JP5170488B2 - 円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 - Google Patents
円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5170488B2 JP5170488B2 JP2001246318A JP2001246318A JP5170488B2 JP 5170488 B2 JP5170488 B2 JP 5170488B2 JP 2001246318 A JP2001246318 A JP 2001246318A JP 2001246318 A JP2001246318 A JP 2001246318A JP 5170488 B2 JP5170488 B2 JP 5170488B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- plane
- grating
- diffraction
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 10
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 7
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1861—Reflection gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/1833—Grazing incidence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/189—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating using at least one grating in an off-plane configuration
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は円錐回折斜入射分光器及びそれに適した不等間隔溝回折格子の設計に関する。
【0002】
【従来の技術】
回折格子を格子溝と同方向の軸回りに回転させ、この軸が入射、回折主光線が作る面に垂直である従来方式の波長走査を行う分光系では、回転角が大きくなるにつれ、照明される格子溝の陰の面積比が大きくなり、長波長になるにつれて回折効率が著しく低下する。この欠点を補うため、波長走査を、回折格子面に垂直な軸の回りに回折格子を回転させ行なう方式が考案された(例えば、M.C.Hettrick,”Grating monochromators and spectrometers based on surface normalrotation,Monochromator with concave grating”,US patent No.5,274,435)。この方法により、回折効率は幾分改善されるが、実用波長走査領域が狭く、長波長になるにつれて分解能が低下する。
【0003】
また、従来の回折格子一枚、入口スリット、出口スリット等から構成される分光系において、入口スリット、出口スリット及び回折格子の各中心が作る平面が回折格子の格子溝方向と垂直でない、いわゆるオフプレイン配置の分光系では等間隔平行溝の回折格子を用いる限り大きな収差が生じていた。そこで、不等間隔でかつ平行でない溝を持ったホログラフィック凹面回折格子を用いる改良が提案された(M.Koike,”Monochromator with concave grating”,US patent No.4,455,088)。しかしながら、この方法でも斜入射分光器で要求される極端なオフプレイン配置では収差補正が極めて困難となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような課題を解決するために成されたものであり、その目的は、斜入射分光器で一般には避けられない格子溝による影による回折効率の低下を円錐回折型にすることにより防止し、かつ円錐回折に起因する収差を極めて少なくするように設計された回折格子、及びそのような回折格子を備える円錐回折斜入射分光器を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために成された本発明は、光源または入口スリットからの発散光を収束光に変換する収束光生成手段と、前記光源から前記収束光の焦点へ至る光路上に配置された平面回折格子とを備え、該平面回折格子をその平面回折格子面の格子溝方向に平行に定められた軸の回りに回動させることにより波長走査を行なう分光器において、平面回折格子の回転軸(y軸)、入射主光線、回折主光線のすべてが同一面内にあり、かつ平面回折格子が、可干渉性の二個の発散光束の干渉により形成されたホログラフィック回折格子であり、可干渉性の二個の発散光束の光源点が、双方とも平面回折格子の中心において該平面回折格子の回転軸と垂直な面内にはなく、且つ、該垂直な面で区分される領域において同一の領域に存在することを特徴とする。平面回折格子を含む分光系の焦点を表す光路関数の展開係数の値が波長走査を行なう波長範囲内の少なくとも1つの波長でほぼ0となるように、該平面回折格子の溝パターンを示す級数展開式である溝関数の展開係数が決定されている。上記平面回折格子の回転軸(y軸)、入射主光線、回折主光線のすべてが同一面内にあるとは、図1に示されるように、入口スリット1の中心ON、出口スリット4の中心Ox、凹面境2の中心OM、及び回折格子3の中心Oが一平面内にあることである。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の発明者は、回折格子をその格子面の格子溝方向と平行に定められた軸の回りに回動させることにより波長走査を行なう円錐回折斜入射分光系において回折格子を含む分光系の焦点を表す光路関数の展開係数の値が波長走査を行なう波長範囲内の少なくとも1つの波長でほぼ0となるように、該回折格子の溝パターンを示す級数展開式である溝関数の展開係数を決定することによって、前記分光器の収差を削減し分解能の向上を図ることができることを見出した。
【0007】
上記の光路関数の展開係数を用いて収差の削減する方法について図を参照しながら、以下により具体的に説明する。
【0008】
