JP2016028990A - 多結晶シリコン棒の製造方法および多結晶シリコン塊 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シーメンス法により多結晶シリコン棒を育成するに際し、析出プロセス中における多結晶シリコン棒の中心温度Tcと表面温度Tsの差ΔT(=Tc−Ts)を、一貫して100〜200℃の範囲に制御する。このような条件で育成した多結晶シリコン棒は、引張応力が内在する領域のみであるか、若しくは、引張応力が内在する領域と圧縮応力が内在する領域が混在している。その結果、ハンマーによる破砕が比較的容易である。
【選択図】なし
Description
σ(MPa)=K・[Δ(2θ)/Δ(sin2Ψ)] ・・・ (1)
K=−(E/2(1+ν))・cotθ0・π/180 ・・・ (2)
10 多結晶シリコン棒
11 ロッド
20 板状試料
Claims (4)
- シーメンス法による多結晶シリコン棒の製造方法であって、
析出プロセス中における前記多結晶シリコン棒の中心温度Tcと表面温度Tsの差ΔT(=Tc−Ts)を一貫して100〜200℃の範囲に制御する、多結晶シリコン棒の製造方法。 - 前記ΔTを、一貫して110〜170℃の範囲に制御する、請求項1に記載の多結晶シリコン棒の製造方法。
- 前記ΔTを、一貫して150〜170℃の範囲に制御する、請求項2に記載の多結晶シリコン棒の製造方法。
- 請求項1〜3の何れか1項に記載の方法で得られた多結晶シリコン棒を破砕して得られた多結晶シリコン塊。
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