JP2015106589A - パッシベーション層付半導体基板の製造方法、パッシベーション層付半導体基板、太陽電池素子の製造方法及び太陽電池素子 - Google Patents
パッシベーション層付半導体基板の製造方法、パッシベーション層付半導体基板、太陽電池素子の製造方法及び太陽電池素子 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】電極形成用組成物を付与する工程と、前記組成物層が形成される面上に下記一般式で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物を付与する工程と、熱処理して電極及びパッシベーション層を形成する工程とを有する。
【選択図】図1
Description
まず、光閉じ込め効果を促して高効率化を図るよう、受光面側にテクスチャー構造を形成したp型シリコン基板を準備し、続いてオキシ塩化リン(POCl3)、窒素及び酸素の混合ガス雰囲気において800℃〜900℃で数十分の処理を行って一様にn型拡散層を形成する。この従来の方法では、混合ガスを用いてリンの拡散を行うため、受光面である表面のみならず、側面及び裏面にもn型拡散層が形成される。そのため、側面に形成されたn型拡散層を除去するためのサイドエッチングを行う必要がある。また、裏面に形成されたn型拡散層はp+型拡散層へ変換する必要がある。具体的には、裏面全体にアルミニウム粉末及びバインダを含むアルミニウムペーストを塗布し、これを熱処理(焼成、焼結)することで、n型拡散層をp+型拡散層にし、かつアルミニウム電極を形成することでオーミックコンタクトを得ている。
このような受光面とは反対側の面(以下、「裏面」ともいう)にポイントコンタクト構造を有する太陽電池の場合、アルミニウム電極以外の部分の表面において、少数キャリアの再結合速度を抑制する必要がある。そのための裏面用の半導体基板パッシベーション層(以下、単に「パッシベーション層」ともいう)として、SiO2膜等が提案されている(例えば、特許文献2参照)。このようなSiO2膜を形成することによるパッシベーション効果としては、シリコン基板の裏面表層部におけるケイ素原子の未結合手を終端させ、再結合の原因となる表面準位密度を低減させる効果がある。
このようなパッシベーション層は、一般的にはALD(Atomic Layer Deposition)法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等の方法で形成される(例えば、非特許文献1参照)。また、半導体基板上に酸化アルミニウム膜を形成する簡便な手法として、ゾルゲル法による手法が提案されている(例えば、非特許文献2及び3参照)。
前記半導体基板の前記電極形成用組成物層が形成される面上に、下記一般式(I)で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物を付与してパッシベーション層形成用組成物層を形成する工程と、
前記半導体基板を熱処理して、前記電極形成用組成物層の熱処理物である電極と、前記パッシベーション層形成用組成物層の熱処理物であるパッシベーション層と、を形成する工程と、を有するパッシベーション層付半導体基板の製造方法。
M(OR11)m (II)
[式中、MはNb、Ta、V、Y及びHfからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含み、R11はそれぞれ独立して炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜14のアリール基を表し、mは1〜5の整数を表す。]
前記半導体基板の前記電極形成用組成物層が形成される面上に、下記一般式(I)で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物を付与してパッシベーション層形成用組成物層を形成する工程と、
前記半導体基板を熱処理して、前記電極形成用組成物層の熱処理物である電極と、前記パッシベーション層形成用組成物層の熱処理物であるパッシベーション層と、を形成する工程と、を有する太陽電池素子の製造方法。
M(OR11)m (II)
[式中、MはNb、Ta、V、Y及びHfからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含み、R11はそれぞれ独立して炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜14のアリール基を表し、mは1〜5の整数を表す。]
本発明のパッシベーション層付半導体基板の製造方法は、半導体基板の少なくとも一方の面上に電極形成用組成物を付与して電極形成用組成物層を形成する工程と、前記半導体基板の前記電極形成用組成物層が形成される面上に、下記一般式(I)で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物を付与してパッシベーション層形成用組成物層を形成する工程と、前記半導体基板を熱処理して、前記電極形成用組成物層の熱処理物である電極と、前記パッシベーション層形成用組成物層の熱処理物であるパッシベーション層と、を形成する工程と、を有する。
