JP2015155307A - 板状体の積載方法、梱包体の製造方法、板状体の積載設備 - Google Patents

板状体の積載方法、梱包体の製造方法、板状体の積載設備 Download PDF

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Abstract

【課題】ずれの発生を早期にかつ確実に発見し、積載作業の効率の低下を抑制する板状体の積載方法を提供する。【解決手段】板状体の積載方法は、梱包容器上15に合紙17と板状体16とを交互に積載する積載方法において、梱包容器上に合紙と板状体とをこの順に積載する積載工程と、梱包容器、合紙、および板状体を少なくとも一部に含む画像を撮像する撮像工程と、画像から、梱包容器に対する合紙および板状体の位置を測定する測定工程と、梱包容器に対する合紙および板状体の位置の規定位置からのずれを算出する算出工程と、ずれの大きさが許容値を超えるときに以降の積載を中止させるための中止処理を行う中止処理工程とを有する。【選択図】図7

Description

本発明は、ガラス基板等の板状体の積載方法に係り、特に、積載中の板状体に位置のずれが発生したときに積載を中止して、積載作業の繰り返しによる作業効率の低下を抑制する板状体の積載方法に関する。
プラズマディスプレイ用ガラス基板、液晶ディスプレイ用ガラス基板等のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、通常、ガラス基板メーカーにおいて製造され、その後にガラス基板の加工やディスプレイ装置の組立を行うガラス基板使用メーカーに搬送される。搬送時、ガラス基板は、平積み用の梱包容器に合紙を介して100〜200枚程度を積載し、梱包した後、トラック等によって搬送される(例えば、特許文献1、2参照)。
梱包容器へのガラス基板の積載は、例えば、ガラス基板をローラコンベア等の搬送装置によって梱包容器の近くまで搬送するとともに、搬送中にガラス基板に合紙を積載し、この合紙が積載されたガラス基板をロボットアーム等の積載装置により梱包容器に積載する。このような作業を繰り返して行うことで、梱包容器に合紙を介して多数のガラス基板が積載されたものを得ることができる。
特開2011−148562号公報 実用新案登録第3165973号公報
梱包容器へのガラス基板および合紙の積載は、具体的には、合紙が積載されたガラス基板をロボットアーム等の積載装置によってローラコンベア等の搬送装置から持ち上げるとともに、途中でガラス基板と合紙との上下の位置が逆転するように引っ繰り返すようにして梱包容器に移し替えることにより行われる。この際、梱包容器に対するガラス基板や合紙の位置にずれが生じる場合がある。
このような位置のずれは、例えば、ガラス基板に合紙を積載する際に合紙を積載するための合紙積載装置等に合紙が引っかかるために、また梱包容器への積載時にガラス基板と合紙との間に空気が入って合紙が滑るように移動するために生じる。梱包容器に対するガラス基板や合紙の位置にずれが生じると、梱包容器の搬送時にガラス基板が損傷しやすくなり、また搬送先でガラス基板や合紙を自動吸着できなくなるおそれがある。
従来、このようなずれの観察は、人が目視により、または定規や治具を用いて行っていた。しかしながら、人がずれを観察する場合、積載装置が稼働していると近づくことができないことから積載装置を停止させる必要があり、生産性が低下しやすい。また、人がずれを観察する場合、必ずしも確実にずれを発見できず、ずれが生じたままガラス基板や合紙が積載されてしまう場合がある。
ずれが生じたときに即座にずれを発見することができれば容易に修正することができるが、発見が遅れるとずれがあった部分より上側に積載された部分の全体を取り除いて再び積載を行う必要があり、生産性が大きく低下する。ずれの発見のために、定期的に確認を行うとともに、確認のための期間を短縮することも考えられるが、積載装置を停止させる回数が増えることから、生産性が低下しやすい。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、ずれの発生を早期にかつ確実に発見し、積載作業の効率の低下を抑制することを目的としている。
本発明の板状体の積載方法は、梱包容器上に合紙と板状体とを交互に積載する積載方法であって、積載工程、撮像工程、測定工程、算出工程、および中止処理工程を有する。
積載工程は、梱包容器上に合紙と板状体とをこの順に積載する。
