JP2015175687A - 電子装置及び電子装置の製造方法 - Google Patents
電子装置及び電子装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015175687A JP2015175687A JP2014051364A JP2014051364A JP2015175687A JP 2015175687 A JP2015175687 A JP 2015175687A JP 2014051364 A JP2014051364 A JP 2014051364A JP 2014051364 A JP2014051364 A JP 2014051364A JP 2015175687 A JP2015175687 A JP 2015175687A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate surface
- substrate
- heat transfer
- temperature
- surface side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
- H01L23/3677—Wire-like or pin-like cooling fins or heat sinks
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0201—Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
- H05K1/0203—Cooling of mounted components
- H05K1/0204—Cooling of mounted components using means for thermal conduction connection in the thickness direction of the substrate
- H05K1/0206—Cooling of mounted components using means for thermal conduction connection in the thickness direction of the substrate by printed thermal vias
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
- H01L2924/13055—Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0201—Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
- H05K1/0203—Cooling of mounted components
- H05K1/0209—External configuration of printed circuit board adapted for heat dissipation, e.g. lay-out of conductors, coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3421—Leaded components
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Abstract
【課題】基板に実装される電子部品の内部から温度測定位置までの熱抵抗をより低減することができ、電子部品の内部温度をより正確に反映した値を計測可能な電子装置を提供する。
【解決手段】電子装置1を構成する基板5には、電子部品3が実装されており、基板5において、電子部品3の素子部3aに覆われる領域には、表側の第1板面5aと裏側の第2板面5bとの間を貫通した構成で孔部7が形成されている。そして、孔部7内において第1板面5a側から第2板面5b側へと続く構成で金属材料からなる基板内伝熱部9が配置されており、更に、第2板面5b側には、基板内伝熱部9に接続された構成で金属材料からなる第2板面側伝熱部11が配置されている。そして、第2板面側伝熱部11に隣接した位置には、第2板面側伝熱部11の温度を検出する温度検出部13が設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】電子装置1を構成する基板5には、電子部品3が実装されており、基板5において、電子部品3の素子部3aに覆われる領域には、表側の第1板面5aと裏側の第2板面5bとの間を貫通した構成で孔部7が形成されている。そして、孔部7内において第1板面5a側から第2板面5b側へと続く構成で金属材料からなる基板内伝熱部9が配置されており、更に、第2板面5b側には、基板内伝熱部9に接続された構成で金属材料からなる第2板面側伝熱部11が配置されている。そして、第2板面側伝熱部11に隣接した位置には、第2板面側伝熱部11の温度を検出する温度検出部13が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、電子装置及び電子装置の製造方法に関するものである。
電子装置に搭載される半導体部品は、一般的に、部品を正常に動作させ得る温度許容範囲が定められており、その許容範囲内で動作させることが必須となる。このため、このような半導体部品を搭載した電子装置を設計する際には、少なくとも通常動作時に半導体部品内の温度が許容範囲を超えないように設計する必要がある。また、電子装置の製造時には、実際に製造される製品が、このような温度許容条件を確実に満たしているかを検査しておくことが望ましいといえる。なお、電子装置の検査技術としては、例えば特許文献1のような例が存在する。
ところで、半導体部品内で考慮すべき温度としては、ジャンクション温度がある。このジャンクション温度は、デバイスの寿命や故障率に関連する要因であり、半導体部品を適正に動作させる上では、このジャンクション温度が、予め想定された保証範囲を超えないように動作させることが必須となる。このため、本来的には、製品検査工程や製品出荷後などにおいてジャンクション温度を測定し、保証範囲内に収まっているかを確認することが望ましいといえる。しかしながら、図12の位置P1で例示されるように、ジャンクション温度は素子内部の温度であるため、実際の製品では、直接的にジャンクション温度を測定することができず、ジャンクション温度そのものを評価に用いることはできない。このため、ジャンクション温度を評価する場合、半導体部品の外部の周囲温度を測定し、その測定温度を評価値として代用せざるを得ない。
半導体部品を実装した後に、ジャンクション温度の算定に必要な周囲温度を求める方法の一例としては、図12のような方法がある。この方法では、電子装置100の検査工程として、例えば、半導体部品103が実装された基板105の基板表面105a上を温度計測位置P2としている。この位置P2で得られる実測値Tbと、位置P1から位置P2までの単位発熱量あたりの温度差である熱パラメータと発熱量が把握できれば、位置P1のジャンクション温度Tjを推測することが可能となる。
このように、位置P2での実測値Tbは、事前に、発熱量と、位置P1と位置P2間の熱パラメータが把握できていれば、例えば、位置P2の実測値Tbが所定の許容範囲に収まっているか否かを検査することで、ジャンクション温度Tjが保証範囲内に収まっているか否かを判定することが可能となる。しかしながら、ジャンクション位置P1と温度測定位置P2の間には様々な変動要因が存在するため、このような方法で判定する場合、変動要因を考慮し、ある程度のマージンをもたせて許容範囲(温度Tbを判断するための許容範囲)を設定しなければならない。このため、許容範囲がより狭められてしまうことになり、その結果、設計上の制約や使用上の制約が大きくなってしまう。
例えば、図12のような構成のものにおいて、位置P2での実測値Tbからジャンクション温度を推測する場合、少なくとも、ジャンクション位置P1と温度測定位置P2の間の熱パラメータは、半導体部品下面121bとの間の熱抵抗θ1と、その下面121bと基板上面105aとの間の熱抵抗θ2と、基板上面105aにおける温度測定位置P2までの熱抵抗θ3とに依存するため、全て考慮しなければならない。従って、実測値Tbを判断する上での許容範囲を設定する場合、これら熱抵抗θ1、θ2、θ3の変動要因を全て含ませた形で許容範囲を設定しなければならず、許容範囲が非常に厳しくならざるを得ない。特に、基板上面105aでは熱抵抗θ3の影響が非常に大きく、この経路で加味すべき変動範囲も大きいため、この点が、許容範囲の縮小の大きな要因となる。このように、素子部内部から実測位置(実際の温度測定位置)までの熱抵抗が大きいと、実測位置の温度は、素子部内部の温度を高精度に反映したものとはならなくなり、この点が、設計上の制約や使用上の制約などを招くことになる。
