JP2015138824A - 半導体装置およびその製造方法、並びに半導体装置を利用したパワーエレクトロニクスシステム - Google Patents
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Abstract
【課題】耐熱性を向上させることができる半導体装置およびその製造方法、並びに半導体装置を利用したパワーエレクトロニクスシステムを提供すること。【解決手段】第1、第2の電極、半導体素子、ボンディングワイヤおよび樹脂を備える半導体装置を製造する方法は、第1の電極上に接合された半導体素子にボンディングワイヤを電気的に接続する第1の接続工程と、半導体素子に接続されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、半導体素子に対向する第2の電極に電気的に接続させる第2の接続工程と、半導体素子とボンディングワイヤを樹脂によって封止する封止工程とを含む。【選択図】図3
Description
本開示技術は、半導体装置およびその製造方法、並びに半導体装置を利用したパワーエレクトロニクスシステムに関する。本開示技術は特に、電力用途のパワー半導体素子のパッケージング技術に関し、モータ用インバータ装置や太陽光発電用パワーコンディショナなどに用いられる半導体装置(あるいは半導体パッケージ)及びその製造方法に関する。
パワー半導体素子は、今後更に、電流容量の大型化が進むことが予想される。パワー半導体素子の材料も、SiからSiCやGaNなどのワイドバンドギャップ半導体に移行する傾向にある。このワイドバンドギャップ半導体は、Siの半導体と比較して、高速動作、低損失、高耐圧、高温動作可能という特性がある。このようなワイドバンドギャップ半導体の性能を十分に発揮させるためには、半導体パッケージ技術として低インダクタンス化、低抵抗化、高放熱化、高耐熱化を進める必要がある。
パワー半導体素子をパッケージする技術としては、例えば特許文献1に開示される技術がある。特許文献1に開示される半導体パッケージ構造では、半導体素子と主端子とがはんだによって直接的に接続されている。これにより、ワイドバンドギャップ半導体用のパッケージ構造に必要な低インダクタンス化および低抵抗化を図っている。
しかしながら、特許文献1のパッケージ構造では、半導体素子と主端子とが耐熱性の低いはんだで直接的に接続されているため、例えばワイドバンドギャップ半導体が動作可能な200℃を超える温度環境条件にて、はんだが軟化あるいは溶融する可能性がある。このような場合、はんだの形状が崩れることにより、半導体素子と主端子との接合部が破壊され、半導体装置として使用できなくなる可能性がある。このように、半導体装置としての耐熱性に関して未だ改善の余地があった。
したがって、本開示技術の目的は、前記従来の課題を解決することにあって、耐熱性を向上させた半導体装置およびその製造方法、並びに半導体装置を利用したパワーエレクトロニクスシステムを提供することにある。
前記従来の課題を解決するために、本開示技術は、第1の電極と、
第1の電極上に接合された半導体素子と、
半導体素子に電気的に接続されたボンディングワイヤと、
半導体素子に対向するとともに、ボンディングワイヤの少なくとも一部が電気的に接続された第2の電極と、
半導体素子およびボンディングワイヤを封止する樹脂とを備える、半導体装置である。
第1の電極上に接合された半導体素子と、
半導体素子に電気的に接続されたボンディングワイヤと、
半導体素子に対向するとともに、ボンディングワイヤの少なくとも一部が電気的に接続された第2の電極と、
半導体素子およびボンディングワイヤを封止する樹脂とを備える、半導体装置である。
前記従来の課題を解決するために、本開示技術は、第1、第2の電極、半導体素子、ボンディングワイヤおよび樹脂を備える半導体装置を製造する方法であって、
第1の電極上に接合された半導体素子にボンディングワイヤを電気的に接続する第1の接続工程と、
半導体素子に接続されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、半導体素子に対向する第2の電極に電気的に接続させる第2の接続工程と、
半導体素子とボンディングワイヤを樹脂によって封止する封止工程とを含む、半導体装置の製造方法である。
第1の電極上に接合された半導体素子にボンディングワイヤを電気的に接続する第1の接続工程と、
半導体素子に接続されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、半導体素子に対向する第2の電極に電気的に接続させる第2の接続工程と、
半導体素子とボンディングワイヤを樹脂によって封止する封止工程とを含む、半導体装置の製造方法である。
前記従来の課題を解決するために、本開示技術は、上述の半導体装置又は上述の半導体装置の製造方法により製造された半導体装置を含む、パワーエレクトロニクスシステムである。
本開示技術の半導体装置およびその製造方法、並びに半導体装置を利用したパワーエレクトロニクスシステムによれば、耐熱性を向上させることができる。
本開示技術の第1態様は、第1の電極と、
第1の電極上に接合された半導体素子と、
半導体素子に電気的に接続されたボンディングワイヤと、
半導体素子に対向するとともに、ボンディングワイヤの少なくとも一部が電気的に接続された第2の電極と、
半導体素子およびボンディングワイヤを封止する樹脂とを備える、半導体装置を提供する。
第1の電極上に接合された半導体素子と、
半導体素子に電気的に接続されたボンディングワイヤと、
半導体素子に対向するとともに、ボンディングワイヤの少なくとも一部が電気的に接続された第2の電極と、
半導体素子およびボンディングワイヤを封止する樹脂とを備える、半導体装置を提供する。
本開示技術の第2態様は、ボンディングワイヤは、超音波接合により半導体素子に電気的に接続され、第2の電極には拡散接合により電気的に接続された、第1態様の半導体装置を提供する。
本開示技術の第3態様は、ボンディングワイヤは、超音波接合により半導体素子に電気的に接続され、第2の電極には銀ナノ粒子の焼結により電気的に接続された、第1態様の半導体装置を提供する。
本開示技術の第4態様は、半導体素子は、機能の異なる複数の半導体素子を備え、
各半導体素子から第2の電極までの距離の違いに応じて、異なる長さを有するボンディングワイヤにより、各半導体素子と第2の電極とが電気的に接続されている、第1態様から第3態様のいずれか1つの半導体装置を提供する。
各半導体素子から第2の電極までの距離の違いに応じて、異なる長さを有するボンディングワイヤにより、各半導体素子と第2の電極とが電気的に接続されている、第1態様から第3態様のいずれか1つの半導体装置を提供する。
本開示技術の第5態様は、機能の異なる複数の半導体素子は、高さの異なる複数の半導体素子である、第4態様の半導体装置を提供する。