撮像工程は、梱包容器、合紙、および板状体を少なくとも一部に含む画像を撮像する。
測定工程は、画像から、梱包容器に対する合紙および板状体の位置を測定する。
算出工程は、梱包容器に対する合紙および板状体の位置の規定位置からのずれを算出する。
中止処理工程は、ずれの大きさが許容値を超えるときに以降の積載を中止させるための中止処理を行う。
本発明の梱包体の製造方法は、上記した板状体の積載方法により梱包容器上に合紙および板状体が積載された積載体を得る積載体製造工程と、該積載体を梱包して梱包体を得る梱包工程とを有する。
本発明の板状体の積載設備は、合紙および板状体が積載された梱包容器の画像を撮像する撮像装置と、画像に基づいて、梱包容器に対する合紙および板状体の位置を測定するとともに、規定位置からのずれを算出し、ずれの大きさが許容値内であるかを判断する画像処理装置と、ずれの大きさが許容値を超えるときに、梱包容器への合紙および板状体の積載を中止させるための中止処理を行う制御装置とを有する。
本発明の板状体の積載方法によれば、ずれの発生を早期にかつ確実に発見でき、積載作業の効率の低下を抑制できる。また、本発明の梱包体の製造方法によれば、ずれの発生が抑制された積載状態の良好な梱包体を製造できる。さらに、本発明の板状体の積載設備によれば、ずれの発生を早期にかつ確実に発見でき、積載作業の効率の低下を抑制できる。
実施形態の積載工程の一例を示す図。 実施形態の積載工程の一例を示す図。 実施形態の積載工程の一例を示す図。 実施形態の積載工程の一例を示す図。 実施形態の積載工程の一例を示す図。 合紙およびガラス基板が積載された梱包容器を示す平面図。 図6に示す合紙およびガラス基板が積載された梱包容器のA−A線断面図。 撮像された画像および位置の測定方法を示す図。 実施形態の積載設備の一例を示す構成図。
以下、本発明の板状体の積載方法の実施形態について説明する。
実施形態の板状体の積載方法は、梱包容器上に合紙とガラス基板等の板状体とを交互に積載する積載方法であって、積載工程、撮像工程、測定工程、算出工程、および中止処理工程を有する。
積載工程は、梱包容器上に合紙と板状体とをこの順に積載する。
撮像工程は、梱包容器、合紙、および板状体を少なくとも一部に含む画像を撮像する。
測定工程は、画像から、梱包容器に対する合紙および板状体の位置を測定する。
算出工程は、合紙および板状体の規定位置からのずれを算出する。
中止処理工程は、ずれの大きさが許容値を超えるときに以降の積載を中止させるための中止処理を行う。
実施形態の板状体の積載方法によれば、梱包容器上に合紙と板状体とを交互に積載する積載方法において、ずれの発生を早期にかつ確実に発見でき、積載作業の効率の低下を抑制できる。すなわち、人が直接観察を行う必要がなく、観察のために積載装置等を定期的に停止させる必要がないことから、生産性の低下を抑制できる。また、ずれの発生の直後に確実に発見できることから、再度の積載による生産性の低下も抑制できる。以下、各工程について具体的に説明する。
積載工程は、上記したように梱包容器上に合紙と板状体とをこの順に積載する工程である。図1〜5は、積載工程の一例を工程順に示す図である。
実施形態の積載方法に用いられる積載設備10は、例えば図1に示すように、ローラコンベア等の搬送装置11、積載装置12、台座13、撮像装置14、図示しないが、画像処理装置、制御装置、表示装置等を有する。台座13には、梱包容器15が取り外し可能に配置されている。なお、以下の説明では、板状体としてガラス基板を例に挙げて説明する。
搬送装置11は、ガラス基板16を梱包容器15の近傍へと搬送するために設けられている。積載装置12は、搬送装置11から梱包容器15にガラス基板16および合紙17を積載するために設けられている。撮像装置14は、梱包容器15にガラス基板16および合紙17が積載されたときに、これらの画像を撮像するために、梱包容器15の上部に設けられている。
積載工程では、例えば、まずローラコンベア等の搬送装置11にガラス基板16が載せられ、梱包容器15の近傍へと向けて搬送される。搬送中、図示しない合紙積載装置等によりガラス基板16に合紙17が被されるように積載される(図1)。その後、合紙17が積載されたガラス基板16は、梱包容器15の近傍へと搬送され、所定の停止位置で停止する。停止位置には、ロボットアーム等の積載装置12が配置されている(図2)。