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、基板に実装される電子部品の内部から温度測定位置までの熱抵抗をより低減することができ、電子部品の内部温度をより正確に反映した値を計測可能な電子装置を提供することを目的とする。また、基板に実装される電子部品の内部から温度測定位置までの熱抵抗をより低減し、電子部品の内部温度をより正確に反映した値を用いて検査を行うことが可能な製造方法を提供することを目的とする。
請求項1の発明は、第1板面(5a)と、前記第1板面(5a)の裏面側の第2板面(5b)とがそれぞれ配置されてなる基板(5)と、
半導体チップ(23)を有する素子部(3a)と、前記素子部(3a)と前記基板(5)とを接続する接続部(27)とを備え、前記基板(5)の前記第1板面(5a)側に実装される電子部品(3)と、
前記基板(5)における前記素子部(3a)に覆われる領域に、前記第1板面(5a)と前記第2板面(5b)との間を貫通した構成で形成される孔部(7)と、
前記孔部(7)内において前記第1板面側から前記第2板面側へと続く構成で配置された金属材料からなる基板内伝熱部(9)と、
前記基板内伝熱部(9)に接続された金属材料からなり、前記第2板面(5b)側に配置される第2板面側伝熱部(11)と、
前記第2板面側伝熱部(11)に隣接した位置に配置された温度検出部(13)と、
を有することを特徴とする。
半導体チップ(23)を有する素子部(3a)と、前記素子部(3a)と前記基板(5)とを接続する接続部(27)とを備え、前記基板(5)の前記第1板面(5a)側に実装される電子部品(3)と、
前記基板(5)における前記素子部(3a)に覆われる領域に、前記第1板面(5a)と前記第2板面(5b)との間を貫通した構成で形成される孔部(7)と、
前記孔部(7)内において前記第1板面側から前記第2板面側へと続く構成で配置された金属材料からなる基板内伝熱部(9)と、
前記基板内伝熱部(9)に接続された金属材料からなり、前記第2板面(5b)側に配置される第2板面側伝熱部(11)と、
前記第2板面側伝熱部(11)に隣接した位置に配置された温度検出部(13)と、
を有することを特徴とする。
請求項1の発明では、基板において素子部に覆われる領域に素子部側の面(第1板面)から裏面(第2板面)へと続く孔部が形成され、その孔部内には、素子部側の面(第1板面)から裏面(第2板面)へと続く金属材料からなる基板内伝熱部が配置されている。そして、裏面側(第2板面側)には、この基板内伝熱部に接続された形で、金属材料からなる第2板面側伝熱部が配置され、この第2板面側伝熱部に隣接した位置の温度を温度検出部によって検出可能とされている。
この構成によれば、基板上面の素子部直下位置から温度測定位置(温度検出部が配置された位置)付近に続くように、熱抵抗の低い金属材料からなる伝熱経路が設けられるため、基板上面の素子部直下位置から温度測定位置までの熱抵抗が抑えられる。ゆえに、温度測定位置(温度検出部が配置された位置)の温度は、素子部内部の温度が高精度に反映されやすくなる。よって、「素子部内部の温度をより高精度に且つ安定的に反映した温度」を温度検出部で実測可能となり、電子装置の製造時や使用時等において有効に利用できるようになる。
この構成によれば、基板上面の素子部直下位置から温度測定位置(温度検出部が配置された位置)付近に続くように、熱抵抗の低い金属材料からなる伝熱経路が設けられるため、基板上面の素子部直下位置から温度測定位置までの熱抵抗が抑えられる。ゆえに、温度測定位置(温度検出部が配置された位置)の温度は、素子部内部の温度が高精度に反映されやすくなる。よって、「素子部内部の温度をより高精度に且つ安定的に反映した温度」を温度検出部で実測可能となり、電子装置の製造時や使用時等において有効に利用できるようになる。
[第1実施形態]
以下、本発明を具現化した第1実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、図1は、基板5及び基板5に実装される電子部品3を、図3のA−A位置で切断した切断面を概略的に示すものである。また、図1では、素子部の断面構造を簡略的に示している。
以下、本発明を具現化した第1実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、図1は、基板5及び基板5に実装される電子部品3を、図3のA−A位置で切断した切断面を概略的に示すものである。また、図1では、素子部の断面構造を簡略的に示している。
(1.電子装置の概要)
まず、電子装置1の概要を説明する。
図1〜図3に示す電子装置1は、例えばエンジンECU(Electric Control Unit)などの車両用電子制御装置として構成されており、例えば、図2のような外形をなしている。この図2の構成では、電子装置1は、箱状のケース18の内部に略四角形状の基板5が収容された構造となっており、この基板5にマイコン、抵抗、トランジスタ、その他のIC等の各種電子部品が実装され、電子回路が構成されている。
まず、電子装置1の概要を説明する。
図1〜図3に示す電子装置1は、例えばエンジンECU(Electric Control Unit)などの車両用電子制御装置として構成されており、例えば、図2のような外形をなしている。この図2の構成では、電子装置1は、箱状のケース18の内部に略四角形状の基板5が収容された構造となっており、この基板5にマイコン、抵抗、トランジスタ、その他のIC等の各種電子部品が実装され、電子回路が構成されている。
具体的には、図3のように、ケース18の内部に、基板5に対して各種電子部品(電子部品3,16,17等)を実装した構成で実装基板15が収容されており、この基板5の周縁部の所定位置には、コネクタ19が接続されている。そして、図2、図3のように、このコネクタ19の少なくとも一部が、ケース18の周壁部に形成された開口を介して当該電子装置1の外部に露出している。電子装置1の外殻をなすケース18は、例えば、アルミダイカストなどの公知の金属材料からなる第1ケース体18a及び第2ケース体18bによって構成されている。このケース18は、図3のように第2ケース体18b内に実装基板15が支持されつつ収容され、このように収容された実装基板15の上方を、図2のように第1ケース体18aが覆う構造となっている。
(2.電子装置の電気的構成)
次に、電子装置1全体の電気的構成を概説する。
図5のように、エンジンECUとして構成される電子装置1には、電源回路81、波形成形回路82、A/D変換回路83、デジタル入力回路84、マイコン85、車載通信インタフェース86、出力処理回路87、パワーデバイス88などが設けられている。
次に、電子装置1全体の電気的構成を概説する。
図5のように、エンジンECUとして構成される電子装置1には、電源回路81、波形成形回路82、A/D変換回路83、デジタル入力回路84、マイコン85、車載通信インタフェース86、出力処理回路87、パワーデバイス88などが設けられている。
電源回路81は、図示しないバッテリからの電力供給を受け、マイコン85が動作するための一定の電源電圧(例えば5V)を生成する機能を有する。波形成形回路82は、電子装置1の外部から入力されるエンジン回転信号に対して所定の波形成形処理を行い、マイコン85に対して波形成形結果を出力する機能を有する。A/D変換回路83は、入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換し、マイコン85に出力するものである。本構成では、電子装置1の外部に、例えば、図示しないノックセンサ、酸素センサ、吸気圧センサ、水温センサ、バッテリセンサなどが設けられ、これらのセンサからのアナログ値が電子装置1に入力されるようになっている。A/D変換回路83は、これらのセンサからのアナログ値をデジタル信号に変換し、マイコン85に入力させるように機能する。また、後述する温度検出部13で生成されたアナログ信号もA/D変換回路83に入力されるようになっており、A/D変換回路83は、温度検出部13での検出値をデジタル値に変換してマイコン85に入力させる機能をも有する。