図1は円錐回折斜入射分光系における光学素子のマウンティング(配置)を示す斜視図である。この分光系において、入口スリット1からの光は凹面鏡2で反射され収束光に変換され、平面回折格子(以下、単に回折格子とする)3に入射し、そこで回折され、出口スリット4に結像する。回折格子の格子面内でy軸は該回折格子の格子溝に平行となるように、またx軸は格子溝とy=0で直交するように、z軸は格子面と垂直で、x=y=0と交わるようにそれぞれ定め、該回折格子への入射主光線及び該回折格子から出る回折主光線を含む平面内で、入射主ならびに回折主光線が、(x,y,z)軸に張る角度をそれぞれ(ξ,η,ζ)、(ξ0’,η0’,ζ0’)とする。また、凹面鏡で反射され収束光の結像点から回折格子中心に至る主光線の距離を−r0,回折格子中心から像点までの主回折光線の距離をr0’とする。
【0009】
回折格子は有効格子定数σを持つ不等間隔曲線溝し、不等間隔溝回折格子の溝関数の展開係数nijを回折格子のx−y平面上の点座標(w、l)の関数として
【数1】
と表す。nは、回折格子の溝のそれぞれに付られた番号で、x=0、y=0の回折格子中心で0番とし、x軸の正負と同じ符号を有する。
【0010】
光路関数Fも同様に回折格子のx−y座標上の点(w、l)の関数として展開形で
【数2】
と表す。ここで、Mijは、光路関数の展開項の係数で、M00は主光線の光路長、M10、M01は分散(回折)方向と関係し、M20M02はそれぞれx軸、y軸方向の結像条件と関係し、Mi,ji+j>2は収差と関係する。
【0011】
この場合、Mijは
【数3】
【数4】
【数5】
【数6】
【数7】
【数8】
【数9】
【数10】
【数11】
【数12】
と表される。
【0012】
図2は回折格子溝のホログラフィック記録系における光学素子のマウンティング(配置)を示す斜視図である。レーザー光線のような可干渉性の二個のC光源点5、D光源点6からの発散光束回折格子基板上7に出来た干渉縞を記録し格子溝とする。
この場合の溝関数の展開項nijはC、D光源点から回折格子中心に至る波長λ0の主光線の距離をそれぞれrC,rDとし、それぞれの主光線が、(x,y,z)軸に張る角度をそれぞれ(ξC,ηC,ζC)、(ξD,ηD,ζD)とすると
【数13】
【数14】
【数15】
【数16】
【数17】
【数18】
【数19】
【数20】
【数21】
と表される。
【0013】
光路関数の展開係数を用いて収差の削減ためには、例えば以下のような方法により決定すればよい。まづ、M00の項は光路長を表す項で出口スリットを固定位置に設置する場合、波長に依存しなければ任意の値を取ることができるが、回折格子に結像能力がなく、結像は凹面鏡のみによって行われると仮定した場合r0‘=rとなる。F10、F01は所謂回折格子の式であり、この式を満たすように凹面鏡、回折格子、出口スリットを配置しなければならない。簡単のためηC=ηDとした場合、F01=0よりη0‘=180°−ηとなる。また、回折格子の回転軸,入射主光線、回折主光線のすべてが同一面内にあるとすると、ξ0‘=ξ でなければならないが、この条件とF10=0よりζの値が一義的に決まる。次にF20,F02 はそれぞれ子午的、球欠的像点を決定する式であるが、F02=0より、rC=rDでなければならない。また、これらをF20=0に代入することにより、ξC、=180°−ξDとなる。したがって、残るのはrC(=rD)とηC(=ηD)の2変数であるがこれはF11=0の条件より決定すればよい。
【0014】
【実施例】
ここでは具体的な一実施例を示す。凹面鏡による収束光束の焦点から回折格子の中心に至る距離−r0を5000mm、格子定数σを1/2400m、回折次数をm=−1、回折格子に入射する主光線がx−z平面に張る角ψを88.6°、走査波長範囲を0.25−5nmとする。また、レーザー波長λ0を441.6nm とすると、収差を最小にするホログラフィック露光系はrC=rD=2407.119mm、ξC、=180°ξD=122.000°、ηC=ηD=118.769゜となる。このようにη C =η D ≠90°の露光条件で作成された回折格子の特徴として、回折格子中心において回折格子面内で回折格子溝方向と垂直な軸方向に対して、非対称な格子溝となる。表1に上記の設計方法、さらにこれに基づいて設計された設計例が、収差を表す光路関数の展開項を極小にしているかを示すため、波長0.25,1.0,5.0nmにおけるMij、Hij,Fijの値を示す。
【表1】
【0015】
次に本発明に係わる分光系及び回折格子を評価するため光線追跡法でスポットダイアグラムとスペクトル線プロファイルを計算する方法について示す。
r0=5000mmの収束光を生成するため図1において、入口スリット1上に直径2μmで、スリットの幅方向に0.2mrad、高さ方向に5mradに広がりをもつ光源があり、入口スリットからr=5500mmの距離にあるトロイダル面鏡2(主曲率(XM軸方向):224085mm、副曲率(YM軸方向):114mm))に入射角q=88.6°で入射し、反射され収束光に変換され、トロイダル面鏡から距離D=450mmにある平面回折格子3に入射し、そこで回折されるものとする。 ただし、回折格子の面積は100mm(x軸方向)×100mm(y軸方向)とし、これを外れる光線は無視するものとする。
【0016】
図3に光線追跡法で得られたスポットダイアグラムとスペクトル線プロファイルを示す。 左から主波長はそれぞれ0.25,0.5,1.0,2.5.5.0nmで3本のスペクト
に記してある。 なお、上記条件のうち、光源の大きさを無限小とした場合、分
0nm)となる。
【0017】
以上、本発明に係る回折格子の実施例について具体的に説明したが、本発明の実施例は上記に限られるものではない。例えば、図1の分光系では入口スリット1から出口スリット4での光路全体が同一平面に含まれているが、これは必須ではない。例えば、図4に示したように、凹面鏡2への入射光が子午面の外部に出るように入口スリット1を配置することは、本発明の実施をなんら妨げるものではない。更に、図1又は図4の分光系では、入口スリット1からの光を凹面鏡2で収束光に変換し、該収束光を回折格子3で受け、そこから出る回折光を出口スリット4へ送るように各光学素子が配置されているが、例えば図5のように、入口スリット1からの光をまず回折格子3で受け、そこから出る回折光を凹面鏡2で収束光に変換して出口スリット4へ送るように各光学素子を配置した分光系にも、本発明は適用可能である。
【0018】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る回折格子は、収差を極めて少なくするような溝間隔を解析的方法により求め、その溝間隔で格子溝を設けたため、これを用いて円錐回折斜入射分光系を構成すれば、従来品よりも遥かに高い精度の分光分析が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例の円錐回折斜入射分光系における光学素子の配置を示す斜視図である。
