JP2015122480A - 反射光学素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射光学素子は、光学有効面、素子基板12、反射層系14、及び少なくとも一つの変形抑制層15を有し、変形抑制層の無い類似の構成と比較して、光学有効面11が電磁照射を受けた場合の反射層系14の最大変形レベルが低減させる。反射層系14は、第1熱膨張係数を有する第1材料からなる少なくとも一つの層と、第2熱膨張係数を有する第2材料を含む少なくとも一つの前記変形抑制層15とを備え、前記第1熱膨張係数及び前記第2熱膨張係数は、符号が逆である。
【選択図】図1
Description
-光学有効面、
-素子基板、
-反射層系、及び
-少なくとも一つの変形抑制層
を備え、
前記変形抑制層は、変形抑制層の無い類似の構成と比較して、前記光学有効面が電磁照射を受けた場合の前記反射層系の最大変形レベルを低減させることを特徴とするものである。
Claims (22)
- マイクロリソグラフィー投影露光装置又はマスク検査装置に用いられる反射光学素子であって、該反射光学素子は光学有効面を備え、
・素子基板(12、32、42、52);
・反射層系(14、34、44、54);及び
・少なくとも一つの変形抑制層(15、35、45、55、58)
を有し、
前記変形抑制層は、変形抑制層の無い類似の構成と比較して、前記光学有効面(11、31、41、51)が電磁照射を受けた場合の前記反射層系(14、34、44、54)の最大変形レベルを低減させることを特徴とする、反射光学素子。 - 前記反射層系(14、34、44、54)は、第1熱膨張係数を有する第1材料からなる少なくとも一つの層と、第2熱膨張係数を有する第2材料を含む少なくとも一つの前記変形抑制層(15、55)とを備え、前記第1熱膨張係数及び前記第2熱膨張係数は、符号が逆であることを特徴とする、請求項1に記載の反射光学素子。
- 前記第1材料は、ジルコニウム(Zr)、イットリウム(Y)、モリブデン(Mo)、ニオブ(Nb)、シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)、二酸化ルテニウム(RuO2)、又はルテニウム-シリコン(RuSi)を含むことを特徴とする、請求項2に記載の反射光学素子。
- 前記第2材料は、ZrMo2O8、ZrW2O8、HfMo2O8、HfW2O8、Zr2(MoO4)3、Zr2(WO4)3、Hf2(MoO4)3、Hf2(WO4)3、ScF3、ZnC2N2、ZnF2、Y2W3O12及び BiNiO3を含むグループから選択されることを特徴とする、請求項2又は3に記載の反射光学素子。
- 所定の温度変化で前記光学有効面(11)を加熱したことによる前記反射層系(14)及び前記変形抑制層(15)を備える配列(13)の有効体積変化DVeffは、かかる加熱により反射層系(14)自体に生じる体積変化V1の最大90%、具体的には、最大50%、さら具体的には、最大10%であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の反射光学素子。
- 前記光学有効面(11)を少なくとも1K、具体的には少なくとも5K、さらに具体的には少なくとも10Kの温度変化で加熱した場合に請求項5に記載の条件を満たす、請求項5に記載の反射光学素子。
- 前記少なくとも1つの変形抑制層(35、45、58)は、前記素子基板に面する方向に熱分散層を有し、該熱分散層は前記素子基板(32、42、52)と比較して熱伝導率が高いことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の反射光学素子。
- 前記熱分散層は、熱伝導率が少なくとも100 W/mKであることを特徴とする、請求項7に記載の反射光学素子。
- 前記熱分散層は、グラファイト、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)及びZrW2O8を含むグループから選択される少なくとも1つの材料を含むことを特徴とする、請求項7又は8に記載の反射光学素子。
- 前記素子基板(12)が加熱されることを遅延させるための遮熱層(16)が、前記反射層系(14)又は前記変形抑制層(15)と、前記素子基板(12)との間に配置されていることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の反射光学素子。
- 前記遮熱層(16)は石英を含むことを特徴とする、請求項10に記載の反射光学素子。
- 前記反射層系(44)に対して表面粗さが移行しないようにするための更なる中間層(47)が、前記反射層系(44)と前記変形抑制層(45)との間にさらに配置されていることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の反射光学素子。
- 前記中間層(47)は、石英及び/又はシリコン(Si)を含むことを特徴とする、請求項12に記載の反射光学素子。
- 前記中間層(47)は、未加工であることを特徴とする、請求項12又は13に記載の反射光学素子。
- 前記中間層(47)は、加工済みであり、特に、機械的工程又はイオンビーム形状修正によって加工されたことを特徴とする、請求項12又は13に記載の反射光学素子。
- 前記反射光学素子は、動作波長30nm未満、特に15nm未満で使用されるように設計されたことを特徴とする、請求項1〜15のいずれか一項に記載の反射光学素子。
- 前記反射光学素子はミラーであり、特に、マイクロリソグラフィー投影露光装置用のミラー又はマスク検査装置用のミラーであることを特徴とする、請求項1〜16のいずれか一項に記載の反射光学素子。
- 前記反射光学素子は、マイクロリソグラフィー投影露光装置用のレチクルであることを特徴とする、請求項1〜16のいずれか一項に記載の反射光学素子。
- 特に、請求項1〜18のいずれか一項に記載の少なくとも1つの反射光学素子を備える、照明装置又は投影レンズである、マイクロリソグラフィー投影露光装置(600)の光学系。
- マスク検査装置の光学系であり、特に、請求項1〜17のいずれか一項に記載の反射光学素子を少なくとも1つ備える、照明装置又は検査レンズ。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の反射光学素子を有することを特徴とする、照明装置及び投影レンズを備えるマイクロリソグラフィー投影露光装置(600)。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の反射光学素子を有することを特徴とする、照明装置及び検査レンズを備えるマスク検査装置。
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