デジタル入力回路84は、電子装置1の外部からの各種デジタル信号をマイコン85に入力させる入力回路である。このデジタル入力回路84は、例えば、イグニッションスイッチのオン/オフ状態を表すIGスイッチ信号や、エンジンを始動させるためのスタータスイッチのオン/オフ状態を表すスタータスイッチ信号などをマイコン85に入力させる機能を有する。なお、図5の例では、デジタル入力回路84を1つにまとめて記載しているが、デジタル入力回路84は、実際には、マイコン85に入力させる入力信号毎に存在しており、その各入力信号の種類に応じた信号処理を行うようになっている。
車載通信インタフェース86は、マイコン85が外部装置と通信を行う際のインタフェースとして機能し、本構成では、マイコン85及び車載通信インタフェース86により、車両内に配設された通信線(図示略)を介して他の車載ECUとCAN(Controller Area Network)通信を行い得る構成となっている。なお、車両内の通信線には、電子装置1以外のECUとして、ボディ制御ECU、ブレーキ制御ECU,エアバッグ制御ECUなどが接続されており、電子装置1のマイコン85は、車載通信インタフェース86を介してこれらのECUと情報をやり取りする。
また、電子装置1には、外部のアクチュエータを動作させるための出力処理回路87や、MOSFET、IGBTなどの半導体部品からなるパワーデバイス88が設けられている。これら出力処理回路87及びパワーデバイス88は、電子装置1の外部に設けられたアクチュエータ(インジェクタ、イグナイタ、ISCV等)を駆動する駆動回路を構成している。なお、図5の例では、出力処理回路87やパワーデバイス88を一つにまとめて示しているが、出力処理回路87やパワーデバイス88によって構成される駆動回路は、実際には、駆動するアクチュエータ毎に存在し、各アクチュエータを別個に駆動可能となっている。
(3.温度検出構造)
次に、温度検出構造等について説明する。
図1に示すように、電子装置1を構成する実装基板15(図3)は、基板5の一方側の表面(第1板面5a)に、半導体チップ23を備えた電子部品3が、例えば表面実装によって実装されている。図1の例で実装される電子部品3は、例えば上述のマイコン85(図5)として構成されており、例えば、図4のような、QFP(Quad Flat Package)構造となっている。具体的には、半導体素子に相当する半導体チップ23(ダイ)がダイボンド材24aによってダイパッド24bに固定されており、これらがエポキシ樹脂などの封止樹脂21によって被覆されることで、封止樹脂21内に半導体チップ23等が埋め込まれている。また、封止樹脂21によって構成されるモールド部は、平面視した形状が略四角形状となるように構成されており、封止樹脂21の側部には、封止樹脂21の内外に跨る構成で多数のリードフレーム27が配置されている(図4も参照)。また、封止樹脂21の内部には、半導体チップ23とリードフレーム27のインナーリード(封止樹脂21内の部分)とを連結し、互いに電気的に接続する構成で、複数のボンディングワイヤ25が設けられている。本構成では、電子部品3からリードフレーム27を除いた部分が素子部3aの一例に相当する。即ち、封止樹脂21の外面よりも内側の領域が素子部3aの領域となっている。また、リードフレーム27は、素子部3aと基板5とを接続する接続部の一例に相当する。
次に、温度検出構造等について説明する。
図1に示すように、電子装置1を構成する実装基板15(図3)は、基板5の一方側の表面(第1板面5a)に、半導体チップ23を備えた電子部品3が、例えば表面実装によって実装されている。図1の例で実装される電子部品3は、例えば上述のマイコン85(図5)として構成されており、例えば、図4のような、QFP(Quad Flat Package)構造となっている。具体的には、半導体素子に相当する半導体チップ23(ダイ)がダイボンド材24aによってダイパッド24bに固定されており、これらがエポキシ樹脂などの封止樹脂21によって被覆されることで、封止樹脂21内に半導体チップ23等が埋め込まれている。また、封止樹脂21によって構成されるモールド部は、平面視した形状が略四角形状となるように構成されており、封止樹脂21の側部には、封止樹脂21の内外に跨る構成で多数のリードフレーム27が配置されている(図4も参照)。また、封止樹脂21の内部には、半導体チップ23とリードフレーム27のインナーリード(封止樹脂21内の部分)とを連結し、互いに電気的に接続する構成で、複数のボンディングワイヤ25が設けられている。本構成では、電子部品3からリードフレーム27を除いた部分が素子部3aの一例に相当する。即ち、封止樹脂21の外面よりも内側の領域が素子部3aの領域となっている。また、リードフレーム27は、素子部3aと基板5とを接続する接続部の一例に相当する。
図1等に示す基板5は、図2、図5等で例示される電子装置1をECUとして機能させるための回路基板であり、一般的な積層基板の形成方法によって製造された多層基板として構成されている。この基板5は、厚さ方向(板厚方向)一方側の第1板面5aと、第1板面5aの裏面側(厚さ方向他方側)の第2板面5bとを有しており、第1板面5a上に電子部品3が実装されている。実装された電子部品3は、素子部3aの下面(即ち、封止樹脂21の下面21a)と第1板面5aとが離れており、下面21aと第1板面5aの間には、空気層からなる空間が構成されている。
また、基板5は、導体層と絶縁層とが交互に積層された多層構造となっている。本構成では、基板5を構成する複数の導体層として、例えば銅層として構成される6層の金属層5fが採用されており、これら金属層5fの厚さは、それぞれが例えば35μmに設定されている。また、これらの金属層5fの熱伝導率は、例えば室温付近で398W/mKとなっている。なお、図1の例では、6層に構成される各金属層5fの積層構造を概略的に示しており、各金属層5fのパターンは様々に構成することができる。また、本構成では、多層基板を構成する複数の絶縁層として5層の樹脂層5cが採用されている。これら5層の樹脂層5cは、例えば、ガラス織布とエポキシ樹脂からなるFR−4が採用されており、各樹脂層5cの熱伝導率は、例えば常温で0.38W/mKであり、各樹脂層5cの厚さは200μmとなっている。そして、基板5の全体の厚さは、1.2mm程度となっている。
そして、このように多層基板として構成される基板5において、素子部3aに覆われる領域には、第1板面5aと第2板面5bとの間を貫通した構成で続くサーマルビアが構成されている。具体的には、第1板面5aと第2板面5bとの間を貫通した構成で孔部7が形成されており、この孔部7の内において第1板面5a側から第2板面側へと続く構成で金属材料からなる基板内伝熱部9が形成されている。この基板内伝熱部9は、例えば銅メッキなどの銅材料によって構成され、孔部7の内周壁に沿って円筒状に形成されている。また、基板5の第2板面5b側の表層部には、金属材料によって構成され第2板面側伝熱部11がランドとして設けられている。この第2板面側伝熱部11は、例えば銅によって構成され、基板内伝熱部9に連結した形態でこの基板内伝熱部9と一体的に構成されている。この構成では、基板内伝熱部9及び第2板面側伝熱部11の熱伝導率が、基板5の過半領域を占める樹脂層5cの熱伝導率よりも大幅に大きくなっており、基板内伝熱部9及び第2板面側伝熱部11の熱抵抗は、樹脂層5cと金属層5fとが積層した積層領域の熱抵抗よりも大幅に小さくなっている。
なお、図1の概略図では、各金属層5fが基板内伝熱部9や第2板面側伝熱部11に連結した構造となっているが、図1はあくまで概略図であり、全ての金属層5fが基板内伝熱部9や第2板面側伝熱部11から離間して配置し、これらと絶縁状態であってもよく、いずれかの金属層5fが基板内伝熱部9や第2板面側伝熱部11に接続されていてもよい。また、第2板面側伝熱部11は、下方側(電子部品3とは反対側)から見た外形が例えば四角形状、或いは円形状に構成されており、厚さは、例えば、金属層5fと同程度、或いは金属層5fよりも厚く構成されている。
そして、基板5の第2板面5b上において、第2板面側伝熱部11に隣接した位置には温度検出部13が配置されている。この温度検出部13は、例えばサーミスタやダイオードなどの公知の温度検出素子によって構成されており、自身の配置位置(即ち、第2板面側伝熱部11に隣接した位置)の温度を検出するように機能する。本構成では、基板5に実装される電子部品3の素子部3aの直下領域(図1において、符号AR1で図示される領域であり、基板5を電子部品3側から平面視した場合に素子部3aに隠れる領域)に温度検出部13が設けられる。具体的には、半導体チップ23の直下領域(図1において、符号AR2で図示される領域であり、基板5を電子部品3側から平面視した場合に半導体チップ23に隠れる領域)において、第2板面側伝熱部11に接触した構成、又は第2板面側伝熱部11から少し離れた構成で温度検出部13が配置されている。