【図2】 回折格子溝のホログラフィック記録系における光学素子のマウンティング(配置)を示す斜視図である。
【図3】 本発明による分光系、及び回折格子の具体数値例を用いて光線追跡法により得られたスポットダイアグラムとスペクトル線プロファイルである。
【図4】 本発明を適用可能な別の円錐回折斜入射分光系を示す斜視図である。
【図5】 本発明を適用可能な更に別の円錐回折斜入射分光系を示す側面図である。
【符号の説明】
1…入口スリット
2…凹面鏡
3…平面回折格子
4…出口スリット
5…レーザー光原点C
6…レーザー光原点D
7…平面回折格子基板
8 収束光の焦点
9 格子溝
Claims (4)
- 光源または入口スリットからの発散光を収束光に変換する収束光生成手段と、前記光源から前記収束光の焦点へ至る光路上に配置された平面回折格子とを備え、前記平面回折格子をその平面回折格子面の格子溝方向に平行に定められた軸の回りに回動させることにより波長走査を行なう分光器において、
前記平面回折格子の回転軸,入射主光線、回折主光線のすべてが同一面内にあること、並びに、
前記平面回折格子が、可干渉性の二個の発散光束の干渉により形成されたホログラフィック回折格子であり、前記可干渉性の二個の発散光束の光源点が、双方とも前記平面回折格子の中心において該平面回折格子の回転軸と垂直な面内にはなく、且つ、該垂直な面で区分される領域において同一の領域に存在することを特徴とする円錐回折斜入射型の分光器。 - 前記光源または前記入口スリットからの発散光を収束光に変換する前記収束光生成手段として凹面鏡を用いたことを特徴とする請求項1に記載の分光器。
- 前記平面回折格子の溝間隔が、不等間隔、あるいは曲線溝、あるいは不等間隔溝かつ曲線溝であることを特徴とする請求項1に記載の分光器。
- 前記平面回折格子面の格子溝が、前記平面回折格子の中心において前記平面回折格子面内で格子溝方向と垂直な軸方向に対して、非対称な格子溝であることを特徴とする請求項3に記載の分光器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001246318A JP5170488B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 |
US10/191,993 US6891615B2 (en) | 2001-07-10 | 2002-07-10 | Conical diffraction grazing incidence spectrometer and diffraction grating for use in the spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001246318A JP5170488B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003028715A JP2003028715A (ja) | 2003-01-29 |
JP5170488B2 true JP5170488B2 (ja) | 2013-03-27 |
Family
ID=19075892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001246318A Expired - Fee Related JP5170488B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6891615B2 (ja) |
JP (1) | JP5170488B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6922240B2 (en) * | 2003-08-21 | 2005-07-26 | The Regents Of The University Of California | Compact refractive imaging spectrometer utilizing immersed gratings |
US7006217B2 (en) * | 2003-09-09 | 2006-02-28 | The Regents Of The University Of California | Compact catadioptric imaging spectrometer utilizing immersed gratings |
US7041979B2 (en) * | 2003-09-09 | 2006-05-09 | The Regents Of The University Of California | Compact reflective imaging spectrometer utilizing immersed gratings |
US6977727B2 (en) * | 2003-10-06 | 2005-12-20 | The Regents Of The University Of California | Compact imaging spectrometer utilizing immersed gratings |
US6980295B2 (en) * | 2003-10-06 | 2005-12-27 | The Regents Of The University Of California | Compact catadioptric imaging spectrometer utilizing reflective grating |
US7542188B2 (en) * | 2004-01-20 | 2009-06-02 | National University Of Singapore | Optical scanning using vibratory diffraction gratings |
KR100565076B1 (ko) | 2004-08-05 | 2006-03-30 | 삼성전자주식회사 | 레이저 반점을 제거한 조명계 및 이를 채용한 프로젝션시스템 |
US7239386B2 (en) * | 2004-08-17 | 2007-07-03 | The Regents Of The University Of California | Compact imaging spectrometer utilizing immersed gratings |