停止後、ガラス基板16の下部には、積載装置12が密着される(図3)。積載装置12は、例えば、搬送装置11のローラ111の軸方向と同方向に延びるとともに、ローラ111間に配置される複数の棒状部121と、これら複数の棒状部121の一端を固定する固定部122とを有するものであって、複数の棒状部121が搬送装置11のロール111間に配置されるようにしてガラス基板16に密着する。
合紙17が積載されたガラス基板16は、複数の棒状部121によって搬送装置11からすくい上げられるようにして持ち上げられるとともに、ガラス基板16と合紙17との上下の位置が逆転するように引っ繰り返され、梱包容器15側から合紙17およびガラス基板16の順となるように梱包容器15に積載される(図4)。
梱包容器15への合紙17およびガラス基板16の積載後、合紙17およびガラス基板16から積載装置12が取り外される(図5)。このようにして、梱包容器15上に合紙17とガラス基板16とをこの順に積載する積載工程が行われる。
撮像工程は、例えば図5に示すように、梱包容器15に合紙17およびガラス基板16が積載された状態で、上部に設けられた撮像装置14によってこれらの画像を撮像することによって行われる。
図6は、合紙17およびガラス基板16が積載された梱包容器15を示す平面図である。また、図7は、図6に示す合紙17およびガラス基板16が積載された梱包容器15のA−A線断面図である。なお、図7には、撮像装置14も合わせて示している。
梱包容器15は、例えば、4角形状の枠部151と、枠部151の内側に格子状等に設けられた積載部152と、枠部151の4つの角部にそれぞれ設けられる4つの筒部153を有する。積載部152は、ガラス基板16および合紙17が主として積載される部分である。また、4つの筒部153は、他の梱包容器15を積み重ねるようにして積層するときに用いられるものであって、他の梱包容器15の4つの筒部153が積層される部分である。すなわち、この梱包容器15は、ガラス基板16の積載が終了した後、他の梱包容器15が積層されて用いられるものである。
梱包容器15には、梱包容器15側から、合紙17およびガラス基板16の順で交互に合紙17とガラス基板16とが積載される。通常、梱包容器15の大きさに比べて合紙17の大きさが小さいために、合紙17の周囲には梱包容器15の枠部151や筒部153が露出している。また、合紙17の大きさに比べてガラス基板16の大きさが小さいために、ガラス基板16の周囲には合紙17の外周部が露出している。
撮像は、撮像装置14を固定して行うことができる。すなわち、梱包容器15の位置は必ずしも一定でなく、梱包容器15の入れ替えによって位置が若干異なることがあるが、このような場合であっても、梱包容器15の位置に合わせて撮像装置14の位置や角度等を変更する必要はなく、一定の位置や角度に固定して撮像を行うことができる。
撮像箇所141としては、図6に示すように、梱包容器15の筒部153、合紙17、およびガラス基板16の各部材の角部を構成する2辺を含む箇所が好ましい。角部を構成する2辺を含むことで、画像から各部材の縦方向および横方向の位置を測定できる。このように各部材の一部を撮像箇所141とする場合、撮像箇所141は複数箇所とすることが好ましい。撮像箇所141を複数箇所に増やすことで、梱包容器15、合紙17、およびガラス基板16の各部材の縦方向および横方向の位置をより正確に測定できる。
撮像箇所141を2箇所とする場合、図6に示すような隣接する角部の2箇所としてもよいし、図示しないが対角線上の角部の2箇所としてもよい。いずれの場合であっても、梱包容器15、合紙17、およびガラス基板16の各部材の縦方向および横方向の位置を正確に測定できる。また、撮像箇所141を3箇所とする場合についても、特に制限されず、任意の3箇所とすることができる。撮像箇所141を複数箇所とする場合、それらの箇所や数に応じて、撮像装置14を適宜配置することが好ましい。
なお、撮像箇所141としては、梱包容器15、合紙17、およびガラス基板16の各部材を少なくとも一部に含んでいればよく、必ずしも角部を構成する2辺を含む箇所に限られない。例えば、梱包容器15またはその筒部153等の特定構造部、合紙17、およびガラス基板16の各部材の角部を除いた外周部を含む箇所であってもよい。少なくとも外周部を含むことで、撮像箇所141の位置や数を調整することによって、画像から後述するようなコントラスト差によって各部材の位置を測定できる。また、撮像箇所141としては、各部材の全体を含むものであってもよい。