(4.温度検出部の具体例)
温度検出部13としてサーミスタを用いる場合、温度検出回路は、例えば図6(B)のように、サーミスタを用いた公知の温度検出回路とすればよい。この構成では、所定電圧の電源V1とグランドとの間に、抵抗R1と温度検出部13(サーミスタ)とが直列に接続され、電源V1による電源電圧の印加により、抵抗R1と温度検出部13(サーミスタ)とに電流が流れ、温度検出部13での温度に応じて位置A1での分圧電圧が変動するようになっている。そして、この位置A1での分圧電圧が温度検出部13での検出値としてA/D変換回路83に入力されるようになっている。なお、ここでは図示はしていないが、抵抗R1及び温度検出部13に直列にスイッチを設け、このスイッチのオンオフの切り替えにより、温度検出部13に対する電流供給をオンオフできるようにしておくことが望ましい。この構成では、電子装置1の動作時に、図6(B)のような温度検出回路によって生成される検出値(位置A1での電圧値)を、A/D変換回路83によってデジタル信号に変換し、マイコン85(図1の電子部品3)に入力することができる。このため、マイコン85は、電子装置1が動作している時に温度検出部13で検出された温度を把握することができる。また、図6(B)のようにサーミスタの一端がグランドに接続される構成の場合、基板内伝熱部9や第2板面側伝熱部11をグランドとして構成し、サーミスタとして構成される温度検出部13をこの第2板面側伝熱部11に接触させ且つ導通させて配置してもよい。このように接触させて配置すれば、第2板面側伝熱部11の温度をより正確に検出し易くなる。
温度検出部13としてサーミスタを用いる場合、温度検出回路は、例えば図6(B)のように、サーミスタを用いた公知の温度検出回路とすればよい。この構成では、所定電圧の電源V1とグランドとの間に、抵抗R1と温度検出部13(サーミスタ)とが直列に接続され、電源V1による電源電圧の印加により、抵抗R1と温度検出部13(サーミスタ)とに電流が流れ、温度検出部13での温度に応じて位置A1での分圧電圧が変動するようになっている。そして、この位置A1での分圧電圧が温度検出部13での検出値としてA/D変換回路83に入力されるようになっている。なお、ここでは図示はしていないが、抵抗R1及び温度検出部13に直列にスイッチを設け、このスイッチのオンオフの切り替えにより、温度検出部13に対する電流供給をオンオフできるようにしておくことが望ましい。この構成では、電子装置1の動作時に、図6(B)のような温度検出回路によって生成される検出値(位置A1での電圧値)を、A/D変換回路83によってデジタル信号に変換し、マイコン85(図1の電子部品3)に入力することができる。このため、マイコン85は、電子装置1が動作している時に温度検出部13で検出された温度を把握することができる。また、図6(B)のようにサーミスタの一端がグランドに接続される構成の場合、基板内伝熱部9や第2板面側伝熱部11をグランドとして構成し、サーミスタとして構成される温度検出部13をこの第2板面側伝熱部11に接触させ且つ導通させて配置してもよい。このように接触させて配置すれば、第2板面側伝熱部11の温度をより正確に検出し易くなる。
また、温度検出部13としてサーミスタを用いる場合、検出素子となる抵抗体が絶縁部材(樹脂等)でコーティングされた構成のものであれば、外周部をなす絶縁部材を第2板面側伝熱部11に接触させて配置しつつ、検出素子となる抵抗体と第2板面側伝熱部11とを絶縁させて配置してもよい。このように配置すれば、温度検出部13と第2板面側伝熱部11との絶縁性を確保しつつ、温度検出部13によって第2板面側伝熱部11の温度をより正確に検出し易くなる。
また、温度検出部13としてどのようなサーミスタを用いる場合でも、温度検出部13を第2板面側伝熱部11から少し離して配置してもよく、この場合、温度検出部13と第2板面側伝熱部11との絶縁性が確保される程度に隣接(近接)させて配置すればよい。なお、温度検出部13を第2板面側伝熱部11からある程度離して配置する場合でも、温度検出部13の少なくとも一部(望ましくは全部)が素子部3aの直下領域(望ましくは、半導体チップ23の直下領域)に配置されていることが望ましい。
(5.製造方法)
次に、このような電子装置1の製造方法について説明する。
図1〜図5等で例示した電子装置1を製造する場合、その製造工程は、上述した実装基板15(図1、図3等参照)を形成する工程と、その実装基板15を検査する工程と、検査後に最終製品を形成する工程とに分けられる。以下、これらの各工程を説明する。
次に、このような電子装置1の製造方法について説明する。
図1〜図5等で例示した電子装置1を製造する場合、その製造工程は、上述した実装基板15(図1、図3等参照)を形成する工程と、その実装基板15を検査する工程と、検査後に最終製品を形成する工程とに分けられる。以下、これらの各工程を説明する。
まず、実装基板15(図1、図3等参照)を形成する工程では、上述の実装基板15を、公知の多層基板製造方法、及び公知の実装方法を用いて形成する。この工程は、図2に示す最終製品の前段階(ケースに収容する前まで)の構造体を形成する工程であり、基板5を形成する工程と、各種電子部品を実装する工程と、コネクタ19等を組み付ける工程とを含む。基板5を形成する工程では、導体層(金属層5f)と絶縁層(樹脂層5c)を交互に積層する積層構造を、公知の方法で形成する。そして、このような積層構造体において、素子部3aに覆われるべき領域に、第1板面5aと第2板面5bとの間を貫通した構成で孔部7を形成する。そして、この孔部7内において第1板面5a側から第2板面5b側へと続く構成で、金属材料からなる基板内伝熱部9を配置する。そして、第2板面5b側において基板内伝熱部9に接続される位置に、金属材料からなる第2板面側伝熱部11を配置する。なお、これらの孔部7、基板内伝熱部9、第2板面側伝熱部11は、サーマルビアを形成する周知方法によって形成すればよい。そして、このように基板5を形成した後、電子部品3や温度検出部13などの様々な電子部品を公知の実装方法で実装し、更に、コネクタ19を組み付けることで、図1、図3等に示す実装基板15が得られる。なお、この実装基板15は、図5に示す電源回路81、波形成形回路82、温度検出部13、A/D変換回路83、デジタル入力回路84、マイコン85、車載通信インタフェース86、出力処理回路87、パワーデバイス88などを含んでおり、実装基板15を形成することで、これらの要素が形成されることになる。このように実装基板15を形成する工程は、第2板面5b側において第2板面側伝熱部11に隣接した位置に温度検出部13を形成する工程に相当し、更に、基板5の外部と通信を行う通信部(車載通信インタフェース86)を形成する工程にも相当する。
そして、このように形成された実装基板15に対し、図6(A)のように検査工程を行う。この検査工程は、例えば図6のような検査装置90を用い、図7のような流れで行うことができる。この検査工程では、まず、図6(A)のように、コネクタ19と検査装置90とを接続する(S1)。図6(A)で用いられる実装基板15は、ケース18が存在しない以外は実際の製品(電子装置1)と同一であり、実際の製品(電子装置1)と同様、外部からの電力供給を受けて動作し、車載通信インタフェース86を介したCAN通信によって外部装置と通信を行うことができるようになっている。
図6(A)の検査工程では、このような実装基板15のコネクタ19を検査装置90に設けられた図示しないコネクタに接続し、例えば、検査装置90から電源回路81に対してバッテリ電圧と同等の電圧を与えて電源投入する(S2)。そして、実装基板15に対する各種検査を開始する(S3)。このS3では、検査装置90からの指令に応じてマイコン85が動作し(即ち、素子部3aに形成された半導体チップ23の動作が開始し)、予め定められたプログラムに従い、各検査が順次実行される。S3の後に実行される各検査は、図5に示す各要素の検査である。検査例としては、例えば、図5と同等の構成をなす実装基板15の電源回路81に対してバッテリ電圧と同等の電圧を与えたときに電源回路81で生成される電源電圧が所定電圧範囲に収まっているか否かの検査などが挙げられる。また、別の検査としては、マイコン85によって各アクチュエータに対応する出力処理回路87及びパワーデバイス88を動作させたときに、正常なオンオフ信号が発生しているか否かの検査などもある。或いは、波形成形回路82に所定波形を与えたときに正常な成形波形が生成されるか否かの検査や、デジタル入力回路84に対して所定のデジタル信号を入力させたときに、デジタル入力回路84が正常に動作しているか否かの検査なども挙げられる。このような各検査は、図8のように、電源回路81で電源電圧が発生した時間T1(即ち、電源投入時点)から順次行われ、図8の例では、検査1、検査2、検査3、検査4が順番に行われている。
