JP2015090278A - 硬さ試験機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 制御部70は、機能的構成として、試験片の表面に試験位置を設定するための試験位置設定部71と、各対物レンズを介して取得した画像における試験片100の形状外縁を検出するエッジ検出部72と、試験位置を補正するための補正量を高倍率の対物レンズを介して取得した狭範囲画像を利用して計算する補正量算出部74と、補正量算出部74において算出された補正量を全ての試験位置に適用して試験位置の補正を実行する試験位置補正部75を備える。
【選択図】 図7
Description
なお、圧子19、21のうち、他方の圧子19としては、例えば、ヌープ硬さ試験に使用される菱形のピラミッド型の圧子が使用される。
12 XYステージ
13 モータ
14 モータ
15 モータ
16 接眼レンズ
17 カメラ
18 表示部
19 圧子
20 ターレット
21 圧子
22 対物レンズ
23 対物レンズ
24 対物レンズ
25 対物レンズ
26 つまみ
27 軸筒
28 回転軸
29 ベアリング
30 モータ
31 軸
32 レバー
33 永久磁石
34 電磁コイル
35 押圧部
36 負荷伝達軸
38 ネジ
41 LED光源
42 光筒
43 ハーフミラー
44 ハーフミラー
50 コンピュータ
53 ラック
54 ピニオン
55 表示部
56 本体
57 キーボード
58 マウス
59 液晶表示部
60 変位検出器
61 板バネ
62 支持部材
63 支持部材
70 制御部
71 試験位置設定部
72 エッジ検出部
74 補正量算出部
75 試験位置補正部
76 記憶部
80 試験機制御部
81 記憶部
100 試験片
Claims (3)
- 試験片を載置するとともに、当該試験片をXY方向に位置決めするステージと、
前記ステージをZ方向に移動させる昇降機構と、
前記試験片の表面にくぼみを形成するための圧子と、
試験位置において前記圧子を前記試験片の表面に押し付けることにより前記圧子に試験力を付与する負荷機構と、
前記試験片の形状および前記試験片の表面に形成されたくぼみを観察するための倍率の異なる複数の対物レンズと、
前記圧子および前記対物レンズを支持するとともに、前記圧子または前記対物レンズのいずれかを前記試験片と対向する位置に移動させる切替部材と、
前記対物レンズを介して取得した画像を表示する表示部と、
を備えた硬さ試験機において、
複数の前記対物レンズは、前記試験片の広範囲画像を取得するための第1の対物レンズと、前記第1の対物レンズよりも高倍率であって、前記試験片の狭範囲画像を取得するための第2の対物レンズを含み、
前記対物レンズにより取得した画像から前記試験片の形状外縁を検出するエッジ検出部と、
前記第1の対物レンズを介して取得された広範囲画像上で、前記エッジ検出部により検出された第1の形状外縁からの距離Lに基づいて複数の試験位置を設定する試験位置設定部と、
前記試験位置設定部により設定された複数の試験位置のうちの一つの位置を、前記広範囲画像の中心となるように前記試験片が載置された前記ステージの位置調整を行う位置調整部と、
前記位置調整部による位置調整が行われた後に前記切替部材により前記第2の対物レンズを前記試験片と対向する位置に移動させ、前記第2の対物レンズを介して取得された狭範囲画像上で当該試験片の形状外縁に基づいて特定される試験すべき位置と前記一つの位置との差分を、前記試験位置設定部において設定した試験位置を補正するための補正量として算出する補正量算出部と、
前記補正量算出部において算出された補正量を、前記試験位置設定部により設定された全ての試験位置に加えることにより試験位置を補正する試験位置補正部と、
を備えることを特徴とする硬さ試験機。 - 請求項1に記載の硬さ試験機において、
前記補正量算出部は、前記試験すべき位置を、前記エッジ検出部により検出された第2の形状外縁からの距離が前記距離Lと等しくなる位置であるとして前記補正量を算出する硬さ試験機。 - 請求項1に記載の硬さ試験機において、
前記補正量算出部は、前記試験すべき位置を、入力手段により指定された前記試験片の形状外縁相当部からの距離が前記距離Lと等しくなる位置であるとして前記補正量を算出する硬さ試験機。
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