JP2015105917A - 多結晶シリコン棒の表面温度測定方法および多結晶シリコンの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、多結晶シリコン棒の表面温度を測定するに際し、多結晶シリコン棒の表面温度を放射温度計で測定し、この温度(Tr)を、放射温度計の測定光路中に存在する吸光因子に起因する温度低下分(ΔT)で補正し、当該補正後の温度(T=Tr+ΔT)を多結晶シリコン棒の表面温度とする。上記の吸光因子が測定光路中に存在するガスである場合、該ガス種につき、測定光路中のモル濃度をcとし、モル吸光係数をεとしたときに、吸光係数a(=ε・c)と測定光路の光路長Lの積を吸光度Aとして求め、R=1−Aをこのガス種の放射率と定義付け、放射温度計の測定波長における放射率と温度の関係に基づいて、該ガス種に起因する温度低下分のオフセット温度ΔTgを求め、このΔTgを上記ΔTに含める。
【選択図】図2
Description
式2:T=a×ln(ρ/b)−c
放射温度計測に用いる波長を0.9μmと0.65μmとし、補正後の多結晶シリコンの表面温度を比較した。
赤外領域の0.9μmの場合と、可視領域の0.65μmの場合とで、補正後の多結晶シリコンの表面温度は概ねよい一致を示した。
上述の手法による表面温度測定を繰り返し、多結晶シリコン棒の表面温度を常時モニタしながら、多結晶シリコン棒に印加する電圧および供給する電流を制御して多結晶シリコン棒を製造した。目標制御温度範囲は、析出初期、析出中期、析出終期を通じて、1,115℃±5℃とした。
無歪み2θ角度:133.51°(Si(331))
コリメータ径:2mm
測定法:接線方向につき並傾法、半径方向につき側傾法
Ψ角度:0〜45°(計6点)
ヤング率:171800.00MPa
ポアソン比:0.214
応力定数:−530.45MPa
Claims (11)
- シーメンス法で多結晶シリコン棒を育成する際の多結晶シリコン棒の表面温度を測定する方法であって、
前記多結晶シリコン棒の表面温度を放射温度計で測定した値をTrとし、
前記放射温度計の測定光路中に存在する吸光因子に起因する温度低下分をオフセット温度ΔTとして求め、
T=Tr+ΔTを前記多結晶シリコン棒の表面温度とする、多結晶シリコン棒の表面温度測定方法。 - 前記吸光因子は、前記測定光路中に存在する少なくとも1種のガスを含み、
該1種のガスにつき、前記測定光路中のモル濃度をcとし、モル吸光係数をεとしたときに、吸光係数a(=ε・c)と前記測定光路の光路長Lの積を吸光度Aとして求め、R=1−Aを前記1種のガスの放射率と定義付け、前記放射温度計の測定波長における放射率と温度の関係に基づいて、前記1種のガスに起因する温度低下分のオフセット温度ΔTgを求め、該ΔTgを前記ΔTに含める、請求項1に記載の多結晶シリコン棒の表面温度測定方法。 - 前記吸光因子は、前記測定光路中に存在するn種(nは2以上の整数)のガスを含み、これらのガス種毎の前記ΔTgをΔTg i(iは正の整数)として求め、その総和ΣΔTg iを前記ΔTに含める、請求項2に記載の多結晶シリコン棒の表面温度測定方法。
- 前記少なくとも1種のガスは、nを正の整数とし、X+Y=(n−1)×2+4としたときに、一般式SinHXClYで表記されるシラン系ガスである、請求項2または3に記載の多結晶シリコン棒の表面温度測定方法。
- 前記少なくとも1種のガスは塩酸ガスである、請求項2〜4の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒の表面温度測定方法。
- 前記モル吸光係数εを赤外領域にある波長領域で求め、前記吸光度Aを赤外領域での吸光度として求める、請求項2〜5の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒の表面温度測定方法。
- 請求項1〜6の何れか1項に記載の方法による表面温度測定を繰り返し、前記多結晶シリコン棒の表面温度を常時モニタしながら、前記多結晶シリコン棒に印加する電圧および供給する電流を制御する、多結晶シリコン棒の製造方法。
- 前記多結晶シリコン棒への印加電圧および供給電流の制御により、育成する多結晶シリコン棒の熱拡散率、結晶配向性、結晶粒径、および、残留応力のうちの少なくとも1つの結晶特性を制御する、請求項7に記載の多結晶シリコン棒の製造方法。
- 前記多結晶シリコン棒への印加電圧および供給電流の制御により、前記多結晶シリコン棒の表面温度を±5℃以内で管理する、請求項7または8に記載の多結晶シリコン棒の製造方法。
- 前記多結晶シリコン棒の表面温度を1,100℃以下に制御してCZ単結晶育成用の多結晶シリコンを得る、請求項7〜9の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒の製造方法。
- 前記多結晶シリコン棒の表面温度を1,101℃以上に制御してFZ単結晶育成用の多結晶シリコンを得る、請求項7〜9の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒の製造方法。
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