本開示技術の第6態様は、第1の電極上の半導体素子とは異なる位置に接合された受動部品と、
受動部品に電気的に接続されるとともに、少なくとも一部が第2の電極に電気的に接続されたボンディングワイヤとを備える、第1態様から第5態様のいずれか1つの半導体装置を提供する。
受動部品に電気的に接続されるとともに、少なくとも一部が第2の電極に電気的に接続されたボンディングワイヤとを備える、第1態様から第5態様のいずれか1つの半導体装置を提供する。
本開示技術の第7態様は、ボンディングワイヤは、少なくとも2点で半導体素子に接続されたループ形状を有し、ループ形状の頂部にて第2の電極に電気的に接続されている、第1態様から第6態様のいずれか1つの半導体装置を提供する。
本開示技術の第8態様は、ボンディングワイヤは、複数のループ形状を有し、複数のループ形状の頂部にて第2の電極に接続されている、第7態様の半導体装置を提供する。
本開示技術の第9態様は、ボンディングワイヤの一端は半導体素子に接続され、他端は第2の電極に接続された、第1態様から第6態様のいずれか1つの半導体装置を提供する。
本開示技術の第10態様は、第1、第2の電極、半導体素子、ボンディングワイヤおよび樹脂を備える半導体装置を製造する方法であって、
第1の電極上に接合された半導体素子にボンディングワイヤを電気的に接続する第1の接続工程と、
半導体素子に接続されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、半導体素子に対向する第2の電極に電気的に接続させる第2の接続工程と、
半導体素子とボンディングワイヤを樹脂によって封止する封止工程とを含む、半導体装置の製造方法を提供する。
第1の電極上に接合された半導体素子にボンディングワイヤを電気的に接続する第1の接続工程と、
半導体素子に接続されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、半導体素子に対向する第2の電極に電気的に接続させる第2の接続工程と、
半導体素子とボンディングワイヤを樹脂によって封止する封止工程とを含む、半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第11態様は、第1の接続工程は、超音波接合による接続を行い、
第2の接続工程は、拡散接合による接続を行う、第10態様の半導体装置の製造方法を提供する。
第2の接続工程は、拡散接合による接続を行う、第10態様の半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第12態様は、第1の接続工程は、超音波接合による接続を行い、
第2の接続工程は、銀ナノ粒子の焼結による接続を行う、第10態様の半導体装置の製造方法を提供する。
第2の接続工程は、銀ナノ粒子の焼結による接続を行う、第10態様の半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第13態様は、封止工程後であって第2の接続工程前に、ボンディングワイヤの少なくとも一部を樹脂から露出させる露出工程をさらに含み、
第2の接続工程では、露出されたボンディングワイヤ上に第2の電極を配置することで、ボンディングワイヤの少なくとも一部を第2の電極に電気的に接続する、第10態様から第12態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
第2の接続工程では、露出されたボンディングワイヤ上に第2の電極を配置することで、ボンディングワイヤの少なくとも一部を第2の電極に電気的に接続する、第10態様から第12態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第14態様は、第2の接続工程では、露出されたボンディングワイヤ上にスパッタによってシード層を形成し、シード層上に第2の電極を配置することで、ボンディングワイヤの少なくとも一部を第2の電極に電気的に接続する、第13態様の半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第15態様は、第2の接続工程においてシード層上への第2の電極の配置はめっき処理により行う、第14態様の半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第16態様は、第1の接続工程では、第1の電極上に接合された高さの異なる2以上の半導体素子上にそれぞれボンディングワイヤを形成し、
第2の接続工程では、各半導体素子から第2の電極までの距離の違いに応じて、異なる高さを有するボンディングワイヤにより、各半導体素子と第2の電極とを電気的に接続させる、第10態様から第15態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
第2の接続工程では、各半導体素子から第2の電極までの距離の違いに応じて、異なる高さを有するボンディングワイヤにより、各半導体素子と第2の電極とを電気的に接続させる、第10態様から第15態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第17態様は、第1の電極上の半導体素子とは異なる位置に接合された受動部品上にボンディングワイヤを形成する工程と、
受動部品上に形成されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、第2の電極に電気的に接続させる工程とをさらに含む、第10態様から第16態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
受動部品上に形成されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、第2の電極に電気的に接続させる工程とをさらに含む、第10態様から第16態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第18態様は、第1の接続工程では、ループ形状を形成するようにボンディングワイヤを少なくとも2点で半導体素子に電気的に接続させ、
第2の接続工程では、ループ形状のボンディングワイヤの頂部を第2の電極に電気的に接続する、第10態様から第17態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
第2の接続工程では、ループ形状のボンディングワイヤの頂部を第2の電極に電気的に接続する、第10態様から第17態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第19態様は、第1の接続工程では、複数のループ形状を形成するようにボンディングワイヤを半導体素子に電気的に接続させ、