US7016038B2 (en) * | 2004-08-17 | 2006-03-21 | The Regents Of The University Of California | Compact imaging spectrometer utilizing immersed gratings |
US7456957B2 (en) * | 2005-08-03 | 2008-11-25 | Carl Zeiss Meditec, Inc. | Littrow spectrometer and a spectral domain optical coherence tomography system with a Littrow spectrometer |
KR100721905B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2007-05-28 | 포항공과대학교 산학협력단 | 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법 |
WO2007078088A1 (en) * | 2005-12-30 | 2007-07-12 | Postech Academy-Industry Foundation | Method for processing and analyzing data of synchrotron grazing incidence x-ray scattering apparatus |
US7414719B2 (en) * | 2006-01-26 | 2008-08-19 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Imaging spectrometer wide field catadioptric design |
US10393584B2 (en) * | 2008-03-11 | 2019-08-27 | Oto Photonics Inc. | Spectrometer, monochromator, diffraction grating and methods of manufacturing grating and mold |
KR20090105747A (ko) * | 2008-04-03 | 2009-10-07 | 삼성전자주식회사 | 광주사장치 및 이를 채용한 화상형성장치 |
DE102010051762B4 (de) * | 2010-11-17 | 2023-01-19 | Rodenstock Gmbh | Computerimplementiertes Verfahren und Vorrichtung zum Auswerten zumindest einer Abbildungseigenschaft eines optischen Elements, Computerprogrammerzeugnis, Speichermedium sowie Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines optischen Elements |
CN104297829A (zh) * | 2014-09-30 | 2015-01-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 平面变栅距光栅的优化设计方法 |
CN111060287B (zh) * | 2019-11-22 | 2021-10-01 | 北京空间机电研究所 | 一种光栅光谱仪光学系统焦距和狭缝尺寸计算方法 |
CN114740557B (zh) * | 2022-01-14 | 2022-11-29 | 吉林大学 | 消像差变栅距光栅扫描光刻条纹线密度设计方法 |
CN116183019B (zh) * | 2022-12-23 | 2024-03-29 | 安徽创谱仪器科技有限公司 | 分光装置及光谱仪 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4012843A (en) * | 1973-04-25 | 1977-03-22 | Hitachi, Ltd. | Concave diffraction grating and a manufacturing method thereof |
US4241999A (en) * | 1978-08-24 | 1980-12-30 | Agence Nationale De Valorisation De La Recherche (Anvar) | Monochromators |
US4455088A (en) * | 1982-02-10 | 1984-06-19 | Shimadzu Corporation | Monochromator with concave grating |
JPS6311822A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-19 | Hitachi Ltd | 回折格子 |
US5052766A (en) * | 1986-12-11 | 1991-10-01 | Shimadzu Corporation | Halographic grating and optical device incorporating the same |
JPH01142421A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Hitachi Ltd | モノクロメータ |
JPH02216019A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-28 | Hitachi Ltd | モノクロメータ |
US4991934A (en) * | 1989-08-10 | 1991-02-12 | Hettrick Michael C | Varied space diffraction grating and in-focus monochromator |
US5274435A (en) * | 1992-02-26 | 1993-12-28 | Hettrick Michael C | Grating monochromators and spectrometers based on surface normal rotation |