測定工程は、このようにして撮像された画像に基づいて、梱包容器15に対する各部材の位置を求める。なお、以降の工程の説明では、1つの画像の場合について説明するが、撮像箇所141を複数箇所とした場合、すなわち複数の画像がある場合については、それぞれの画像ごとに独立して以下の工程を行うことが好ましい。この場合、画像ごとに各部材の配置は異なることになるが、基本的に以下の工程と同様の原理で行うことができる。
梱包容器15に対する各部材の位置は、以下のようにして求めることができる。まず、画像から、梱包容器15、合紙17、およびガラス基板16のそれぞれについて、画像上での位置を測定する。そして、梱包容器15に対する合紙17の位置は、梱包容器15の画像上での位置と合紙17の画像上での位置との差として求めることができる。また、梱包容器15に対するガラス基板16の位置は、梱包容器15の画像上での位置とガラス基板16の画像上での位置の差として求めることができる。
このように、梱包容器15、合紙17、およびガラス基板16のそれぞれの画像上での位置を測定した後、これを用いて梱包容器15に対する合紙17およびガラス基板16の位置を求めることで、画像上での梱包容器15の位置が変化した場合についても、梱包容器15に対する合紙17およびガラス基板16の位置を求めることができる。これにより、撮像装置14を固定したまま撮像を行うことができる。すなわち、梱包容器15の位置に合わせて撮像装置14の位置や角度等を変更する必要はなく、一定の位置や角度に固定して撮像を行うことができる。
図8は、図6に示す撮像箇所141の画像を示したものである。
画像上での梱包容器15の位置は、例えば、筒部153の角部を構成する2辺の位置とすることができ、画像自体の角部を構成する2辺(画像の左辺および上辺)を基準として、横方向の位置については筒部153の縦方向に延びる辺の位置X、縦方向の位置については筒部153の横方向に延びる辺の位置Yとすることができる。
同様に、画像上での合紙17の位置は、横方向の位置については縦方向に延びる辺の位置X、縦方向の位置については、横方向に延びる辺の位置Yとすることができる。また、ガラス基板16の画像上での位置は、横方向の位置については縦方向に延びる辺の位置X、縦方向の位置については横方向に延びる辺の位置Yとすることができる。
この場合、梱包容器15に対する合紙17の横方向の位置はX−X、縦方向の位置はY−Y、梱包容器15に対するガラス基板16の横方向の位置はX−X、縦方向の位置はY−Yとして求められる。
梱包容器15に対する合紙17およびガラス基板16の位置は、上記したように梱包容器15の筒部153に対する合紙17およびガラス基板16の位置、特に筒部153の角部を構成する2辺の位置に対する合紙17およびガラス基板16の角部を構成する2辺の位置とすることが好ましいが、必ずしも筒部153を基準とする必要はなく、画像上で認識できるような特定の構造を有する特定構造部であれば基準として採用できる。特定構造部としては、例えば、梱包容器15の外周部の任意の部分が挙げられる。
画像上での位置の測定は、予め画像における特定領域を探索領域として設定しておき、この探索領域内において測定対象を探索し、この探索によって発見された測定対象の位置を読み取ることにより行うことができる。予め特定領域を探索領域として設定しておき、この探索領域を探索することで、画像上で測定対象を探索しやすく、その位置を容易かつ正確に決定できる。
すなわち、位置の測定(測定対象の探索)は、画像上でのコントラスト差を利用して行うことができるが、探索領域が広すぎるとコントラスト差のある部分が多数存在することになり、誤認識によって位置の測定ができないおそれがある。特定領域、すなわち特定の位置および大きさを有する領域を探索領域として予め設定しておくことで、そのコントラスト差が測定対象のコントラスト差であることを容易に判断できる。
測定対象は、例えば図8に示すように、梱包容器15の位置を筒部153の角部を構成する2辺の位置とし、合紙17およびガラス基板16の位置をこれらの角部を構成する2辺の位置とした場合、これらの辺となる。また、探索領域は、これらの辺が位置すると予想される部分を含むような特定領域、すなわち画像の一部分であって、上記辺が位置すると予想される部分を含むような特定の位置に特定の大きさに設けられる領域に設定される。