第2の接続工程では、複数のループ形状のボンディングワイヤのそれぞれの頂部を第2の電極に電気的に接続する、第18態様の半導体装置の製造方法を提供する。
第2の接続工程では、複数のループ形状のボンディングワイヤのそれぞれの頂部を第2の電極に電気的に接続する、第18態様の半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第20態様は、第1の接続工程では、ループ形状を形成するようにボンディングワイヤを少なくとも2点で半導体素子に電気的に接続させ、
封止工程では、ループ形状のボンディングワイヤを封止し、
露出工程では、樹脂とともにボンディングワイヤのループ形状の頂部を含む部分を除去することで、ボンディングワイヤの端部を露出させ、
第2の接続工程では、ボンディングワイヤの露出した端部を第2の電極に電気的に接続させる、第13態様の半導体装置の製造方法を提供する。
封止工程では、ループ形状のボンディングワイヤを封止し、
露出工程では、樹脂とともにボンディングワイヤのループ形状の頂部を含む部分を除去することで、ボンディングワイヤの端部を露出させ、
第2の接続工程では、ボンディングワイヤの露出した端部を第2の電極に電気的に接続させる、第13態様の半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第21態様は、第2の電極をエッチングしてパターン化する工程をさらに含む、第10態様から第20態様のいずれか1つの半導体装置の製造方法を提供する。
本開示技術の第22態様は、第1態様から第8態様のいずれか1つの半導体装置又は第10態様から第21態様のいずれか1つの方法により製造された半導体装置を含む、パワーエレクトロニクスシステムを提供する。
以下、本開示技術の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、本開示技術の実施の形態1における半導体装置7の断面図である。図1に示す半導体装置7は、第1の電極1、第2の電極2、半導体素子3、ダイボンディング材4、ボンディングワイヤ5および樹脂6を備える。
図1は、本開示技術の実施の形態1における半導体装置7の断面図である。図1に示す半導体装置7は、第1の電極1、第2の電極2、半導体素子3、ダイボンディング材4、ボンディングワイヤ5および樹脂6を備える。
図1に示すように、第1の電極1と第2の電極2は、互いに間隔を空けて対向して配置される。第1、第2の電極1、2の主材料としては、例えば銅やアルミなどの熱伝導率および電気伝導率が高い材料であっても良い。
第1の電極1は、上面1aと下面1bとを有する。第2の電極2は、上面2aと下面2bとを有する。第1の電極1の上面1aには、半導体素子3が実装(接合)されている。半導体素子3は、大電力の入出力が可能なパワー半導体素子であり、図1の上下方向(第1の電極1と第2の電極2が向い合う方向)に電流を流す素子である。
半導体素子3は、上面3aと下面3bとを有する。図1に示すように、第1の電極1の上面1aと半導体素子3の下面3bとの間には、ダイボンディング材4が配置されている。ダイボンディング材4によって、第1の電極1の上面1aに半導体素子3が接合される。ダイボンディング材4の材料は例えば、導電性を有するペースト状の材料であり、そのような材料としては、銀ペースト、銀ナノペースト、銅ナノペーストなどがある。第1の電極1と半導体素子3との接合方法はこれに限らず、このようなペースト以外にも、ダイボンディング材4として金や銅を用いてこれらの金属同士の拡散現象を利用して接合しても良い。
図1に示すように、半導体素子3の上面3aにはボンディングワイヤ5が接続されている。図1に示されるボンディングワイヤ5は、1本のワイヤが複数のループ形状を形成するように半導体素子3の上面3aに複数箇所で接続されている。ここでのループ形状とは、半導体素子3の上面3aなどに少なくとも2点でボンディングワイヤ5を接続した山状の形状をいう。ループ形状のボンディングワイヤ5のそれぞれの頂部5dは、第2の電極2の下面2bに電気的に接合されている。
ボンディングワイヤ5は例えば、金、アルミニウム、銅などの金属で形成される。ボンディングワイヤ5は、超音波接合などを利用して半導体素子3の上面3aにある端子に接続される。半導体素子3の上面3aにある端子は、ボンディングワイヤ5と接合しやすいアルミニウムなどの材料で形成されても良い。
第1の電極1と第2の電極2の間には樹脂6が充填されている。樹脂6により、半導体素子3、ダイボンディング材4、ボンディングワイヤ5が封止される。
このように構成される半導体装置7においては、第1の電極1(の上面1a)と半導体素子3(の下面3b)とがダイボンディング材4を介して電気的に接続され、半導体素子3(の上面3a)と第2の電極2(の下面2b)とがボンディングワイヤ5を介して電気的に接続される。すなわち、半導体素子3、ダイボンディング材4、ボンディングワイヤ5を介して、第1の電極1と第2の電極2が電気的に接続される。
なお、第1、第2の電極1、2の表面の少なくとも一部をニッケル、金、銀などの金属材料で覆うことで、覆われた箇所における他の材料との接合・接続を促進するようにしても良い。また、第1、第2の電極1、2の表面に溝や凹凸を形成することで、その溝や凹凸における樹脂6との密着性を高めていてもよい。
また、ダイボンディング材4として200℃以上の耐熱性を有する材料を用いても良い。これにより、半導体装置7の信頼性を向上させることができる。
また、ボンディングワイヤ5の直径や本数はモジュールの規格電流値により決定しても良い。図1では、ボンディングワイヤ5を1本のみ図示しているが、ボンディングワイヤ5の本数は複数であっても良く、第1の電極1の上面1a沿いの各方向に本数を増加させても良い。
次に、本実施の形態1にかかる半導体装置7の製造方法について、図2および図3(a)―図3(f)の断面図を用いて説明する。
図2は、半導体装置7の製造方法のフローチャートの一例であり、図3(a)―図3(f)は、図2のフローチャートに沿って行われる半導体装置7の製造の順序を示す断面図である。
まず最初に、第1の電極1と半導体素子3とを準備する(ステップS1)。具体的には、図3(a)に示すように、第1の電極1の上面1aにダイボンディング材4によって接合された複数の半導体素子3を準備する。図3(a)に示すように、本実施の形態1における半導体素子3の上面3aはそれぞれ、第1の電極1の上面1aに対して異なる角度にて傾斜している。すなわち、半導体素子3の姿勢にばらつきがあり、異なる高さを有している。
次に、ワイヤボンディングを行う(ステップS2、第1の接続工程)。具体的には、図3(b)に示すように、複数のループ形状を形成するように、1本のボンディングワイヤ5を半導体素子3の上面3aに超音波接合により順に接続する。図3(b)に示す例では、1つの半導体素子3ごとに3つ又は4つのループ形状を形成し、1つの半導体素子3を別の半導体素子3にも接続するように、ボンディングワイヤ5を形成している。
