JP2011247746A - リニアエンコーダとアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】 Ｚ相信号をより安定させ、確実に原点出しを行うことができ、信頼性が高く、コンパクト、且つ、低コストが容易になるように工夫したリニアエンコーダとそのようなリニアエンコーダを使用したアクチュエータを提供することである。
【解決手段】 原点用スケールパターンの符号系列が狭帯域化のための変調が掛かったパターンであることを特徴とするものであり、例えば、低コスト化容易なＰＥＴフィルム基材を用い、印刷により製作した反射面の平滑性が若干劣るリニアスケールを用いても、狭帯域化変調を施したスケールパターンを用いることにより、本来孤立ビットとなるＺ相原点信号でも、信号振幅を確保することができる。又、差動検出により信号出力の増大やスレショルドレベルの安定化を図ることができる。
【選択図】 図４

Description

本発明は、例えば、精密位置決めシステムに用いられるリニアエンコーダとそのリニアエンコーダを使用したアクチュエータに係り、特に、装置のコンパクト化が容易であって信頼性が高く、低コスト化でき、且つ、Ｚ相信号を安定して検出することができるように工夫したものに関する。

精密位置決め装置において、位置決めフィードバック用のセンサーとしては、リニアエンコーダが高精度であり、且つ、コスト的にも適当であって、優れている。ところが、現在多く用いられているリニアエンコーダは、原点復帰動作が必要なインクリメンタル方式であるが、原点復帰動作の安定性や精度が必ずしも十分ではない。

例えば、外部に原点復帰用のセンサーを設置したり、インクリメンタルスケール側に反射テープを張ったり、或いはインクリメンタルスケールの横に専用の原点出し用のスケールを設置して単純に中心部を境に左は白色の高反射率領域で右は黒色の低反射率領域にしたもの、等がある。

そのようなものの一例を図５に示す。図５に示すものは、原点復帰用のＺ相用リニアスケール１２９をインクリメンタルリニアスケール１２７に並列に設置したものである。
尚、図５では上記インクリメンタルリニアスケール１２７、Ｚ相用リニアスケール１２９を示すと共に、その下にＡ相信号、Ｂ相信号、Ｚ相信号を示しているものである。
そして、インクリメンタルスケール１２７の１周期（図５の黒領域及び白領域）相当の幅（位相３６０°幅）を持ち、インクリメンタルスケール１２７から得られるＡ相信号の立ち上がりで、Ｂ相信号及びＺ相信号が「ハイ（１）」の時に原点であると判断できるものであって優れた原点復帰信号を得る方法である（図５では黒領域が高反射率領域、白領域が低反射領域を示す）。
尚、この種の先行技術を開示するものとして、例えば、特許文献１等がある。特許文献１は本件特許出願人によるものである。

特開２００８−２１５９１１号公報

上記従来の構成によると次のような問題があった。
すなわち、Ｚ相信号が必ずしも安定に検出されず不安定であり、その結果、原点復帰精度がばらついてしまい、エンコーダとしての位置精度が低下するだけでなく、大きく原点位置が跳んでしまった場合にはアクチュエータ（機械）の暴走を招いてしまうという問題があった。
すなわち、図５の最下部に示すように、Ｚ相信号はインクリメンタルスケール１２７のＡ相信号やＢ相信号とは異なり繰返し信号ではなく、よって、差動出力を用いることができないため、信号振幅が小さい。又、出力電圧にオフセットがあるため、Ｚ相信号の黒色領域と白色領域を判別するためのスレショルド電圧の設定も電圧変動等の外乱を受け易く不安定となってしまうからである。
又、リニアスケールを低コストで容易に得るために、その素材をＰＥＴフィルム基材とし、且つ、そこに印刷技術によって所望のスケールパターンを設けることが行われている。ところが、そのような方法によって得られたリニアスケールはその平面度が低下しており、その結果、信号振幅（コントラスト）の低下という問題が生じてしまうとさらにＺ相信号は不安定となる。

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、Ｚ相信号をより安定させ、確実に原点出しを行うことができ、信頼性が高く、コンパクト、且つ、低コストが容易になるように工夫したリニアエンコーダとそのようなリニアエンコーダを使用したアクチュエータを提供することである。

