JP2015130309A - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
荷電粒子ビーム装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015130309A JP2015130309A JP2014002260A JP2014002260A JP2015130309A JP 2015130309 A JP2015130309 A JP 2015130309A JP 2014002260 A JP2014002260 A JP 2014002260A JP 2014002260 A JP2014002260 A JP 2014002260A JP 2015130309 A JP2015130309 A JP 2015130309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- deflector
- electric field
- charged particle
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
- H01J37/1472—Deflecting along given lines
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/1504—Associated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/1508—Combined electrostatic-electromagnetic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/152—Magnetic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/153—Correcting image defects, e.g. stigmators
- H01J2237/1534—Aberrations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2803—Scanning microscopes characterised by the imaging method
- H01J2237/2804—Scattered primary beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2803—Scanning microscopes characterised by the imaging method
- H01J2237/2806—Secondary charged particle
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】ステージに載置した試料上に集束させた電子ビームを照射して走査する電子光学系を備えて試料を撮像する荷電粒子ビーム装置では、検出器へ入射させる二次電子/反射電子の軌跡を制御する重畳電磁偏向器制御手段において、静電偏向器を発生する静電偏向器へ印加する電圧源制御信号の基準信号や信号生成部と、静磁場を発生する電磁偏向器へ印加する電流源制御信号の基準信号や信号生成部と共通化することと、電圧制御信号の周波数特性および位相特性と、電流源制御信号の周波数特性および位相特性と一致することを含む。
【選択図】図1
Description
このウイン条件は、直交電磁偏向器が発生した電界と磁界が一次ビームへの影響を打ち消す条件である。Kxは直交電磁偏向器の電極形状や配置、コイルの状や配置、一次ビームの加速速度に依存する。
(式2):Vy=K3・Ix+K4・Iy
これはX方向の電極、コイルとY方向の電極、コイルの製造・実装誤差に起因する。
ここで、上記式中のK1、K2、K3、K4は以下の関係を満足する。すなわち、
・K1>>K2、且つK1>>K3、且つK4>>K2、且つK4>>K3
K1、K2、K3、K4は電極、コイルの製造・実装誤差に依存するから、装置に実装した後、最初に調整が必要である。
磁界により一次電子ビーム偏向量Lbxは、以下の簡略式(式4)で与えられる。
となる。
Vx=K1・Ix、 K1・S_ex=S_bx
Lex=Lbx、偏向方向逆であり、一次電子ビームの走査ずれはない。
(式5):L_ENX=((N_ECV_X×GE1+N_EAmpV_X×GE2)×S_ex
の式で表される。
(式6):L_BNX=((N_BCV_X×GB1+N_BAmpI_X×GB2)×S_bx
の式で表される。
GE1/GB1=GE2/GB2=K1、K1・S_ex=S_bx
の関係を満たす。
(式7):L_EXBNX=((N_ECV_X − N_BCV_X)×GB1+(N_EAmpV_X − N_BCV_X)×GB2)×S_bx
の式で表される。
(N_EAmpV_X 2+N_BAmpI_X 2)×GB22)(0.5)×S_bx
となる。
上述したことから、直交電磁偏向器の制御回路のノイズにおいて、電界偏向器と磁界偏向器における無相関なノイズ成分が電子ビームの走査ずれの主要因である。
この2段構成二次ビーム偏向手段の特徴は、1段構成の二次ビーム偏向手段により一次電子ビームの色収差問題を解決できる点にある。
[計測検査装置(システム)]
本実施例2における計測検査装置を含んで成るシステム全体の構成を図2に示す。実施例2における計測検査装置1は、対象の半導体ウェハ(試料110)の自動計測および自動検査を可能とする適用例である。本計測検査装置1は、半導体ウェハ(試料110)の回路パターンにおける寸法値を計測する計測機能、及び同パターンにおける欠陥(異常や不良)を検出する検査機能を備える。
図9に示すように、2段直交電磁偏向器の上段偏向器170を制御する部分と下段偏向器160を制御する部分で構成する。一次電子ビームへの位置ずれ影響を最小限するために、各段制御回路の構成は実施例1で説明した構成と同じであり、電圧源回路と電流源回路の信号発生部を共通化する。
各方向の制御電圧と制御電流の制御は独立して行うことが特徴である。
(1) 荷電粒子ビームを生成する荷電粒子銃と、
該荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビームをステージに載置した試料上に照射して走査する電子光学系と、
前記試料から発生する二次電子、または反射電子を検出する検出部と、
前記二次電子、または反射電子の進路を前記検出部の方向へ偏向させる直交電磁偏向部と、を有し、
前記直交電磁偏向部は、磁界を発生させて前記荷電粒子ビームの軌跡を変化させる磁界偏向器と、電界を発生させて前記荷電粒子ビームの軌跡を変化させる電界偏向器と、前記磁界偏向器に電流を供給する電流源回路と、前記電界偏向器に電圧を供給する電圧源回路と、前記電流と前記電圧との関係を調整するゲイン調整部と、を備え、
前記磁界偏向器と前記電界偏向器は、前記磁界と前記電界とが互いに直交し重畳するように配置され、
前記電流源回路に電圧を印加する電圧発生部と、前記電圧源回路に電圧を印加する電圧発生部とが一つに共通化され、
前記ゲイン調整部により、前記磁界により進路が偏向される量と前記電界により進路が偏向される量とが一致するように、前記電流と前記電圧との関係が調整される、
ことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
(2) 荷電粒子ビームを生成する荷電粒子銃と、
該荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビームをステージに載置した試料上に照射して走査する電子光学系と、
前記試料から発生する二次電子、または反射電子を検出する検出部と、
前記二次電子、または反射電子の進路を前記検出部の方向へ偏向させる直交電磁偏向部と、を有し、
前記直交電磁偏向部は、前記荷電粒子銃から放出される荷電粒子ビームの進路方向に交わる第1の方向に電界および磁界のそれぞれを印加する第1の電界偏向器及び第1の磁界偏向器と、前記第1の方向に直交する第2の方向に電界および磁界のそれぞれを印加する第2の電界偏向器及び第2の磁界偏向器と、前記第1及び第2の磁界偏向器のそれぞれに電流を供給する第1及び第2の電流源回路と、前記第1及び第2の電界偏向器のそれぞれに電圧を供給する第1及び第2の電圧源回路と、前記電流と前記電圧との関係を調整する第1及び第2のゲイン調整部と、をそれぞれ備え、
前記第1及び第2の磁界偏向器は、磁界を発生させて前記荷電粒子ビームの軌跡を変化させ、前記第1及び第2の電界偏向器は、電界を発生させて前記荷電粒子ビームの軌跡を変化させ、
前記第1及び第2の磁界偏向器と前記第1及び第2の電界偏向器は、それぞれの磁界と電界とが互いに直交し重畳するように配置され、
前記第1の電流源回路に電圧を印加する電圧発生部と、前記第1の電圧源回路に電圧を印加する電圧発生部とが一つに共通化された第1の電圧発生部と、
前記第2の電圧源回路に電圧を印加する電圧発生部と、前記第2の電圧源回路に電圧を印加する電圧発生部とが一つに共通化された第2の電圧発生部と、を有し、
前記第1の電圧発生部と前記第2の電圧発生部とは互いに独立して電圧を制御し、
前記第1のゲイン調整部により、前記第1の磁界偏向器により磁界の進路が偏向される量と前記第1の電界偏向器の電界により進路が偏向される量とが一致するように、前記電流と前記電圧との関係が調整され、
前記第2のゲイン調整部により、前記第2の磁界偏向器により磁界の進路が偏向される量と前記第2の電界偏向器の電界により進路が偏向される量とが一致するように、前記電流と前記電圧との関係が調整される、
ことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
100…走査型電子顕微鏡(カラム)、
101…電子銃、
102…第1コンデンサレンズ(集束レンズ)、
103…絞り、
104…第2コンデンサレンズ(集束レンズ)、
105…ブランキング(BLK)制御電極、
106…アパーチャ、
107…検出器(二次電子・反射電子検出器)、
109…対物レンズ、
110…試料、
112…試料台(ステージ)、
120…偏向器、
160…直交電磁偏向器、
200…コンピュータ(信号処理系)、
201…ブランキング(BLK)制御回路、
206…イメージシフト・偏向制御回路、
207…信号検出部(二次電子信号検出回路)、
208…画像処理部(二次電子信号処理回路)、
210…全体制御部、
220…電子光学制御部、
230…機構系制御部、
250…GUI部、
303…直交電磁偏向器、
302…直交電磁偏向器の制御回路。
Claims (5)
- 荷電粒子ビームを生成する荷電粒子銃と、
該荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビームをステージに載置した試料上に照射して走査する電子光学系と、
前記試料から発生する二次電子、または反射電子を検出する検出部と、
前記二次電子、または反射電子の進路を前記検出部の方向へ偏向させる直交電磁偏向部と、を有し、
前記直交電磁偏向部は、磁界を発生させて前記荷電粒子ビームの軌跡を変化させる磁界偏向器と、電界を発生させて前記荷電粒子ビームの軌跡を変化させる電界偏向器と、前記磁界偏向器に電流を供給する電流源回路と、前記電界偏向器に電圧を供給する電圧源回路と、前記電流と前記電圧との関係を調整するゲイン調整部と、を備え、
前記磁界偏向器と前記電界偏向器は、前記磁界と前記電界とが互いに直交し重畳するように配置され、
前記電流源回路に電圧を印加する電圧発生部と、前記電圧源回路に電圧を印加する電圧発生部とが一つに共通化され、
前記ゲイン調整部により、前記磁界により進路が偏向される量と前記電界により進路が偏向される量とが一致するように、前記電流と前記電圧との関係が調整される、
ことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記直交電磁偏向部が、前記荷電粒子銃から放出される荷電粒子ビームの進路方向に2つ並置された2段構成であり、
前記2段構成のそれぞれの直交電磁偏向部が、前記磁界偏向器と前記電界偏向器と前記電流源回路と前記電圧源回路と前記ゲイン調整部と、を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 荷電粒子ビームを生成する荷電粒子銃と、
該荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビームをステージに載置した試料上に照射して走査する電子光学系と、
前記試料から発生する二次電子、または反射電子を検出する検出部と、
前記二次電子、または反射電子の進路を前記検出部の方向へ偏向させる直交電磁偏向部と、を有し、
前記直交電磁偏向部は、前記荷電粒子銃から放出される荷電粒子ビームの進路方向に交わる第1の方向に電界および磁界のそれぞれを印加する第1の電界偏向器及び第1の磁界偏向器と、前記第1の方向に直交する第2の方向に電界および磁界のそれぞれを印加する第2の電界偏向器及び第2の磁界偏向器と、前記第1及び第2の磁界偏向器のそれぞれに電流を供給する第1及び第2の電流源回路と、前記第1及び第2の電界偏向器のそれぞれに電圧を供給する第1及び第2の電圧源回路と、前記電流と前記電圧との関係を調整する第1及び第2のゲイン調整部と、をそれぞれ備え、
前記第1及び第2の磁界偏向器は、磁界を発生させて前記荷電粒子ビームの軌跡を変化させ、前記第1及び第2の電界偏向器は、電界を発生させて前記荷電粒子ビームの軌跡を変化させ、
前記第1及び第2の磁界偏向器と前記第1及び第2の電界偏向器は、それぞれの磁界と電界とが互いに直交し重畳するように配置され、
前記第1の電流源回路に電圧を印加する電圧発生部と、前記第1の電圧源回路に電圧を印加する電圧発生部とが一つに共通化された第1の電圧発生部と、
前記第2の電圧源回路に電圧を印加する電圧発生部と、前記第2の電圧源回路に電圧を印加する電圧発生部とが一つに共通化された第2の電圧発生部と、を有し、
前記第1の電圧発生部と前記第2の電圧発生部とは互いに独立して電圧を制御し、
前記第1のゲイン調整部により、前記第1の磁界偏向器により磁界の進路が偏向される量と前記第1の電界偏向器の電界により進路が偏向される量とが一致するように、前記電流と前記電圧との関係が調整され、
前記第2のゲイン調整部により、前記第2の磁界偏向器により磁界の進路が偏向される量と前記第2の電界偏向器の電界により進路が偏向される量とが一致するように、前記電流と前記電圧との関係が調整される、
ことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記第2の電圧発生部から出力される電圧のゲイン調整を行う第3のゲイン調整部と、
前記第1の電圧発生部から出力される電圧のゲイン調整を行う第4のゲイン調整部と、をさらに有し、
前記第1の電圧源回路に、前記第1の電圧発生部から出力される電圧が前記第1のゲイン調整部を介して調整された電圧と、前記第2の電圧発生部から出力される電圧が前記第3のゲイン調整部を介して調整された電圧とが加算された電圧が入力され、
前記第2の電圧源回路に、前記第1の電圧発生部から出力される電圧を前記第4のゲイン調整部を介して調整された電圧と、前記第2の電圧発生部から出力される電圧を前記第2のゲイン調整部を介して調整された電圧とが加算された電圧が入力される
ことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記第1の電圧源回路からの第1電圧は、前記第1の電流源回路からの第1電流と前記第2の電流源回路からの第2電流とに依存し、
前記第2の電圧源回路からの第2電圧は、前記第1の電流源回路からの第1電流と前記第2の電流源回路からの第2電流とに依存することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014002260A JP6254445B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 荷電粒子ビーム装置 |
US15/109,230 US9679740B2 (en) | 2014-01-09 | 2014-12-16 | Charged particle beam device |
PCT/JP2014/083200 WO2015104959A1 (ja) | 2014-01-09 | 2014-12-16 | 荷電粒子ビーム装置 |
US15/613,941 US10424459B2 (en) | 2014-01-09 | 2017-06-05 | Charged particle beam device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014002260A JP6254445B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 荷電粒子ビーム装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017230024A Division JP6408116B2 (ja) | 2017-11-30 | 2017-11-30 | 荷電粒子ビーム装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015130309A true JP2015130309A (ja) | 2015-07-16 |
JP2015130309A5 JP2015130309A5 (ja) | 2017-02-09 |
JP6254445B2 JP6254445B2 (ja) | 2017-12-27 |
Family
ID=53523797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014002260A Active JP6254445B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 荷電粒子ビーム装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9679740B2 (ja) |
JP (1) | JP6254445B2 (ja) |
WO (1) | WO2015104959A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019537228A (ja) * | 2016-12-07 | 2019-12-19 | ケーエルエー コーポレイション | 電子ビームシステムにおける収差補正方法及びシステム |