具体的には、筒部153の縦方向に延びる辺の位置Xを探索するための探索領域153x、横方向に延びる辺の位置Yを探索するための探索領域153y、合紙17の縦方向に延びる辺の位置Xを探索するための探索領域17x、横方向に延びる辺の位置Yを探索するための探索領域17y、ガラス基板16の縦方向に延びる辺の位置Xを探索するための探索領域16x、横方向に延びる辺の位置Yを探索するための探索領域16yが挙げられる。
探索領域の位置や大きさは、予め試験的に梱包容器15に対して合紙17およびガラス基板16の積載を行って、測定対象が通常位置する範囲(許容範囲)を調べておき、このような範囲を含むような位置や大きさに設定する。画像における各部材の位置は、積載装置等によっても若干異なるが、通常、理想的な状態の位置に比べて実物での大きさで−1〜+1mm程度変動する。言い換えれば、−1〜+1mm程度の変動は許容範囲内となる。従って、探索領域の長さは、5mm以上が好ましく、10mm程度以上がより好ましい。また、探索領域の長さは、40mm以下が好ましく、30mm以下がより好ましい。探索領域の長さは、通常、20mm程度が好ましい。
なお、探索領域の長さは、測定対象である辺等に垂直な方向の長さである。例えば、筒部153の探索領域153xの長さについては、図中横方向の長さであり、探索領域153yの長さについては、図中縦方向の長さである。
探索は、測定対象とその周辺部とのコントラスト差、例えば凹凸や材質の相違に基づくコントラスト差に基づいて行うことができ、画像処理装置による解析により行うことができる。そして、一定程度以上のコントラスト差がある部分、すなわち境界線部分を測定対象の位置とすることができる。位置の読み取りは、例えば画像を表示するモニタ等におけるピクセル単位で行うことができる。
算出工程は、梱包容器15に対する合紙17およびガラス基板16の位置の規定位置からのずれの大きさを求める。このずれの大きさは、上記したようにして画像から求められた梱包容器15に対する合紙17およびガラス基板16の位置と、理想的な状態での梱包容器15に対する合紙17およびガラス基板16の位置との差として求められる。
例えば、上記したように画像から求められた梱包容器15に対する合紙17の横方向の位置がX−X、縦方向の位置がY−Y、また画像から求められた梱包容器15に対するガラス基板16の横方向の位置がX−X、縦方向の位置がY−Yであって、理想的な状態での梱包容器15に対する合紙17の横方向の位置がX、縦方向の位置がY、また理想的な状態での梱包容器15に対するガラス基板16の横方向の位置がX、縦方向の位置がYである場合、合紙17の横方向のずれの大きさは(X−X)−X、縦方向のずれの大きさは(Y−Y)−Y、ガラス基板16の横方向のずれの大きさは(X−X)−X、縦方向のずれの大きさは(Y−Y)−Yで表される。
中止処理工程は、ずれの大きさが許容値を超えるときに、以降の積載を中止させるための中止処理を行う。例えば、上記したような合紙17の横方向のずれの大きさの絶対値|(X−X)−X|、縦方向のずれの大きさの絶対値|(Y−Y)−Y|、ガラス基板16の横方向のずれの大きさの絶対値|(X−X)−X|、縦方向のずれの大きさの絶対値|(Y−Y)−Y|のうち、いずれかのずれの大きさの絶対値が許容値を超える場合に、以降の積載を中止させるための中止処理を行う。
許容値は、それぞれ合紙17やガラス基板16の大きさに合わせて適宜設定できる。ずれが大きくなると、梱包容器15の搬送時にガラス基板16が損傷しやすくなり、また搬送先でガラス基板16や合紙17を自動吸着できなくなる不具合が発生するおそれがある。
図9は、実施形態の積載方法に適用される積載設備10の一構成例を示す構成図である。積載設備10は、例えば、搬送装置11、積載装置12、撮像装置14、画像処理装置18、制御装置19、表示装置21等を有する。
上記したような画像上における梱包容器15、合紙17、およびガラス基板16の位置の測定、梱包容器15に対する合紙17およびガラス基板16の位置やそのずれの大きさの算出、ずれの大きさの判断等は、例えば画像処理装置18によってまとめて行うことができる。
中止処理としては、例えば、ずれの大きさが許容値を超えたと判断したときに、ずれの発生があった旨、および以降の積載を中止させる旨の表示を表示装置21に行わせるものが挙げられる。この場合、表示装置21における表示を人が確認し、搬送装置11および積載装置12を手動で停止させる。中止処理としては、ずれの発生があった旨を人が認識できるものであればよく、必ずしも表示装置21における表示のような視覚により認識されるものに限られず、警報等のような聴覚により認識されるものであってもよい。また、ずれの大きさが許容値を超えたと判断したときに、搬送装置11および積載装置12を自動的に停止させるものであってもよい。表示装置21への表示、搬送装置11や積載装置12の停止等は、例えば画像処理装置18に接続された制御装置19により行うことができる。