上記目的を達成するべく本願発明の請求項１によるリニアエンコーダは、原点用スケールパターンの符号系列が狭帯域化のための変調が掛かったパターンであることを特徴とするものである。
又、請求項２によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、符号系列の１ビット幅より狭い符号幅を持つことを特徴とするものである。
又、請求項３によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、位相シフトを行っている変調を用いていることを特徴とするものである。
又、請求項４によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、差動あるいは差分検出を用いていることを特徴とするものである。
又、請求項５によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、スケール基材に樹脂フィルムを用いていることを特徴とするものである。
又、請求項６によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、Ｚ相用リニアスケールやインクリメンタルリニアスケールが印刷により製造されていることを特徴とするものである。
又、請求項７によるアクチュエータは、請求項１〜請求項６の何れかに記載のリニアエンコーダを用いたことを特徴とするものである。

以上述べたように、本願発明の請求項１によるリニアエンコーダは、原点用スケールパターンの符号系列が狭帯域化のための変調が掛かったパターンである構成になっているので、例えば、低コスト化容易なＰＥＴフィルム基材を用い、印刷により製作した反射面の平滑性が若干劣るリニアスケールを用いても、狭帯域化変調を施したスケールパターンを用いることにより、本来孤立ビットとなるＺ相原点信号でも、信号振幅を確保することができる。又、差動検出により信号出力の増大やスレショルドレベルの安定化を図ることができる。
又、請求項２によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、符号系列の１ビット幅より狭い符号幅を持つ構成になっているので、符号の連続を効果的に遮断することができ、上記した効果を確実なものとすることができる。
又、請求項３によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、位相シフトを行っている変調を用いている構成になっているので、このような位相シフトによっても所定の変調を施して効果を得ることができるものである。
又、請求項４によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、差動あるいは差分検出を用いている構成になっているので、このような差動あるいは差分検出によっても信号振幅を２倍にでき、スレショルド電圧も安定し、所定の変調を施して効果を得ることができるものである。
又、請求項５によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、スケール基材に樹脂フィルムを用いている構成になっているので、スケール基材に樹脂フィルムを用いている構成になっているので、コスト的にも好都合である。
又、請求項６によるリニアエンコーダは、請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、Ｚ相用リニアスケールやインクリメンタルリニアスケールが印刷により製造されている構成になっているので、この場合にもコスト的に好ましいものである。
又、請求項７によるアクチュエータは、請求項１〜請求項６の何れかに記載のリニアエンコーダを用いた構成になっているので、信号検出の安定性を図りアクチュエータとしての信頼性を向上させることができ、低コスト化も容易である。

本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータの構成を示す平面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、リニアエンコーダの構成を示すブロック図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、スケールパターンの変調を説明するための図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、スケールパターンの変調を説明するための図である。 従来例を示す図で、スケールパターンを示す図である。

以下、図１乃至図４を参照して本発明の一実施の形態を説明する。この実施の形態は本願発明を一軸アクチュエータに適用した例を示すものである。図１は本実施の形態によるアクチュエータの全体の構成を示す平面図であり、まず、ハウジング1がある。このハウジング１にはスライダ３が図１中左右方向（矢印ａ方向）に移動可能な状態で取り付けられている。上記ハウジング１内にはボールねじ５が内装されていると共に駆動モータ７が設置されている。上記ボールねじ５は上記駆動モータ７の出力軸に連結されていて、駆動モータ７によって回転駆動されるように構成されている。
尚、図示したアクチュエータはボールねじ５と駆動モータ７の出力軸が一体化されたものもあるが、そのような構成のアクチュエータに限定されるものではない。

上記ボールねじ５には図示しないボールナットがその回転を規制された状態で螺合・配置されている。既に説明したスライダ３はこのボールナットに固着されている。上記ハウジング１にはガイド９、１１が設置されていて、これらガイド９、１１によって上記スライダ３の図１中左右方向（矢印ａ方向）への移動をガイドする。そして、駆動モータ７を適宜の方向に回転させることによりボールねじ５が同方向に回転し、それによって、ボールナットを介してスライダ３が上記ガイド９、１１によってガイドされながら図１中左右方向（矢印ａ方向）に移動する。

