JP2017090351A - 放射温度計 - Google Patents
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Abstract
Description
100・・・放射温度計
1 ・・・赤外線センサ
2 ・・・演算機構
21 ・・・補正前温度算出部
22 ・・・窓温度補正部
23 ・・・ガス濃度補正部
24 ・・・補正後温度外部出力部
25 ・・・真空度補正部
3 ・・・ガス影響補正部
4 ・・・補正演算部
C ・・・チャンバ
C1 ・・・透過窓
GL ・・・反応性ガス導入路
GS ・・・濃度センサ
TS ・・・温度センサ
PS ・・・圧力センサ
EX ・・・排出路
Claims (9)
- プラズマが内部で形成されるチャンバに設けられた透過窓を介して前記チャンバ内の測定対象物から射出される赤外線を検出できるように前記チャンバ外に配置され、検出された赤外線のエネルギーに応じた出力信号を出力する赤外線センサと、
前記透過窓の温度に基づいて、前記赤外線センサの出力信号の示す前記測定対象物の補正前温度を補正する窓温度補正部と、を備えたことを特徴とする放射温度計。 - 前記チャンバ内へ反応性ガスが導入されており、
前記反応性ガスの濃度又は分圧に基づいて、前記赤外線センサの出力信号の示す前記測定対象物の補正前温度を補正するガス影響補正部をさらに備えた請求項1記載の放射温度計。 - 前記反応性ガスの濃度又は分圧が前記チャンバに接続された反応性ガス導入路において測定された値である請求項2記載の放射温度計。
- 前記ガス影響補正部が、前記反応性ガスの濃度又は分圧、及び、前記チャンバ内の圧力に基づいて、前記赤外線センサの出力信号の示す前記測定対象物の補正前温度を補正するように構成されている請求項2又は3記載の放射温度計。
- 前記反応性ガスの濃度又は分圧を測定可能な濃度センサをさらに備えた請求項2乃至4いずれかに記載の放射温度計。
- 前記透過窓から前記測定対象物までの光路長に基づいて、前記赤外線センサの出力信号の示す前記測定対象物の補正前温度を補正する光路長補正部をさらに備えた請求項1乃至5いずれかに記載の放射温度計。
- 前記測定対象物が、前記チャンバの内部表面を構成する材料とは異なる材料で形成されており、前記透過窓を通過可能な波長域の赤外線を射出するものである請求項1乃至6いずれかに記載の放射温度計。
- プラズマが内部で形成されるチャンバに設けられた透過窓を介して前記チャンバ内の測定対象物から射出される赤外線を検出できるように前記チャンバ外に配置され、検出された赤外線のエネルギーに応じた出力信号を出力する赤外線センサを備えた放射温度計用のプログラムであって、
前記透過窓の温度に基づいて、前記赤外線センサの出力信号の示す前記測定対象物の補正前温度を補正する窓温度補正部としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする放射温度計用プログラム。 - プラズマが内部で形成されるチャンバに設けられた透過窓を介して前記チャンバ内の測定対象物から射出される赤外線を検出できるように前記チャンバ外に配置され、検出された赤外線のエネルギーに応じた出力信号を出力する赤外線センサと、
前記透過窓の温度に基づいて、前記赤外線センサの出力信号の示す前記測定対象物の補正前温度を補正する窓温度補正部と、
前記チャンバ内へ導入される反応性ガスの濃度又は分圧を測定可能な濃度センサと、
前記反応性ガスの濃度又は分圧に基づいて、前記赤外線センサの出力信号の示す前記測定対象物の補正前温度を補正するガス影響補正部と、を備えたことを特徴とする放射温度測定システム。
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