種半導体装置の近年の微細化に伴って、金属配線の配線幅および金属配線間の距離は短くなる。レジストパターンの間隔は、レジスト層の膜厚が厚いほど広くなる傾向にあるため、半導体装置の微細化に伴って、レジスト層の膜厚を薄くする必要がある。この結果、金属層のエッチングが終了するより前に、レジストパターンがエッチングによって消失する、という問題がある。この結果、形成される金属配線の一部に欠け等の形状の劣化が生じ、信頼性に優れた金属配線を形成することが困難となる。
実施形態は、信頼性に優れた金属配線を形成することができる金属配線の形成方法を提供することを目的とする。
実施形態に係る金属配線の形成方法は、半導体基板上に金属層、有機系反射防止膜をこの順に積層し、前記有機系反射防止膜の表面上に、カーボンを含むレジストパターンを形成し、前記レジストパターンの間から露出する前記有機系反射防止膜を、酸素を含まないフッ素系のガスを用いてエッチングすると同時に、前記レジストパターンの側壁に側壁保護膜を形成し、前記側壁保護膜が形成された前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジストパターンの間から露出する前記金属層をエッチングする方法である。
以下に、実施形態に係る金属配線の形成方法について説明する。
図1は、実施形態に係る金属配線の形成方法により形成された金属配線を有する半導体装置として、例えばCMOSトランジスタを模式的に示す部分断面図である。図1に示す半導体装置10において、例えばp型のシリコンからなる半導体基板11の表面の一部には、n型の不純物層であるチャネル層12が設けられており、このチャネル層12の表面には、p型の不純物層であるドレイン13dおよびソース13sが設けられている。そして、ドレイン13dとソース13sとの間のチャネル層12の表面上には、例えばシリコン酸化膜等の酸化膜14を介してゲート電極15が設けられている。このようにして、pMOSトランジスタ15が形成されている。
また、半導体基板11の表面のうち、pMOSトランジスタ16の近傍には、n型の不純物層であるドレイン17dおよびソース17sが設けられている。そして、ドレイン17dとソース17sとの間の半導体基板11の表面上には、酸化膜14を介してゲート電極18が設けられている。このようにして、nMOSトランジスタ19が形成されている。
このように各種不純物層等が形成された半導体基板11の表面上には、酸化膜14を介して、例えばSiO2からなる絶縁膜20が設けられている。この絶縁膜20には、絶縁膜20を貫通し、pMOSトランジスタ16のドレイン13dおよびソース13s、nMOSトランジスタ19のドレイン17dおよびソース17s、にそれぞれ接続される貫通電極21が設けられている。
そして、絶縁膜20の表面上には、貫通電極21に接続されるように、例えばアルミニウムからなる金属配線22が形成されている。なお、金属配線22の表面には、例えばTiN等からなるバリアメタルが設けられていてもよい。
この金属配線22の表面上には、例えば酸窒化シリコン(SiON)からなる有機系反射防止膜23が形成されている。なお、この膜23は、金属配線22の形成に必要なレジストマスクを形成する際の膜厚不足を補足するために設けられており、レジスト露光時に、露光光が乱反射し、レジストマスクのサイズの精度が劣化することを抑制する目的も担っている。
以下に、図1に示す半導体装置10に形成される金属配線22の形成方法を含む半導体装置の製造方法について、図2〜図5を参照して詳細に説明する。なお、図2〜図5はそれぞれ、本実施形態に係る金属配線22の形成方法を含む半導体装置の製造方法を説明するための、図1に相当する断面図である。
まず、図2に示すように、例えばシリコン基板である半導体基板11にpMOSトランジスタ16およびnMOSトランジスタ19を形成し、このような半導体基板11の表面上に、酸化膜14を介して例えばSiO2からなる絶縁膜20を形成する。
続いて、この絶縁膜20に複数の貫通電極21を形成した後、絶縁膜20の表面上に、後に金属配線22(図1)となる金属層22´および有機系反射防止膜23を、この順に積層する。本実施形態において、金属層22´は例えばアルミニウム(Al)層、有機系反射防止膜23は例えば酸窒化シリコン(SiON)膜、である。
このように金属層22´および有機系反射防止膜23を形成した後、有機系反射防止膜23の表面上に、露光、現像工程を経て、レジストパターン24を形成する。レジストパターン24は、少なくともカーボン(C)を含む感光性材料からなる。なお、レジストパターン24は、有機系反射防止膜23上に形成されているため、レジストパターン24形成時における露光光の乱反射が抑制され、精度よく形成される。
