JP2015149390A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明は、誘電体で形成され、第１導電膜を有する型を用いて、基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、型を介して第１導電膜に対向する位置に設置される第２導電膜と、第１導電膜および第２導電膜に接続され、第１導電膜および第２導電膜に通電して電荷を帯電させる電源とを有することを特徴とする。

Claims (11)

1. 誘電体で形成され、第１導電膜を有する型を用いて、基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
   前記型を介して前記第１導電膜に対向する位置に設置される第２導電膜と、
   前記第１導電膜および前記第２導電膜に接続され、該第１導電膜および該第２導電膜に通電して電荷を帯電させる電源と、
   を有することを特徴とするインプリント装置。
2. 前記第２導電膜は、前記型に設置されていることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記型を保持する保持部を有し、
   前記第２導電膜は、前記保持部の前記型と接触する面に設置される、
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
4. 前記第１導電膜および前記第２導電膜が帯電する電荷の極性を切り替える機構を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
5. 前記第１導電膜および前記第２導電膜をそれぞれアースに接続させる電気回路を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインプリント装置。
6. 前記第１導電膜は、粘着性を有する物質を設置することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
7. 誘電体で形成され、基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置に用いられる型であって、
   前記インプリント材のパターンを形成する際に基板側の面に第１導電膜を有し、
   前記第１導電膜は、前記型を介して該第１導電膜に対向する位置に設置される第２導電膜とともに電源に接続可能とし、該電源からの通電により電荷を帯電する、
   ことを特徴とする型。
8. 前記第２導電膜は、前記インプリント材のパターンを形成する際に前記インプリント装置に保持される側の面に設置されていることを特徴とする請求項７に記載の型。
9. 前記第１導電膜は、粘着性を有する物質を設置することを特徴とする請求項７または８に記載の型。
10. 前記第１導電膜は、前記型に形成されたパターンを囲むように形成されていることを特徴とする請求項７ないし９のいずれか１項に記載の型。
11. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成する工程と、
    物品を製造するために前記工程で前記パターンが形成された基板を加工する工程と、
    を含むことを特徴とする物品の製造方法。