本ステップS2では、第1の電極1の上面1aからボンディングワイヤ5の頂部5dまでの高さが同一になるようにボンディングワイヤ5を形成する。具体的には、ボンディングワイヤ5の形成後に、平板などでボンディングワイヤ5を上から押さえて変形させる加工(レベリング加工)を実施することにより、高さ合わせを行う。
次に、半導体素子3およびボンディングワイヤ5を樹脂6で封止する(ステップS3、封止工程)。具体的には、図3(c)に示すように、半導体素子3、ダイボンディング材4およびボンディングワイヤ5を覆うように樹脂6を配置するとともに、その後硬化させる。樹脂6を配置する方法は、塗布、トランスファーモールド工法、コンプレッションモールド工法などがあるが、これらに限らない。
次に、ボンディングワイヤ5の少なくとも一部を樹脂6から露出させる(ステップS4、露出工程)。具体的には、樹脂6の表面に対して研磨、研削、ドライエッチングなどを実施することで、図3(d)に示すように、ボンディングワイヤ5のループ形状の頂部5dを樹脂6から露出させる。図3(d)に示す例では、ループ形状の頂部5dにて断線しないようにボンディングワイヤ5を露出させている。ステップS2においてループ形状の頂部5dが同じ高さ位置となるようにレベリング加工しているため、各ループ形状の頂部5dは均一に露出する。
次に、ボンディングワイヤ5と第2の電極2とを電気的に接続させる(ステップS5、第2の接続工程)。具体的には、図3(e)に示すように、露出されたボンディングワイヤ5の頂部5dに接触するように、第2の電極2を形成する。この状態で、第2の電極2に対して加圧、加熱を施すことにより、第2の電極2とボンディングワイヤ5を接合して電気的に接続する。本実施の形態1では、接合方法は拡散接合を用いる。第2の電極2とボンディングワイヤ5の接合を促進するために、第2の電極2やボンディングワイヤ5の接合箇所となる表面に、酸化しにくい金などの別材料を事前に施しても良い(すなわち、めっき処理を行っても良い)。このような別材料を形成することにより、第2の電極2やボンディングワイヤ5の酸化による接合性の低下を防止することができる。金などの別材料は、スパッタやめっきなどによって形成することができる。なお、本ステップS5により配置された樹脂6は後に除去して、さらにその後、再度注入しても良い。
最後に、個片化を行う(ステップS6)。具体的には、図3(f)に示すように、半導体素子3を1つずつ含む複数の半導体装置7に切断する。半導体装置7は、第1の電極1、第2の電極2、ボンディングワイヤ5、樹脂6を含む断面にて切断されている。切断方法は例えば、レーザやダイシングソーを用いる。
上述したようにステップS1−S6を実施することにより、第1の電極1上に接合された半導体素子3と第2の電極2がボンディングワイヤ5で接続されるとともに、第1の電極1と第2の電極2の間の空間を樹脂6で封止した、複数の半導体装置7(図1)を製造することができる。
上述した方法により製造された半導体装置7では、半導体素子3と第2の電極2の接続をはんだではなく、ボンディングワイヤ5により行っているため、半導体装置7の耐熱性を向上させることができる。具体的には、第2の電極2および半導体素子3とボンディングワイヤ5との接続箇所が200°以上の条件下においても溶融しないため、そのような条件下でも半導体装置7の内部形状を維持することができる。これにより、半導体装置7の信頼性を向上させることができる。
また、本実施の形態1における半導体装置7によれば、半導体素子3と第2の電極2の間にボンディングワイヤ5が配置され、特にこのボンディングワイヤ5の形状がループ形状であることにより、ボンディングワイヤ5を緩衝材とすることができる。すなわち、外部から半導体装置7に衝撃を加えても、特にループ形状のボンディングワイヤ5の弾性により衝撃を吸収することができる。これにより、半導体装置7の信頼性を向上させることができる。また、半導体素子3から半導体素子3に対向する第2の電極2にボンディングワイヤ5を接続しているため、通常のワイヤボンディング接続と比較して電極間の配線長を短くすることができ、細くても多くの電流量を流すことができる。また、半導体素子3の上下方向に近接した場所に、体積の大きな電極(第1の電極1、第2の電極2)を配置することが容易になるため、半導体装置7の放熱性を向上させることができる。これにより、ボンディングワイヤ5による配線の短距離化を図ることができ、半導体装置7の高速動作を促進することができる。
また、ボンディングワイヤ5のループ形状を複数とし、平面的にも多数の接続箇所を設けることにより、外部からの衝撃の緩衝材としての機能を向上させることができ、半導体装置7の安定性を向上させつつ、多くの電流を流すことができる。
また、本実施の形態1における半導体装置7によれば、半導体素子3やボンディングワイヤ5を樹脂6で封止することにより、半導体素子3、ダイボンディング材4、ボンディングワイヤ5の熱応力によるダメージを低減することができる。また、樹脂6の弾性により、ボンディングワイヤ5と第2の電極2との接触率を高めることができるため、接合強度を増加させることができる。このように、半導体装置7の信頼性を向上させることができる。
また樹脂6の材料として、200℃以上の条件下でも半導体装置7全体を破壊しないような耐熱性を持つ材料を採用することで、半導体装置7の信頼性をさらに向上させることができる。このような樹脂6の材料としては例えば、熱応力の発生しない最適な弾性となるようにガラス転位温度が調整されたエポキシ、ポリイミド、シリコーンなどのエンジニアリングプラスチックを採用しても良い。
また、本実施の形態1における半導体装置7によれば、ボンディングワイヤ5は、超音波接合により半導体素子3に電気的に接続され、第2の電極2には拡散接合により電気的に接続される。このように、特に第2の電極2との接続を拡散接合により行うことで、強固な接続を確立することができ、半導体装置7の信頼性を向上させることができる。
また、本実施の形態1における半導体装置7によれば、高さの異なる半導体素子3であっても、各半導体素子3から第2の電極2までの距離の違いに応じて、異なる長さを有するボンディングワイヤ5により接続を行っている。すなわち、高さの異なる半導体素子3にも対応することができる。
(実施の形態2)
図4は、本開示技術の実施の形態2における半導体装置17の断面図である。本実施の形態2の半導体装置17は、実施の形態1の半導体装置7と異なり、半導体素子3とは高さの異なる半導体素子8をさらに備える。
図4は、本開示技術の実施の形態2における半導体装置17の断面図である。本実施の形態2の半導体装置17は、実施の形態1の半導体装置7と異なり、半導体素子3とは高さの異なる半導体素子8をさらに備える。