上記ガイド１１側にはリニアスケール部２１が設置されており、一方、上記スライダ３には検出ヘッド部２３が取り付けられている。又、アクチュエータに対して離間した場所にはコントローラ部２５が設置されている。

次に、上記リニアスケール部２１、検出ヘッド部２３、コントローラ部２５の構成について詳しく説明する。図２は図１の中から上記リニアスケール部２１、検出ヘッド部２３、コントローラ部２５を抽出して示す図である。まず、リニアスケール部２１であるが、インクリメンタルリニアスケール２７とＺ相用リニアスケール２９とから構成されている。上記インクリメンタルリニアスケール２７は、例えば、ＰＥＴフィルムの上にアルミ蒸着層を転写・印刷し、さらに、その上に黒色転写印刷を施すことにより製作されたものである。又、上記インクリメンタルスケール２７は、４０μｍの黒印刷（低反射率領域）２７ｂと４０μｍのアルミ蒸着層（高反射率領域）２７ａの繰返しパターンから構成されている。

一方、上記Ｚ相用リニアスケール２９は、Ｚ相原点信号以外の大部分は、上記インクリメンタルリニアスケール２７のスケールパターンに対して２０μｍ（９０°位相遅れ）ずれた「黒／白（高反射率領域２９ａ、低反射率領域２９ｂ）」のスケールパターンとなっている。
但し、Ｚ相原点信号部分は異なったスケールパターンとなっている。これについては後で詳述する。
又、上記Ｚ相用リニアスケール２９も、例えば、ＰＥＴフィルムの上にアルミ蒸着層を転写・印刷し、さらに、その上に黒色転写印刷を施すことにより製作されたものである。そして、上記インクリメンタルリニアスケール２７とＺ相用リニアスケール２９は同一のＰＥＴテープ上に印刷を施した構成になっているので、相互の位相関係が正確であると共に長ストローク化も容易である。

次に、上記検出ヘッド部２３であるが、まず、Ａ相用検出ヘッド３１、Ｂ相用検出ヘッド３３、Ｚ相用検出ヘッド３５を備えている。又、上記Ａ相用検出ヘッド３１、Ｂ相用検出ヘッド３３、Ｚ相用検出ヘッド３５からの信号を入力して処理を行う分割器３７、原点抽出・パルス発生器３９、ラインドライバ４１が設置されている。上記Ａ相用検出ヘッド３１、Ｂ相用検出ヘッド３３、Ｚ相用検出ヘッド３５はフォトダイオードを内蔵した構成をなすものであり、その内上記Ａ相用検出ヘッド３１、Ｂ相用検出ヘッド３３はインクリメンタルスケール２７の読取用のものであり、一方、上記Ｚ相用検出ヘッド３５はＺ相用リニアスケール２９の読取用のものである。

上記Ａ相用検出ヘッド３１、Ｂ相用検出ヘッド３３、Ｚ相用検出ヘッド３５は、共に位相差１８０°を持つ２つの検出器の差動出力を検出する構成をなしている。
因みに、本実施の形態においては、白領域（低反射率領域２７ｂ、２９ｂ）４０μｍ、黒領域（高反射率領域２７ａ、２９ａ）４０ｕｍ、合計８０μｍを位相３６０°としている。

又、Ａ相とＺ相は同位相（又は３６０°の整数倍位相差）であるが、Ｂ相はＡ相より９０°（又は９０°＋３６０°の整数倍の位相差）位相が進んでいる。又、Ａ相用検出ヘッド３１、Ｂ相用検出ヘッド３３より得られたＡ相信号とＢ相信号は、上記分割器３７によって２０分割され、その２０分割されたＡ相信号とＢ相信号が上記ラインドライバへ４１出力される。

又、２０分割された場合でも、Ｂ相信号の方がＡ相信号に対して９０°進んだ状態は保たれている。これは後でコントローラ部２５側にて受信された後、この分割されたＡ相信号とＢ相信号より移動方向の判別を行うためであり、又、コントローラ部２５によってＡ相信号とＢ相信号の位相差を持つ２０分割信号をさらに４分割するためである。すなわち、本実施の形態の場合には、上記分割器３７によって２０分割、コントローラ部２５によって４分割、トータル８０分割することとなる。その結果、８０μｍのスケールピッチは１μｍの分解能を得ることができる。

