JP5456211B2 - 放射線検出素子、放射線画像検出パネル、及び放射線画像検出装置 - Google Patents
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Description
なお、本例示的実施形態において、画素20とは、図1、及び図2に示されるように、後述するデータ配線3により形成される略六角形の領域を指す。また、画素20は、ハニカム状に配置されていれば良く、画素20の形状は、略六角形に限定されない。
図1において点線で示されるように、下部電極11は、画素20の形状にあわせて、六角形、正六角形、又は角を取った略六角形の形状に形成される。しかしながら、下部電極11は、画素20と同様に、ハニカム状に配置されていれば良く、下部電極11の形状は、上記形状に限定されない。
また、下部電極11とデータ配線3とは、断面方向(即ち、基板1を底部に各層が積層された積層方向)において、重ならないように配置されてもよい。このような配置とすることで、下部電極11とデータ配線3との間の付加容量を低減し、データ配線3に流れる信号のS/Nを上げる事が出来る。
また、図6に示されるように、下部電極11と共通グランド配線30とは、断面方向(即ち、基板1を底に各層が積層された積層方向)において、重なるように配置されてもよい。このような配置とした場合においても、共通グランド配線30には、データ配線3とは異なり画像データを構成する信号が流れないことから、画像のS/Nへ影響を与える事は少ない。その一方で、上記配置とした場合、下部電極11を広げることができることから、対向電極7と下部電極11の間で電界を発生させ、光電変換層6で発生した電荷を収集する際に、光電変換層6で発生した電荷を効率的に下部電極11に送る事が出来る。
また、図6に示されるように、下部電極11と電荷蓄積容量5(特に、蓄積容量上部電極14と下部電極16)とは、断面方向において、重なるように配置されてもよい。このような配置とした場合においても、下部電極11を広げることができることから、上部電極7と下部電極11の間で電界を発生させ、光電変換層6で発生した電荷を収集する際に、光電変換層6で発生した電荷を効率的に下部電極11に送る事が出来る。
Claims (16)
- 放射線の照射を受けて電荷を発生する半導体膜を有し、互いに隣接しながら2次元状に配列された複数の六角形の画素からなるセンサ部と、
前記画素各々に設けられるとともに、前記電荷を収集する画素電極、該画素電極で収集された電荷を蓄積する蓄積容量、及び該蓄積容量に蓄積された電荷を読み出すためのスイッチ素子を有する検出部と、
互いに並列に配置され、前記スイッチ素子のスイッチング制御を行う信号を伝送する複数のスキャン配線と、
前記スキャン配線と交差するとともに前記六角形の画素周縁の一部に沿って屈曲して配され、前記スイッチ素子によって読み出された前記電荷に対応する電気信号を伝送する複数のデータ配線と、
前記蓄積容量の一方の電極同士を相互に接続して所定電位に固定する複数の共通配線と、を備え、
前記スイッチ素子は、前記複数のスキャン配線の延設方向と交差する方向に前記画素を2分する線分と、該画素の周縁のうち前記データ配線が連設された3辺とで囲まれた第1の領域内に配置されるとともに、該3辺に連設されたデータ配線に接続され、前記共通配線が前記複数のデータ配線の間を該複数のデータ配線と交差することなく配置され、
前記複数の共通配線は、前記複数のスキャン配線と交差する方向に直線状に形成され、
前記画素の領域の内の前記第1の領域以外の残りの第2の領域で、前記共通配線と前記蓄積容量の一方の電極とが接続される
放射線検出素子。 - 前記共通配線は、前記複数のデータ配線の間に延設される
請求項1に記載の放射線検出素子。 - 前記複数の共通配線は、前記蓄積容量及び前記スイッチ素子を介して前記複数のデータ配線に接続される
請求項1又は2に記載の放射線検出素子。 - 前記蓄積容量及び前記スイッチ素子は、前記複数のスキャン配線により区切られる画素列ごとに前記データ配線の一方側又は他方側に交互に位置する
請求項3に記載の放射線検出素子。 - 前記複数の共通配線は、前記画素電極よりも下層側に配されている
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の放射線検出素子。 - 前記複数のスキャン配線、前記複数のデータ配線、前記複数の共通配線、及び前記スイッチ素子は、前記センサ部の下層側に配されている
