JP2015094892A - 回折格子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の回折格子は、溝が刻線された所定面上に、前記溝の深さより厚い金属膜が成膜され、前記金属膜上に非晶質炭素膜が成膜されることにより、金属膜の回折効率を改善する。
【選択図】図3
Description
は消衰係数である。入射光は表面すれすれに入射するときの鏡表面から測った臨界角θC
は近似式θC=(2δ)1/2で表される。ここで、波長6.764nmに対する金(Au)
、非晶質炭素(a−C、密度:2.1g/mm3)、及び非晶質炭素の一種であるダイヤモンドライクカーボン(DLC)のθCを考える。DLCは、ダイヤモンド構造(sp3
混成軌道)とグラファイト構造(sp2混成軌道)が混在した物質で、特に、水素原子を含まないDLCはテトラヘドラルアモルファスカーボン(taC、密度:3.1g/mm3)と呼ばれる。近似式から得られるAu、a−C、taCのθCの値はそれぞれ9.9
03°、7.693°、9.105°である。もし、入射角が視射角5.5°ならば、半無限厚のAu、a−C、taC反射鏡の反射率はそれぞれ、0.49、0.84、0.88となる。この条件下では、どの物質に対してもθ<θCとなるため全反射条件を満足す
るものの、Auのβが炭素系物質に比して約一桁大きいために炭素系物質の方がAuより高い反射率を示す。従って、回折格子基板としてa−CまたはtaCを用いれば、高効率な回折格子を期待できるが、炭素系材料のエッチング速度が非常に遅いことを考慮するとエッチングによって基板表面に格子溝を直接刻線するホログラフィック回折格子への応用として当該材料を回折格子基板に用いることは実用的ではない。
taCの薄膜を付加した場合を考える。図1はa−C膜またはtaC膜の膜厚による反射率を示している。図1からわかるように、双方とも膜厚がおよそ20nm以上で概ね飽和し、40nmから50nm程度で反射率の向上が見られなくなる。よって図1から現実的な膜厚としては50nm以下が好ましいことがわかる。また、図1から反射率は半無限厚の時の反射率と同じ0.84、0.88に収束することが判る。このように炭素系材料を金属膜に付加すると、薄膜でも基板として用いた場合と同等の反射率を得ることができる。そこで、以下の実施形態では、この原理を回折格子に応用することにしたものである。
膜2の上に積層される金属膜3(以下、第2金属膜3という)の厚さをd2とする。第1
金属膜2と第2金属膜3は異なる物質であるとする。第2金属膜3の上に本実施形態の特徴である非晶質炭素膜4(a−C膜またはtaC膜)を厚さ(d3)で付加する。第1金
属膜2の厚さd1は、軟X線の透過を抑制できる厚さであり、例えば、溝深さよりも厚く
、より好ましくは溝深さに対して十分厚くすることが望ましい。なお、金属膜は2層に限られず、単層であってもよく、また異なる物質からなる層で構成された多層膜であってもよい。また、金属膜が異なる物質からなる2層以上の膜であれば、回折効率の改善に有効な場合がある。
0mm)、a/σ=0.3、h=16nmのSiO2製回折格子を考える。ここで、α=87.0°、m=+1とした。数値計算にはM.G. Moharamらに基づく方法(“Diffraction analysis of dielectric surface-relief gratings,” J. Opt. Soc. Am. 72, 1386 (1982) 及び“Rigorous coupled-wave analysis of metallic surface- relief gratings,” J. Opt. Soc. Am. A3, 1780 (1986))を用いた。
度:8.90g/cm3)を積層し、第2金属膜3の上に厚さ16nmのa−C膜を非晶
質炭素膜4(密度:2.1g/cm3)として形成した回折格子を考える。
Au膜、第2金属膜3として30nm厚のNi膜を積層し、第2金属膜3の上に16nm厚のtaC膜を非晶質炭素膜4(密度:3.1g/cm3)として形成した回折格子を考える。図3からわかるように、Case4の回折効率が最大となる波長において、Case2及びCase3の場合と比較して、Case4の回折効率はそれぞれ約1.6倍及び約1.8倍に増加している。
しないとみなせる。このことは、この条件において回折効率は基板材質に依存しないことを示している。したがって、平面基板上の樹脂層の表面に格子溝が刻線されているレプリカ回折格子においても上記実施例と同じ回折効率が得られる。レプリカ回折格子は格子溝が基板表面に直接刻線されているマスター回折格子に比較して安価に製作できるため、このことも工業的な量産にあたって都合の良い重要な特性である。
2 第1金属膜
3 第2金属膜
4 非晶質炭素膜
Claims (8)
- 溝が刻線された所定面上に、前記溝の深さより厚い金属膜が成膜され、前記金属膜上に非晶質炭素膜が成膜された回折格子。
- 前記所定面が基板表面であって、前記溝が前記基板表面に直接刻線されている請求項1に記載の回折格子。
- 前記所定面が基板上に形成された樹脂の表面である請求項1に記載の回折格子。
- 前記金属膜が、異なる物質からなる層で構成された多層膜である請求項1から3のいずれか一項に記載の回折格子。
- 前記非晶質炭素膜が50nm以下の厚さである請求項1から4のいずれか一項に記載の回折格子。
- 前記非晶質炭素膜がダイヤモンドライクカーボン膜である請求項1から5のいずれか一項に記載の回折格子。
- 軟X線の分光に用いられる請求項1から6のいずれか一項に記載の回折格子。
- 前記非晶質炭素膜の密度が2.1g/cm3以上である請求項1から7のいずれか一項に記載の回折格子。
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