JP2015140812A - 金属シール - Google Patents
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Abstract
Description
また、図4のグラフ図の圧力分布曲線PX を高い山型を呈するようにするためには、二平面31,32を相互に接近させる大きな締付力が必要となり、クランプ(締付部材)を大型のものとしたり、締付ボルトを大径のものとするか、締付ボルトの本数を増やす必要があった。
また、上記内ジャケットが、横断面に於て、上記外ジャケットの仮想外周円内に配設されているものである。
図1・図2は、本発明の実施の形態を示す。この金属シールは、例えば、半導体製造装置や真空配管、容器等の接続部に使用する。対向する平行な二平面1,2に接触する横断面C型の金属製外ジャケット3と、外ジャケット3の内部に挿入される金属製四角形状内ジャケット4と、内ジャケット4の内部に収納されて内ジャケット4を介して外ジャケット3を拡径方向に弾発付勢する弾発コイルばね5とを、備える。
内ジャケット4は、内部の弾発コイルばね5の弾発力を外ジャケット3に伝える役目もはたし、材質としては、ステンレス鋼やインコネル(耐熱合金)等が使用できる。
弾発コイルばね5は、ステンレス鋼やインコネル(耐熱合金)等が使用できる。
2 平面
3 外ジャケット
4 内ジャケット
5 弾発コイルばね
6 外周面
7 内周面
A 仮想外周円
C 角部
S シール部位
Claims (2)
- 対向する平行な二平面(1)(2)に接触する横断面C型の金属製外ジャケット(3)と、該外ジャケット(3)の内部に挿入される金属製内ジャケット(4)と、該内ジャケット(4)の内部に収納されて該内ジャケット(4)を介して上記外ジャケット(3)を拡径方向に弾発付勢する弾発コイルばね(5)とを、備えた金属シールに於て、
上記外ジャケット(3)の外周面(6)は横断面平滑円弧状であって、かつ、上記内ジャケット(4)は、上記外ジャケット(3)が上記二平面(1)(2)に接触するシール部位(S)を内周面(7)から拡径方向に押圧する角部(C)を有することを特徴とする金属シール。 - 上記内ジャケット(4)が、横断面に於て、上記外ジャケット(3)の仮想外周円(A)内に配設されている請求項1記載の金属シール。
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Citations (4)
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