(2)パッシベーション層形成用組成物層を形成する工程
(3)半導体基板を熱処理して電極及びパッシベーション層を形成する工程
(2)電極形成用組成物層を形成する工程
(3)半導体基板を熱処理して電極及びパッシベーション層を形成する工程
1/τ=1/τb+1/τs (A)
尚、実効ライフタイムが長いほど少数キャリアの再結合速度が遅いことを示す。また実効ライフタイムが長い半導体基板を用いて太陽電池素子を構成することで、変換効率が向上する。
本発明のパッシベーション層付半導体基板の製造方法は、半導体基板の少なくとも一方の面上に電極形成用組成物を付与して電極形成用組成物層を形成する工程を有する。
本発明のパッシベーション層付半導体基板の製造方法は、半導体基板の電極形成用組成物層が形成される面上に、一般式(I)で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物を付与してパッシベーション層形成用組成物層を形成する工程を有する。
本発明のパッシベーション層付半導体基板の製造方法は、半導体基板を熱処理して、電極形成用組成物層の熱処理物である電極と、パッシベーション層形成用組成物層の熱処理物であるパッシベーション層と、を形成する工程を有する。
本発明のパッシベーション層付半導体基板の製造方法は、半導体基板上に形成されたパッシベーション層形成用組成物層を乾燥処理する工程を有してもよい。パッシベーション層形成用組成物層を乾燥処理することで、より均一なパッシベーション効果を有するパッシベーション層を形成することができる。また、乾燥処理することで固体膜状の層となることから電極形成用組成物との相溶を防ぎ、加熱処理を同時に行うことができるようになる。
本発明のパッシベーション層付半導体基板の製造方法は、半導体基板上に電極形成用組成物及びパッシベーション層形成用組成物を付与して電極形成用組成物層及びパッシベーション層形成用組成物層を形成する工程の前に、半導体基板上にアルカリ水溶液を接触させて半導体基板の表面を洗浄する工程をさらに有することが好ましい。アルカリ水溶液で洗浄することで、半導体基板表面に存在する有機物、パーティクル等を除去することができ、パッシベーション効果がより向上する。
本発明の製造方法に用いられるパッシベーション層形成用組成物は、下記一般式(I)で表される化合物の少なくとも1種を含む。
粘度変化率(%)=|η30−η0|/η0×100 (式)
パッシベーション層形成用組成物は、一般式(I)で表される化合物の少なくとも1種を含む。一般式(I)で表される化合物は、アルミニウムアルコキシド、アルミニウムキレートなどと呼ばれる化合物であり、アルミニウムアルコキシド構造に加えてアルミニウムキレート構造を有していることが好ましい。また、Nippon Seramikkusu Kyokai Gakujitsu Ronbunshi、97(1989)369−399にも記載されているように、一般式(I)で表される化合物である有機アルミニウム化合物は熱処理により酸化アルミニウム(Al2O3)となる。
一般式(I)におけるR2、R3及びR4はそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜8のアルキル基を表す。R2、R3及びR4で表されるアルキル基は直鎖状であっても分岐鎖状であってもよい。R2、R3及びR4で表されるアルキル基は、置換基を有していても、無置換であってもよく、無置換であることが好ましい。R2、R3及びR4で表されるアルキル基として具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、エチルヘキシル基等を挙げることができる。
より優れたパッシベーション効果が得られることから、パッシベーション層形成用組成物は、さらに下記一般式(II)で表される化合物を含むことが好ましい。
M(OR11)m (II)
式中、MはNb、Ta、V、Y及びHfからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含み、R11はそれぞれ独立して炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜14のアリール基を表し、mは1〜5の整数を表す。
保存安定性とパッシベーション効果の観点からは、R11は炭素数1〜8の無置換のアルキル基であることが好ましく、炭素数1〜4の無置換のアルキル基であることがより好ましい。
パッシベーション層形成用組成物は、樹脂の少なくとも1種を含むことが好ましい。樹脂を含むことで、パッシベーション層形成用組成物が半導体基板上に付与されて形成される組成物層の形状安定性がより向上し、パッシベーション層を組成物層が形成された領域に、所望の形状でより選択的に形成することができる。
前記パッシベーション層形成用組成物は液状媒体(溶媒又は分散媒)を含んでいてもよい。パッシベーション層形成用組成物が液状媒体を含有することで、粘度の調整がより容易になり、付与性がより向上し、より均一なパッシベーション層を形成することができる傾向にある。前記液状媒体としては特に制限されず、目的に応じて適宜選択することができる。中でも一般式(I)で表される化合物、及び必要に応じて用いられる樹脂を溶解して均一な溶液を得ることができる液状媒体が好ましく、有機溶剤の少なくとも1種を含むことがより好ましい。液状媒体とは、室温(25℃)において液体の状態の媒体をいう。
