JP2006133280A - 多層膜不等間隔溝ラミナー型回折格子及び同分光装置 - Google Patents
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Abstract
多層膜を回折格子表面に形成して回折効率を増したい場合、(1)最大反射率が得られる溝深さ等の条件、(2)多層膜の拡張Bragg条件、(3)入射光と回折光の方向の相関を規定する条件式、(4)結像条件の4つの条件を満たす必要がある。これらの条件を一波長で満たすことは容易であるが、それでは単色計、写真機型分光器としては使用できない。
【解決手段】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、回折格子を用いた分光が効率の低下のため困難である波長0.2〜2nmの領域において、回折効率、分解能が共に高い回折格子及びそれを用いた分光装置を提供することにある。
【選択図】 図1
Description
W.R. Hunter, "Multilayer Gratings:," in J. R. Samson and D. L. Ederer Eds., Vacuum Ultraviolet Spectroscopy I in the Experimental Methods in the Physical Sciences, Vol. 31, (Academic Press, New York, 1998), Chapter 18, pp.379-399. M. Koike and T. Namioka, "High-resolution grazing incidence plane grating monochromator for undulator radiation," Rev. Sci. Instrum., 66, 2144-2146(1995).
1) 多層膜回折格子の回折条件
2: 入射光線
3: 回折光線
4: 入口スリット
5: 凹面(集光)鏡
6: 凹面(集光)鏡による虚焦点
7: 平面鏡
8: 出口スリット
9: 入射収束光
Claims (8)
- 最大反射率が得られる多層膜の拡張Bragg条件、零次光が消滅し最大回折効率が得られる溝深さ及び山面の幅と格子定数の比の条件を同時に満足し、且つ溝間隔を不等間隔とした多層膜ラミナー型平面回折格子。
- 請求項1に記載の平面回折格子を用いることにより、波長に関わらず最大回折効率が得られるよう入射角と回折角を可変とした回折格子分光装置。
- 回折格子の垂線と入射光線とに張る角の余弦と回折格子の垂線と回折光線とに張る角の余弦の和に対して、多層膜の周期長が回折光線のほぼ整数倍になるように入射角と回折角を可変とした請求項2に記載の回折格子分光装置。
- 波長走査を回折格子中心における回転のみにより波長走査を行う請求項3に記載の回折格子分光装置。
- 請求項1に記載の平面回折格子を収束光により照明し、且つ波長走査に関わらず回折光の焦点距離が一定になるよう溝間隔を不等間隔とした請求項4に記載の回折格子分光装置。
- 平面回折格子が、2つのコヒーレント球面波の干渉縞を記録することにより溝パターンを形成したホログラフィック平面回折格子である、請求項5に記載の装置。
- 平面回折格子が、2つのコヒーレント非球面波の干渉縞を記録することにより溝パターンを形成したホログラフィック平面回折格子である、請求項5に記載の装置。
- 平面回折格子が、1つのコヒーレント球面波と1つのコヒーレント非球面波の干渉縞を記録することにより溝パターンを形成したホログラフィック平面回折格子である、請求項5に記載の装置。
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