US5528364A (en) * | 1994-07-19 | 1996-06-18 | The Regents, University Of California | High resolution EUV monochromator/spectrometer |
JPH08271335A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Shimadzu Corp | 回折格子および同回折格子を用いた回折格子分光器 |
US5978110A (en) * | 1996-06-07 | 1999-11-02 | The Regents Of The University Of California | Holographic optical grating and method for optimizing monochromator configuration |
JP3905226B2 (ja) * | 1998-07-23 | 2007-04-18 | 独立行政法人 日本原子力研究開発機構 | 円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 |
-
2001
- 2001-07-10 JP JP2001246318A patent/JP5170488B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-07-10 US US10/191,993 patent/US6891615B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003028715A (ja) | 2003-01-29 |
US20030016355A1 (en) | 2003-01-23 |
US6891615B2 (en) | 2005-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5170488B2 (ja) | 円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 | |
US10488254B2 (en) | Spectrometer with two-dimensional spectrum | |
US4798446A (en) | Aplanatic and quasi-aplanatic diffraction gratings | |
JP5639066B2 (ja) | 改良された像質と小歪曲を有するダイソン型イメージング分光計 | |
US10288481B2 (en) | Spectrometer for generating a two dimensional spectrum | |
US5528364A (en) | High resolution EUV monochromator/spectrometer | |
JPH0339572B2 (ja) | ||
JP2760825B2 (ja) | 分光計 | |
JP5666459B2 (ja) | 収差補正凹面回折格子と透過型収差補正手段とを備える分光計 | |
US4690559A (en) | Optical system for spectral analysis devices | |
US8983032B2 (en) | Spectroscopic apparatus | |
JP4421683B2 (ja) | ホログラフィ光学系及びモノクロメータの構成を最適化する方法 | |
WO1996026418A1 (en) | Method and apparatus for providing astigmatism-reduced images with spectroscopic instruments | |
US4183668A (en) | Method of eliminating astigmatism and coma in a spectrograph including a plane grating and two concave, spherical mirrors | |
JPH02216019A (ja) | モノクロメータ | |
JP3905226B2 (ja) | 円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 | |
WO1997046898A9 (en) | Holographic optical grating and method for optimizing monochromator configuration | |
Harada et al. | Mechanically ruled diffraction gratings for synchrotron radiation | |
EP0179717B1 (fr) | Procédé de réalisation d'un réseau holographique corrigé et appareil de diffraction utilisant un réseau corrigé réalisé par le procédé | |
JPH02108929A (ja) | 二重分光写真装置 | |
US20040196460A1 (en) | Scatterometric measuring arrangement and measuring method | |
WO2009125709A1 (ja) | 分光光学系および分光測定装置 | |
JP3141106B2 (ja) | 球面回折格子による収束光入射型分光装置 | |
JPH08271335A (ja) | 回折格子および同回折格子を用いた回折格子分光器 | |
JPS60111125A (ja) | モノクロメ−タ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060223 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080317 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110711 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120402 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121219 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |