JP7039642B2 - リニア・スケールを有するエンコーダ - Google Patents
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Description
なお、この図7の例では、周期変化部2cの長さを14μmとしているが、これは元の反射パターン2のピッチが20μmで、反射部2a(または透過部2b)のピッチがp2/2が10μmであることを考慮して定めている。周期変化部2cの長さをたとえば、20μmとすれば、図7におけるΔの傾きが急峻となり、より原点位置を確実に決定できると考えられるが、その場合には、A相とB相の区別がつきにくく、測定が困難になる。一方、周期変化部2cの長さをより短くすると、図7から分かるように、差Δの変化が周期の変化によるものなのか、外乱等の他の要因によるものなのかの区別がつきにくく、また傾きが緩やかになるので、臨界点を見つけにくくなる。したがって、本実施例の場合には、周期変化のない反射部2a(または透過部2b)より3~5μm程度長くするのが好ましい。これを反射部2a(または透過部2b)のピッチp2/2で除すると、1.3~1.5倍程度が最適になる。
Claims (4)
- 透過部と反射部の対のパターンが規則的に多数配列されたリニア・スケールと、このリニア・スケールに光を出射する光源と、この光源から出射された光の透過光または反射光のいずれかを検出する受光センサを有し、前記リニア・スケールのパターン配列方向にリニア・スケールに対し相対的に移動するリーディング・ヘッドを備えた、リニア・スケールを有するインクレメンタル方式のエンコーダにおいて、
前記リニア・スケールの端部近傍に、前記透過部または前記反射部の幅が他の部分と異なる幅の周期変化部を設け、
前記リーディング・ヘッドは実質的に同一の前記受光センサを2個有し、
これら2個の前記受光センサを前記リニア・スケールのパターン配列方向に並べて配置し、
2個の前記受光センサの一方が、前記周期変化部を検出しないよう、前記リニア・スケールまたは一方の前記受光センサの移動を制限するストッパを設け、
2個の前記受光センサの他方が前記周期変化部を検出可能として、該他方の受光センサは、前記他方の受光センサが前記周期変化部を検出することにより生ずる2個の前記受光センサの出力差により原点を検出する原点検出用センサとしても使用されることを特徴とするリニア・スケールを有するエンコーダ。 - 前記リニア・スケールは円弧状に形成されており、前記周期変化部を検出不能な一方の前記受光センサと、前記周期変化部を検出可能な他方の前記受光センサを同一円弧上であって前記パターンの配列位置に配置したことを特徴とする請求項1に記載のリニア・スケールを有するエンコーダ。
- 2個の前記受光センサは、いずれもA相、B相、A-相、B-相を検出する1組のフォト・ダイオードを、複数組だけ組み合わせて形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のリニア・スケールを有するエンコーダ。
- 前記リニア・スケールを絶対空間で移動側に、前記リーディング・ヘッドを絶対空間で固定側に設けたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のリニア・スケールを有するエンコーダ。
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