そして、S3での検査開始後、このように順次行われる検査と並行して、温度検出部13での温度(第2板面側伝熱部11に隣接した位置の温度)を検出し、この温度を評価する温度検査を行う(S4)。温度検出部13での温度を確認するタイミングは、例えば、電源投入時点T1から一定時間経過した時点T4と定められており、マイコン85は、この時間T4になった時点で、温度検出部13で検出された温度計測値(例えば、図6(B)に示す位置A1の電圧)を読み込む。マイコン85に入力される値は、温度検出部13で検出された電圧値(アナログ値)がA/D変換回路83によってデジタル値に変換されたものであり、マイコン85はこのように入力された計測値を、車載通信インタフェース86及び通信線を介して検査装置90に出力する。このように、本構成では、温度検査時に得られた温度検出部13での温度計測値(温度検出結果)を、マイコン85及び車載通信インタフェース86によってCAN通信を利用して外部に送信する。そして、検査装置90は、このようにマイコン85及び車載通信インタフェース86によって送信された計測値(温度検出部13で計測された温度値)をCAN通信によって受信し、この計測値が予め設定された許容範囲内に収まっているか否かを判定する(S5)。そして、受信した計測値が予め設定された許容範囲内に収まっていれば、OKと判定し、収まっていなければNGと判定する。なお、NGと判定された実装基板15は、例えば不良品として除外してもよく、図7に示す検査工程を再度実施する再検査を行うようにしてもよい。
以上のように、この例では、図7に示す検査工程において、各装置に対して実施される各検査と並行して温度検査(温度検出部13での実測値を評価する検査)を行うことができるため、温度検査のための追加のタクトタイムが不要になり、検査の迅速化を図ることができる。
このような検査工程を行った後には、図7のS5でOKの判定がなされ且つその他の各検査でもOKと判定された実装基板15のみを正常品として次工程に進め、このような実装基板15をケース18内に収容して最終製品(電子装置1)とする。
(6.本構成の主な効果)
本構成では、基板5において素子部3aに覆われる領域に素子部3a側の面(第1板面5a)から裏面(第2板面5b)へと続く孔部7が形成され、その孔部7内には、素子部3a側の面(第1板面5a)から裏面(第2板面5b)へと続く金属材料からなる基板内伝熱部9が配置されている。そして、裏面側(第2板面5b側)には、この基板内伝熱部9に接続された形で、金属材料からなる第2板面側伝熱部11が配置され、この第2板面側伝熱部11の温度を温度検出部13によって検出可能とされている。
この構成によれば、基板上面の素子部直下位置から温度測定位置(温度検出部13が配置された位置)付近に続くように、熱抵抗の低い金属材料からなる伝熱経路が設けられるため、基板上面の素子部直下位置から温度測定位置までの熱抵抗が抑えられる。ゆえに、温度測定位置(温度検出部13が配置された位置)の温度は、素子部内部の温度が高精度に反映されやすくなる。よって、「素子部内部の温度をより高精度に且つ安定的に反映した温度」を温度検出部13で実測可能となり、電子装置1の製造時や使用時等において有効に利用できるようになる。
本構成では、基板5において素子部3aに覆われる領域に素子部3a側の面(第1板面5a)から裏面(第2板面5b)へと続く孔部7が形成され、その孔部7内には、素子部3a側の面(第1板面5a)から裏面(第2板面5b)へと続く金属材料からなる基板内伝熱部9が配置されている。そして、裏面側(第2板面5b側)には、この基板内伝熱部9に接続された形で、金属材料からなる第2板面側伝熱部11が配置され、この第2板面側伝熱部11の温度を温度検出部13によって検出可能とされている。
この構成によれば、基板上面の素子部直下位置から温度測定位置(温度検出部13が配置された位置)付近に続くように、熱抵抗の低い金属材料からなる伝熱経路が設けられるため、基板上面の素子部直下位置から温度測定位置までの熱抵抗が抑えられる。ゆえに、温度測定位置(温度検出部13が配置された位置)の温度は、素子部内部の温度が高精度に反映されやすくなる。よって、「素子部内部の温度をより高精度に且つ安定的に反映した温度」を温度検出部13で実測可能となり、電子装置1の製造時や使用時等において有効に利用できるようになる。
温度検出部13は、第2板面側伝熱部11に接触した構成でも、若干離れた構成でも良いが、第2板面側伝熱部11に接触した構成で配置されていれば、第2板面側伝熱部11の温度をより正確に検出することができ、素子部内部の温度をより一層高精度に反映した温度を把握することが可能となる。
また、本構成では、温度検出部13が素子部3aの直下領域(より具体的には半導体チップ23の直下領域)に配置されているため、温度検出部13で検出される実測値は、素子部内部の温度をより正確に反映した温度となる。
ここで、比較例を説明する。本構成の方法以外でジャンクション温度を推測する方法としては、上述した位置P2(図12)の温度Tbを検出する方法以外に、図12のように、素子部121の上面121aの所定位置P3の温度Ttを検出する方法や、半導体部品103に近い所定位置P4での雰囲気温度Taを検出する方法などがある。しかしながら、製品出荷後には位置P3や位置P4の温度を検出することが難しく、製品出荷後にはこれらの方法は採用しにくい。また、製品出荷前の検査工程で位置P3の温度Ttを検出する場合、温度検出素子を安定的に位置P3に固定することが難しく、測定精度にばらつきができてしまう虞がある。また、部品の高密度化や各素子の自己発熱などにより周囲空間に温度分布ができやすいため、位置P4の雰囲気温度Taを検出する方法では、素子部内部の温度を正確に検出することが難しい。
このように、比較例として、位置P2、P3,P4などの温度を検出する方法が考えられるが、いずれの方法も、素子部内部の温度が正確に反映されにくく、誤差が大きくなりやすいという問題がある。従って、これらの方法で得られる温度が適正であるか否かの評価を行う場合、誤差要因が大きくなることを考慮し、マージンを大きく加味して許容範囲を設定しなければならない。つまり、これらの方法で評価を行う場合、マージンを過大に見積もる分だけ、許容範囲がより狭められてしまうことになり、その結果、設計上の制約や使用上の制約が非常に大きくなる。特に、実装基板の小型化や高機能化が進むと、熱の集中や発熱の増大がより顕著になるため、マージンを過大に設定したままでは製品の温度保証ができなくなってしまう。
これに対し、本構成によれば、素子部内部の温度をより正確に反映した値を検出することが可能になるため、誤差を過大に見積もって許容範囲を設定せずに済む。そして、このようにマージンを抑えた分だけ、製品の一層の小型化や一層の高機能化を図りやすくなる。
[第2実施形態]
次に、図9等を参照して第2実施形態について説明する。
この第2実施形態は、温度検出部13の具体例が第1実施形態と異なるだけであり、それ以外は第1実施形態の構成を全て含んでいる。特に、上述した(1.電子装置の概要)(2.電子装置の電気的構成)(3.温度検出構造)(5.製造方法)で説明した内容については第1実施形態と同一である。また、図1〜図8の内容も第1実施形態と同一である。
次に、図9等を参照して第2実施形態について説明する。
この第2実施形態は、温度検出部13の具体例が第1実施形態と異なるだけであり、それ以外は第1実施形態の構成を全て含んでいる。特に、上述した(1.電子装置の概要)(2.電子装置の電気的構成)(3.温度検出構造)(5.製造方法)で説明した内容については第1実施形態と同一である。また、図1〜図8の内容も第1実施形態と同一である。
第2実施形態に係る電子装置1でも、第1実施形態と同様、図1のように、基板5における素子部3aに覆われる領域(図1において符号AR1で示される範囲)に、第1板面5aと第2板面5bとの間を貫通した構成で孔部7が形成されている。そして、孔部7内において第1板面5a側から第2板面5b側へと続く構成で、金属材料からなる基板内伝熱部9が配置されている。更に、第2板面5b側には、基板内伝熱部9に接続された構成で、金属材料からなる第2板面側伝熱部11が設けられている。そして、素子部3aの直下領域において第2板面側伝熱部11に隣接した位置には温度検出部13が配置されている。なお、この第2実施形態の例では、温度検出部13は、例えば第2板面側伝熱部11に接触し且つ第2板面側伝熱部11と導通した構成で配置されている。