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の放射線検出素子。 - 前記複数のデータ配線は、前記複数のスキャン配線が形成された金属層と絶縁膜を介して異なる金属層により形成される
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の放射線検出素子。 - 前記スイッチ素子のゲート電極は前記スキャン配線に接続され、ドレイン電極及びソース電極の一方が前記蓄積容量の一方の電極に接続され、ドレイン電極及びソース電極の他方が前記データ配線に接続される
請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の放射線検出素子。 - 前記画素電極は、前記データ配線と、断面方向において重ならずに配置されている、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 前記画素電極は、前記共通配線と、断面方向において重なって配置されている、請求項9に記載の放射線検出素子。
- 前記画素電極は、前記蓄積容量と、断面方向において重なって配置されている、請求項9に記載の放射線検出素子。
- 前記画素電極の形状は、前記六角形の画素の形状と略相似であり、前記画素の面積よりも小さい面積を有する角を取った略六角形の形状である、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 前記画素電極の形状は、前記画素の面積より小さい面積を有する円形である、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の放射線検出素子と、
前記複数のスキャン配線に、前記スイッチング素子のスイッチング制御を行う信号を出力する、スキャン信号制御部と、
前記複数のデータ配線を介して伝送された前記電気信号を検出し、検出された前記電気信号に所定の処理を施し、デジタル画像データを生成する、信号処理部と、
を備える、放射線画像検出装置であって、
前記信号処理部は、前記複数の六角形からなる画素から得られる画像データを、複数の略正方形の画素が正方格子配列された画像を表わす画像データに変換し、前記デジタル画像データを生成する
放射線画像検出装置。 - 放射線の照射を受けて電荷を発生する半導体膜を有し、互いに隣接して2次元状に配列された複数の六角形の画素からなるセンサ部を備え、複数のデータ配線が前記六角形の画素の周縁に沿って屈曲して配され、蓄積容量に蓄積された電荷を読み出すためのスイッチ素子が、複数のスキャン配線の延設方向と交差する方向に前記画素を2分する線分と、該画素の周縁のうち前記データ配線が連設された3辺とで囲まれた第1の領領域内に配置されるとともに、該3辺に連設されたデータ配線に接続され、前記蓄積容量の一方の電極を所定電位に固定するための共通配線が前記複数のデータ配線の間を該複数のデータ配線と交差することなく延設された放射線検出素子を配し、
前記複数の共通配線は、前記複数のスキャン配線と交差する方向に直線状に形成され、
前記画素の領域の内の前記第1の領域以外の残りの第2の領域で、前記共通配線と前記蓄積容量の一方の電極とが接続される
放射線画像検出パネル。 - 放射線の照射を受けて電荷を発生する半導体膜を有し、互いに隣接して2次元状に配列された複数の六角形の画素からなるセンサ部を備え、複数のデータ配線が前記六角形の画素の周縁に沿って屈曲して配され、蓄積容量に蓄積された電荷を読み出すためのスイッチ素子が、複数のスキャン配線の延設方向と交差する方向に前記画素を2分する線分と、該画素の周縁のうち前記データ配線が連設された3辺とで囲まれた第1の領領域内に配置されるとともに、該3辺に連設されたデータ配線に接続され、前記蓄積容量の一方の電極を所定電位に固定するための共通配線が前記複数のデータ配線の間を該複数のデータ配線と交差することなく延設された放射線検出素子を配した放射線画像検出パネルにより放射線画像を撮像し、
前記複数の共通配線は、前記複数のスキャン配線と交差する方向に直線状に形成され、
前記画素の領域の内の前記第1の領域以外の残りの第2の領域で、前記共通配線と前記蓄積容量の一方の電極とが接続される
放射線画像検出装置。
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