本発明のパッシベーション層形成用組成物は、上述した成分に加えてその他の成分を含んでいてもよい。その他の成分としては、可塑剤、分散剤、界面活性剤、チキソ剤、無機フィラー、他の金属アルコキシド化合物等を挙げることができる。パッシベーション層をパターン状に形成する場合は、チキソ剤及び無機フィラーから選択される少なくとも1種を含むことが好ましい。チキソ剤及び無機フィラーから選択される少なくとも1種を含むことで、パッシベーション層形成用組成物が半導体基板上に付与されて形成される組成物層の形状安定性がより向上し、パッシベーション層を前記組成物層が形成された領域に、所望の形状で形成することができる。
本発明のパッシベーション層付半導体基板は、本発明のパッシベーション層付半導体基板の製造方法により製造されたものである。前記パッシベーション層付半導体基板は、半導体基板と、前記半導体基板の少なくとも一方の面上に設けられるパッシベーション層及び電極と、を有する。本発明のパッシベーション層付半導体基板は、一般式(I)で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物の熱処理物からなるパッシベーション層を有しており、かつパッシベーション層の形成及び電極の形成の際の熱処理により半導体基板が受ける熱負荷が低減されているため、優れたパッシベーション効果を示す。
本発明の太陽電池素子の製造方法は、pn接合を有する半導体基板の表面に存在するp型層及びn型層からなる群より選択される少なくとも一方の上に電極形成用組成物を付与して電極形成用組成物層を形成する工程と、前記半導体基板の前記電極形成用組成物層が形成される面上に、一般式(I)で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物を付与してパッシベーション層形成用組成物層を形成する工程と、前記半導体基板を熱処理して、前記電極形成用組成物層の熱処理物である電極と、前記パッシベーション層形成用組成物層の熱処理物であるパッシベーション層と、を形成する工程と、を有する。
本発明の太陽電池素子は、前記太陽電池素子の製造方法によって製造されたものである。前記太陽電池素子は、pn接合を有する半導体基板と、前記半導体基板の表面に存在するp型層及びn型層からなる群より選択される少なくとも一方の上に設けられる電極と、前記半導体基板の前記電極が設けられる面上に設けられるパッシベーション層と、を有する。前記太陽電池素子は、必要に応じてその他の構成要素をさらに有していてもよい。本発明の太陽電池素子は、前記太陽電池素子の製造方法によって形成されたパッシベーション層を有することで、変換効率に優れる。太陽電池素子の形状や大きさに制限はない。例えば、一辺が125mm〜156mmの正方形であることが好ましい。
図1は、本発明の実施形態にかかるパッシベーション層を有する太陽電池素子の製造方法の一例を模式的に示す工程図を断面図として示したものである。但し、この工程図は本発明をなんら制限するものではない。
パッシベーション層形成用組成物として一般式(I)で表される化合物を含む組成物を用いることで、アモルファス状態の酸化アルミニウムを含むパッシベーション層60が形成される。
受光面電極形成用ペーストとしてファイヤースルー性を有するガラス粉末を含むものを用いることにより、反射防止膜3を貫通してn+型拡散層2と接触する受光面電極70をが形成される。これにより、受光面電極70とn+型拡散層2とのオーミックコンタクトを得ることができる。
さらにまた、裏面部分にパッシベーション層を形成せず、側面のみに本発明のパッシベーション層形成用組成物を塗布、熱処理してパッシベーション層を形成してもよい。本発明のパッシベーション層形成用組成物は、側面のような結晶欠陥が多い場所に使用すると、その効果が特に大きい。
本発明の太陽電池は、前記太陽電池素子の少なくとも1つを含み、太陽電池素子の出力取出し電極上に配線材料が配置されて構成される。太陽電池は必要に応じて、配線材料を介して複数の太陽電池素子が連結され、封止材で封止された構造を有していてもよい。配線材料及び封止材の種類は特に制限されず、当該技術分野で通常用いられているものから適宜選択することができる。前記太陽電池の大きさに制限はない。例えば、0.5m2〜3m2であることが好ましい。
(パッシベーション層形成用組成物の調製)
一般式(I)で表される化合物としてエチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート(商品名:ALCH、川研ファインケミカル株式会社)を14.10g、一般式(II)で表される化合物としてニオブエトキシド(北興化学産業株式会社)を14.03g、テルピネオール(商品名:ターピネオールLW、日本テルペン化学株式会社)を21.96g混合して、有機金属化合物溶液を調製した。これとは別にエチルセルロース(商品名:ETHOCEL STD200cps、日進化成株式会社)を5.00g、テルピネオールを95.00g混合し、150℃で1時間攪拌して、エチルセルロース溶液を調製した。得られた有機金属化合物溶液50.09gにエチルセルロース溶液を50.01g加えて混合し、無色透明の溶液であるパッシベーション層形成用組成物1を調製した。パッシベーション層形成用組成物1中のエチルセルロースの含有率は2.50%、有機金属化合物(一般式(I)で表される化合物と一般式(II)で表される化合物の合計)の含有率は28.10%となった。