尚、上記分割器３７はその分割数があまり多くないので、比較的安価な抵抗分割型のインタポレータを用いている。又、上記原点検出・原点パルス発生器３９は、Ｂ相信号及びＺ相信号が「ハイ（１）」でＡ相信号が立ち上がった点を原点として検出し、短いパルス信号を発生させるものであり、ラインドライバ４１を経由して、原点をコントローラ部２５に知らせるものである。

上記コントローラ部２５は、ラインレシーバ４３、カウンタ４５、コントローラ４７とから構成されている。既に説明したラインドライバ４１及びコントローラ部２５のラインレシーバ４３は、差動信号の送受信によってより安定的にＡ相信号、Ｂ相信号、Ｚ相信号を送ることができるように、例えば、「ＲＳ-４８５タイプ」のものを使用している。

上記コントローラ部２５では、検出ヘッド部２３側から送られてきたＡ相信号、Ｂ相信号、Ｚ相信号に基づき位置情報を得る。具体的に説明すると、Ｚ相信号により原点、すなわち、基準位置を知り、その基準位置とＡ相信号とＢ相信号により移動方向を知り、且つ、カウンタ４５によるアップダウンカウントにより移動量を知り、それらによって、現在位置を知ることができるものである。

次に、スケールパターンの変調について説明する。本実施の形態における変調を説明する前に、従来例の説明で使用した図５を参照して、スケールパターンの変調前の不具合に関して詳細に説明する。図５に示した従来例では、原点復帰用のＺ相用リニアスケール１２９をインクリメンタルリニアスケール１２７に並列に設置したものであり、このＺ相用リニアスケール１２９は、インクリメンタルスケール１２７の１周期（図５の黒領域及び白領域）相当の幅（位相３６０°幅、８０μｍ幅）の黒領域（高反射率領域）を原点を中心として設置している。

この場合、原点位置はインクリメンタルスケール１２７の黒領域の左側であり、このエッジの立ち上がり位置を原点として設定しようとするものである。Ｚ相用リニアスケールのこの黒領域はインクリメンタルスケール１２７の白黒１周期幅しかないので、その周期内にはインクリメンタルスケール１２７の黒領域の立ち上がりエッジは１つしかなく、その結果、原点を特定することができるものである。すなわち、インクリメンタルスケール１２７から得られるＡ相信号の立ち上がりで、Ｂ相信号及びＺ相信号が「ハイ（１）」の時に原点と判断できるものである。

しかしながら、Ｚ相信号が必ずしも安定的に検出されず不安定だという難点がある。図５に例示してあるように、Ａ相信号出力及びＢ相信号出力は、前述したように、１８０°位相差（ピッチ８０μｍで４０μｍの位置差）をもつ２つの検出器の差（差動）により出力された信号である。これはインクリメンタルスケール１２７が白黒の繰返しのスケールパターンを持つために利用できる安定な信号取得方法である。それは２つの検出器の内１つが白領域であれば必ず他の１つは黒領域にあり、１つの検出器が黒領域にあれば他の1つは白領域にあることにより、いつも白領域と黒領域の差の出力電圧が得られることに由来する。

ところが、Ｚ相信号はＡ相信号やＢ相信号のように繰返しのスケールパターンではなく、このような差動信号出力を用いることができない。そのため、Ｚ相信号出力は信号振幅が小さいばかりではなく、出力電圧にオフセットがあるため、Ｚ相信号の黒色領域と白色領域を判別するためのスレショルド電圧の設定も電圧変動等の外乱を受け易く、出力不安定となりがちであった。

又、リニアスケールを長ストローク化しても低コストで製造できるＰＥＴフィルム基材上に印刷技術を用いて製造するリニアスケールの製造は大変魅力的な技術であるが、Ｚ相信号にとってはリニアスケールの平面度の低下に伴う信号振幅（コントラスト）の低下という問題がある。このことは、ガラス等の硬質基材に較べ軟質のＰＥＴフィルム（あるいはテープ）のような樹脂フィルム（あるいはテープ）をスケー ル基材に用いたり、反射層（高反射率層および低反射率層）を平滑に形成し難い印刷等の製法を用いた時に生じ易い。

