JP3905226B2 - 円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は円錐回折斜入射分光器及びそれに適した不等間隔溝回折格子の設計に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来の回折格子一枚、入口スリット、出口スリット等から構成される分光器において、入口スリット、出口スリット及び回折格子の各中心が作る平面が回折格子の格子溝方向と垂直でない、いわゆるオフプレイン配置の分光器では等間隔平行溝の回折格子を用いる限り大きな収差が生じていた。そこで、不等間隔でかつ平行でない溝を持ったホログラフィック回折格子を用いる改良が提案された(M. Koike, "Monochromator with concave grating", US patent No. 4,455,088)。しかしながら、この方法は極端なオフプレイン配置では露光が極めて困難となる。
【0003】
また、回折格子を格子溝と同方向の軸回りに回転させ波長走査する従来方式の分光器では、回転角が大きくなるにつれ、照明される格子溝の陰の面積比が大きくなり、長波長になるにつれて回折効率が著しく低下する。この欠点を補うため、波長走査を、回折格子面に垂直な軸の回りに回折格子を回転させ行なう方式が考案された(例えば、M.C. Hettrick, "Grating monochromators and spectrometers based on surface normal rotation, Monochromator with concave grating", US patent No. 5,274,435)。この方法により、回折効率の低下は大きく改善されたが、依然大きな収差が残存する。
【0004】
本発明はこのような課題を解決するために成されたものであり、その目的は、円錐回折斜入射分光器の収差を極めて少なくするように設計された回折格子、及びそのような回折格子を備える円錐回折斜入射分光器を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために成された本発明は、
光源からの発散光を収束光に変換する収束光生成手段と、前記光源から前記収束光の焦点へ至る光路上に配置された回折格子とを備え、前記回折格子をその格子面の法線に平行に定められた軸の回りに回動させることにより波長走査を行なう円錐回折斜入射分光器に用いられる回折格子において、該回折格子を含む分光光学系の焦点を表す光路関数の展開係数の値が波長走査を行なう波長範囲内の少なくとも1つの波長でほぼ0となるように、該回折格子の溝パターンを示す級数展開式である溝関数の展開係数が決定されていることを特徴とする回折格子を提供するものである。
【0006】
【発明の実施の形態及び実施例】
本発明の発明者は、回折格子をその格子面の法線に平行に定められた軸の回りに回動させることにより波長走査を行なう円錐回折斜入射分光器において、該回折格子を含む分光光学系の焦点を表す光路関数の展開係数の値が波長走査を行なう波長範囲内の少なくとも1つの波長でほぼ0となるように、該回折格子の溝パターンを示す級数展開式である溝関数の展開係数を決定することによって、前記分光器の回折効率を向上させることができることを見出した。
【0007】
より具体的には、前記溝関数の展開係数は、例えば以下のような解析的方法により決定すればよい。すなわち、その解析的方法とは、
回折格子の格子面内で互いに直交するy軸及びz軸を、z軸は該回折格子の格子溝に平行となるように、またy軸は格子溝とz=0で直交するようにそれぞれ定め、該回折格子への入射光の光路及び該回折格子から出る回折光の光路を含む平面である子午面と前記y軸とが成す角度をθとし、θ=0のときに該回折格子により生成される回折光の波長をλ0とし、異なる2つのθの値をθ1及びθ2とし、θ=θ1及びθ=θ2のときに該回折格子により生成される回折光の波長をそれぞれλ1及びλ2とし、該回折格子への前記入射光の入射角をαとし、該回折格子からの前記回折光の回折角をβとし、該回折格子の中心から前記入射光の前記子午面内における焦点までの距離をrとし、該回折格子の中心から前記波長λ0の回折光の前記子午面内における焦点までの距離をr'とし、該回折格子の中心における格子定数をdとし、回折次数をmとし、前記y−z座標系における点(w、l)が該回折格子の中心すなわち座標原点(0,0)からn番目の溝上に存在するための条件を示す溝関数を次の級数展開式