WO2021250997A1 (ja) * | 2020-06-12 | 2021-12-16 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6254445B2 (ja) * | 2014-01-09 | 2017-12-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム装置 |
US10393509B2 (en) * | 2014-07-30 | 2019-08-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Pattern height measurement device and charged particle beam device |
DE112017007776B4 (de) * | 2017-09-04 | 2023-05-25 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ladungsträgerstrahlvorrichtung |
WO2019187118A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置 |
JP7068549B2 (ja) * | 2018-10-19 | 2022-05-16 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | マルチビーム検査装置において電子ビームをアライメントするシステム及び方法 |
DE112019006995T5 (de) * | 2019-03-08 | 2021-11-18 | Hitachi High-Tech Corporation | Mit einem strahl geladener teilchen arbeitende vorrichtung |
CN112071732B (zh) * | 2020-07-28 | 2021-11-19 | 西安交通大学 | 一种可编码阵列式静电偏转器、聚焦偏转系统及设计方法 |
JP2023554272A (ja) * | 2020-12-22 | 2023-12-27 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 一次電子ビームをサンプルに向ける方法及び電子光学カラム |
EP4086934A1 (en) * | 2021-05-04 | 2022-11-09 | ASML Netherlands B.V. | Electron optical column and method for directing a beam of primary electrons onto a sample |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0260042A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-28 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線応用装置の駆動電源 |
JPH02142045A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線応用装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3867048B2 (ja) * | 2003-01-08 | 2007-01-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | モノクロメータ及びそれを用いた走査電子顕微鏡 |
JP4943733B2 (ja) | 2005-04-28 | 2012-05-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビームを用いた検査方法及び検査装置 |
US7462828B2 (en) | 2005-04-28 | 2008-12-09 | Hitachi High-Technologies Corporation | Inspection method and inspection system using charged particle beam |
JP4988216B2 (ja) | 2006-02-03 | 2012-08-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 収差補正装置を搭載した荷電粒子線装置 |
JP2008181786A (ja) | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
US9153413B2 (en) | 2007-02-22 | 2015-10-06 | Applied Materials Israel, Ltd. | Multi-beam scanning electron beam device and methods of using the same |
JP4977509B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2012-07-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
JP5237734B2 (ja) | 2008-09-24 | 2013-07-17 | 日本電子株式会社 | 収差補正装置および該収差補正装置を備える荷電粒子線装置 |
JP6254445B2 (ja) * | 2014-01-09 | 2017-12-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム装置 |
-
2014
- 2014-01-09 JP JP2014002260A patent/JP6254445B2/ja active Active
