JP2015161595A - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1および第2光学式スケール201,2-2と、光源11と、主軸方向に順にセンサピッチで配列された4相の主センサ部を繰り返した第1受光センサ15-1と、4相の副センサ部を繰り返した第2受光センサ15-2と、検出信号を演算処理する信号処理部とを有し、第2光学式スケールのパターン15-2は、所定位置において濃い部分または淡い部分の幅が他の部分と異なり、信号処理部は、第1から第4の主センサ部の出力をデジタル信号に変換し、主位置データを出力する主位置データ生成部43と、第1から第4の副センサ部の出力をデジタル信号に変換し、副位置データを出力する副位置データ生成部44と、主位置データと副位置データの差データから原点を検出する原点判定部52と、を有する光学式エンコーダ。
【選択図】図13
Description
まず、何らかの外因によりミスカウントが発生した場合を考える。この場合、原点が存在しない、すなわち測定の基準点が存在しないため、ミスカウントを検出することが、機構上行えないことになる。そのため、ミスカウントが発生した以降の測定値すべてが誤った値となる危険性がある。
これに対して、原点を有する場合、原点を基準にすることでミスカウントを検出できるため、誤った値をその都度訂正することが可能になる。
以上のことは、実際の機械加工時の測定に光学式エンコーダを使用する場合に、非常に重要である。
原点検出に用いる信号の振幅変化の勾配が小さいため、閾値との比較による原点検出を高精度で行うことが難しかった。また、光源の光量変動の影響を受け、原点位置をずれて検出する可能性があった。
さらに、4つのセンサ部の出力を合計したZ相信号を生成し、A相信号との組み合わせで原点信号を生成しており、往復の相対移動に伴ってずれが発生する。
これにより、簡単な構成で、検出信号の振幅の増加および分解能の向上が図れる。
実施形態の反射式のリニア光学式エンコーダは、2つの反射パターン2−1および2−2が形成されたスケール基板1と、光源11、格子12が形成された光透過部材13、および2個の受光素子14−1および14−2が形成され、透明な樹脂材16で被覆されたセンサ基板10と、を有する。一軸方向に相対的に移動する2つの部材の一方にスケール基板1を、他方にセンサ基板10を固定し、2つの部材の相対的な移動距離を測定する。ここでは、移動方向を主軸方向と称する。
光源11、反射パターン2−1および受光素子14−1が第1光学系を、光源11、反射パターン2−2および受光素子14−2が第2光学系を、それぞれ形成する。
図3に示すように、光源11からの光は、格子12を通過し、図において左側方向の光は、反射パターン2−1で反射され、受光部15−1に投影され、右側方向の光は、反射パターン2−2で反射され、受光部15−2に投影される。
図4に示すように、反射パターン2は、スケールピッチp2(=20μm)の反射パターンであり、デューティは50%であるため、反射部分2Rの幅はp2/2(=10μm)である。実施形態では、反射部分2Rが幅p2(=20μm)のパターンとして受光部15に投影される。したがって、受光部15に投影されるパターンのピッチは2p2(=40μm)である。
図5に示すように、受光部15では、4つのセンサ部PS1〜PS4がピッチp2/2(=10μm)で配列されている。この上に、投影される濃淡パターンは、ピッチ2p2(=40μm)の濃淡パターンであり、デューティは50%であるため、濃い部分4Aおよび淡い部分4Bの幅はp2(=20μm)である。
演算回路は、検出信号+A、−A、+B、−Bをそれぞれ増幅する増幅回路31〜34と、増幅回路31と32の出力の差を演算してA相信号PHASEAを出力する第1差演算回路35と、増幅回路33と34の出力の差を演算してB相信号PHASEBを出力する第2差演算回路36と、を有する。
以下に説明する実施形態の反射式のリニア光学式エンコーダは、反射パターン2−2および演算回路が、これまでと異なる。
前述のように、反射パターン2−1は、主軸方向にスケールピッチp2=20μmで形成された反射パターンであり、反射部分Rと透過部分Tは同じ10μmの幅である。
なお、実施形態の反射式のリニア光学式エンコーダでは、一般的な反射式のリニア光学式エンコーダと同様に、反射パターン2−1の反射パターンを受光する受光部15−1の信号を演算する演算回路が、反射パターン2−1のスケールピッチの周期より高分解能で移動位置を演算するが、これについては広く知られているので説明を省略する。実施形態の反射式のリニア光学式エンコーダは、上記の位置演算機能に、これまでと異なる原点検出機能を付加したものであり、原点検出に関係する演算処理についてのみ説明する。
和演算回路50および定数倍化回路51は、頻繁な判定値変動を防止するため、絶対値回路49の出力する差絶対値にヒステリシス特性を持たせる処理を行う。具体的には、定数倍化回路51は、コンパレータ52の出力する2値データ(ゼロまたは1)に係数(分解能の10倍程度)を乗じて出力し、和演算回路50は、絶対値回路49の出力する差絶対値に定数倍化回路51の出力を加算し、判定結果を正帰還する。ヒステリシスの範囲は、定数倍化回路51の係数により決定される。スケールの移動方向によりヒステリシス分異なる位置で原点信号が発生するが、前述のように、受光部15−1の信号を演算する演算回路により、反射パターン2−1のスケールピッチの周期より高分解能で移動位置を演算しており、位置差が1スケールピッチ内であれば問題はない。
ステップS11では、ループ数パラメータNおよび原点信号(原点に対して一方の場合がゼロ、他方の場合が1になる)Sをゼロに初期化する。
ステップS13では、count1とcount2の差Δを演算する。
ステップS14では、差Δを絶対値化する。
ステップS16では、絶対値化したΔにXを加算し、新たなΔを演算する。
ステップS17では、新たなΔが閾値より大きいかを判定し、大きくなければステップS18に進み、大きければステップS19に進む。
ステップS19では、S=1とする。したがって、ヒステリシス分があるが、Δが大きければS=1になり、小さければS=0になる。
ステップS20では、パラメータNがゼロでないか判定し、ゼロであればステップS21に進み、ゼロでなければ(1であれば)ステップS23に進む。
ステップS22では、変数Y=Sにする。
ステップS23では、N=0にする。
ステップS24では、SとYの排他的論理和を演算し、演算結果を新たなSとする。
さらに、演算処理手順は一例であり、位置ずれの変化を検出できれば、どのような処理手順を用いてもよい。
2−1、2−2 反射パターン
5 所定位置
10 センサ基板
11 光源
14−1、14−2 受光素子
15−1、15−2 受光部
35 第1差演算回路
36 第2差演算回路
41 第1リーディングヘッド
42 第2リーディングヘッド
43 第1インターポレータ
44 第2インターポレータ
45 第1カウンタ
46 第2カウンタ
48 差演算回路
50 和演算回路
52 コンパレータ
Claims (3)
- 主軸方向に変化する第1濃淡パターンを有する第1光学式スケールと、前記第1光学式スケールの第1照明光を出力する第1光源と、前記第1照明光で前記第1光学式スケールを照明することにより生成された前記第1濃淡パターンの像を検出するように配置された第1受光センサと、を備え、前記第1受光センサは、前記主軸方向に順にセンサピッチで配列された第1から第4の主センサ部からなる第1センサ組を、前記主軸方向に所定組数繰り返し配列した第1センサ配列を有する第1光学系と、
前記主軸方向に変化する第2濃淡パターンを有する第2光学式スケールと、前記第2光学式スケールの第2照明光を出力する第2光源と、前記第2照明光で前記第2光学式スケールを照明することにより生成された前記第2濃淡パターンの像を検出するように配置された第2受光センサと、を備え、前記第2受光センサは、前記主軸方向に順に前記センサピッチで配列された第1から第4の副センサ部からなる第2センサ組を、前記主軸方向に所定組数繰り返し配列した第2センサ配列を有する第2光学系と、
前記第1光学系の前記第1受光センサの検出信号および前記第2光学系の前記第2受光センサの検出信号を演算処理する信号処理部と、を備え、
前記第1光学式スケールおよび前記第2光学式スケールは、前記第1光源、前記第1受光センサ、前記第2光源および前記第2受光センサに対して相対移動し、
前記第1光学式スケールの前記第1濃淡パターンは、濃い部分と淡い部分の幅が同じで、スケールピッチで濃淡を繰り返し、
前記第2光学式スケールの前記第2濃淡パターンは、濃い部分と淡い部分の幅が同じで、前記スケールピッチで濃淡を繰り返し、所定位置において、濃い部分または淡い部分の幅が前記スケールピッチの1/2を超えない範囲で広くなっており、
前記信号処理部は、
前記第1から第4の主センサ部の出力の少なくとも1つをデジタル信号に変換し、主位置データを出力する主位置データ生成部と、
前記第1から第4の副センサ部の出力の少なくとも1つをデジタル信号に変換し、副位置データを出力する副位置データ生成部と、
前記主位置データと前記副位置データの差データを演算する差演算部と、
前記差データの絶対値が所定値以上であるか判定し、判定値の変化から原点を検出する原点判定部と、を備えることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記第1光学式スケールおよび前記第2光学式スケールは、共通のスケール基板上に隣接して、前記第1濃淡パターンおよび前記第2濃淡パターンが平行に、前記所定位置の一方の側では濃い部分と淡い部分の位置が一致し、他方の側では濃い部分と淡い部分がずれているように形成され、
前記第1光源、前記第1受光センサ、前記第2光源および前記第2受光センサは、共通のセンサ基板上に形成され、前記第1光源および前記第2光源は共通光源として形成され、前記第1受光センサおよび前記第2受光センサは、共通光源の両側に、前記第1センサ配列および前記第2センサ配列が平行に、前記第1から第4の主センサ部および前記第1から第4の副主センサ部の位置が一致するように形成され、
前記センサ基板は、前記スケール基板に対して、前記第1濃淡パターンで反射された前記共通光源からの照明光が前記第1受光センサに投影され、前記第2濃淡パターンで反射された前記共通光源からの照明光が前記第2受光センサに投影されるように配置される請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - 前記スケールピッチは、前記センサピッチの2倍であり、
前記センサ基板は、前記スケール基板に対して、前記第1濃淡パターンおよび前記第2濃淡パターンが、前記スケールピッチの4倍の濃淡パターンとして投影されるように配置される請求項2に記載の光学式エンコーダ。
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