【数7】
で表現したときに、展開係数n20及び前記距離r'が、以下の連立方程式
【数8】
ただし、
【数9】
を満たし、少なくとも展開係数n02、n12及びn22が実効的に0になるようにする、という方法である。
【0008】
上記解析的方法について、添付の図面を参照しながら、以下により具体的に説明する。
【0009】
図1は円錐回折斜入射分光器における光学素子のマウンティング(配置)を示す斜視図である。この分光器において、入口スリット1からの光は凹面鏡2で反射され収束光に変換され、平面回折格子(以下、単に回折格子とする)3に入射し、そこで回折され、出口スリット4に結像する。回折格子3への入射光の入射角はα、回折格子3からの回折光の回折角はβで示されている。図に示したxyz座標系は、回折格子3の格子面の中心に原点を有する直交座標系であって、そのx軸は格子面に直交し、y軸は格子溝に直交し、z軸は格子溝に平行である。なお、回折格子3の中心における格子定数はdとし、回折次数をmとする。
【0010】
この分光器においては、x軸周りに回折格子3を回転させることにより、波長走査が行われる。回折格子3の回転角は、該回折格子3への入射主光線及び回折格子3からの回折主光線により決定される平面(以下、子午面とする)と前記y軸とが成す角度(または、図1に示したように、子午面の法線とz軸とが成す角度)θで表されている。以上のような円錐回折斜入射分光器について、回折格子3の回転角θの異なる2つの値について上記した各式を作る。以下の説明では、例として、θの2つの異なる値として0及びθ2を選ぶものとする。また、上記に倣って、θ=0のときの回折光の波長(この波長は、回折格子3により生成される回折光の最小波長に相当する)をλ0とし、θ=θ2のときの回折光の波長をλ2とする。
【0011】
図2は、回折格子3の回転角θ=0をとしたときの上記円錐回折斜入射分光器を示す側面図である。この図において、符号Fは凹面鏡2で生成された収束光の子午面内での焦点を示し、符号Dは凹面鏡2の中心から回折格子3の中心までの距離を示し、符号rは回折格子3の中心から前記焦点Fまでの距離を示し、符号r'は回折格子3の中心から波長λ0の回折光の子午面内における焦点F'までの距離を示す。
【0012】
以上のような条件の下では、次の式(8)、(9)
【数10】
が成り立つから、λ2、λ0及びθ2を含む次の式(10)
【数11】
が成り立つ。これは上記式(3)に相当する。
【0013】
格子面上に溝を形成するパターンを示す溝関数は、上記式(1)で示した級数展開式により一般的に表される。すなわち、式(1)は、原点(0,0)を通る溝から数えてn番目の溝上に存在する全ての点(w,l)の集合を表すものである。このn番目の溝が、図3に示したように、z軸に平行になるようにするために、上記式1の中に含まれる、lを含む項に係る展開係数(すなわちk≠0なる全てのnjk)を0と定める。ここで、lを含む項に係る全ての展開係数を0としてもよいが、実際には、lの低次項に係る展開係数n02、n12、n22を0とするだけでも、格子溝は実用に十分耐えうる程度の正確さでz軸に平行となる。以上のような処理により、式(1)は実質的にn、d、w及びnj0(ただしjは整数)のみを変数として含む式として扱うことができるようになる。
【0014】
上記溝関数は、回折格子3の溝上の点(w,l)から回折光の焦点F'までの距離を表す光路関数の一部を構成する。そこで、回折光の焦点距離が波長に関わらず出来るだけ一定になるようにするため、焦点を表す光路関数の展開係数が零となるように焦点距離r'と、上記溝関数中の展開係数n20を定める。すなわち、本実施例の場合で言えば、上記式(2)においてθ=0及びθ=θ2として得られる次の2つの式(11)及び(12)
【数12】
を満たすようにn20及びr'を定めればよい。ここで、θ=0に対応する変数群α0、β0、r0及びr0'は、上記式(4)〜(7)でθi=0とすることにより、
α0=α、β0=β、r0=r、r0'=r'
と求められる。一方、θ=θ2に対応するα2、β2、r2及びr2'の値は、上記式(4)〜(7)でθi=θ2として得られる次の4つの式(13)〜(16)
【数13】