半導体基板として、表面がミラー形状の単結晶型p型シリコン基板(株式会社SUMCO、50mm角、厚さ:625μm)を用いた。シリコン基板をRCA洗浄液(Frontier Cleaner−A01、関東化学株式会社)を用いて70℃にて5分間、浸漬洗浄し、前処理を行った。
その後、上記で得られたパッシベーション層形成用組成物1を前処理したシリコン基板上に、スクリーン印刷法を用いて付与した。スクリーン印刷法には、図3に示すような円形のドット状の非開口部14と開口部12とを有するパッシベーション層形成用のスクリーンマスク版を用いた。図3のマスクの非開口部14の直径Laは0.714mm、非開口部14の円中心間距離Lbは2.000mmであった。シリコン基板表面のマスクの開口部12に相当する領域にパッシベーション層形成用組成物1を付与した。その後、150℃の温度で3分間加熱し、溶剤を蒸散させることで乾燥処理を行った。このようにして、シリコン基板上にパッシベーション層形成用組成物層を形成した。
評価用基板1のパッシベーション層が形成された領域における実効ライフタイム(μs)を、ライフタイム測定装置(WT−2000PVN、日本セミラボ株式会社)を用いて、室温で反射マイクロ波光電導減衰法により測定した。評価用基板1のパッシベーション層が形成された領域の実効ライフタイムは、1191μsであった。
評価用基板1上のパッシベーション層が形成されていない領域に、ドット状に形成されたアルミニウム電極の状態を調べた。具体的には、切断面がアルミニウム電極の中心を通過するように評価用基板1を切断し、得られた断面を走査型電子顕微鏡(XL30、フィリップス社)を用いて観察した。断面観察において、シリコン基板の表面とアルミニウム電極とが直接接触している部分の長さの合計を求め、得られた値をドット径(0.714mm)で除した数値(%)を接触率とした。断面観察は10個のアルミニウム電極について行い、得られた接触率の平均値によって電極形成性を下記の評価基準に従って評価した。評価用基板1の電極形成性はAであった。
A:シリコン基板とアルミニウム電極の接触率が90%以上であった。
B:シリコン基板とアルミニウム電極の接触率が70%以上90%未満であった。
C:シリコン基板とアルミニウム電極の接触率が70%未満であった。
実施例1において、トンネル炉での熱処理の際の保持時間を100秒に変更したこと以外は同様にして評価用基板2を作成し、実効ライフタイムと電極形成性を評価した。得られた評価用基板2のパッシベーション層形成用組成物を付与した領域の実効ライフタイムは、949μsであった。また、評価用基板2の電極形成性はAであった。
実施例1において、トンネル炉での熱処理の際の保持時間を500秒に変更したこと以外は同様にして評価用基板3を作成し、実効ライフタイムと電極形成性を評価した。得られた評価用基板3のパッシベーション層形成用組成物を付与した領域の実効ライフタイムは、872μsであった。また、評価用基板3の電極形成性はBであった。
実施例3において、トンネル炉の最高熱処理温度を700度に変更したこと以外は同様にして評価用基板4を作成し、実効ライフタイムと電極形成性を評価した。得られた評価用基板4のパッシベーション層形成用組成物を付与した領域の実効ライフタイムは、1244μsであった。また、評価用基板4の電極形成性はAであった。
実施例1において、パッシベーション層形成用組成物1を半導体基板に付与しなかったこと以外は同様にして基板Aを作成し、実効ライフタイムと電極形成性を評価した。得られた基板Aの表面における実効ライフタイムは、31μsであった。
実施例1において、トンネル炉での熱処理を行わなかったこと以外は同様にして基板Bを作成し、実効ライフタイムと電極形成性を評価した。得られた基板Bのパッシベーション層形成用組成物を付与した領域の実効ライフタイムは、20μsであった。また、基板Bの電極形成性はAであった。
実施例1において、パッシベーション層形成用組成物1の代わりに実施例1で調製したエチルセルロース溶液のみを半導体基板に付与したこと以外は同様にして基板Dを作成し、実効ライフタイムと電極形成性を評価した。得られた基板Dのパッシベーション層形成用組成物を付与した領域の実効ライフタイムは、19μsであった。また、基板Dの電極形成性はBであった。
2 n+型拡散層
3 反射防止膜
4 p+型拡散層
5 裏面電極形成用組成物層
6 パッシベーション層形成用組成物層
7 受光面電極形成用組成物層
50 裏面電極
60 パッシベーション層
70 受光面電極
12 開口部
14 非開口部
Claims (14)
- 半導体基板の少なくとも一方の面上に電極形成用組成物を付与して電極形成用組成物層を形成する工程と、
前記半導体基板の前記電極形成用組成物層が形成される面上に、下記一般式(I)で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物を付与してパッシベーション層形成用組成物層を形成する工程と、
