JP6040058B2 - 圧電発振器用パッケージ及び圧電発振器 - Google Patents

Description

本発明は、大きさが異なる圧電振動片を選択して載置することができる圧電発振器用パッケージ及び圧電発振器に関する。

励振電極に電圧が印加されることにより振動する圧電振動片が知られている。このような圧電振動片は、集積回路素子と共にセラミックパッケージ内に載置され、セラミックパッケージ内に形成される接続電極と励振電極から引き出されている引出電極とが接続されことにより圧電発振器が形成される。圧電振動片はその振動周波数により外形の大きさが異なるが、このような大きさが異なる圧電振動片を所定の大きさのセラミックパッケージにそれぞれ載置しようとした場合、大きさが大きい圧電振動片では励振電極と接続電極とが電気的に接続されてショートする可能性がある。また、圧電振動片は、引出電極と接続電極とが電気的に接続される大きさを有していなければいけないため、圧電振動片の許容される大きさの範囲は小さい。さらに、引出電極が一方の側に形成され他方の側が自由端となる圧電振動片を用いる場合には、圧電振動片が傾いて集積回路素子等に接触しショート等をすることを防ぐために、圧電振動片の傾きを抑えるための枕部がセラミックパッケージ内の自由端側に形成する必要がある。そのため、圧電振動片の大きさに合わせてセラミックパッケージの大きさ又はセラミックパッケージ内に形成され圧電振動片の引出電極と接続される接続電極の形成位置及び大きさを圧電振動片の大きさに合わせて変える必要があった。

これに対して、特許文献１には、所定の大きさのセラミックパッケージで異なる大きさの水晶振動板に対応できる圧電デバイスの開示がある。特許文献１では、補助支持板を用いて水晶振動板を支えることにより、異なる大きさの水晶振動板をセラミックパッケージに安定して載置できる旨を開示している。

特開２００５−２６０７２７号公報

しかし、特許文献１では新たな部品を用いることによりコストが上がり、補助支持板を設置するための手間が発生する。また、小さい圧電振動片をパッケージ内に載置する場合には枕部を使用することができず、自由端を有する圧電振動片では圧電振動片が傾いて集積回路素子等に接触し、ショートする可能性が残っていた。

そこで本発明は、異なる大きさの圧電振動片を収納することができ、各大きさの圧電振動片に用いる枕部が形成された圧電発振器用パッケージ及び圧電発振器を提供する。

第１観点の圧電発振器用パッケージは、キャビティ内に、所定方向に第１長さを有し一対の励振電極及び一対の励振電極からそれぞれ一方の側に引き出される一対の引出電極を含む第１圧電振動片と、所定方向に第１長さよりも短い第２長さを有し一対の励振電極及び一対の励振電極からそれぞれ一方の側に引き出される一対の引出電極を含む第２圧電振動片と、のどちらか一方を選択して配置することができ、第１圧電振動片又は第２圧電振動片を制御する集積回路素子を載置することができ、長辺及び短辺を有する圧電発振器用パッケージである。この圧電発振器用パッケージには、集積回路素子が載置されキャビティの底面に形成される第１載置部と、第１圧電振動片又は第２圧電振動片が載置され、底面よりも位置が高く、キャビティの一方の側に形成される第２載置部と、第１圧電振動片のたわみの衝撃を緩和し、底面よりも位置が高く、キャビティの他方の側に形成される第１枕部と、を備え、第２載置部が第２圧電振動片のたわみの衝撃を緩和するための第２枕部となる。

第２観点の圧電発振器用パッケージは、第１観点において、第１圧電振動片が長辺が伸びる方向と第１長さの方向とが重なるように載置されることができ、第２圧電振動片が短辺が伸びる方向と第２長さの方向とが重なるように載置されることができる。

第３観点の圧電発振器用パッケージは、第２観点において、第２載置部には第１圧電振動片又は第２圧電振動片の一対の引出電極に電気的に接続される第１接続電極及び第２接続電極が形成され、第１接続電極が第２接続電極に長辺が伸びる方向及び短辺が伸びる方向の両方に重なるように形成されている。