図4に示すように、半導体素子8は第1の電極1上の半導体素子3とは異なる位置に配置されている。半導体素子8と第1の電極1の間には、ダイボンディング材4が配置されている。半導体素子3に接続されるループ形状のボンディングワイヤ5は、半導体素子8にも同様に接続されている。図4では、1本のボンディングワイヤ5が半導体素子3および半導体素子8に接続されている。ボンディングワイヤ5の各ループ形状の頂部5dは、第2の電極2に電気的に接続されている。
図5は、図4の半導体装置17を利用した回路の一例を示す図である。図5に示すように、半導体素子3がダイオードで、半導体素子8がトランジスタの機能を持つようにすることができる。図5に示すような回路を構成する場合、半導体素子3と半導体素子8を同一電極に接続する必要がある。図4に示す半導体装置17のように、半導体素子3、8から第2の電極2までの距離が異なっても、それぞれの半導体素子3、8の上に形成するボンディングワイヤ5のループ形状の頂部5dを同じ高さにすることにより、半導体素子3、8を同一の第2の電極2へ容易に接合することができる。
次に、本実施の形態2にかかる半導体装置17の製造方法について、図6および図7(a)―図7(f)の断面図を用いて説明する。
図6は、半導体装置17の製造方法のフローチャートの一例であり、図7(a)―7(f)は、図6のフローチャートに沿って行われる半導体装置17の製造の順序を示す断面図である。
まず最初に、第1の電極1と半導体素子3、8とを準備する(ステップS7)。具体的には、図7(a)に示すように、第1の電極1上にダイボンディング材4によって接合された複数の半導体素子3および半導体素子8を準備する。本実施の形態1における半導体素子3、8は交互に配置されており、それぞれ異なる高さを有している。
次に、ワイヤボンディングを行う(ステップS8)。具体的には、図7(b)に示すように、複数のループ形状を形成するように、1本のボンディングワイヤ5を超音波接合により半導体素子3、8上に順に接続する。図7(b)に示す例では、1つの半導体素子3、8上に3つ又は4つのループ形状を形成するとともに、半導体素子3と半導体素子8を交互に接続するようにボンディングワイヤ5を形成する。
次に、半導体素子3、8およびボンディングワイヤ5を樹脂6で封止する(ステップS9)。具体的には、図7(c)に示すように、半導体素子3、8、ダイボンディング材4、ボンディングワイヤ5を覆うように樹脂6を配置するとともに、その後硬化させる。
次に、ボンディングワイヤ5の少なくとも一部を樹脂6から露出させる(ステップS10)。具体的には、図7(d)に示すように、樹脂6の表面に対して研磨、研削、ドライエッチングなどを実施することで、ボンディングワイヤ5の頂部5dを樹脂6から露出させる。
次に、ボンディングワイヤ5と第2の電極2とを電気的に接続させる(ステップS11)。具体的には、図7(e)に示すように、露出されたボンディングワイヤ5の頂部5dに接触するように、第2の電極2を配置する。この状態で、第2の電極2に対して加圧、加熱を施すことにより、第2の電極2とボンディングワイヤ5を接合する。これにより、第2の電極2とボンディングワイヤ5が電気的に接続される。
最後に、個片化を行う(ステップS12)。具体的には、図7(f)に示すように、半導体素子3、8を1つずつ含む複数の半導体装置17(図4)に切断する。
上述した方法により製造された半導体装置17によれば、上述した実施の形態1の半導体装置7の構成を包含しているため、実施の形態1と同様の効果を奏することができる。例えば、半導体素子3、8と第2の電極2とをはんだではなくボンディングワイヤ5により接続しているため、半導体装置17の耐熱性を向上させることができる。
上述のように、実施の形態2では、ボンディングワイヤ5による配線は連続(すなわち1本のボンディングワイヤ15を使用)であったが、このような場合に限らない。図8に示すように、ボンディングワイヤ5の配線を複数に分けても良い。すなわち、図8に示す例では、半導体素子3から半導体素子8に接続されるボンディングワイヤ5aと、半導体素子8から半導体装置17の側端部に延びるボンディングワイヤ5bとが設けられている。また、図8に示すように、第2の電極2の形成後、第2の電極2に対してエッチングなどの加工を施しても良い。このような加工により、図5に示した回路などを構成することができる。例えば特許文献1に開示される方法では、G端子はワイヤボンディングにより接続され、E端子とC端子ははんだにより接続されるため、接続方法は2種類となる。これに対して本開示技術では、1種類の接続方法(ワイヤボンディング)となるため、半導体装置17の製造方法のプロセスを簡略化することができる。
次に、実施の形態2における半導体装置17の製造方法の変形例1、2について説明する。本変形例1、2では、第2の電極2とボンディングワイヤ5を電気的に接続する方法として、拡散接合とは異なる方法を利用する。
(変形例1)
まず、実施の形態2の変形例1について、図9および図10(a)―10(g)の断面図を用いて説明する。図9は、半導体装置の製造方法のフローチャートの一例であり、図10(a)―10(g)は、図9のフローチャートに沿って行われる半導体装置の製造の順序を示す断面図である。
まず、実施の形態2の変形例1について、図9および図10(a)―10(g)の断面図を用いて説明する。図9は、半導体装置の製造方法のフローチャートの一例であり、図10(a)―10(g)は、図9のフローチャートに沿って行われる半導体装置の製造の順序を示す断面図である。
図9および図10(a)―図10(d)に示すように、ステップS7−S10までは実施の形態2と同じ工程を行う。具体的には、第1の電極1と半導体素子3、8とを準備し(ステップS7)、ワイヤボンディングを行い(ステップS8)、半導体素子3、8およびボンディングワイヤ5を樹脂6で封止し(ステップS9)、ボンディングワイヤ5の少なくとも一部を樹脂6から露出させる(ステップS10)。
次に、シード層10を形成する(ステップS13)。具体的には、図10(e)に示すように、スパッタなどの方法により、露出したボンディングワイヤ5の頂部5dに接触するように、樹脂6の表面の全面に例えば銅などのシード層10を配置する。
次に、シード層10上に第2の電極2を形成する(ステップS14)。具体的には、図10(f)に示すように、めっき処理などを行うことにより、シード層10上に第2の電極2を形成する。
最後に、個片化を行う(ステップS15)。具体的には、図10(g)に示すように、半導体素子3、8を1つずつ含む複数の半導体装置27に切断する。
上述した実施の形態2の変形例1による製造方法によれば、実施の形態2の半導体装置17と同じ構成にシード層10を含んだ半導体装置27を製造することができる。
(変形例2)
