JP2015118853A - 電子放出素子および電子放出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子放出素子1は、第1電極2と、第1電極2の上に形成され、開口部3aが設けられた絶縁層3と、絶縁層3の上に形成され、開口部3aを介して第1電極2に接する中間層4と、中間層4の上に形成された第2電極5とを備えている。第2電極5は、一部が絶縁層3の上の領域に配置されており、絶縁層3は、開口部3aの周縁部が開口端部に向かうに従って第1電極2側へ傾斜した傾斜部3bとされている。電子放出素子1は、第1電極2と第2電極5との間に電圧を印加することによって、第2電極5から電子を放出させる。
【選択図】図1A
Description
2 第1電極
3 絶縁層
3a 開口部
3b 傾斜部
4 中間層
5 第2電極
6 給電電極
6a 外周部
6b 延伸部
11 電源
12 接地電源
DA 傾斜角
Claims (7)
- 第1電極と、
前記第1電極の上に形成され、開口部が設けられた絶縁層と、
前記絶縁層の上に形成され、前記開口部を介して前記第1電極に接する中間層と、
前記中間層の上に形成された第2電極とを備え、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することによって、前記第2電極から電子を放出させる電子放出素子であって、
前記第2電極は、一部が前記絶縁層の上の領域に配置されており、
前記絶縁層は、前記開口部の周縁部が開口端部に向かうに従って前記第1電極側へ傾斜した傾斜部とされていること
を特徴とする電子放出素子。 - 請求項1に記載の電子放出素子であって、
前記中間層は、シリコーン樹脂で形成されていること
を特徴とする電子放出素子。 - 請求項1または請求項2に記載の電子放出素子であって、
前記傾斜部は、前記第1電極に対して10度から50度の範囲内で傾斜していること
を特徴とする電子放出素子。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1つに記載の電子放出素子であって、
前記第2電極の上に形成され、該第2電極の外周に沿って設けられた給電電極を備えること
を特徴とする電子放出素子。 - 請求項4に記載の電子放出素子であって、
前記開口部は、複数設けられており、
前記給電電極は、前記第2電極の外周に設けられた外周部と、前記外周部から延伸され、隣接する前記開口部の間に位置する前記絶縁層の上の領域に設けられた延伸部とを備える構成とされていること
を特徴とする電子放出素子。 - 請求項1から請求項5までのいずれか1つに記載の電子放出素子であって、
前記絶縁層は、二酸化珪素、酸化アルミニウム、または有機ポリマーで形成されていること
を特徴とする電子放出素子。 - 請求項1から請求項6までのいずれか1つに記載の電子放出素子と、前記第1電極および前記第2電極に接続された電源とを備える電子放出装置。
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