前記半導体基板を熱処理して、前記電極形成用組成物層の熱処理物である電極と、前記パッシベーション層形成用組成物層の熱処理物であるパッシベーション層と、を形成する工程と、を有するパッシベーション層付半導体基板の製造方法。
[式中、R1はそれぞれ独立して炭素数1〜8のアルキル基を表す。nは0〜3の整数を表す。X2及びX3はそれぞれ独立して酸素原子又はメチレン基を表す。R2、R3及びR4はそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜8のアルキル基を表す。] - 前記熱処理によって、前記電極と前記パッシベーション層とが一括して形成される、請求項1に記載のパッシベーション層付半導体基板の製造方法。
- 前記パッシベーション層形成用組成物層が、前記半導体基板の前記電極形成用組成物層が形成される面において前記電極形成用組成物層が形成されない領域の少なくとも一部の領域に形成される、請求項1又は請求項2に記載のパッシベーション層付半導体基板の製造方法。
- 前記パッシベーション層形成用組成物は、さらに下記一般式(II)で表される化合物を含む、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載のパッシベーション層付半導体基板の製造方法。
M(OR11)m (II)
[式中、MはNb、Ta、V、Y及びHfからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含み、R11はそれぞれ独立して炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜14のアリール基を表し、mは1〜5の整数を表す。] - 前記一般式(I)においてR1がそれぞれ独立して炭素数1〜4のアルキル基である、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載のパッシベーション層付半導体基板の製造方法。
- 前記一般式(I)においてnが1〜3の整数であり、R4がそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基である、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載のパッシベーション層付半導体基板の製造方法。
- 請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のパッシベーション層付半導体基板の製造方法で製造されるパッシベーション層付半導体基板。
- pn接合を有する半導体基板の表面に存在するp型層及びn型層からなる群より選択される少なくとも一方の上に電極形成用組成物を付与して電極形成用組成物層を形成する工程と、
前記半導体基板の前記電極形成用組成物層が形成される面上に、下記一般式(I)で表される化合物を含むパッシベーション層形成用組成物を付与してパッシベーション層形成用組成物層を形成する工程と、
前記半導体基板を熱処理して、前記電極形成用組成物層の熱処理物である電極と、前記パッシベーション層形成用組成物層の熱処理物であるパッシベーション層と、を形成する工程と、を有する太陽電池素子の製造方法。
[式中、R1はそれぞれ独立して炭素数1〜8のアルキル基を表す。nは0〜3の整数を表す。X2及びX3はそれぞれ独立して酸素原子又はメチレン基を表す。R2、R3及びR4はそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜8のアルキル基を表す。] - 前記熱処理によって、前記電極と前記パッシベーション層とが一括して形成される、請求項8に記載の太陽電池素子の製造方法。
- 前記パッシベーション層形成用組成物層が、前記半導体基板の前記電極形成用組成物層が形成される面において前記電極形成用組成物層が形成されない領域の少なくとも一部の領域に形成される、請求項8又は請求項9に記載の太陽電池素子の製造方法。
- 前記パッシベーション層形成用組成物は、さらに下記一般式(II)で表される化合物を含む、請求項8〜請求項10のいずれか一項に太陽電池素子の製造方法。
M(OR11)m (II)
[式中、MはNb、Ta、V、Y及びHfからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含み、R11はそれぞれ独立して炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜14のアリール基を表し、mは1〜5の整数を表す。] - 前記一般式(I)においてR1がそれぞれ独立して炭素数1〜4のアルキル基である、請求項8〜請求項11のいずれか一項に記載の太陽電池素子の製造方法。
- 前記一般式(I)においてnが1〜3の整数であり、R4がそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基である、請求項8〜請求項12のいずれか一項に記載の太陽電池素子の製造方法。
- 請求項8〜請求項13のいずれか1項に記載の製造方法で製造される太陽電池素子。
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