により定められる。具体例として、d=1200 lines/mm、λ0=0.5nm、λ2=1.0nm、θ2=60°、m=-1、α=87.777°、β=-89.000°、r=-9805mmとした場合、r'=2007mm、n20=-2.73758×10-6mm-2となる。
【0015】
なお、上記の例ではθの異なる2つの値のうち一方を0としたが、0以外の異なる2つの値θ1及びθ2を用いても、上記と同様の計算を行なって式(1)の展開係数n20及び回折格子の焦点距離r'を求めることができることは言うまでもない。
【0016】
次に、回折格子を照明する凹面鏡として球面鏡を用い、球面鏡の子午面内の入射発散光と出射収束光をほぼ対称とした例(1)と、非対称とした例(2)の2つの設計例について述べる。なお、上記の条件でm=+1とのみ変更した場合の解は存在しない。
【0017】
(設計例1)
入口スリットから球面鏡の距離raを10005mm、入射角を88°、球面鏡から回折格子までの距離Dを200mmとした場合、球面鏡の曲率半径R=286687mmとなる。この場合、子午面内の焦点は球面鏡から10005mmにあるため球面鏡のコマ収差は少ない。従って、球面鏡のコマ収差を無視し、任意の波長λ3(=λ0/cosθ3)に対して、回折格子のコマ収差を表す次式
【数14】
が小さくなるようにするだけで、波長λ3を中心とする波長領域でコマ収差を大幅に軽減することができる。ここで
【数15】
である。具体的な計算例を挙げると、回折格子のコマ収差を最小化するn30の値は、回折光の波長が0.5nmである場合は7.34761×10-8mm-3、また、回折光の波長が1.0nmである場合は-3.22903×10-7mm-3となる。また、回折格子から見ての入射光線の焦点が-9800mmで、回折光線の焦点が2000mmであるので、約1/4.9倍の光源の縮小像が出口スリット上にできる。
【0018】
(設計例2)
入口スリットから球面鏡までの距離raを2800mm、入射角φを88°、球面鏡から回折格子までの距離Dを200mmとした場合、球面鏡の曲率半径R=125374mmとなる。この場合は子午面内の焦点は球面鏡から10005mmにあるため、球面鏡から見れば約3.6倍の拡大になり球面鏡のコマ収差を無視できないので式(17)は一般に適用できないが、θ=0°の波長に対しては球面鏡のコマ収差を含んだ二枚鏡系でのコマ収差除去条件から求められる。すなわち
【数16】
ここで
【数17】
である。λ=0.5nmに最適化するn30の値は(13)式より7.34761×10-8mm-3となる。また、1.0nmでの最適値は光線追跡法の数値計算により4.13679×10-7mm-3となる。また、回折格子から見ての入射光線の焦点が-9805mmで、回折光線の焦点が2007mmであるので、約0.73倍の光源の縮小像が出口スリット上にできる。
【0019】
出口スリットの傾きΨは波長走査につれ変化するが、次式で表される。
【数18】
ここで、rYは回折格子から見た球欠的面内での光源からの距離である。
【0020】
今までに得られた結果をまとめると
【表1】
となる。
【0021】
次に本発明に係わる分光器及び回折格子を評価するため光線追跡法で得られたスポットダイアグラムとスペクトル線プロファイルを示す。
【0022】
図4は上記条件(1)のパラメータとコマ収差が1.0nmで補正されるようn30=-4.01377×10-7mm-3とした場合で、入口スリットの大きさを20μm×1mm、そこからの光線の発散角を2×2mrad2、回折格子の大きさを直径100mmの円形とした場合を示すものである。3本のスペクトル線は分解能1000に相当する波長差を持っており、実際の分解能はRとして図中に記してある。またTの値は回折格子の有効面積により生ずるケラレを考慮した幾何光学的なスループットである。この図からも1.0nmで収差が総合的に補正されていることが解る。なお、上記条件のうち、入口スリットの大きさを無限小とした場合、分解能は、1161 (0.5nm)、2510 (0.75nm)、2963(1.0nm)、2447(1.5nm)となる。
【0023】
また、図5は上記条件(2)のパラメータとコマ収差が0.5nmで補正されるようn30=7.34761×10-8mm-3とした場合で、入口スリットの大きさを20μm×1mm、そこからの光線の発散角を2×2mrad2、回折格子の大きさを直径100mmの円形とした場合を示すものである。3本のスペクトル線は分解能1000に相当する波長差を持っており、実際の分解能はRとして図中に記してある。またTの値は回折格子の有効面積により生ずるケラレを考慮した幾何光学的なスループットである。この図からコマ収差の補正波長は0.5nmであるが、0.5〜1.5nmの全波長領域で収差が補正されていることが解る。なお、上記条件のうち、入口スリットの大きさを無限小とした場合、分解能は、23321 (0.5nm)、3894 (0.75nm)、2671 (1.0nm)、1986 (1.5nm)となる。
【0024】
以上、本発明に係る回折格子の実施例について具体的に説明したが、本発明の実施例は上記に限られるものではない。例えば、図1の分光器では入口スリット1から出口スリットま4での光路全体が同一平面(子午面)に含まれているが、これは必須ではない。例えば、図6に示したように、凹面鏡2への入射光が子午面の外部に出るように入口スリット1を配置することは、本発明の実施をなんら妨げるものではない。更に、図1又は図6の分光器では、入口スリット1からの光を凹面鏡2で収束光に変換し、該収束光を回折格子3で受け、そこから出る回折光を出口スリット4へ送るように各光学素子が配置されているが、例えば図7のように、入口スリット1からの光をまず回折格子3で受け、そこから出る回折光を凹面鏡2で収束光に変換して出口スリット4へ送るように各光学素子を配置した分光器にも、本発明は適用可能である。
【0025】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る回折格子は、収差を極めて少なくするような溝間隔を解析的方法により求め、その溝間隔で格子溝を設けたため、これを用いて円錐回折斜入射分光器を構成すれば、従来品よりも遥かに高い精度の分光分析が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例の円錐回折斜入射分光器における光学素子の配置を示す斜視図。
【図2】 図1の分光器を示す側面図。
【図3】 格子面の溝パターンの一例を示す図。
【図4】 本発明による分光器、及び回折格子の具体数値例を用いて光線追跡法により得られたスポットダイアグラムとスペクトル線プロファイル。
【図5】 本発明による分光器、及び回折格子の具体数値例を用いて光線追跡法により得られたスポットダイアグラムとスペクトル線プロファイル。
【図6】 本発明を適用可能な別の円錐回折斜入射分光器を示す斜視図。
【図7】 本発明を適用可能な更に別の円錐回折斜入射分光器を示す側面図。
【符号の説明】
1…入口スリット
2…凹面鏡
3…平面回折格子
4…出口スリット
Claims (3)
- 光源からの発散光を収束光に変換する収束光生成手段と、前記光源から前記収束光の焦点へ至る光路上に配置された平面回折格子とを備え、前記平面回折格子をその格子面の法線に平行に定められた軸の回りに回動させることにより波長走査を行なう円錐回折斜入射分光器に用いられる平面回折格子において、
該平面回折格子の格子面内で互いに直交するy軸及びz軸を、z軸は該平面回折格子の格子溝に平行となるように、またy軸は格子溝とz=0で直交するようにそれぞれ定め、該平面回折格子への入射光の光路及び該平面回折格子から出る回折光の光路を含む平面である子午面と前記y軸とが成す角度をθとし、θ=0のときに該平面回折格子により生成される回折光の波長をλ0とし、異なる2つのθの値をθ1及びθ2とし、θ=θ1及びθ=θ2のときに該平面回折格子により生成される回折光の波長をそれぞれλ1及びλ2とし、該平面回折格子への前記入射光の入射角をαとし、該平面回折格子からの前記回折光の回折角をβとし、該平面回折格子の中心から前記入射光の前記子午面内における焦点までの距離をrとし、該平面回折格子の中心から前記波長λ0の回折光の前記子午面内における焦点までの距離をr'とし、該平面回折格子の中心における格子定数をdとし、回折次数をmとし、前記y−z座標系における点(w、l)が該平面回折格子の中心すなわち座標原点(0,0)からn番目の溝上に存在するための条件を示す溝関数を次の級数展開式
- 請求項1又は2に記載の平面回折格子を用いて構成された円錐回折斜入射分光器。
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