JP2015104104A - 圧電発振器 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、圧電振動片の周波数測定が容易であり、誤測定が防がれた圧電発振器を提供する。
【解決手段】圧電発振器100は、圧電振動片110と、圧電振動片を発振させる集積回路120と、圧電振動片が載置される第1空間131a及び集積回路が載置される第2空間131bを有するパッケージ130と、を有する。パッケージは、第1層133aと、第1空間の底面161aを形成する第2層133bと、第2空間の天井面161bを形成する第3層133cと、第4層133dと、を有する。天井面には、一対の周波数チェック端子134bと、集積回路を制御する制御端子と、が形成される。一対の周波数チェック端子は互いに隣接し、さらに各周波数チェック端子がいずれかの長辺及び一方の短辺に接するように形成される。制御端子は、第3層の上面を周波数チェック端子に上下方向に重なるように引き出される。
【選択図】図2
【解決手段】圧電発振器100は、圧電振動片110と、圧電振動片を発振させる集積回路120と、圧電振動片が載置される第1空間131a及び集積回路が載置される第2空間131bを有するパッケージ130と、を有する。パッケージは、第1層133aと、第1空間の底面161aを形成する第2層133bと、第2空間の天井面161bを形成する第3層133cと、第4層133dと、を有する。天井面には、一対の周波数チェック端子134bと、集積回路を制御する制御端子と、が形成される。一対の周波数チェック端子は互いに隣接し、さらに各周波数チェック端子がいずれかの長辺及び一方の短辺に接するように形成される。制御端子は、第3層の上面を周波数チェック端子に上下方向に重なるように引き出される。
【選択図】図2
Description
本発明は、圧電振動片及び集積回路を備える圧電発振器に関する。
両主面に励振電極が形成され、所定の周波数で振動する圧電振動片が知られている。このような圧電振動片は発振回路と共にパッケージに載置されることにより圧電発振器が形成される。
例えば、特許文献1には、圧電振動片が載置される第1の凹部空間及び集積回路素子が載置される第2の凹部空間が形成されるパッケージが示されている。第1の凹部空間と第2の凹部空間とは互いに遮られた空間となっており、第2の凹部空間には圧電振動片の励振電極に電気的に接続される圧電振動素子測定用パッドが形成されている。これにより、圧電振動片をパッケージに載置した後であり、集積回路素子を載置する前に、圧電振動素子測定用パッドを介して圧電振動片の周波数を測定することができる。
しかし、特許文献1では、圧電素子測定用パッドが第2空間の発振回路載置面の中央に形成されており、圧電素子測定用パッドの周囲に他の様々な端子が形成されているため、圧電振動片の周波数の測定中に周波数測定用のプローブが他の端子に接触して周波数が誤測定されるおそれがある。また、圧電素子測定用パッドと周波数測定用のプローブとのコンタクトエラーにより正常品が不良品と判断される場合には製品の製造効率が落ちてコストがかさむ場合がある。特に近年、圧電発振器の小型化が進んでいるため圧電素子測定用パッドの形成面積も小さくなっており、周波数の誤測定及びコンタクトエラーが起きる可能性が高まっている。
本発明は、圧電振動片の周波数測定が容易であり、誤測定が防がれた圧電発振器を提供することを目的とする。
第1観点の圧電発振器は、四角形の平板形状でありその主面に形成された一対の励振電極及び各励振電極から平板の一辺側にそれぞれ引き出された一対の引出電極を含む圧電振動片と、圧電振動片を所定の周波数で発振させる集積回路と、圧電振動片が載置される第1空間及び集積回路が載置される第2空間を有するパッケージと、を有する。また、パッケージが、第1空間の側面を形成する第1層と、第1層の下面に配置されて第1空間の底面を形成し、底面に圧電振動片の各引出電極に電気的に接続される一対の接続電極が形成される第2層と、第2層の下面に配置されて第2空間の天井面を形成し、天井面に集積回路が載置される第3層と、第3層の下面に配置されて第2空間の側面を形成し、下面に複数の実装端子が形成される第4層と、を有する。第3層の下面の一部である第2空間の天井面は、短辺及び長辺により囲まれた矩形形状であり、接続電極に電気的に接続される一対の周波数チェック端子と、集積回路を制御する制御端子と、が形成される。一対の周波数チェック端子は互いに隣接し、さらに各周波数チェック端子がいずれかの長辺及び一方の短辺に接するように形成される。制御端子は、第3層の上面に引き出された後に、第3層の上面を周波数チェック端子に上下方向に重なるように引き出されて実装端子に接続される。
第2観点の圧電発振器は、第1観点において、パッケージの側面の四隅にはパッケージの内側に凹んだキャスタレーションが形成され、制御端子はキャスタレーションを介して実装端子に接続される。
第3観点の圧電発振器は、第1観点及び第2観点において、集積回路が天井面の他方の短辺側に寄って配置され、第2空間に配置された集積回路が樹脂で覆われる。
第4観点の圧電発振器は、第1観点から第3観点において、集積回路が、圧電振動片をMHz帯の周波数で発振させる発振回路と、MHz帯の周波数を分周し32.768kHzの周波数を生成する分周回路と、32.768kHzの周波数が出力された状態で、MHz帯の周波数が出力されない休止状態又は出力される活動状態を選択する選択回路と、を有する。制御端子は、選択回路を制御し、天井面には、32.768kHzの周波数の出力端子と、MHz帯の周波数の出力端子と、が形成される。また、32.768kHzの周波数の出力端子及びMHz帯の周波数の出力端子は互いに重ならないように第3層の上面又は下面を介して実装端子に接続される。
本発明の圧電発振器によれば、圧電振動片の周波数測定が容易であり、誤測定を防ぐことができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
<圧電発振器100の構成>
図1は、圧電発振器100の概略斜視図である。圧電発振器100は、圧電振動片110と、集積回路120と、パッケージ130と、リッド板140と、により形成されている。圧電振動片110には、例えば、ATカットの水晶振動片が用いられる。ATカットの水晶振動片は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、圧電発振器100において圧電発振器100の長手方向をX軸方向、圧電発振器100の高さ方向をY’軸方向、X軸方向及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
図1は、圧電発振器100の概略斜視図である。圧電発振器100は、圧電振動片110と、集積回路120と、パッケージ130と、リッド板140と、により形成されている。圧電振動片110には、例えば、ATカットの水晶振動片が用いられる。ATカットの水晶振動片は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、圧電発振器100において圧電発振器100の長手方向をX軸方向、圧電発振器100の高さ方向をY’軸方向、X軸方向及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
圧電振動片110は、四角形の平板形状であり、+Y’軸側の面及び−Y’軸側の面に励振電極111が形成され、各励振電極111からは圧電振動片110の−X軸側の辺に引出電極112が引き出されている。+Y’軸側の面に形成されている励振電極111から引き出される引出電極112は−X軸側の+Z’軸側に引き出され、+Z’軸側の側面を介して−Y’軸側の面に引き出されている。−Y’軸側の面に形成されている励振電極111から引き出されている引出電極112は、−X軸側の−Z’軸側に引き出され、−Z’軸側の側面を介して+Y’軸側の面に引き出されている。
集積回路120は、圧電振動片110に電気的に接続されて電気回路が形成され、圧電振動片110を所定の周波数で発振させる。集積回路120の+Y’軸側の面には複数の端子121〜126(図3(a)参照)が形成されており、これらの端子が圧電振動片110の引出電極112又はパッケージ130の−Y’軸側の面に形成される実装端子138a〜138h(図3(b)参照)に電気的に接続される。
パッケージ130は、X軸方向に長辺が伸び、Z’軸方向に短辺が伸びるように形成されている。また、パッケージ130の+Y’軸側の面にはリッド板140に接合される接合面132a及び接合面132aから−Y’軸方向に凹んだ第1空間131aが形成されており、パッケージ130の−Y’軸側の面には圧電発振器100が実装される実装面132b及び実装面132bから+Y’軸方向に凹んだ第2空間131b(図2参照)が形成されている。さらに、パッケージ130の側面の各角には、パッケージ130の内側に凹んだキャスタレーション137が形成されており、キャスタレーション137の一部には側面電極137aが形成されている。パッケージ130の第1空間131aの−Y’軸側の面である底面161aには一対の接続電極134aが形成されており、圧電振動片110が第1空間131aの底面161aに載置される。また、パッケージ130の第2空間131bには集積回路120が載置される。また、パッケージ130は、例えばセラミックを基材としており、第1層133a、第2層133b、第3層133c、及び第4層133dの4つの層が重ね合わされることにより形成されている。
リッド板140は、平板状に形成されており、パッケージ130の接合面132aに封止材151(図2参照)を介して接合されることにより、パッケージ130の第1空間131aを密封する。
図2は、図1のA−A断面図である。また、図2は、図3(b)、図4(a)、及び図4(b)のA−A断面を含んでいる。パッケージ130の第1層133aは、パッケージ130の+Y’軸側に配置されて第1空間131aの側面を形成する。第1層133aの+Y’軸側の面には接合面132aが形成されている。
第2層133bは、第1層133aの−Y’軸側の面に接合されて第1空間131aの底面161aを形成する。第1空間131aの底面161aは、第1空間131aの−Y’軸側の面であり、第2層133bの+Y’軸側の面の一部である。底面161aの−X軸側の端には一対の接続端子134aが形成されており、接続端子134aと引出電極112とが導電性接着剤152を介して接合されることにより圧電振動片110が底面161aに載置される。
第3層133cは、第2層133bの−Y’軸側の面に接合されて第2空間131bの天井面161bを形成する。第2空間131bの天井面161bは、第2空間131bの+Y’軸側の面であり、第3層133cの−Y’軸側の面の一部である。天井面161bには複数の電極138a〜138h(図3(b)参照)が形成されており、電極138a〜138hと集積回路120の各端子121〜126(図3(a)参照)とがバンプ153を介して接合されることにより、集積回路120が天井面161bに配置される。第3層133cの+Y’軸側の面には天井面161bに形成される電極138a〜138hから引き出された第1配線電極171a〜第4配線電極171d(図4(b)参照)が形成される。
第4層133dは、第3層133cの−Y’軸側の面に接合されて第2空間131bの側面を形成する。第4層133dの−Y’軸側の面には、実装面132bが形成されている。実装面132bには実装端子135a〜135h(図3(b)参照)が形成されている。実装端子135a〜135hはキャスタレーション137に形成される側面電極137a等を介して第3層133cに形成される電極に電気的に接続される。第2空間131bには、集積回路120が配置されると共に、集積回路120が樹脂154で覆われる。樹脂154は、実装面132bと同一の平面である第2空間131bの開口面132cから−Y’軸側にはみ出さないように形成されている。
図3(a)は、集積回路120の下面図である。集積回路120は、+Y’軸側の面に、X軸方向に4列、Z’軸方向に2列に並んだ計8つの端子が形成されている。図3(a)では、集積回路120の−Y’軸側の面が示されており、集積回路120の+Y’軸側の面に形成される端子が集積回路120を透過して点線で描かれる円で示されている。図3(a)において、集積回路120の−X軸側の+Z’軸側及び−Z’軸側の端には、水晶振動片110の引出電極112に電気的に接続される水晶端子121が形成されている。+Z’軸側の水晶端子121の+X軸側の隣には、電源に接続される端子である電源端子122が形成されている。電源端子122の+X軸側の隣には、MHz帯の周波数を出力させる活動状態又はMHz帯の周波数を出力させない休止状態の切り替えを行う切替端子123が形成されている。切替端子123の+X軸側の端子は、MHz帯の周波数を出力するMHz帯出力端子124が形成される。また、−Z’軸側の水晶端子121の+X軸側の隣には接地される接地端子125が形成されており、接地端子125の+X軸側の隣には、32.768kHzの周波数を出力する32.768kHz出力端子126が形成されており、32.768kHzの出力端子126の+X軸側の隣には接地端子125が形成されている。