中止処理工程後、梱包容器15におけるガラス基板16の積載数が所定の枚数に達していないときは、再び、積載工程、撮像工程、測定工程、算出工程、および中止処理工程の一連の工程を繰り返して行い、所定の枚数に達するまでガラス基板16を順次積載する。一方、梱包容器15におけるガラス基板16の積載数が所定の枚数に達しているときは、以降のガラス基板16の積載を終了する。このようにして、梱包容器15上に合紙17およびガラス基板16が良好に積載された積載体を得ることができる。最終的な積載数、すなわち各工程の繰り返し回数は、必ずしも制限されないが、50枚(50回)以上が好ましく、100枚(100回)以上がより好ましい。
以上、実施形態の積載方法における各工程について説明したが、既に説明したように、撮像工程における撮像箇所141を複数箇所とした場合、すなわち複数の画像がある場合、それぞれの画像について独立して、測定工程、算出工程、中止処理工程を行うことができる。また、梱包容器15、合紙17、およびガラス基板16の画像上での位置は、必ずしも角部を構成する2辺の位置に限定されず、位置の測定ができる部位であれば他の部位の位置であってもよい。
実施形態の梱包体の製造方法は、上記したような積載体を製造する積載体製造工程と、積載体を梱包して梱包体を得る梱包工程とを有する。積載体を梱包して梱包体とする方法は、特に制限されず、公知の梱包方法を適用することができる。
このような積載方法に適用されるガラス基板16としては、特に限定されるものではなく、例えば、プラズマディスプレイ用ガラス基板、液晶ディスプレイ用ガラス基板等の公知のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板が挙げられる。ガラス基板16の大きさは、必ずしも制限されないが、G5サイズ以上(縦1,300mm以上×横1,100mm以上)の大きさが好ましく、例えば、縦2,460mm×横2,160mm、または縦2,500mm×横2,200mmものが例示される。
ガラス基板16は、ガラス原料を溶融し、溶融ガラスを板状に成形して得られる。このような成形方法としては、一般的なものであってよく、例えば、フロート法、フュージョン法、スロットダウンドロー法、フルコール法、ラバース法等が用いられる。特に、板厚が薄いガラス板は、一旦板状に成形したガラスを成形可能温度に加熱し、延伸等の手段で引き伸ばして薄くする方法(リドロー法)により好適に成形して得られる。
ガラス基板16の種類は、必ずしも限定されず、無アルカリホウケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダライムガラス、高シリカガラス、その他の酸化ケイ素を主な成分とする酸化物系ガラスが挙げられる。酸化物系ガラスとしては、酸化物換算による酸化ケイ素の含有量が40〜90質量%のガラスが好ましい。
アルカリ金属成分の溶出は液晶に影響を与えやすいことから、例えば、アルカリ金属成分を実質的に含まないガラス(無アルカリガラス)が好ましい。無アルカリガラスとしては、酸化物基準の質量百分率表示で、SiO:50〜66%、Al:10.5〜24%、B:0〜12%、MgO:0〜8%、CaO:0〜14.5%、SrO:0〜24%、BaO:0〜13.5%、MgO+CaO+SrO+BaO:9〜29.5%、ZnO:0〜5%を含有するものが挙げられる。
SiOは、その含有量が50%未満では、歪点が充分に上げられないとともに、化学
耐久性が悪化し、熱膨張係数が増大する。66%を超えると熔解性が低下し、失透温度が
上昇する。好ましくは、58〜66モル%である。
Alは、ガラスの分相性を抑制し、熱膨張係数を下げ、歪点を上げる。その含有量が10.5%未満ではこの効果が現れず、24%を超えるとガラスの熔解性が悪くなる。好ましくは、15〜22%である。
は、必須ではないが、半導体形成に用いられる各種薬品等に対する化学耐久性を向上させるとともに、高温での粘性を高くさせずに熱膨張係数と密度の低下を達成できる。その含有量が12%を超えると耐酸性が悪くなるとともに歪点が低くなる。好ましくは、5〜12%である。