- 2014-12-16 US US15/109,230 patent/US9679740B2/en active Active
- 2014-12-16 WO PCT/JP2014/083200 patent/WO2015104959A1/ja active Application Filing
-
2017
- 2017-06-05 US US15/613,941 patent/US10424459B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0260042A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-28 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線応用装置の駆動電源 |
JPH02142045A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線応用装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019537228A (ja) * | 2016-12-07 | 2019-12-19 | ケーエルエー コーポレイション | 電子ビームシステムにおける収差補正方法及びシステム |
JP2022058942A (ja) * | 2016-12-07 | 2022-04-12 | ケーエルエー コーポレイション | 電子光学システム |
JP7194849B2 (ja) | 2016-12-07 | 2022-12-22 | ケーエルエー コーポレイション | 電子光学システム |
WO2021250997A1 (ja) * | 2020-06-12 | 2021-12-16 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 |
TWI782516B (zh) * | 2020-06-12 | 2022-11-01 | 日商紐富來科技股份有限公司 | 多電子束影像取得裝置以及多電子束影像取得方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6254445B2 (ja) | 2017-12-27 |
US20170271121A1 (en) | 2017-09-21 |
WO2015104959A1 (ja) | 2015-07-16 |
US9679740B2 (en) | 2017-06-13 |
US10424459B2 (en) | 2019-09-24 |
US20160329186A1 (en) | 2016-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6254445B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP6155137B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡を用いた処理装置及び処理方法 | |
JP6408116B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP6677519B2 (ja) | 電子顕微鏡および収差測定方法 | |
JP5927067B2 (ja) | 計測検査装置、及び計測検査方法 | |
US9704687B2 (en) | Charged particle beam application device | |
US20150357153A1 (en) | Charged particle beam device | |
US9230775B2 (en) | Charged particle instrument | |
US8735814B2 (en) | Electron beam device | |
JP4273141B2 (ja) | 集束イオンビーム装置 | |
JP5277317B2 (ja) | 荷電粒子顕微鏡 | |
WO2015174268A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP5972663B2 (ja) | 電子ビーム応用装置および電子ビーム調整方法 | |
JP2008084823A (ja) | 荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置 | |
JP6563576B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
TWI753374B (zh) | 荷電粒子束裝置 | |
US11430630B2 (en) | Charged particle beam apparatus | |
US7060985B2 (en) | Multipole field-producing apparatus in charged-particle optical system and aberration corrector | |
JP6282076B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP4431624B2 (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JPWO2019021455A1 (ja) | 収差補正装置及び荷電粒子線装置 | |
JP7051655B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2020074294A (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161220 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171024 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6254445 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |