JP2015167229A - 放射線検出器 - Google Patents
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Abstract
が抑制された放射線検出器を提供する。
【解決手段】アモルファスセレン層1とアクティブマトリックス基板4の電気配線とがショートすることを防ぐように、電気配線Sは、アモルファスセレン層1における層厚が肉厚の中央部に覆われる位置に設けられている。電気配線は、電極層3と確実に隔離され、長期間の使用に耐える。
【選択図】図8
Description
実施例1
実施例1に係るX線検出器10は、図1に示すように、キャリアの移動によって誘起される電荷を蓄積して読み出すアクティブマトリックス基板4と、X線をキャリア対に変換するアモルファスセレン層1と、第2高抵抗膜2と、共通電極3と、常温硬化型エポキシ樹脂が硬化して構成されるエポキシ樹脂層5と、ガラスで構成される補助板6とを有している。また、X線検出器10は、アクティブマトリックス基板4,第1高抵抗膜7,アモルファスセレン層1,第2高抵抗膜2,共通電極3,エポキシ樹脂層5,および補助板6の順に積層された構成となっている。X線検出器は、本発明の放射線検出器に相当する。
S 幹ライン配線(電気配線)
1 アモルファスセレン層(半導体層)
1a 端部
1b 中央部
2 第2高抵抗膜(抵抗膜)
3 共通電極(電極層)
4 アクティブマトリックス基板(マトリックス基板)
5 エポキシ樹脂層(絶縁層)
6 補助板
Claims (6)
- 2次元的に配列され検出素子の各々から信号を読み出すマトリックス基板と、
放射線の入射によりキャリアを生成する半導体層と、
キャリアを選択的に通過させる抵抗膜と、
電圧が印加される電極層とがこの順に積層され、
前記半導体層は、前記電極層下の層厚を有する中央部と、前記中央部に対して肉薄となっているテーパ状の端部とを有し、
前記抵抗膜は、前記半導体層の前記中央部と前記端部とを覆うように配置され、
前記マトリックス基板は立体交差している複数の電気配線を有し、
前記マトリックス基板を前記半導体層側から見たときに前記電気配線が重なっている交差部は、前記半導体層における前記端部に覆われる位置を避けて前記中央部に覆われる位置に設けられていることを特徴とする放射線検出器。 - 請求項1に記載の放射線検出器において、
前記電気配線は、検出素子が有するコンデンサのグランド電極に電気的に接続されているバスライン配線を束ねて基準電位を供給する幹ライン配線であることを特徴とする放射線検出器。 - 2次元的に配列され検出素子の各々から信号を読み出すマトリックス基板と、
放射線の入射によりキャリアを生成する半導体層と、
キャリアを選択的に通過させる抵抗膜と、
電圧が印加される電極層とがこの順に積層され、
前記半導体層は、前記電極層下の層厚を有する中央部と、前記中央部に対して肉薄となっているテーパ状の端部とを有し、
前記抵抗膜は、前記半導体層の前記中央部と前記端部とを覆うように配置され、
前記マトリックス基板は立体交差している複数の電気配線を有し、
前記マトリックス基板の端部には、前記抵抗膜および前記半導体層に覆われない露出領域が設けられており、
前記マトリックス基板を前記半導体層側から見たときに前記電気配線が重なっている交差部は、前記抵抗膜および前記半導体層に覆われる位置を避けて前記マトリックス基板の露出領域に設けられていることを特徴とする放射線検出器。 - 請求項3に記載の放射線検出器において、
前記電気配線は、検出素子が有するコンデンサのグランド電極に電気的に接続されているバスライン配線を束ねて基準電位を供給する幹ライン配線であることを特徴とする放射線検出器。 - 請求項3または請求項4に記載の放射線検出器において、
前記電極層と前記マトリックス基板の露出領域とを覆う絶縁層を備え、
前記電気配線の交差部は、前記絶縁層に覆われる位置に設けられていることを特徴とする放射線検出器。 - 請求項3または請求項4に記載の放射線検出器において、
前記電極層と前記マトリックス基板の露出領域とを覆う絶縁層を備え、
前記絶縁層を覆う補助板と、
前記マトリックス基板の周縁部の形状に倣って筒状となっており、前記補助板と前記マトリックス基板の周縁部において両板を架橋するように設けられているスペーサとを備え、
前記電気配線の交差部は、スペーサに覆われる位置に設けられていることを特徴とする放射線検出器。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2015
- 2015-02-26 JP JP2015036145A patent/JP6052313B2/ja active Active
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