次に、図3に示すように、例えば容量結合プラズマ(CCP)装置、または誘導結合プラズマ(ICP)装置を用い、レジストパターン24の間から露出する有機系反射防止膜23を、酸素(O2)を含まないフッ素系のエッチングガス(例えばC4F8/CO/Ar)を用いてエッチングする。このとき、有機系反射防止膜23のエッチングによる消失と同時に、レジストパターン24の側壁には、エッチングガス(例えばC4F8/CO/Ar)とレジストパターン24および有機系反射防止膜23との反応生成物からなる側壁保護膜25が形成される。側壁保護膜25は、レジストパターン24の側壁のうち、略垂直な面上には厚く形成され、傾斜面上には薄く形成される。この側壁保護膜25は、例えばC−F、C−O、C−N等からなるものである。
なお、従来のように、有機系反射防止膜23を、酸素(O2)を含むフッ素系のエッチングガス(例えばC4F8/CO/Ar/O2)を用いてエッチングする場合であっても、レジストパターン24の側壁には、上記のように側壁保護膜25が形成される。しかしながら、その膜厚は十分ではなく、後の金属層22´のエッチング工程において、金属層22´のエッチングが終了する前にレジストパターン24が消失し、形成される金属配線22の一部に欠け等の形状の劣化が生じ、信頼性に優れた金属配線22を形成することは困難である。
すなわち、本実施形態において、図3に示す工程は、従来の有機系反射防止膜23のエッチング工程と比較して、エッチングガスから酸素(O2)を除くことにより、側壁保護膜25の生成を促進する工程である。
次に、図4に示すように、側壁保護膜25が形成されたレジストパターン24の間から露出する金属層22´をエッチングし、絶縁膜20上に金属配線22を形成する。本実施形態において、金属層22´は、塩素系のエッチングガス(例えばCl2/BCl3/CH4)を用いてエッチングされる。なお、金属層22´の表面上に、例えばTiN等のバリアメタルが設けられている場合、このバリアメタルは、例えばCl2/Ar/CHF3からなるエッチングガスを用いてエッチングされる。
このエッチング工程において、レジストパターン24もエッチングされるが、レジストパターン24の側壁には側壁保護膜25が形成されているため、金属層22´をエッチングするガスからレジストパターン24が保護され、エッチングによるレジストパターン24の消失が抑制される。この結果、金属層22´のエッチングが終了する時点において、レジストパターン24のレジスト残膜が確保される。従って、欠け等の不良のない、良好な形状の金属配線22が形成される。
なお、この工程においても、エッチングガス(例えばCl2/BCl3/CH4)とレジストパターン24および金属層22´との反応生成物である例えばAl−O、Al−Cl、Ti−Cl、C−O等が金属配線22、有機系反射防止膜23、およびレジストパターン24の側壁に側壁保護膜25´として堆積される。この側壁保護膜25´も、金属配線22、有機系反射防止膜23、レジストパターン24の側壁のうち、略垂直な面上には厚く形成され、レジストパターン24の傾斜面上には薄く形成される。
これに対して、レジストパターン24の側壁に、必要な膜厚以下のごく薄い側壁保護膜25が形成されている場合、金属層22´のエッチング工程において、レジストパターン24のエッチングも抑制されずに進行し、金属層22´のエッチングが終了する前に、レジストパターン24が消失する場合がある。この結果、形成される金属配線22には欠け等の不良が生じる。
次に、図5に示すように、例えばアッシングによってレジストパターン24を除去する。このとき、レジストパターン24の傾斜面上に薄く形成された側壁保護膜25´も同時に除去される。続いて、例えばフッ素含有水溶性無機化合物等を用いたウェットエッチングにより、残存する側壁保護膜25´を除去する。
以上の工程を経て、図1に示す金属配線22が形成される。
以上に説明したように、本実施形態に係る金属配線22の形成方法においては、有機系反射防止膜23をエッチングする際のエッチングガスとして、酸素を含まないフッ素系のエッチンガスを使用している。この結果、有機系反射防止膜23のエッチングの際に、レジストパターン24の側壁に、側壁保護膜25が形成されることが促進される。従って、金属層22´のエッチングが終了する前にレジストパターン24が消失することが抑制され、金属層22´のエッチングが終了する時点において、レジストパターン24のレジスト残膜が確保される。この結果、欠け等の不良のない、良好な形状の金属配線22を形成することができ、信頼性に優れた金属配線22を形成することができる。
以上に、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10・・・半導体装置
11・・・半導体基板
12・・・チャネル層
13d・・・ドレイン
13s・・・ソース