例えば、アルミ蒸着層により形成された高反射率領域（黒領域）の平面度が悪いと乱反射光量が多くなり、低反射率領域（白領域）からの光を受光する検出器にもこの隣接する高反射率領域からの乱反射光が入射することになり、その結果、黒領域からの受光検出器と白領域からの受光検出器との出力差が小さくなり、信号振幅が低下することになる。特に、図５に示したように、黒領域は一つの領域で他はすべて白領域などのように、白領域と黒領域の割合が異なるほど信号振幅（コントラスト）は小さくなってしまう。そこで、ＰＥＴテープを用い印刷により製作したリニアスケール利用のためには、さらなるＺ相信号出力の安定化が必要となる。

図５に示した場合についてより具体的にみてみると、黒領域を「１（ハイ）」、白領域を「０（ロー）」とし、１ビットの幅をインクリメンタルリニアスケール１２７の１周期（８０μｍ、３６０°位相幅）とすると、図５に示す従来例のＺ相用リニアスケール１２９の符号系列は「００１００００」となり非常に大きな周波数帯域を持つものであることがわかる。例えば、「０」が１００個（長さ８ｍｍ）しか続かなくても周波数帯域は１００倍になってしまう。

このような場合、コントラスト（信号振幅）の小さい単ビット符号反転では「０／１」判定検出エラーが生じる可能性が高くなってしまう。そこで、本実施の形態では、同一符号連続を抑える、すなわち、狭帯域化のための変調を符号系列に掛けることにより、Ｚ相用リニアスケール２９の符号検出の安定化を図っているものである。そのような狭帯域化を図ることにより、コントラスト（信号振幅）の改善ができるばかりでなく、センサー素子が飽和しない程度まで光量を上げ、コントラストを少しでも上げることができ、且つ、「０／１」判定のスレショルド基準を安定化させることができるものである。

そのような狭帯域化の方法として、本実施の形態の場合には、符号系列の１ビット幅より狭い信号幅を用い、それによって、同一符号の連続を遮断するようにしている。又、狭帯域化や同一符号の連続遮断により差動検出の適用を可能にしている。

そこで、本実施の形態における上記狭帯域化の具体例を説明する。図３に第１の例を示す。図３では、インクリメンタルリニアスケール２７の位相０°の位置、すなわち、右に黒（高反射率領域）２７ａ、左に白（低反射率領域）２７ｂの白黒境界と同じ位置にて１／２ビット幅（１８０°位相相当幅、この実施の形態の例では１ビット８０μｍであるから４０μｍ）の黒（高反射率領域）２７ａ又は白（低反射率領域）２７ｂをＺ相用リニアスケール２９に配置したものである。

すなわち、スケールパターン符号系列が「１」であれば位相０°中心位置に１／２ビット幅の黒（高反射率領域）２９ａ、逆にスケールパターン符号系列が「０」であれば位相０°位置中心に１／２ビット幅の白（低高反射率領域）２９ｂを配置し、そのビットの符号を示すようにしたものである。又、位相１８０°位置中心１／２ビット幅にはそのままにしておくと白領域の遮断ができないので、符号「１」のある前後を除いて、符号系列が「０」である場合には１８０°位相位置中心に１／２ビット幅の黒領域を配置したものである。

このような方法によると、図３に示す例のように、白領域の連続を遮断でき、白黒どちらの領域も最小１／２ビットで、最大は白の１ビットとなり、２倍の周波数帯域まで狭帯域化することができる。又、その時、Ｚ相においても、図３に示すように、１８０°位相差間隔を持つ２つの検出器、一つはＡ相と同位相であり、他の一つは１８０°位相遅れを持つ検出器であり、それらの差動出力を出せるＺ相検出ヘッドを用いることにより、差動出力を得ることができる。又、原点位置にて、すなわち、Ａ相立ち上がりで、Ｂ相「ハイ（１）」でＺ相も「ハイ（１）」であり、原点位置では安定的に検出できる。

次に、図４を参照して第２の例を説明する。図３に示した例の場合には、原点位置より３６０°位相右の位置で原点と混同される可能性のある不安定な位置がある。この位置ではＡ相立ち上がりで、Ｂ相「ハイ（１）」でＺ相はスレショルド次第で「０」又は「１」であり「ハイ（１）」になる可能性もある。

そこで、図４に示すように、原点のある符号「１」のビットにて位相１８０°中心位置にも黒領域を配したものである。この場合も周波数帯域は２倍と図３に示した例と同じく狭帯域化されており、Ｚ相の差動出力も、図３の例と同様に、得ることができている。又、図３で問題になったＡ相立ち上がりでＢ相「ハイ（１）」の位置で不安定なＺ相はなくすことができた。

又、狭帯域化と安定な差動出力が可能な別の構成方法について説明する。すなわち、符号系列の変調方法については、白４０μｍ、黒４０μｍを１波長とし、波長の中心を位相−９０度位置に設定し、信号が「１／０」又は「０／１」反転した時にこの１波長の位相を１８０°ずらす位相シフト（位相を反転又は白黒反転）を行うことにより、図４に示された例と同じ符号系列変調を行うこともできる。この位相シフト法は白黒ペアで１波長（１周期）として用いて変調するので、差動をとることが容易となる。

以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、低コスト化容易なＰＥＴフィルム基材を用い、印刷により製作した反射面の平滑性が若干劣るリニアスケールを用いても、狭帯域化変調を施したスケールパターンを用いることにより、本来孤立ビットとなるＺ相原点信号でも、信号振幅を確保することができる。
又、差動検出により信号出力の増大やスレショルドレベルの安定化を図ることができた。
又、本実施の形態の場合には、符号系列の１ビット幅より狭い符号幅を持つ構成になっているので、符号の連続を効果的に遮断することができ、上記した効果を確実なものとすることができる。
又、アクチュエータとしての信頼性も大幅に向上するものである。

尚、本発明は前記一実施の形態に限定されるものではない。
例えば、前記一実施の形態の場合には、位相０°〜３６０°の始点ということで、原点位置として、直感的にも判り易い位置であるため、位相０°の位置を採用しているが、それに限定されるものではなく、位相１８０°、９０°、何度でも狭帯域化を図る上では構わない。
又、上記したスケールパターンの符号系列の狭帯域化の手法は任意の符号系列に適用可能である。前記一実施の形態の場合には、Ｚ相原点信号が１箇所のみの例を挙げた（符号系列：「０００００１０００００００００００００００００」）が、Ｚ相原点信号が多数ある場合（符号系列：「０００１０００００１０００００１０００００１００」）、原点信号に区別をつけるための複雑な原点信号の場合（符号系列：「０００１０１０１００００００００１１０１０００」）、等においても同様に適用可能であり、要は長い連続同一符号（スケール面では長い同一の状態の反射面）があるときには同様に適用可能である。

１ ハウジング
３ スライダ
５ ボールネジ
７ 駆動モータ
９ ガイド
１１ ガイド
２１ リニアスケール部
２３ 検出ヘッド部
２５ コントローラ部
２７ インクリメンタルリニアスケール
２９ Ｚ相用リニアスケール
３７ 分割器
３９ 原点検出・原点パルス発生器
４１ ラインドライバ
４３ ラインレシーバ
４５ カウンタ
４７ コントローラ

Claims (7)

1. 原点用スケールパターンの符号系列が狭帯域化のための変調が掛かったパターンであることを特徴とするリニアエンコーダ。
2. 請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、
   符号系列の１ビット幅より狭い符号幅を持つことを特徴とするリニアエンコーダ。
3. 請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、
   位相シフトを行っている変調を用いていることを特徴とするリニアエンコーダ。
4. 請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、
   差動あるいは差分検出を用いていることを特徴とするリニアエンコーダ。
5. 請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、
   スケール基材に樹脂フィルムを用いていることを特徴とするリニアエンコーダ。
6. 請求項１記載のリニアエンコーダにおいて、
   Ｚ相用リニアスケールやインクリメンタルリニアスケールが印刷により製造されていることを特徴とするリニアエンコーダ。
7. 請求項１〜請求項６の何れかに記載のリニアエンコーダを用いたことを特徴とするアクチュエータ。
   
   

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