第４観点の圧電発振器用パッケージは、第３観点において、第２載置部がキャビティの一方の側の両端にそれぞれ形成される。一方の第２載置部には第１接続電極が形成される。また、他方の第２載置部のキャビティの一方の側には第１接続電極が形成され、他方の第２載置部のキャビティの他方の側には第２接続電極が形成されている。

第５観点の圧電発振器は、第１観点から第４観点の圧電発振器用パッケージと、第１圧電振動片又は第２圧電振動片と、集積回路素子と、キャビティを密封するリッドと、を備える。

第６観点の圧電発振器は、第３観点から第４観点の圧電発振器用パッケージと、第１圧電振動片又は第２圧電振動片と、集積回路素子と、キャビティを密封するリッドと、を備え、第１圧電振動片又は第２圧電振動片の励振電極が、第１接続電極及び第２接続電極に上下方向に重ならない。

本発明によれば、異なる大きさの圧電振動片を収納することができ、各大きさの圧電振動片に用いる枕部が形成された圧電発振器用パッケージ及び圧電発振器を提供することができる。

圧電発振器１００の分解斜視図である。 （ａ）は、集積回路素子１２０の概略平面図である。 （ｂ）は、圧電発振器用パッケージ１３０の平面図である。 （ａ）は、圧電発振器用パッケージ１３０の第１層１３０ａの平面図である。 （ｂ）は、圧電発振器用パッケージ１３０の第２層１３０ｂの平面図である。 （ｃ）は、圧電発振器用パッケージ１３０の第３層１３０ｃの平面図である。 （ａ）は、第１圧電振動片１１０ａの平面図である。 （ｂ）は、第１圧電振動片１１０ａが載置された圧電発振器用パッケージ１３０の平面図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 （ａ）は、第２圧電振動片１１０ｂの平面図である。 （ｂ）は、第２圧電振動片１１０ｂが載置された圧電発振器用パッケージ１３０の平面図である。 （ｃ）は、図６（ｂ）のＢ−Ｂ断面図を含む圧電発振器１００の断面図である。 （ａ）は、圧電発振器用パッケージ２３０の平面図である。 （ｂ）は、圧電発振器用パッケージ３３０の平面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

（第１実施形態）
＜圧電発振器１００の構成＞
図１は、圧電発振器１００の分解斜視図である。圧電発振器１００は、表面実装型の圧電発振器であり、プリント基板等に実装されて使用される。図１に示される圧電発振器１００は主に、第１圧電振動片１１０ａと、集積回路素子１２０と、圧電発振器用パッケージ１３０と、リッド板１４０と、により形成されている。第１圧電振動片１１０ａには、例えば、ＡＴカットの水晶振動片を用いることができる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。また、圧電発振器用パッケージを表す場合には、長辺が伸びる方向をＸ軸方向、短辺が伸びる方向をＺ’軸方向、高さ方向をＹ’軸方向として説明する。すなわち、Ｘ軸方向、Ｙ’軸方向、及びＺ’軸方向は、互いに垂直になっている。

第１圧電振動片１１０ａは、矩形形状に形成されている。第１圧電振動片１１０ａの＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面にはそれぞれ励振電極１１１ａが形成され、各励振電極１１１ａから−Ｘ軸側の辺の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の角にそれぞれ引出電極１１２ａが引き出されている。

集積回路素子１２０は、第１圧電振動片１１０ａと電気的に接続されて発振回路が形成される。集積回路素子１２０は−Ｙ’軸側の面に複数の端子が形成されており、これらの端子が第１圧電振動片１１０ａの引出電極１１２ａ又は圧電発振器用パッケージ１３０に形成される外部電極１３５に電気的に接続される。

圧電発振器用パッケージ１３０は、Ｘ軸方向に伸びる長辺、及びＺ’軸方向に伸びる短辺を有している。また、−Ｙ’軸側の面の四隅にはそれぞれ外部電極１３５が形成されており、＋Ｙ’軸側の面には第１圧電振動片１１０ａ及び集積回路素子１２０が配置されるキャビティ１３１が形成されている。集積回路素子１２０は、キャビティ１３１に形成される第１載置部１３３（図２（ｂ）参照）に載置される。また、キャビティ１３１の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側にはそれぞれ第２載置部１３４ａ及び第２載置部１３４ｂが形成されており、第１圧電振動片１１０ａはこの第２載置部１３４ａ及び第２載置部１３４ｂに載置される。キャビティ１３１の＋Ｘ軸側には、第１圧電振動片１１０ａの傾きを抑え、たわみに起因する衝撃を緩和する第１枕部１３６が形成されている。圧電発振器用パッケージ１３０の＋Ｙ’軸側の面のキャビティ１３１の周りにはリッド板１４０に接合される接合面１３２が形成されている。