MgOはアルカリ土類金属酸化物の中では熱膨張係数を低くし、かつ歪点が低下しないため、必須ではないが含有させることができる。その含有量が8%を超えると、半導体形成に用いられる各種薬品等に対する化学耐久性が低下し、またガラスの分相が生じやすくなる。
CaOは、必須ではないが、含有することによりガラスの熔解性を向上させうる。一方、14.5%を超えると熱膨張係数が大きくなり、失透温度も上昇する。好ましくは、0〜9%である。
SrOは、必須ではないが、ガラスの分相を抑制し、半導体形成に用いられる各種薬品等に対する化学耐久性を向上させるために有用な成分である。その含有量が24%を超えると膨張係数が増大する。好ましくは、3〜12.5%である。
BaOは、必須ではないが、密度が小さく熱膨張係数を小さくするという観点から有用な成分である。その含有量は、0〜13.5%であり、0〜2%が好ましい。
MgO+CaO+Sr+BaOが9%未満では熔解を困難になり、29.5%を超えると密度が大きくなる。MgO+CaO+Sr+BaOは、好ましくは9〜18%である。
ZnOは、必須ではないが、ガラスの熔解性、清澄性、成形性を改善するために添加できる。その含有量は、0〜5%が好ましく、0〜2%がより好ましい。
無アルカリガラスには、上記成分以外にも、ガラスの熔解性、清澄性、成形性を改善するために、SO、F、Clを総量で5%以下添加できる。
無アルカリガラスとしては、好ましくは、酸化物基準の質量百分率表示で、SiO:58〜66%、Al:15〜22%、B:5〜12%、MgO:0〜8%、CaO:0〜9%、SrO:3〜12.5%、BaO:0〜2%、MgO+CaO+SrO+BaO:9〜18%を含有するものが挙げられる。
無アルカリガラスの歪点は、640℃以上が好ましく、650℃以上がより好ましい。熱膨張係数は、40×10−7/℃未満が好ましく、30×10−7/℃以上40×10−7/℃未満が好ましい。密度は、2.60g/cc未満が好ましく、2.55g/cc未満がより好ましく、2.50g/cc未満がさらに好ましい。
積載設備10として、図1、9に示すように、ローラコンベアからなる搬送装置11、積載装置12、台座13、2台の撮像装置14、画像処理装置18、制御装置19、表示装置21等を有するものを用意した。また、台座13には、梱包容器15を配置した。梱包容器15は、その4隅に4つの筒部153を有する。
搬送装置11にガラス基板16を載せ、梱包容器15へと向けて搬送するとともに、搬送途中でガラス基板16に合紙17を積載した。なお、ガラス基板16がG5からG8
サイズの場合、例えば、幅2,540〜2,600mm、厚さ0.06〜0.105mmの合紙を用いることができる。
その後、複数の棒状部121と、これら複数の棒状部121の一端が固定される固定部122とを有するロボットアームからなる積載装置12を用いて、合紙17が積載されたガラス基板16を搬送装置11からすくい上げるようにして持ち上げるとともに、ガラス基板16と合紙17との上下の位置が逆転するように引っ繰り返し、梱包容器15側から合紙17およびガラス基板16の順となるように梱包容器15に積載した。
その後、図6に示すように、この合紙17およびガラス基板16が積載された梱包容器15の2箇所の角部を撮像箇所141として上部から2台の撮像装置14によって撮像して画像を得た。なお、撮像箇所141には、筒部153の全体と合紙17およびガラス基板16の角部を構成する2辺とが含まれるようにした。また、各画像の大きさは、実物における縦400±50mm×横500±50mmの部分に相当する大きさとした。
さらに、図8に示すように6箇所に探索領域を設定し、それぞれの画像について、画像処理装置18によって、筒部153、合紙17、およびガラス基板16の横方向および縦方向の位置を求めた。探索は、梱包容器15における筒部153とそれ以外の部分とのコントラスト差、梱包容器15と合紙17とのコントラスト差、合紙17とガラス基板16とのコントラスト差を利用して行った。
その後、上記位置から、筒部153に対する合紙17およびガラス基板16の横方向および縦方向の位置を求めた。さらに、筒部153に対する合紙17およびガラス基板16の横方向および縦方向の位置と規定位置との絶対値での差をとってずれの大きさとした。そして、ずれの大きさが所定の許容値を超えたときに、ずれの発生があった旨、および以降の積載を中止させる旨の表示を表示装置21に行わせた。なお、上記した一連の工程は、画像処理装置18と制御装置19とにより自動で行われるようにした。