図9のように、温度検出部13は、基板5に構成された所定回路(図9の例では、負荷駆動回路)の一部をなすダイオードとして構成されている。この図9の例では、図5に示す出力処理回路87として、駆動回路201及びドライバ203が設けられており、パワーデバイス88として、MOSFET205が設けられている。そして、駆動回路201及びドライバ203によってMOSFET205に与える信号(例えばPWM信号)を生成し、出力するようになっている。この例では、MOSFET205のドレイン側にモータ、ソレノイド等の誘導性負荷210が設けられており、MOSFET205がオン状態のときに誘導性負荷210に駆動電流が流れるようになっている。更に、MOSFET205に逆並列にダイオード(温度検出部13)が接続されており、例えば、MOSFET205がオフした直後にダイオード(温度検出部13)に電流が流れるようになっている。この構成では、例えば、ダイオード(温度検出部13)に電流が流れているときにダイオード(温度検出部13)の順方向電圧Vfの値を図示しない電圧検出部によって検出するようになっており、このときに得られるダイオード(温度検出部13)の順方向電圧Vfを、「第2板面側伝熱部11の隣接位置の温度を示す値」としてA/D変換回路83に出力するようになっている。なお、順方向電圧Vfを反映した値として、位置A2の電圧値を検出するようにしてもよい。いずれにしても、検出される電圧値は、「第2板面側伝熱部11の隣接位置の温度を示す値」として第1実施形態と同様に用いればよい。
本構成でも、第1実施形態と同様の効果が得られる。また、他回路で用いられるダイオードを、第2板面側伝熱部11に隣接した位置の温度(素子部内部の温度が反映された温度)の検出に用いることができるため、部品点数の削減、装置構成の簡素化を図りやすくなる。更に、第2板面側伝熱部11がグランドとして構成されており、温度検出部13として構成されるダイオードは、第2板面側伝熱部11に接触し、且つアノード側が第2板面側伝熱部11に電気的に接続されている。このように、温度検出部13が第2板面側伝熱部11に接触しているため、温度検出部13によって第2板面側伝熱部11の温度をより正確に検出することが可能となる。なお、ここでは、第2板面側伝熱部11に接触して配置される温度検出部13として図9に示すダイオードを用いた例を示しているが、ダイオードを用いた他の公知回路のダイオードを温度検出部13として用いてもよく、この場合でも、ダイオードに電流が流れているときの当該ダイオードの順方向電圧Vfを「第2板面側伝熱部11の隣接位置の温度を示す値」として検出すればよい。
[第3実施形態]
次に、図10等を参照して第3実施形態について説明する。
この第3実施形態は、温度検出部13の具体例が第1実施形態と異なるだけであり、それ以外は第1実施形態の構成を全て含んでいる。特に、上述した(1.電子装置の概要)(2.電子装置の電気的構成)(3.温度検出構造)(5.製造方法)で説明した内容については第1実施形態と同一である。また、図1〜図8の内容も第1実施形態と同一である。
次に、図10等を参照して第3実施形態について説明する。
この第3実施形態は、温度検出部13の具体例が第1実施形態と異なるだけであり、それ以外は第1実施形態の構成を全て含んでいる。特に、上述した(1.電子装置の概要)(2.電子装置の電気的構成)(3.温度検出構造)(5.製造方法)で説明した内容については第1実施形態と同一である。また、図1〜図8の内容も第1実施形態と同一である。
第3実施形態に係る電子装置1でも、第1実施形態と同様、図1のように、基板5における素子部3aに覆われる領域(図1において符号AR1で示される範囲)に、第1板面5aと第2板面5bとの間を貫通した構成で孔部7が形成されている。そして、孔部7内において第1板面5a側から第2板面5b側へと続く構成で、金属材料からなる基板内伝熱部9が配置されている。更に、第2板面5b側には、基板内伝熱部9に接続された構成で、金属材料からなる第2板面側伝熱部11が設けられている。そして、素子部3aの直下領域において第2板面側伝熱部11に隣接した位置には温度検出部13が配置されている。なお、この第3実施形態の例では、温度検出部13は、例えば第2板面側伝熱部11から少し離れた近接位置に配置されている。
図10のように、温度検出部13は、基板5に構成された所定回路(図10の例では負荷駆動回路)の一部をなすダイオードとして構成されている。この図10の例では、図5に示す出力処理回路87として、駆動回路201及びドライバ203が設けられており、パワーデバイス88として、MOSFET205が設けられている。そして、駆動回路201及びドライバ203によってMOSFET205に与える信号(例えばPWM信号)を生成し、出力するようになっている。この例では、MOSFET205のソース側にモータ、ソレノイド等の誘導性負荷210が設けられており、MOSFET205がオン状態のときに誘導性負荷210に駆動電流が流れるようになっている。更に、MOSFET205に逆並列にダイオード(温度検出部13)が接続されており、例えば、MOSFET205がオフした直後にダイオード(温度検出部13)に電流が流れるようになっている。。この構成では、例えば、ダイオード(温度検出部13)に電流が流れているときにダイオード(温度検出部13)の順方向電圧Vfの値を図示しない電圧検出部によって検出するようになっており、このときに得られるダイオード(温度検出部13)の順方向電圧Vfを、「第2板面側伝熱部11の隣接位置の温度を示す値」としてA/D変換回路83に出力するようになっている。なお、順方向電圧Vfを反映した値として、位置A3の電圧値を検出するようにしてもよい。いずれにしても、検出される電圧値は、「第2板面側伝熱部11の隣接位置の温度を示す値」として第1実施形態と同様に用いればよい。
本構成でも、第1実施形態と同様の効果が得られる。また、他回路で用いられるダイオードを、第2板面側伝熱部11に隣接した位置の温度(素子部内部の温度が反映された温度)の検出に用いることができるため、部品点数の削減、装置構成の簡素化を図りやすくなる。なお、ここでは、第2板面側伝熱部11から少し離れた近接位置に配置される温度検出部13として図10に示すダイオードを用いた例を示しているが、ダイオードを用いた他の公知回路のダイオードを温度検出部13として用いてもよく、この場合でも、ダイオードに電流が流れているときの当該ダイオードの順方向電圧Vfを「第2板面側伝熱部11の隣接位置の温度を示す値」として検出すればよい。
[第4実施形態]
次に、第4実施形態について説明する。
第4実施形態の製造方法で製造される電子装置は、第1実施形態の電子装置1から温度検出部13を省略した点のみが第1実施形態の電子装置1と異なり、それ以外はこの電子装置1と同一である。また、第4実施形態の製造方法は、検査工程の一部(S4の温度検査工程)のみが第1実施形態の製造方法と異なり、それ以外は第1実施形態の製造方法と同一である。なお、検査工程の大きな流れは、図7と同様である。
次に、第4実施形態について説明する。
第4実施形態の製造方法で製造される電子装置は、第1実施形態の電子装置1から温度検出部13を省略した点のみが第1実施形態の電子装置1と異なり、それ以外はこの電子装置1と同一である。また、第4実施形態の製造方法は、検査工程の一部(S4の温度検査工程)のみが第1実施形態の製造方法と異なり、それ以外は第1実施形態の製造方法と同一である。なお、検査工程の大きな流れは、図7と同様である。
第4実施形態の製造方法でも、図6(A)と同様、実装基板15(具体的には、図3、図6(A)の実装基板15から温度検出部13を省略したもの)のコネクタ19を検査装置90に設けられた図示しないコネクタに接続し、例えば、検査装置90から電源回路81に対してバッテリ電圧と同等の電圧を与えて電源投入する(S2)。そして、実装基板15に対する各種検査を開始する(S3)。このS3で開始する各検査は第1実施形態と同様である。そして、S3での検査開始後、順次行われる各検査と並行して、第2板面側伝熱部11に隣接した位置の温度を検出し、この温度を評価する温度検査を行う(S4)。この例では、図11のように、基板5の外部に設けられた検査装置90(外部装置)の検査端子401(フィクスチャ)を第2板面側伝熱部11に接触させた状態で検査装置90によって検査端子401の温度(即ち、第2板面側伝熱部11に接触した位置の温度)を検出する。なお、検査装置90が温度を確認するタイミングは第1実施形態と同様、例えば、電源投入時点T1から一定時間経過した時点T4と定められている。検査装置90は、S2での電源投入後、マイコン85を動作させることで素子部3aに形成された半導体チップ23の動作を開始させた後に、時間T4になった時点で、検査端子401の温度を検出する。
その後、検査装置90は、検査端子401で計測された温度計測値が予め設定された許容範囲内に収まっているか否かを判定する(S5)。検査端子401で計測された温度計測値が予め設定された許容範囲内に収まっていれば、OKと判定し、収まっていなければNGと判定する。なお、この例でも、NGと判定された実装基板15は、例えば不良品として除外してもよく、図7に示す検査工程を再度実施する再検査を行うようにしてもよい。
[他の実施形態]
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
上記実施形態では、電子装置1がエンジンECUとして構成される例を示したが、ボディ制御ECUや、ブレーキ制御ECU,エアバック制御ECUなど、他の車載用電子装置として構成されていてもよい。
上記実施形態では、電子部品3がQFP(Quad Flat Package)構造の半導体パッケージとして構成される例を示したが、BGA(Ball grid array)、PLCC(Plastic leaded chip carrier)、SOP(Small Outline Package)、SOJ(Small Outline J-leaded)などの、他の表面実装構造の半導体部品であってもよい。
上記実施形態では、電子部品3として、マイコンを例示したが、半導体チップを備えた半導体部品であればよく、マイコン以外の他のIC(例えば、図3に示すドライバIC16等)などであってもよく、FETやIGBTなどの半導体素子(例えば、図3に示すFET17等)などであってもよい。
上記実施形態では、素子部3aの直下領域に孔部7が1つのみ形成され、基板内伝熱部9も1つのみ設けられた構成を例示したが、素子部3aの直下領域に孔部が2以上形成されていてもよい。この場合、各孔部内に基板内伝熱部を配置すればよい。また、この場合、それらすべての基板内伝熱部に連結するように第2板面側伝熱部を設けてもよく、各基板内伝熱部に別々に第2板面側伝熱部を連結させてもよい。
上記実施形態では、基板5を構成する樹脂層5cの材質を例示したが、これに限定されるものではなく、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、セラミック、ガラス(例えばガラス布)と樹脂との複合体等の様々な公知材料を採用することができる。
上記実施形態では、基板5の導電層の材質として銅を例示したが、導電層は、例えば、銀、金などの他の金属材料によって構成してもよい。
上記実施形態では、基板内伝熱部9や第2板面側伝熱部11の材質として銅を例示したが、これらの材質は銅に限られず、銀、金などの他の金属材料によって構成してもよい。
1…電子装置
3…電子部品
3a…素子部
5…基板
7…孔部
9…基板内伝熱部
11…第2板面側伝熱部
13…温度検出部
23…半導体チップ
27…リードフレーム(接続部)
3…電子部品
3a…素子部
5…基板
7…孔部
9…基板内伝熱部
11…第2板面側伝熱部
13…温度検出部
23…半導体チップ
27…リードフレーム(接続部)
Claims (8)
- 第1板面(5a)と、前記第1板面(5a)の裏面側の第2板面(5b)とがそれぞれ配置されてなる基板(5)と、
半導体チップ(23)を有する素子部(3a)と、前記素子部(3a)と前記基板(5)とを接続する接続部(27)とを備え、前記基板(5)の前記第1板面(5a)側に実装される電子部品(3)と、
前記基板(5)における前記素子部(3a)に覆われる領域に、前記第1板面(5a)と前記第2板面(5b)との間を貫通した構成で形成される孔部(7)と、
前記孔部(7)内において前記第1板面(5a)側から前記第2板面(5b)側へと続く構成で配置された金属材料からなる基板内伝熱部(9)と、
前記基板内伝熱部(9)に接続された金属材料からなり、前記第2板面(5b)側に配置される第2板面側伝熱部(11)と、
前記第2板面側伝熱部(11)に隣接した位置に配置された温度検出部(13)と、
を有することを特徴とする電子装置(1)。 - 前記温度検出部(13)は、前記第2板面側伝熱部(11)に接触した構成で配置されることを特徴とする請求項1に記載の電子装置(1)。
- 前記温度検出部(13)は、前記素子部(3a)の直下領域に配置されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子装置(1)。
- 前記温度検出部(13)は、前記基板(5)に構成された所定回路の一部をなすダイオードによって構成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の電子装置(1)。
- 前記第2板面側伝熱部(11)は、グランドとして構成されており、前記温度検出部(13)は前記第2板面側伝熱部(11)に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の電子装置(1)。
- 第1板面(5a)と、前記第1板面(5a)の裏面側の第2板面(5b)とがそれぞれ配置されてなる基板(5)と、半導体チップ(23)を有する素子部(3a)及び前記素子部(3a)と前記基板(5)とを接続する接続部(27)を備えると共に前記基板(5)の前記第1板面(5a)側に実装される電子部品(3)と、を有する電子装置(1)を製造する製造方法であって、
前記基板(5)における前記素子部(3a)に覆われる領域に、前記第1板面(5a)と前記第2板面(5b)との間を貫通した構成で孔部(7)を形成し、前記孔部(7)内において前記第1板面側から前記第2板面側へと続く構成で、金属材料からなる基板内伝熱部(9)を配置し、前記第2板面(5b)側において前記基板内伝熱部(9)に接続される位置に、金属材料からなる第2板面側伝熱部(11)を配置する工程と、
前記素子部(3a)に形成された前記半導体チップ(23)の動作を開始させた後に、前記第2板面側伝熱部(11)に隣接した位置の温度を検出する工程と、
を含むことを特徴とする電子装置の製造方法。 - 更に、前記基板(5)の前記第2板面(5b)側において前記第2板面側伝熱部(11)に隣接した位置に温度検出部(13)を形成し、且つ前記基板(5)の外部と通信を行う通信部(86)を形成する工程を含み、
前記第2板面側伝熱部(11)に隣接した位置の温度を検出する工程では、前記素子部(3a)に形成された前記半導体チップ(23)の動作を開始させた後に、前記温度検出部(13)によって前記第2板面側伝熱部(11)に隣接した位置の温度を検出し、且つ温度検出結果を、前記通信部(86)によって外部に出力することを特徴とする請求項6に記載の電子装置の製造方法。 - 前記第2板面側伝熱部(11)に隣接した位置の温度を検出する工程では、前記素子部(3a)に形成された前記半導体チップ(23)の動作を開始させた後に、前記基板(5)の外部に設けられた外部装置(90)の検査端子(401)を前記第2板面側伝熱部(11)に接触させた状態で前記外部装置(90)によって前記検査端子(401)の温度を検出することを特徴とする請求項6に記載の電子装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014051364A JP2015175687A (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 電子装置及び電子装置の製造方法 |
DE102015204391.6A DE102015204391A1 (de) | 2014-03-14 | 2015-03-11 | Elektronische vorrichtung und verfahren zum herstellen derselben |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014051364A JP2015175687A (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 電子装置及び電子装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015175687A true JP2015175687A (ja) | 2015-10-05 |
Family
ID=54010394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014051364A Pending JP2015175687A (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 電子装置及び電子装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015175687A (ja) |