次に、実施の形態2の変形例2について、図11および図12(a)―12(g)の断面図を用いて説明する。図11は、半導体装置の製造方法のフローチャートの一例であり、図12(a)―12(g)は、図11のフローチャートに沿って行われる半導体装置の製造の順序を示す断面図である。本変形例2では、ボンディングワイヤ5と第2の電極2との接続を銀ナノ粒子などを含む焼結材料を用いて行う。
次に、実施の形態2の変形例2について、図11および図12(a)―12(g)の断面図を用いて説明する。図11は、半導体装置の製造方法のフローチャートの一例であり、図12(a)―12(g)は、図11のフローチャートに沿って行われる半導体装置の製造の順序を示す断面図である。本変形例2では、ボンディングワイヤ5と第2の電極2との接続を銀ナノ粒子などを含む焼結材料を用いて行う。
図11および図12(a)―12(c)に示すように、ステップS7−S9までは実施の形態2と同じ工程を行う。具体的には、第1の電極1と半導体素子3、8とを準備し(ステップS7)、ワイヤボンディングを行い(ステップS8)、半導体素子3、8およびボンディングワイヤ5を樹脂6で封止する(ステップS9)。
次に、実施の形態2の変形例2では、ボンディングワイヤ5の少なくとも一部を樹脂6から露出させる(ステップS16)。具体的には、ドライエッチングなどの方法により樹脂6を表面から削るとともに、ボンディングワイヤ5は削らないようにする。これにより、図12(d)に示すように、ボンディングワイヤ5のループ形状における頂部5dを含む部分が樹脂6から露出する。
次に、露出したボンディングワイヤ5に焼結材料16を塗布する(ステップS17)。具体的には、印刷、転写などの方法により、露出したボンディングワイヤ5の頂部5dに例えば銀ナノなどの焼結材料16を塗布する。
次に、焼結材料16上に第2の電極2を形成する(ステップS18)。具体的には、焼結材料16上に、第2の電極2を形成する。
最後に、樹脂11を注入して封止する(ステップS19)。具体的には、第2の電極2の隙間から樹脂11を注入し、ボンディングワイヤ5の頂部5dを含む露出部分と焼結材料16を封止するとともに、その後硬化させる。
上述した実施の形態2の変形例2による製造方法によれば、実施の形態2の半導体装置17に類似の構成を有する半導体装置37を製造することができる。半導体装置37では、第1の電極1上に接合された半導体素子3、8と第2の電極2とがボンディングワイヤ5、焼結材料16で接続され、第1の電極1と第2の電極2の間の空間を樹脂6、11で封止している。
本実施の形態2の変形例2による半導体装置37によれば、ボンディングワイヤ5は、半導体素子3に超音波接合により電気的に接続され、第2の電極2には焼結材料16により電気的に接続される。このように、特に第2の電極2との接続を焼結材料16により行うことで、強固な接続を確立することができ、半導体装置37の信頼性を向上させることができる。
(実施の形態3)
図13は、本開示技術の実施の形態3における半導体装置47の断面図である。実施の形態3における半導体装置47は、半導体素子3、8以外に受動部品9をさらに備える。
図13は、本開示技術の実施の形態3における半導体装置47の断面図である。実施の形態3における半導体装置47は、半導体素子3、8以外に受動部品9をさらに備える。
図13に示すように、半導体素子8と受動部品9はボンディングワイヤ5により接続されている。また、半導体素子3、8および受動部品9を覆うように樹脂6が配置されている。
受動部品9は例えば、抵抗、コンデンサ、インダクタ、サーミスタなどの機能をもつ電子部品であるが、これらの電子部品に限らない。図13では1つの受動部品9のみを図示しているが、複数の受動部品9を備えても良い。
次に、本実施の形態3にかかる半導体装置47の製造方法について、図14および図15(a)―図15(g)の断面図を用いて説明する。
図14は、半導体装置47の製造方法のフローチャートの一例であり、図15(a)―図15(g)は、図14のフローチャートに沿って行われる半導体装置47の製造の順序を示す断面図である。
まず最初に、第1の電極1と半導体素子3、8と受動部品9を準備する(ステップS20)。具体的には、図15(a)に示すように、第1の電極1上にダイボンディング材4によって接合された複数の半導体素子3、8および第1の電極1上に直接的に接合された受動部品9を準備する。
次に、ワイヤボンディングを行う(ステップS21)。具体的には、図15(b)に示すように、それぞれのボンディングワイヤ5a−5cが1つ又は複数のループ形状を形成するように、超音波接合により半導体素子3、8および受動部品9上に接続される。ボンディングワイヤ5aは半導体素子3と半導体素子8を接続し、ボンディングワイヤ5bは半導体素子8と受動部品9を接続し、ボンディングワイヤ5cは受動部品9と第1の電極1とを接続する。図15(b)に示す例では、ボンディングワイヤ5aは7つのループ形状を形成し、ボンディングワイヤ5b、5cはそれぞれ1つのループ形状を形成する。
次に、半導体素子3、8、受動部品9およびボンディングワイヤ5a−5cを樹脂6で封止する(ステップS22)。具体的には、図15(c)に示すように、半導体素子3、8、受動部品9およびボンディングワイヤ5を覆うように樹脂6を配置するとともに、その後硬化させる。
次に、ボンディングワイヤ5を樹脂6から露出させる(ステップS23)。具体的には、図15(d)に示すように、樹脂6の表面に対して研磨、研削、ドライエッチングなどを実施することで、ボンディングワイヤ5の頂部5dを樹脂6から露出させる。
次に、ボンディングワイヤ5と第2の電極2とを電気的に接続させる(ステップS24)。具体的には、図15(e)に示すように、露出されたボンディングワイヤ5の頂部5dに接触するように、第2の電極2を配置する。この状態で、第2の電極2に対して加圧、加熱を施すことにより、第2の電極2とボンディングワイヤ5を接合し、電気的に接続する。
次に、第2の電極2をパターン化する(ステップS25)。具体的には、図15(f)に示すように、第2の電極2をエッチングによって部分的に削ることで、第2の電極2のパターン化を行う。エッチングされた箇所からはボンディングワイヤ5と樹脂6とが露出する。
最後に、個片化を行う(ステップS26)。具体的には、図15(g)に示すように、半導体素子3、8および受動部品9を1つずつ含む半導体装置47に切断する。
上述したようにステップS20−S26を実施することにより、第1の電極1上に接合された半導体素子3、8と第2の電極2とがボンディングワイヤ5で接続され、第1の電極1と第2の電極2の間の空間を樹脂6で封止した半導体装置47(図13)を製造することができる。
上述した方法により製造された半導体装置47は、上述した実施の形態1の半導体装置7の構成を包含しているため、実施の形態1と同様の効果を奏することができる。例えば、半導体素子3、8および受動部品9と第2の電極2とをはんだではなく、ボンディングワイヤ5により接続しているため、半導体装置47の耐熱性を向上させることができる。