このような一連の工程により梱包容器15に合紙17およびガラス基板16を積載する工程を、ガラス基板16の積載数が200枚となるまで繰り返し行わせ、梱包容器15に合紙17およびガラス基板16が積載された積載体を得た。このような積載体を多数製造した。
この結果、ずれの発生があった旨、および以降の積載を中止させる旨の表示がなかったものは、良好な積載状態となっていることが認められた。また、ずれの発生があった旨、および以降の積載を中止させる旨の表示が出たものは、合紙17やガラス基板16にずれが生じていることが認められた。
10…積載設備、11…搬送装置、12…積載装置、13…台座、14…撮像装置、15…梱包容器、16…ガラス基板、17…合紙、18…画像処理装置、19…制御蔵置、21…表示装置、121…棒状部、122…固定部、141…撮像箇所、151…枠部、152…積載部、153…筒部、16x…ガラス基板の横方向の探索領域、16y…ガラス基板の縦方向の探索領域、17x…合紙の横方向の探索領域、17y…合紙の縦方向の探索領域、153x…筒部の横方向の探索領域、153y…筒部の縦方向の探索領域

Claims (14)

  1. 梱包容器上に合紙と板状体とを交互に積載する積載方法において、
    前記梱包容器上に前記合紙と前記板状体とをこの順に積載する積載工程と、
    前記梱包容器、前記合紙、および前記板状体を少なくとも一部に含む画像を撮像する撮像工程と、
    前記画像から、前記梱包容器に対する前記合紙および前記板状体の位置を測定する測定工程と、
    前記梱包容器に対する前記合紙および前記板状体の位置の規定位置からのずれを算出する算出工程と、
    前記ずれの大きさが許容値を超えるときに以降の積載を中止させるための中止処理を行う中止処理工程と
    を有することを特徴とする板状体の積載方法。
  2. 前記画像を複数箇所について撮像し、前記複数箇所の画像について、前記測定、前記算出、および前記中止処理を行う請求項1記載の板状体の積載方法。
  3. 前記積載工程、前記撮像工程、前記測定工程、前記算出工程、および前記中止処理工程を繰り返して行う請求項1または2記載の板状体の積載方法。
  4. 前記梱包容器に対する前記合紙および前記板状体の位置は、前記梱包容器の特定構造部の外周部の位置に対する前記合紙および前記板状体の外周部の位置である請求項1乃至3のいずれか1項記載の板状体の積載方法。
  5. 前記外周部は、角部を構成する2辺である請求項4記載の板状体の積載方法。
  6. 前記梱包容器は、4角形状を有し、その4隅に他の梱包容器を積層するために利用される筒部を有するものであって、前記筒部が前記特定構造部となる請求項4または5記載の板状体の積載方法。
  7. 前記梱包容器に対する前記合紙および前記板状体の位置は、前記梱包容器、前記合紙、および前記板状体の前記画像上での位置を測定し、これらの位置から求める請求項1乃至6のいずれか1項記載の板状体の積載方法。
  8. 前記測定は、予め前記画像における特定領域を探索領域として設定しておき、前記探索領域内における測定対象を探索することにより行う請求項1乃至7のいずれか1項記載の板状体の積載方法。
  9. 前記探索は、前記画像におけるコントラストの違いにより行う請求項8記載の板状体の積載方法。
  10. 前記板状体は、ガラス基板である請求項1乃至9のいずれか1項記載の板状体の積載方法。
  11. 前記ガラス基板は、G5サイズ以上(縦1,300mm以上×横1,100mm以上)の大きさを有する請求項10記載の板状体の積載方法。
  12. 前記ガラス基板は、無アルカリガラスからなる請求項1乃至11のいずれか1項記載の板状体の積載方法。
  13. 請求項1乃至12のいずれか1項記載の板状体の積載方法により梱包容器上に合紙および板状体が積載された積載体を得る積載体製造工程と、
    前記積載体を梱包して梱包体を得る梱包工程と
    を有する梱包体の製造方法。
  14. 合紙および板状体が積載された梱包容器の画像を撮像する撮像装置と、
    前記画像に基づいて、前記梱包容器に対する前記合紙および前記板状体の位置を測定するとともに、規定位置からのずれを算出し、前記ずれの大きさが許容値内であるかを判断する画像処理装置と、
    前記ずれの大きさが許容値を超えるときに、前記梱包容器への前記合紙および前記板状体の積載を中止させるための中止処理を行う制御装置と
    を有する板状体の積載設備。
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