圧電発振器用パッケージ１３０は、例えばセラミックを基材としたセラミックパッケージであり、第１層１３０ａ、第２層１３０ｂ、及び第３層１３０ｃの３つの層が重ね合わされることにより形成されている。第１層１３０ａは圧電発振器用パッケージ１３０の−Ｙ’軸側の面を形成し、第２層１３０ｂは第１層１３０ａの＋Ｙ’軸側の面に配置され、キャビティ１３１内に第２載置部１３４ａ、第２載置部１３４ｂ、及び第１枕部１３６を形成する。第３層１３０ｃは第２層１３０ｂの＋Ｙ’軸側の面に配置され、第３層１３０ｃの＋Ｙ’軸側の面には接合面１３２が形成されている。

リッド板１４０は、平面状に形成されており、圧電発振器用パッケージ１３０の接合面１３２に封止材１４１（図５参照）を介して接合される。これにより、リッド板１４０は、圧電発振器用パッケージ１３０のキャビティ１３１を密封する。また、リッド板１４０はレーザー光を透過するガラス材等により形成されている。

図２（ａ）は、集積回路素子１２０の概略平面図である。集積回路素子１２０には−Ｙ’軸側の面に６つの端子を有しており、図２（ａ）では集積回路素子１２０の−Ｙ’軸側に形成される６つの端子が点線で描かれる円で示されている。６つの端子は、２つの圧電端子１２１と４つの回路端子１２２とにより形成されている。圧電端子１２１は集積回路素子１２０の−Ｘ軸側に形成され、第１圧電振動片１１０ａ又は後述される第２圧電振動片１１０ｂの引出電極に電気的に接続される端子である。また、回路端子１２２は集積回路素子１２０の中央部及び＋Ｘ軸側に形成され、圧電発振器用パッケージ１３０の外部電極１３５にそれぞれ電気的に接続される端子である。

図２（ｂ）は、圧電発振器用パッケージ１３０の平面図である。圧電発振器用パッケージ１３０のキャビティ１３１の底面には集積回路素子１２０が載置される第１載置部１３３が形成されている。第１載置部１３３には、集積回路素子１２０の圧電端子１２１に電気的に接合される第１圧電電極１３７ａ及び第２圧電電極１３７ｂと、集積回路素子１２０の回路端子１２２に電気的に接合される回路電極１３８と、が形成されている。圧電発振器用パッケージ１３０のキャビティ１３１の＋Ｘ軸側には第１枕部１３６が形成されている。また、キャビティ１３１の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の角にはそれぞれ第２載置部１３４ａ及び第２載置部１３４ｂが形成されている。圧電発振器用パッケージ１３０は、Ｘ軸方向に長辺が伸び、Ｚ’軸方向に短辺が伸びている。以下では、圧電発振器用パッケージ１３０のキャビティ１３１の長辺の長さを長さＷＸ１とし、短辺の長さを長さＷＺ１として説明する。

圧電発振器用パッケージ１３０の第２載置部１３４ａの−Ｘ軸側及び第２載置部１３４ｂには第１接続電極１３９ａが形成されており、第２載置部１３４ａの＋Ｘ軸側には第２接続電極１３９ｂが形成されている。第２載置部１３４ａ上の第１接続電極１３９ａと第２接続電極１３９ｂとは互いに電気的に接続されておらず絶縁されている。第１載置部１３３の−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側には第１圧電電極１３７ａが形成されている。第１圧電電極１３７ａは、第２載置部１３４ａに形成される第１接続電極１３９ａ及び第２載置部１３４ｂに形成される第１接続電極１３９ａにそれぞれ電気的に接続されている。第１載置部１３３の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側には第２圧電電極１３７ｂが形成されている。第２圧電電極１３７ｂは、第２載置部１３４ａに形成される第２接続電極１３９ｂに電気的に接続されている。また、第１載置部１３３の中央部及び＋Ｘ軸側には回路電極１３８が形成されている。図２（ｂ）では、集積回路素子１２０が載置される位置が点線１２０ａで示されている。

図３（ａ）は、圧電発振器用パッケージ１３０の第１層１３０ａの平面図である。図３（ａ）では、第１載置部１３３と第２層１３０ｂ（図３（ｂ）参照）が載置される領域とが点線１３１ａにより分けられて示されている。点線１３１ａの外側には第２層１３０ｂが載置され、点線１３１ａの内側は第１載置部１３３となっている。第１層１３０ａの−Ｙ’軸側の面の四隅には外部電極１３５が形成されている。第１層１３０ａの＋Ｙ’軸側の面に形成されている４つの回路電極１３８は、それぞれ第１配線電極１６３により点線１３１ａの外側に引き出され、第１層１３０ａを貫通する第１貫通電極１６１を介して外部電極１３５にそれぞれ電気的に接続されている。また、第１圧電電極１３７ａと第２圧電電極１３７ｂとは、点線１３１ａの外側に引き出され、それぞれ第２層１３０ｂを貫通する第２貫通電極１６２（図３（ｂ）参照）を介して第１接続電極１３９ａ及び第２接続電極１３９ｂに電気的に接続される。また、第１圧電電極１３７ａ及び第２圧電電極１３７ｂからは第２配線電極１６４が伸びており、点線１３１ａの内側で第１配線電極１６３に接続され、第１配線電極１６３を介して外部電極１３５に電気的に接続されている。

図３（ｂ）は、圧電発振器用パッケージ１３０の第２層１３０ｂの平面図である。第２層１３０ｂは、キャビティ１３１に第１枕部１３６、第２載置部１３４ａ、及び第２載置部１３４ｂを形成する。第２層１３０ｂは、中心領域に第２層１３０ｂを貫通する貫通孔１４２が形成されており、貫通孔１４２はキャビティ１３１の一部を形成する。第２載置部１３４ａ及び第２載置部１３４ｂには第１接続電極１３９ａ及び第２接続電極１３９ｂが形成されており、第２貫通電極１６２を介してそれぞれ第１圧電電極１３７ａ及び第２圧電電極１３７ｂに電気的に接続されている。図３（ｂ）では、点線１３１ｂの外側に第３層１３０ｃが配置される。

図３（ｃ）は、圧電発振器用パッケージ１３０の第３層１３０ｃの平面図である。第３層１３０ｃの＋Ｙ’軸側の面は接合面１３２となる。第３層１３０ｃは中心領域に第３層１３０ｃを貫通する貫通孔１４３が形成されており、貫通孔１４３はキャビティ１３１の一部を形成する。

図４（ａ）は、第１圧電振動片１１０ａの平面図である。第１圧電振動片１１０ａは矩形形状に形成されており、Ｘ軸方向に伸びる長辺及びＺ’軸方向に伸びる短辺を有している。長辺は長さＷＸ２に形成され、短辺は長さＷＺ２に形成されており、長さＷＸ２は長さＷＸ１よりも短く、長さＷＺ２は長さＷＺ１よりも短い。第１圧電振動片１１０ａの＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の主面の中央領域にはそれぞれ励振電極１１１ａが形成されており、各励振電極１１１ａからは、−Ｘ軸方向に引出電極１１２ａが引き出されている。＋Ｙ’軸側の主面に形成される励振電極１１１ａから引き出される引出電極１１２ａは、−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に引き出され、さらに＋Ｚ’軸側の側面を介して−Ｙ’軸側の面にまで引き出されている。また、−Ｙ’軸側の主面に形成されている励振電極１１１ａ（不図示）から引き出されている引出電極１１２ａは、−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角にまで引き出され、−Ｚ’軸側の側面を介して＋Ｙ’軸側の面にまで引き出されている。

図４（ｂ）は、第１圧電振動片１１０ａが載置された圧電発振器用パッケージ１３０の平面図である。第１圧電振動片１１０ａは、第２載置部１３４ａに形成される第２接続電極１３９ｂと、第２載置部１３４ｂに形成される第１接続電極１３９ａと、に引出電極１１２ａが導電性接着剤１５０（図５参照）を介して接合されることにより圧電発振器用パッケージ１３０内に配置される。圧電発振器用パッケージ１３０では、第１圧電振動片１１０ａが配置された場合に、第２配線電極１６４が圧電発振器用パッケージ１３０の＋Ｙ’軸側から見た場合に見ることができるように形成されている。

圧電発振器１００は、集積回路素子１２０及び第１圧電振動片１１０ａが圧電発振器用パッケージ１３０に配置され、リッド板１４０によりキャビティ１３１が密封された後に第１圧電振動片１１０ａの振動周波数が外部電極１３５を介して測定される。第１圧電振動片１１０ａの振動周波数が所定の範囲内にあれば、第２配線電極１６４（図４（ｂ）の点線１６４ａで示された領域）にリッド板１４０を介してレーザー光を照射することにより第２配線電極１６４を切断する。第１圧電振動片１１０ａの振動周波数が所定の範囲内に無かった場合には、振動周波数が調整された後に第２配線電極１６４がレーザー光により切断される。

図５は、図１のＡ−Ａ断面図である。圧電発振器用パッケージ１３０の第１載置部１３３には、第１圧電電極１３７ａ（図２（ｂ）参照）、第２圧電電極１３７ｂ、及び回路電極１３８に圧電端子１２１及び回路端子１２２が金属バンプ１５１を介して接合されることにより、集積回路素子１２０が載置されている。また、第２載置部１３４ａ及び第２載置部１３４ｂ（図２（ｂ）参照）には、引出電極１１２ａが導電性接着剤１５０を介して第１接続電極１３９ａ（図２（ｂ）参照）及び第２接続電極１３９ｂに接合されることにより、第１圧電振動片１１０ａが載置されている。キャビティ１３１は、リッド板１４０が封止材１４１を介して接合面１３２に接合されることにより密封されている。

圧電発振器１００では、第２載置部１３４ａ、第２載置部１３４ｂ、及び第１枕部１３６が、集積回路素子１２０の上部よりも＋Ｙ’軸方向に高く形成されている。また、第１枕部１３６と第１圧電振動片１１０ａの＋Ｘ軸側端部とはＹ’軸方向に重なっている。そのため、第１圧電振動片１１０ａがたわんで第１圧電振動片１１０ａの自由端である＋Ｘ軸側端部が−Ｙ’軸側に下がった場合でも、第１圧電振動片１１０ａの＋Ｘ軸側端部は第１枕部１３６の上面で止まることにより第１圧電振動片１１０ａの傾きを抑え、第１圧電振動片１１０ａが集積回路素子１２０に接触してショートすることが防がれている。また、第１枕部１３６は第１圧電振動片１１０ａがたわんで圧電発振器用パッケージ１３０の一部に激しく衝突して破損すること等を防いでいる。

図６（ａ）は、第２圧電振動片１１０ｂの平面図である。第２圧電振動片１１０ｂは矩形形状に形成されており、Ｘ軸方向に伸び長さが長さＷＸ３に形成される長辺と、Ｚ’軸方向に伸び長さが長さＷＺ３に形成される短辺と、を有している。長さＷＸ３は長さＷＺ３よりも長く、第１圧電振動片１１０ａの長さＷＸ２及びキャビティ１３１の長さＷＺ１よりも短い。また、第１圧電振動片１１０ａと同様に、＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面にそれぞれ励振電極１１１ｂが形成され、各励振電極１１１ｂから−Ｘ軸側に引出電極１１２ｂが引き出されている。

図６（ｂ）は、第２圧電振動片１１０ｂが載置された圧電発振器用パッケージ１３０の平面図である。図６（ｂ）に示される座標は、圧電発振器用パッケージ１３０の座標を示している。そのため、図６（ｂ）における第２圧電振動片１１０ｂの座標は、図６（ｂ）に示される座標の−Ｚ’軸方向が第２圧電振動片１１０ｂの＋Ｘ軸方向に相当し、図６（ｂ）に示される座標の＋Ｘ軸方向が＋Ｚ’軸方向に相当する。第２圧電振動片１１０ｂの引出電極１１２ｂは、第２載置部１３４ａに形成される第１接続電極１３９ａ及び第２接続電極１３９ｂにそれぞれ導電性接着剤１５０を介して接合される。

図６（ｃ）は、図６（ｂ）のＢ−Ｂ断面図を含む圧電発振器１００の断面図である。第２圧電振動片１１０ｂの自由端は、第２載置部１３４ｂとＹ’軸方向に重なっている。これにより、圧電発振器用パッケージ１３０に第２圧電振動片１１０ｂが載置される場合、第２載置部１３４ｂが第２圧電振動片１１０ｂにとっての枕部（以下、第２枕部とする）となり、第２圧電振動片１１０ｂのたわみに起因する衝撃を緩和する。すなわち、第２枕部となる第２載置部１３４ｂにより、第２圧電振動片１１０ｂが大きく揺れた場合等に第２圧電振動片１１０ｂにかかる衝撃を抑える役割を担う。また、第２圧電振動片１１０ｂの配置では、第２圧電振動片１１０ｂの励振電極１１１ｂが第１載置電極１３９ａとＹ’軸方向に重ならないことが好ましい。重なった場合には、励振電極１１１ｂと第１載置電極１３９ａとが接触してショートする危険があるためである。

以上の説明のように、圧電発振器用パッケージ１３０は第１圧電振動片１１０ａ又は第２圧電振動片１１０ｂを選択して載置することができる。これは、圧電発振器用パッケージ１３０が、第１接続電極１３９ａと第２接続電極１３９ｂとがＸ軸方向及びＺ’軸方向の両方向に重なるように形成されていることにより、キャビティ１３１への圧電振動片の配置方法が、圧電振動片の長辺が伸びる方向がＸ軸方向になる配置方法（図４（ｂ）参照）及びＺ’軸方向になる配置方法（図６（ｂ）参照）の２種類となるためである。また、第１圧電振動片１１０ａに対して第１枕部１３６が形成され、第２圧電振動片１１０ｂに対して第２枕部（第２載置部１３４ｂ）が形成されていることにより、圧電発振器１００のキャビティ１３１内でのショート及び圧電振動片の破損等が防がれている。

（第２実施形態）
圧電発振器用パッケージは、２つの種類の圧電振動片を載置するために様々な形状に形成されることができる。以下に圧電発振器用パッケージ１３０の変形例として、２つの種類の圧電振動片を載置するための圧電振動片用パッケージ２３０及び圧電振動片用パッケージ３３０について説明する。また、以下の説明においては、圧電発振器用パッケージ１３０と同じ部分については圧電発振器用パッケージ１３０と同じ番号を付してその説明を省略する。

＜圧電発振器用パッケージ２３０の構成＞
図７（ａ）は、圧電発振器用パッケージ２３０の平面図である。圧電発振器用パッケージ２３０には、キャビティ１３１の−Ｘ軸側の辺に沿って第１枕部１３６と同じ高さの第２載置部２３４が形成されている。第２載置部２３４の−Ｚ’軸側には第１接続電極２７０が形成されており、第２載置部２３４の＋Ｚ’軸側には第２接続電極２７１が形成されている。また、第２載置部２３４の中央領域には電極が形成されていない。

第１接続電極２７０は、第２載置部２３４の−Ｚ’軸側の端に形成されている領域２７０ａと、領域２７０ａの−Ｘ軸側から電極が形成されていない中央領域の−Ｘ軸側を迂回して＋Ｚ’軸方向に伸びる領域２７０ｃと、領域２７０ｃに接続され電極が形成されていない中央領域の＋Ｚ’軸側に形成される領域２７０ｂと、により構成されている。また、第２接続電極２７１は、第２載置部２３４の＋Ｚ’軸側の端に形成されている領域２７１ａと、領域２７１ａから第２載置部２３４の＋Ｘ軸側を−Ｚ’軸方向に伸びる領域２７１ｂと、により構成されている。

第１接続電極２７０の領域２７０ａと第２接続電極２７１の領域２７１ａとはＺ’軸方向に重なるように配置されている。そのため、第１圧電振動片１１０ａ（図４（ａ）参照）の引出電極１１２ａを、それぞれ導電性接着剤１５０を介して領域２７０ａ及び領域２７１ａに接合することにより圧電発振器用パッケージ２３０に第１圧電振動片１１０ａを載置することができる（点線１１０ａ参照）。このとき、第１枕部１３６が第１圧電振動片１１０ａのショート及び破損等を防いでいる。

第１接続電極２７０の領域２７０ｂと第２接続電極２７１の領域２７１ｂとはＸ軸方向に重なるように配置されている。そのため、第２圧電振動片１１０ｂ（図６（ａ）参照）の引出電極１１２ｂを、それぞれ導電性接着剤１５０を介して領域２７０ｂ及び領域２７１ｂに接合することにより圧電発振器用パッケージ２３０に第２圧電振動片１１０ｂを載置することができる（点線１１０ｂ参照）。このとき、第２圧電振動片１１０ｂの励振電極１１１ｂは電極が形成されていない中央領域とＹ’軸方向に重なり、第２載置部２３４の一部である電極が形成されていない中央領域が第２枕部となって第２圧電振動片１１０ｂのショート及び破損等を防いでいる。

＜圧電発振器用パッケージ３３０の構成＞
図７（ｂ）は、圧電発振器用パッケージ３３０の平面図である。圧電発振器用パッケージ３３０には第２載置部２３４が形成されており、第２載置部２３４の−Ｚ’軸側には第１接続電極３７０が形成されており、第２載置部２３４の＋Ｚ’軸側には第２接続電極２７１が形成されている。また、第２載置部２３４の中央領域には電極が形成されていない。

第１接続電極３７０は、第２載置部２３４の−Ｚ’軸側の端に形成されている領域３７０ａと、領域３７０ａの−Ｘ軸側から＋Ｚ’軸方向に突き出た領域３７０ｂと、により構成されている。また、第２接続電極３７１は、第２載置部２３４の＋Ｚ’軸側の端に形成されている領域３７１ａと、領域３７１ａから第２載置部２３４の−Ｘ軸側を−Ｚ’軸方向に突き出た領域３７１ｂと、により構成されている。

第１接続電極３７０の領域３７０ａと第２接続電極２７１の領域３７１ａとはＺ’軸方向に重なるように配置されている。そのため、第１圧電振動片１１０ａ（図４（ａ）参照）の引出電極１１２ａをそれぞれ導電性接着剤１５０を介して領域３７０ａ及び領域３７１ａに接合することにより、圧電発振器用パッケージ３３０に第１圧電振動片１１０ａを載置することができる（点線１１０ａ参照）。このとき、第１枕部１３６が第１圧電振動片１１０ａのショート及び破損等を防ぐ。

第１接続電極３７０の領域３７０ｂと第２接続電極３７１の領域３７１ｂとはＺ’軸方向に重なるように配置されている。そのため、第２圧電振動片１１０ｂと同様の形状を有し第２圧電振動片１１０ｂよりも寸法が小さい第３圧電振動片１１０ｃの引出電極１１２ｃ（不図示）を、それぞれ導電性接着剤１５０を介して領域３７０ｂ及び領域３７１ｂに接合することにより圧電発振器用パッケージ３３０に第２圧電振動片１１０ｂを載置することができる（点線１１０ｃ参照）。このとき、第３圧電振動片１１０ｃの励振電極１１１ｃ（不図示）及び自由端は電極が形成されていない中央領域とＹ’軸方向に重なり、第２載置部２３４の一部である電極が形成されていない中央領域が第２枕部となって第３圧電振動片１１０ｃのショート及び破損等を防いでいる。

圧電発振器用パッケージ３３０では、第１接続電極３７０の領域３７０ａ及び第２接続電極２７１の領域３７１ａと、第１接続電極３７０の領域３７０ｂ及び第２接続電極３７１の領域３７１ｂと、の電極の間隔が異なる２つの組み合わせにより２種類の圧電振動片を載置することができる構成となっている。また、領域３７０ｂ及び領域３７１ｂの間の電極が形成されていない領域を利用して第２枕部が形成されている。

以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。

例えば、上記の実施形態では圧電振動片にＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットの水晶振動片などであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む接合材に基本的に適用できる。また、上記の実施例では第２配線電極１６４が形成された圧電発振器用パッケージが説明されたが、第２配線電極１６４は形成されなくても良い。このとき、リッド板１４０はレーザー光を透過する材質で形成されなくても良い。

１００ … 圧電発振器
１１０ａ … 第１圧電振動片
１１０ｂ … 第２圧電振動片
１１０ｃ … 第３圧電振動片
１１１ａ、１１１ｂ … 励振電極
１１２ａ、１１２ｂ … 引出電極
１２０ … 集積回路素子
１２１ … 圧電端子
１２２ … 回路端子
１３０、２３０、３３０ … 圧電発振器用パッケージ
１３０ａ … 第１層
１３０ｂ … 第２層
１３０ｃ … 第３層
１３１ … キャビティ
１３２ … 接合面
１３３ … 第１載置部
１３４ａ、１３４ｂ … 第２載置部
１３５ … 外部電極
１３６ … 第１枕部
１３７ａ … 第１圧電電極
１３７ｂ … 第２圧電電極
１３８ … 回路電極
１３９ａ、２７０、３７０ … 第１接続電極
１３９ｂ、２７１、３７１ … 第２接続電極
１４０ … リッド板
１４１ … 封止材
１４２、１４３ … 貫通孔
１５０ … 導電性接着剤
１５１ … 金属バンプ
１６１ … 第１貫通電極
１６２ … 第２貫通電極
１６３ … 第１配線電極
１６４ … 第２配線電極

Claims (5)

1. キャビティ内に、所定方向に第１長さを有し一対の励振電極及び前記一対の励振電極からそれぞれ一方の側に引き出される一対の引出電極を含む第１圧電振動片と、前記所定方向に前記第１長さよりも短い第２長さを有し一対の励振電極及び前記一対の励振電極からそれぞれ一方の側に引き出される一対の引出電極を含む第２圧電振動片と、のどちらか一方を選択して配置することができ、前記第１圧電振動片又は前記第２圧電振動片を制御する集積回路素子を載置することができ、長辺及び短辺を有する圧電発振器用パッケージであって、
   前記集積回路素子が載置され前記キャビティの底面に形成される第１載置部と、
   前記第１圧電振動片又は前記第２圧電振動片が載置され、前記底面よりも位置が高く、前記キャビティの一方の側に形成される第２載置部と、
   前記第１圧電振動片のたわみの衝撃を緩和し、前記底面よりも位置が高く、前記キャビティの他方の側に形成される第１枕部と、を備え、
   前記第２載置部は前記第２圧電振動片のたわみの衝撃を緩和するための第２枕部となり、
   前記第１圧電振動片は前記長辺が伸びる方向と前記第１長さの方向とが重なるように載置され、前記第２圧電振動片は前記短辺が伸びる方向と前記第２長さの方向とが重なるように載置される圧電発振器用パッケージ。
2. 前記第２載置部には前記第１圧電振動片又は前記第２圧電振動片の前記一対の引出電極に電気的に接続される第１接続電極及び第２接続電極が形成され、前記第１接続電極は前記第２接続電極に前記長辺が伸びる方向及び前記短辺が伸びる方向の両方に重なるように形成されている請求項１に記載の圧電発振器用パッケージ。
3. 前記第２載置部は前記キャビティの一方の側の両端にそれぞれ形成され、一方の前記第２載置部には前記第１接続電極が形成され、他方の前記第２載置部の前記キャビティの一方の側には前記第１接続電極が形成され、他方の前記第２載置部の前記キャビティの他方の側には前記第２接続電極が形成されている請求項２に記載の圧電発振器用パッケージ。
4. 請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電発振器用パッケージと、
   前記第１圧電振動片又は前記第２圧電振動片と、
   前記集積回路素子と、
   前記キャビティを密封するリッドと、
   を備える圧電発振器。
5. 請求項２又は請求項３に記載の圧電発振器用パッケージと、
   前記第１圧電振動片又は前記第２圧電振動片と、
   前記集積回路素子と、
   前記キャビティを密封するリッドと、を備え、
   前記第１圧電振動片又は前記第２圧電振動片の前記励振電極が、前記第１接続電極及び前記第２接続電極に上下方向に重ならない圧電発振器。

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