また、本実施の形態3の半導体装置47によれば、半導体素子3、8および受動部品9をボンディングワイヤ5および第2の電極2を介して配線することができるため、半導体装置47の中の構成のみで回路機能を拡張させることができる。例えば、図5では回路機能としてトランジスタとダイオードを示したが、これ以外にも例えばトランジスタを動作させるドライバ機能を含むように拡張することもできる。これにより、ボンディングワイヤ5の配線長を短くすることができ、半導体装置7における高速動作が可能となる。また、耐ノイズ性も向上し、半導体装置7の小型化が可能になる。
次に、実施の形態1−3における半導体装置を備えた実施の形態4にかかるパワーエレクトロニクスシステム50について、図16、17を用いて説明する。
図16は、実施の形態4におけるパワーエレクトロニクスシステム50を示す斜視図である。図17は、図16のパワーエレクトロニクスシステム50によって実現される回路図の一例である。
図16に示すパワーエレクトロニクスシステム50は、実施の形態1−3による半導体装置を複数備える。図17に示す回路図は図5に示した1つの回路を複数組み合わせて配線することで、実現することができる。
図16に示すパワーエレクトロニクスシステム50においては、半導体装置の間に例えばセラミック板などを挟むことで、冷却パスを構築することができる。よって、半導体装置の多層化を容易に行うことができ、パワーエレクトロニクスシステム50全体の小型化および低インダクタンス化を実現することができる。
以上、上述の実施の形態1−4を挙げて本開示技術を説明したが、本開示技術は上述の実施の形態1−4に限定されない。例えば、本実施の形態1−3では、ボンディングワイヤ5がループ形状である場合について説明したが、このような場合に限らず例えば、図18に示すような、頂部15dの尖ったのこぎり波形状のボンディングワイヤ15であっても良い。
また、本実施の形態1−3では、ボンディングワイヤ5の頂部5dが断線されずにループ形状にて第2の電極2に接合される場合について説明したが、このような場合に限らない。例えば、図19に示すように、ボンディングワイヤ5の一部(頂部5dを含む部分)を断線させたボンディングワイヤ25を第2の電極2に接続しても良い。ボンディングワイヤ5を断線させる方法としては、例えばエッチングや研磨・研削により、樹脂6とともにボンディングワイヤ5の頂部5dを含む部分を除去する方法がある。図19に示すように、ボンディングワイヤ25の端部のうち、半導体素子3に接続される一端25a(図中下側)とは異なる他端25b(図中上側)にて、第2の電極2と電気的に接続している。このように、ボンディングワイヤ25のループ数は0であっても良い。
また、本実施の形態1−3では、ボンディングワイヤ5は紐状(断面が円形状)である場合について説明したが、このような場合に限らない。例えば、図20に示すリボン状(断面が長方形状)のボンディングワイヤ35のような他の形状であっても良い。
また、本実施の形態1−3では、樹脂封止後にボンディングワイヤ5を露出させる場合について説明したが、このような場合に限らない。例えば、ボンディングワイヤ5の一部が露出するように樹脂封止を行うことにより、ボンディングワイヤ5の露出工程を省略することもできる。このように、上述した半導体装置の製造方法のステップの一部を適宜省略しても良い。
また、本実施の形態1−3では、樹脂封止後にボンディングワイヤ5を第2の電極2に接続する場合について説明したが、このような場合に限らない。例えば、ボンディングワイヤ5を第2の電極2に接続した後に樹脂封止を行っても良い。このように、上述した半導体装置の製造方法の各ステップの順番を適宜入れ替えても良い。
また、本実施の形態1−3では、高さの異なる複数の半導体素子3、8について、各半導体素子3、8から第2の電極2までの距離の違いに応じて、異なる長さのボンディングワイヤ5により、第2の電極2に電気的に接続する場合について説明したが、このような場合に限らない。例えば、半導体素子3、8の高さが異なる以外にも、半導体素子の上面にある端子のサイズ、位置、数および材料などが異なる場合や、半導体素子の材料が異なる場合(例えばSi、SiC、GaNなど)や、半導体素子の用途が異なる場合(例えばダイオード、トランジスタ、制御ICなど)のように、機能の異なる複数の半導体素子であっても良い。このような機能の異なる複数の半導体素子について、各半導体素子から第2の電極2までの距離の違いに応じて、異なる長さのボンディングワイヤ5により、第2の電極2に電気的に接続することで、機能の異なる半導体素子の接続にも対応することができる。
なお、前記様々な実施の形態のうちの任意の実施の形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
本開示技術にかかる半導体装置およびその製造方法、並びに半導体装置を利用したパワーエレクトロニクスシステムは、耐熱性を向上させて信頼性を向上させることができるので、パワー半導体素子への応用だけでなく、LSIの3次元実装化、CSP(Chip Scale Package)などにも応用することができる。
1 第1の電極
2 第2の電極
3、8 半導体素子
4 ダイボンディング材
5、15、25、35 ボンディングワイヤ
6、11 樹脂
7、17、27、37、47 半導体装置
9 受動部品
10 シード層
16 焼結材料
50 パワーエレクトロニクスシステム
2 第2の電極
3、8 半導体素子
4 ダイボンディング材
5、15、25、35 ボンディングワイヤ
6、11 樹脂
7、17、27、37、47 半導体装置
9 受動部品
10 シード層
16 焼結材料
50 パワーエレクトロニクスシステム
Claims (22)
- 第1の電極と、
第1の電極上に接合された半導体素子と、
半導体素子に電気的に接続されたボンディングワイヤと、
半導体素子に対向するとともに、ボンディングワイヤの少なくとも一部が電気的に接続された第2の電極と、
半導体素子およびボンディングワイヤを封止する樹脂とを備える、半導体装置。 - ボンディングワイヤは、超音波接合により半導体素子に電気的に接続され、第2の電極には拡散接合により電気的に接続された、請求項1に記載の半導体装置。
- ボンディングワイヤは、超音波接合により半導体素子に電気的に接続され、第2の電極には焼結材料により電気的に接続された、請求項1に記載の半導体装置。
- 半導体素子は、機能の異なる複数の半導体素子を備え、
各半導体素子から第2の電極までの距離の違いに応じて、異なる長さを有するボンディングワイヤにより、各半導体素子と第2の電極とが電気的に接続されている、請求項1から3のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 機能の異なる複数の半導体素子は、高さの異なる複数の半導体素子である、請求項4に記載の半導体装置。
- 第1の電極上の半導体素子とは異なる位置に接合された受動部品と、
受動部品に電気的に接続されるとともに、少なくとも一部が第2の電極に電気的に接続されたボンディングワイヤとを備える、請求項1から5のいずれか1つに記載の半導体装置。 - ボンディングワイヤは、少なくとも2点で半導体素子に接続されたループ形状を有し、ループ形状の頂部にて第2の電極に電気的に接続されている、請求項1から6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- ボンディングワイヤは、複数のループ形状を有し、複数のループ形状の頂部にて第2の電極に接続されている、請求項7に記載の半導体装置。
- ボンディングワイヤの一端は半導体素子に接続され、他端は第2の電極に接続された、請求項1から6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 第1、第2の電極、半導体素子、ボンディングワイヤおよび樹脂を備える半導体装置を製造する方法であって、
第1の電極上に接合された半導体素子にボンディングワイヤを電気的に接続する第1の接続工程と、
半導体素子に接続されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、半導体素子に対向する第2の電極に電気的に接続させる第2の接続工程と、
半導体素子とボンディングワイヤを樹脂によって封止する封止工程とを含む、半導体装置の製造方法。 - 第1の接続工程は、超音波接合による接続を行い、
第2の接続工程は、拡散接合による接続を行う、請求項10に記載の半導体装置の製造方法。 - 第1の接続工程は、超音波接合による接続を行い、
第2の接続工程は、銀ナノ粒子の焼結による接続を行う、請求項10に記載の半導体装置の製造方法。 - 封止工程後であって第2の接続工程前に、ボンディングワイヤの少なくとも一部を樹脂から露出させる露出工程をさらに含み、
第2の接続工程では、露出されたボンディングワイヤ上に第2の電極を配置することで、ボンディングワイヤの少なくとも一部を第2の電極に電気的に接続する、請求項10から12のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 第2の接続工程では、露出されたボンディングワイヤ上にスパッタによってシード層を形成し、シード層上に第2の電極を配置することで、ボンディングワイヤの少なくとも一部を第2の電極に電気的に接続する、請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 第2の接続工程においてシード層上への第2の電極の配置はめっき処理により行う、請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の接続工程では、第1の電極上に接合された高さの異なる2以上の半導体素子上にそれぞれボンディングワイヤを形成し、
第2の接続工程では、各半導体素子から第2の電極までの距離の違いに応じて、異なる高さを有するボンディングワイヤにより、各半導体素子と第2の電極とを電気的に接続させる、請求項10から15のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 第1の電極上の半導体素子とは異なる位置に接合された受動部品上にボンディングワイヤを形成する工程と、
受動部品上に形成されたボンディングワイヤの少なくとも一部を、第2の電極に電気的に接続させる工程とをさらに含む、請求項10から16のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 第1の接続工程では、ループ形状を形成するようにボンディングワイヤを少なくとも2点で半導体素子に電気的に接続させ、
第2の接続工程では、ループ形状のボンディングワイヤの頂部を第2の電極に電気的に接続する、請求項10から17のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 第1の接続工程では、複数のループ形状を形成するようにボンディングワイヤを半導体素子に電気的に接続させ、
第2の接続工程では、複数のループ形状のボンディングワイヤのそれぞれの頂部を第2の電極に電気的に接続する、請求項18に記載の半導体装置の製造方法。 - 第1の接続工程では、ループ形状を形成するようにボンディングワイヤを少なくとも2点で半導体素子に電気的に接続させ、
封止工程では、ループ形状のボンディングワイヤを封止し、
露出工程では、樹脂とともにボンディングワイヤのループ形状の頂部を含む部分を除去することで、ボンディングワイヤの端部を露出させ、
第2の接続工程では、ボンディングワイヤの露出した端部を第2の電極に電気的に接続させる、請求項13に記載の半導体装置の製造方法。 - 第2の電極をエッチングしてパターン化する工程をさらに含む、請求項10から20のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 請求項1から9のいずれか1つに記載の半導体装置又は請求項10から21のいずれか1つに記載の方法により製造された半導体装置を含む、パワーエレクトロニクスシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014008569A JP2015138824A (ja) | 2014-01-21 | 2014-01-21 | 半導体装置およびその製造方法、並びに半導体装置を利用したパワーエレクトロニクスシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015138824A true JP2015138824A (ja) | 2015-07-30 |
Family
ID=53769644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014008569A Pending JP2015138824A (ja) | 2014-01-21 | 2014-01-21 | 半導体装置およびその製造方法、並びに半導体装置を利用したパワーエレクトロニクスシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015138824A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2014-01-21 JP JP2014008569A patent/JP2015138824A/ja active Pending
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