14・・・酸化膜
15・・・ゲート電極
16・・・pMOSトランジスタ
17d・・・ドレイン
17s・・・ソース
18・・・ゲート電極
19・・・nMOSトランジスタ
20・・・絶縁膜
21・・・貫通電極
22・・・金属配線
22´・・・金属層
23・・・有機系反射防止膜
24・・・レジストパターン
25・・・側壁保護膜
25´・・・側壁保護膜
11・・・半導体基板
12・・・チャネル層
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13s・・・ソース
14・・・酸化膜
15・・・ゲート電極
16・・・pMOSトランジスタ
17d・・・ドレイン
17s・・・ソース
18・・・ゲート電極
19・・・nMOSトランジスタ
20・・・絶縁膜
21・・・貫通電極
22・・・金属配線
22´・・・金属層
23・・・有機系反射防止膜
24・・・レジストパターン
25・・・側壁保護膜
25´・・・側壁保護膜
Claims (5)
- 半導体基板上にアルミニウムからなる金属層、SiONからなる有機系反射防止膜をこの順に積層し、
前記有機系反射防止膜の表面上に、カーボンを含むレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンの間から露出する前記有機系反射防止膜を、C4F8、CO、およびArからなり、酸素を含まない混合ガスを用いてエッチングすると同時に、前記レジストパターンの側壁に側壁保護膜を形成し、
前記側壁保護膜が形成された前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジストパターンの間から露出する前記金属層をエッチングすることを特徴とする金属配線の形成方法。 - 半導体基板上に金属層、有機系反射防止膜をこの順に積層し、
前記有機系反射防止膜の表面上に、カーボンを含むレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンの間から露出する前記有機系反射防止膜を、酸素を含まないフッ素系のガスを用いてエッチングすると同時に、前記レジストパターンの側壁に側壁保護膜を形成し、
前記側壁保護膜が形成された前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジストパターンの間から露出する前記金属層をエッチングすることを特徴とする金属配線の形成方法。 - 前記有機系反射防止膜をエッチングする際に使用される前記ガスは、C4F8、CO、およびArからなり、前記酸素を含まない混合ガスであることを特徴とする請求項2に記載の金属配線の形成方法。
- 前記有機系反射防止膜は、SiON膜であることを特徴とする請求項3に記載の金属配線の形成方法。
- 前記金属層は、アルミニウムからなることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の金属配線の形成方法。
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Citations (6)
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Patent Citations (6)
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---|---|---|---|---|
JPH0794476A (ja) * | 1993-09-21 | 1995-04-07 | Sony Corp | ドライエッチング方法 |
JPH10312991A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Sony Corp | 有機系反射防止膜のプラズマエッチング方法 |
JPH11168088A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-22 | Yamaha Corp | 半導体装置の製造方法 |
KR20060011021A (ko) * | 2004-07-29 | 2006-02-03 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조 방법 |
JP2006228986A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2009152586A (ja) * | 2007-12-24 | 2009-07-09 | Hynix Semiconductor Inc | 半導体装置の製造方法 |
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