図3(b)は、圧電発振器100の下面図である。圧電発振器100の下面の周囲には実装面132bが形成されており、実装面132bには6つの実装端子135a〜135fが形成されている。また、下面の中央は、実装面132bから+Y’軸方向に凹んで第2空間131bが形成されている。実装面132bの−X軸側の−Z’軸側には実装端子135aが形成されており、実装端子135aから+X軸方向に向かって、実装端子135b及び実装端子135cが形成される。また、実装面132bの−X軸側の+Z’軸側には実装端子135dが形成されており、実装端子135dから+X軸方向に向かって、実装端子135e及び実装端子135fが形成される。実装端子135aは、正電源電圧(Vcc)に接続される。また、実装端子135bは接地される電極であり、実装端子135cはMHz帯の周波数が出力される電極であり、実装端子135dは活動状態及び休止状態を選択するための制御電圧がかかる電極であり、実装端子135eは32.768kHzの周波数が出力される電極であり、実装端子135fは接地される電極である。
天井面161bの−X軸側の+Z’軸側の角及び−X軸側の−Z’軸側の角には、周波数チェック端子134bが形成されている。各周波数チェック端子134bは、天井面161bのX軸方向に伸びる長辺及びZ’軸方向に伸びる短辺に接するように形成されている。また、各周波数チェック端子134bは、互いに接触しない状態で互いにZ’軸方向に隣接している。
図3(b)では、第2空間131bの天井面161bに形成される電極138a〜138hが点線で集積回路120を透過するように示されている。電極138a及び電極138eは、集積回路120の水晶端子121にバンプ153を介して接続される端子であり、周波数チェック端子134bの一部として形成されている。電極138b及び電極138dは集積回路120の接地端子125及び実装端子135bに接続される。電極138fは集積回路120の電源端子122及び実装端子135aに接続される。電極138gは集積回路120の切替端子123及び実装端子135dに接続される。電極138hは集積回路120のMHz帯出力端子124に電気的に接続されると共に、配線電極139a及び側面電極137aを介して実装端子135cに接続される。電極138cは集積回路120の32.769kHz出力端子126及び実装端子135eに接続される。
図4(a)は、第3層133cの−Y’軸側の面に形成される電極を+Y’軸側から透過して見た第3層133cの平面図である。第3層133cには、第3層133cを貫通して形成される7つの第3層貫通電極136a〜136gが形成されている。+Z’軸側の周波数チェック端子134bには第3層133cを貫通する電極である第3層貫通電極136aに電気的に接続され、−Z’軸側の周波数チェック端子134bは第3層133cを貫通する電極である第3層貫通電極136bに電気的に接続されている。電極138b及び電極138dは第3層貫通電極136gに電気的に接続されている。また、電極138b及び電極138dは、配線電極139a及び第4層133dを貫通する第4層貫通電極139bを介して実装端子135bに電気的に接続される(図3(b)参照)。電極138cは、配線電極139aを介して第3層貫通電極136eに電気的に接続されている。電極138fは、配線電極139aを介して第3層貫通電極136cに電気的に接続される。電極138gは配線電極139aを介して第3層貫通電極136dに電気的に接続される。また、第3層133cの+Z’軸側の辺付近には、第3貫通電極136fが形成されている。第3貫通電極136fは配線電極139a及び第4層133dを貫通する第4層貫通電極139bを介して実装端子135eに電気的に接続される(図3(b)参照)。
図4(b)は、第3層133cの平面図である。図4(b)では、第3層133cの+Y’軸側の面に形成される電極が示されている。第3層貫通電極136cと、第3層133cの−X軸側の−Z’軸側に形成される側面電極137aとは、第1配線電極171aにより電気的に接続されている。これにより、電極138fが実装端子135a(図3(b)参照)に電気的に接続される。第1配線電極171aは、その一部が−Z’軸側の周波数チェック端子134b(図4(a)参照)にY’軸方向に重なるように形成されている。
第3層貫通電極136dと、第3層133cの−X軸側の+Z’軸側に形成される側面電極137aとは、第2配線電極171bにより電気的に接続されている。これにより、電極138gが実装端子135d(図3(b)参照)に電気的に接続される。第2配線電極171bは、その一部が+Z’軸側の周波数チェック端子134b(図4(a)参照)にY’軸方向に重なるように形成されている。
第3層貫通電極136gと、第3層133cの+X軸側の+Z’軸側に形成される側面電極137aとは、第3配線電極171cにより電気的に接続されている。これにより、電極138b及び電極138dが実装端子135f(図3(b)参照)に電気的に接続される。また、第3層貫通電極136a及び第3層貫通電極136bは、第2層133bを貫通する貫通電極を介して接続電極134aに電気的に接続される(図2参照)。
第3層貫通電極136eと第3層貫通電極136fとは、第4配線電極171dにより電気的に接続されている。第4配線電極171dは、図4(b)に点線で示される電極138h、及び電極138hに接続される配線電極139a(図4(a)参照)にY’軸方向に重ならないように形成されている。複数の周波数を出力する発振器では、互いに異なる周波数の信号を伝える配線同士がY’軸方向に重なる場合には、信号間の干渉が発生して出力が不安定になる。圧電発振器100では、32.768kHzの周波数の信号が伝わる第4配線電極171dと、MHz帯の周波数の信号が伝わる電極138h及び電極138hに接続される配線電極139aとが互いにY’軸方向に重ならないように形成されているため、互いの周波数の信号間に干渉が発生することが防がれており、出力が不安定になることが防がれている。
図5は、圧電発振器100の回路図である。圧電発振器100の回路は、主に圧電振動片110と、集積回路120と、により形成されている。圧電振動片110は、集積回路120の発振回路181に接続されてMHz帯の周波数の信号を発生させる。圧電振動片110の周波数は、圧電振動片110の厚さに反比例するため、主に圧電振動片110の厚さを調整すること等により行われる。発振回路181で発生した周波数の信号は、バッファー184aを介して実装端子135cから出力される。
一方、発振回路181で形成されたMHz帯の周波数の信号は、分周回路182で32.768kHzの周波数信号に分周され、32.768kHzの周波数信号はバッファー184bを介して実装端子135eから出力される。このように、圧電発振器100では、MHz帯の周波数の信号及び32.768kHzの周波数信号を出力することができる。上記の説明では、集積回路120に分周回路182が使用されたが、分周回路182の代わりにPLL(Phase Locked Loop)回路が使用されても良い。
さらに、圧電発振器100では、MHz帯の周波数の信号を使用しない場合にはMHz帯の周波数の信号を出力させないようにすることができる。集積回路120では、MHz帯の周波数の信号を出力するバッファー184aにその周波数の出力を制御する選択回路183が接続されている。選択回路183は実装端子135dから制御電圧が加えられることにより、バッファー184aから出力される周波数の信号を制限する。また、集積回路120は、実装端子135a、実装端子135b、及び実装端子135fにそれぞれ電気的に接続されている。
<圧電発振器100の製造方法>
図6は、圧電発振器100の製造方法が示されたフローチャートである。以下に、図6を参照して圧電発振器100の製造方法について説明する。
図6は、圧電発振器100の製造方法が示されたフローチャートである。以下に、図6を参照して圧電発振器100の製造方法について説明する。
ステップS101では、圧電振動片110、パッケージ130、及び集積回路120が用意される。圧電振動片110は、例えばATカットの水晶ウエハ(不図示)に複数の圧電振動片110が形成され、水晶ウエハから折り取られることで用意される。また、パッケージ130は、複数のグリーンシートを重ね合わせ、焼結させることにより形成される。
ステップS102では、パッケージ130の第1空間131aに圧電振動片110が載置される。圧電振動片110は、接続電極134aと引出電極112とが導電性接着剤152を介して互いに電気的に接続されるように底面161aに載置される。
ステップS103では、第1空間131aがリッド板140により密封される。第1空間131aの密封は、第1空間131aを真空に保持し又は不活性ガス等で満たした状態でリッド板140を接合面132aに封止材151を介して載置することにより行われる。
ステップS104では、圧電振動片110の周波数が測定される。圧電振動片110の周波数の測定は、一対の周波数チェック端子134bにそれぞれプローブ191が当てられることにより行われる。
図7(a)は、圧電振動片110の周波数が測定されている状態の圧電発振器100の断面図である。圧電振動片110の周波数の測定は、集積回路120が第2空間131bに載置される前に行われる。図7(a)では、プローブ191を周波数チェック端子134bに接触させている状態が示されている。
圧電発振器では小型化が進むと共に、パッケージも小さくなり、周波数チェック端子も小さくなっている。それに対してプローブは小さくなっておらず、正確に周波数チェック端子にプローブを当てることができない、又は他の端子にもプローブが接触してしまう等により圧電振動片の周波数を正確に測定することができない等の問題があった。圧電発振器100では、周波数チェック端子134bが第2空間131bの天井面161bの角に配置されていることにより、第2空間131bの側面を目安としてプローブ191の周波数チェック端子134bへの接触位置を特定することが容易になるため、プローブ191を周波数チェック端子134bに接触させ、他の端子に接触しないようにすることが容易になる。また、圧電発振器100では、第3層133cの+Y’軸側の面を介して配線を行うことにより周波数チェック端子134bの面積が広く形成されることによってもプローブ191を周波数チェック端子134bに接触させ易くなっている。
図6に戻って、ステップS105では、第2空間131bに集積回路120が配置される。集積回路120は、集積回路120の各端子121〜126と天井面161bに形成される電極138a〜138hとがバンプ153を介して接合されることにより天井面161bに載置される。
ステップS106では、第2空間131bに配置された集積回路120が樹脂154で覆われる。
図7(b)は、第2空間131bに樹脂154が充填されている状態の圧電発振器100の断面図である。樹脂154は、集積回路120を覆うように第2空間131bに向けてノズル192から絶縁性の樹脂154を射出し、固化することにより形成される。樹脂154には例えば熱硬化性のエポキシ系樹脂等が用いられる。第2空間131bに樹脂154が形成されることにより、圧電発振器100の耐衝撃性を向上させることができる。
また、従来、ステップS106では樹脂154が天井面161aに届かず、集積回路120を樹脂154で覆うことができないという問題があった。この問題は、従来の圧電発振器では集積回路が天井面の中央に配置されており、第2空間の側面と集積回路との間のすき間が狭く、粘性を有する樹脂が第2空間の側面と集積回路との間のすき間を通らない為に起こっていた。圧電発振器100では、集積回路120が天井面の+X軸側に寄って配置されるため、集積回路120の−X軸側と第2空間の側面との間が広く形成されている。これにより、樹脂は集積回路120の−X軸側を通り、天井面161bに届くように形成される。
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
上記実施形態では、複数の周波数の信号を出力する圧電発振器について説明されたが、1つの周波数信号のみを出力する圧電発振器に用いても良い。また、上記の実施形態では圧電振動片にATカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するBTカットの水晶振動片などであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む接合材に基本的に適用できる。
100 … 圧電発振器
110 … 圧電振動片
111 … 励振電極
112 … 引出電極
120 … 集積回路
121 … 水晶端子
122 … 電源端子
123 … 切替端子
124 … MHz帯出力端子
125 … 接地端子
126 … 32.768kHz出力端子
130 … パッケージ
131a … 第1空間
131b … 第2空間
132a … 接合面
132b … 実装面
132c … 第2空間131bの開口面
133a … 第1層
133b … 第2層
133c … 第3層
133d … 第4層
134a … 接続電極
134b … 周波数チェック端子
135a〜135f … 実装端子
136a〜136g … 第3層貫通電極
137 … キャスタレーション
137a … 側面電極
138a〜138h … 電極
139a … 配線電極
139b … 第4層貫通電極
140 … リッド板
151 … 封止材
152 … 導電性接着剤
153 … バンプ
154 … 樹脂
161a … 底面
161b … 天井面
171a … 第1配線電極
171b … 第2配線電極
171c … 第3配線電極
171d … 第4配線電極
181 … 発振回路
182 … 分周回路
183 … 選択回路
184a、184b … バッファー
191 … プローブ
192 … ノズル
110 … 圧電振動片
111 … 励振電極
112 … 引出電極
120 … 集積回路
121 … 水晶端子
122 … 電源端子
123 … 切替端子
124 … MHz帯出力端子
125 … 接地端子
126 … 32.768kHz出力端子
130 … パッケージ
131a … 第1空間
131b … 第2空間
132a … 接合面
132b … 実装面
132c … 第2空間131bの開口面
133a … 第1層
133b … 第2層
133c … 第3層
133d … 第4層
134a … 接続電極
134b … 周波数チェック端子
135a〜135f … 実装端子
136a〜136g … 第3層貫通電極
137 … キャスタレーション
137a … 側面電極
138a〜138h … 電極
139a … 配線電極
139b … 第4層貫通電極
140 … リッド板
151 … 封止材
152 … 導電性接着剤
153 … バンプ
154 … 樹脂
161a … 底面
161b … 天井面
171a … 第1配線電極
171b … 第2配線電極
171c … 第3配線電極
171d … 第4配線電極
181 … 発振回路
182 … 分周回路
183 … 選択回路
184a、184b … バッファー
191 … プローブ
192 … ノズル
Claims (4)
- 四角形の平板形状でありその主面に形成された一対の励振電極及び前記各励振電極から前記平板の一辺側にそれぞれ引き出された一対の引出電極を含む圧電振動片と、
前記圧電振動片を所定の周波数で発振させる集積回路と、
前記圧電振動片が載置される第1空間及び前記集積回路が載置される第2空間を有するパッケージと、を有し、
前記パッケージが、前記第1空間の側面を形成する第1層と、前記第1層の下面に配置されて前記第1空間の底面を形成し、前記底面に前記圧電振動片の前記各引出電極に電気的に接続される一対の接続電極が形成される第2層と、前記第2層の下面に配置されて前記第2空間の天井面を形成し、前記天井面に前記集積回路が載置される第3層と、前記第3層の下面に配置されて前記第2空間の側面を形成し、下面に複数の実装端子が形成される第4層と、を有し、
前記第3層の下面の一部である前記第2空間の天井面は、短辺及び長辺により囲まれた矩形形状であり、前記接続電極に電気的に接続される一対の周波数チェック端子と、前記集積回路を制御する制御端子と、が形成され、
前記一対の周波数チェック端子は互いに隣接し、さらに前記各周波数チェック端子がいずれかの前記長辺及び一方の前記短辺に接するように形成され、
前記制御端子は、前記第3層の上面に引き出された後に、前記第3層の上面を前記周波数チェック端子に上下方向に重なるように引き出されて前記実装端子に接続される圧電発振器。 - 前記パッケージの側面の四隅には前記パッケージの内側に凹んだキャスタレーションが形成され、前記制御端子は前記キャスタレーションを介して前記実装端子に接続される請求項1に記載の圧電発振器。
- 前記集積回路は前記天井面の他方の前記短辺側に寄って配置され、
前記第2空間に配置された前記集積回路は樹脂で覆われる請求項1又は請求項2に記載の圧電発振器。 - 前記集積回路は、前記圧電振動片をMHz帯の周波数で発振させる発振回路と、前記MHz帯の周波数を分周し32.768kHzの周波数を生成する分周回路と、前記32.768kHzの周波数が出力された状態で、前記MHz帯の周波数が出力されない休止状態又は出力される活動状態を選択する選択回路とを有し、
前記制御端子は、前記選択回路を制御し、
前記天井面には、前記32.768kHzの周波数の出力端子と、前記MHz帯の周波数の出力端子と、が形成され、
前記32.768kHzの周波数の出力端子及び前記MHz帯の周波数の出力端子は互いに重ならないように前記第3層の上面又は下面を介して前記実装端子に接続される請求項1から請求項3のいずれか一項の圧電発振器。
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