DE (1) | DE102015204391A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016207334A1 (de) * | 2016-04-29 | 2017-11-02 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Messvorrichtung zur Bestimmung einer Temperatur sowie Batterievorrichtung |
CN108981962A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-11 | 上海炜绫测试技术有限公司 | 一种pcb孔链温度测试方法和装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0697245A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-08 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPH1183630A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-26 | Sato Keiryoki Seisakusho:Kk | 接触型温度計 |
JP2000188171A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Fuji Electric Co Ltd | 電子回路部品の温度制御装置 |
JP2006133028A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品温度検出装置及び電子部品温度測定システム |
JP2013207549A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電デバイス |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001185829A (ja) | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Sony Corp | プリント配線基板 |
-
2014
- 2014-03-14 JP JP2014051364A patent/JP2015175687A/ja active Pending
-
2015
- 2015-03-11 DE DE102015204391.6A patent/DE102015204391A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0697245A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-08 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPH1183630A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-26 | Sato Keiryoki Seisakusho:Kk | 接触型温度計 |
JP2000188171A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Fuji Electric Co Ltd | 電子回路部品の温度制御装置 |
JP2006133028A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品温度検出装置及び電子部品温度測定システム |
JP2013207549A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電デバイス |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016207334A1 (de) * | 2016-04-29 | 2017-11-02 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Messvorrichtung zur Bestimmung einer Temperatur sowie Batterievorrichtung |
CN108981962A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-11 | 上海炜绫测试技术有限公司 | 一种pcb孔链温度测试方法和装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102015204391A1 (de) | 2015-09-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9967966B2 (en) | Device and method for determining the temperature of a heat sink | |
US9601274B2 (en) | Capacitor module with temperature sensor | |
JP5736226B2 (ja) | パワー半導体の温度を決定するための方法 | |
CN108450018B (zh) | 用于探测包括半导体构件的功率电子设备的老化的方法和设备以及功率电子系统 | |
US11268864B2 (en) | Sensor unit for detecting a spatial temperature profile and method for producing a sensor unit | |
US9502378B1 (en) | Printed circuit boards having blind vias, method of testing electric current flowing through blind via thereof and method of manufacturing semiconductor packages including the same | |
KR102162186B1 (ko) | 전력 반도체 모듈 | |
JP2015175687A (ja) | 電子装置及び電子装置の製造方法 | |
JP5578355B2 (ja) | 多層回路基板を含む基板装置および多層回路基板の異常判定方法 | |
JP3128792U (ja) | ガスセンサのパッケージ構造 | |
JP2010133737A (ja) | 電流センサ装置、及び電流センサ自己診断装置 | |
JP5420461B2 (ja) | 温度センサ接合部検査装置、及び、温度センサ接合部検査方法 | |
JP4736997B2 (ja) | 半導体装置 | |
CN102748184B (zh) | 发动机起动装置 | |
CN110398295A (zh) | 具有温度检测装置的连接组件 | |
JP2007227727A (ja) | モジュールパッケージおよび内蔵する半導体の温度検査方法 | |
JP4872468B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2015005566A (ja) | 半導体素子及び半導体素子の温度検出装置及び半導体素子の製造方法 | |
JP2004325363A (ja) | 実装済みプリント基板の検査方法およびプリント基板 | |
JP6652337B2 (ja) | 半導体装置の実装状態の検査方法および実装基板に実装された半導体装置 | |
JP2009528539A (ja) | 熱電対を有する回路の蓋部 | |
JP2006332612A5 (ja) | ||
JP2000060105A (ja) | モジュール内温度検出装置 | |
JP2009141082A (ja) | 半導体装置 | |
JP2017228575A (ja) | 半導体モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160420 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170223 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170822 |