JPH1163922A

JPH1163922A - 画像測定機及びその方法

Info

Publication number: JPH1163922A
Application number: JP9222293A
Authority: JP
Inventors: Nobukatsu Machii; 暢且町井
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-08-19
Filing date: 1997-08-19
Publication date: 1999-03-05
Anticipated expiration: 2017-08-19
Also published as: JP3924855B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】被検物の測定箇所が多い場合は、それぞれの箇
所で測定条件等の指定を行わなければならず、すべての
測定手順データを作成するのに非常に時間がかかってい
た。【解決手段】画像測定機１は、ＸＹステージ２を移動さ
せ、ＣＣＤカメラ８で被検物３を撮像する。被検物３の
エッジをモニター１０の画面に表示し、キャリパーをそ
のエッジに合わせてその座標を測定する。このエッジの
座標の測定を、直線、円、円弧等の図形要素毎に指定し
た点数だけ繰り返し行い、被検物３の測定が行われる。
この測定は、予め作成された測定手順データに従った自
動測定により行われるが、この測定手順データを新規な
方法で作成する。測定手順データは、測定する被検物３
に含まれる図形要素に対して、モニター画面に表示する
領域を設定するためのＸＹステージ２の位置、キャリパ
ーの位置及び角度、照明系及び光学系の条件、画像処理
の条件などで構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検物の寸法を測
定する座標測定機に係り、特に被検物をカメラで捉えた
画像から被検物の寸法を測定する画像測定機に関する。

【０００２】

【従来の技術】画像測定機は、移動可能なステージ上に
載置された被検物をＣＣＤカメラ等で捉え、その画像を
処理して被検物の寸法を測定する。即ち、画像測定機の
モニター画面には、被検物と共にモニター上のエッジ検
出領域であるキャリパーが表示され、そのキャリパーが
表示された箇所のエッジ座標が測定される。

【０００３】また、オペレータが、予め被検物の測定す
べきエッジ位置と測定条件をティーチング工程により指
定すると、キャリパーが被検物の指定されたエッジ位置
を自動的にスキャンしながら、それぞれのエッジ位置の
座標を測定する自動測定モードが知られている。即ち、
被検物の測定箇所、測定条件、測定順等を指定する測定
手順データがティーチング工程で作成され、自動測定モ
ードでその測定手順データに従ってキャリパーが自動的
にスキャンされ測定が行われる。

【０００４】この測定手順データの作成工程では、オペ
レータが、マニュアル操作で被検物の測定に必要な箇所
毎にキャリパーを移動させ、エッジ座標を測定できるか
否かを確認しながら測定条件を指定する。

【０００５】また、他の測定手順データの作成方法とし
て、被検物の設計データを利用してオフラインで作成す
る方法がある。この場合は、画像測定機で被検物の測定
箇所を測定しながら測定手順データを作成するのではな
く、オフライン即ち机上で、設計データに従って被検物
の測定箇所、測定条件等を指定しながら測定手順データ
を作成する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように従来は、被
検物を自動測定するための測定手順データを作成するの
に、被検物の測定箇所、測定条件、測定順等をマニュア
ルで一点づつ指定していた。即ち、被検物の測定箇所が
ＣＣＤカメラの所定の光学系の条件でモニター画面に表
示されるようにＸＹステージを移動させ、キャリパーを
被検物の測定箇所のエッジに直角になるように設定し、
更に、所定の照明条件、画像処理条件の下でエッジ検出
ができるか否かを確認して、その時の光学系、照明系の
条件、画像処理条件、及びそのエッジ位置を測定手順デ
ータとして記憶させる。

【０００７】従って、被検物の測定箇所が多い場合は、
それぞれの箇所で測定条件等の設定を行わなければなら
ず、すべての測定手順データを作成するのに非常に時間
がかかっていた。

【０００８】また、オフラインで測定手順データを作成
する場合は、比較的短時間で測定手順データを作成でき
るが、実際に被検物を測定して測定手順データを作成し
ないので、自動測定モード時に光学系、照明系の条件、
画像処理条件などが被検物に対して不適合となる場合が
あり、その修正のためにかえって全体の作成時間が長く
なる場合が多かった。

【０００９】そこで、本発明の目的は、上記の課題を解
決し、被検物の測定箇所が多い場合でも、短時間に、か
つ被検物に適合した測定条件となる測定手順データの作
成方法及びそれを実施する画像測定機を提供することに
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的は、本発明に
よれば、被検物を撮像した画像データを処理して、設定
されたエッジ検出領域内の前記被検物のエッジを検出
し、前記エッジの位置を測定する画像測定機において、
前記被検物のエッジを形成する図形要素のデータが格納
される図形要素データテーブルと、前記図形要素のデー
タから前記エッジ検出領域の位置と角度を求め、前記エ
ッジ検出領域の位置と角度のデータに複数の図形要素の
任意の点における測定条件データを加えた測定手順デー
タを作成する測定手順データ作成部と、前記測定手順デ
ータに従って前記被検物のエッジの位置を自動測定する
測定部とを有することを特徴とする画像測定機を提供す
ることにより達成される。

【００１１】本発明によれば、被検物のエッジを形成す
る図形要素のデータと、測定点のうちの任意の１点で測
定可能な測定条件とから、測定手順データを自動作成す
るので、測定手順データを短時間で作成可能な画像測定
機を提供できる。

【００１２】また、上記の目的は、同一の測定条件で測
定可能な被検物内の複数の図形要素を選択する工程と、
前記選択された複数の図形要素の任意の位置のエッジに
ついて測定条件を設定する工程と、前記選択された複数
の図形要素のエッジ検出領域の位置及び角度を、前記図
形要素の設計データから求める工程と、前記エッジ検出
領域の位置及び角度データと前記測定条件とを有する測
定手順データに従って、前記被検物のエッジ位置を自動
測定する工程とを有する画像測定方法を提供することに
よっても達成される。

【００１３】本発明の画像測定方法によれば、測定点の
うちの任意の１点で測定可能な測定条件を、他のすべて
測定点の測定条件として共通に使用するので、測定手順
データを非常に短時間で作成できる。また、被検物のエ
ッジの一点で実際に測定可能な測定条件から測定手順デ
ータを作成するので、確実に測定可能な測定手順データ
を作成することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例に
ついて図面に従って説明する。しかしながら、かかる実
施の形態例が本発明の技術的範囲を限定するものではな
い。

【００１５】図１は、本発明の実施の形態による画像測
定機の概略構成を示す。本発明の実施の形態による画像
測定機１は、水平二軸方向に駆動可能なＸＹステージ２
を有する。このＸＹステージ２上には直線、円、円弧等
の図形要素を持つ被検物３が載置され、透過照明光学系
４又は落射照明光学系５により照明される。

【００１６】ＸＹステージ２の上方には、ＸＹステージ
２上に載置された被検物３を、撮像する撮像部７が設け
られる。この撮像部７は、被検物３の像を結像させる光
学倍率が可変の光学系６と、結像された画像を撮像する
ＣＣＤカメラ８とを備える。

【００１７】上記ＣＣＤカメラ８で撮像された画像は、
画像処理部９に取り込まれ、得られた画像をモニター１
０に表示する。モニター１０の画面上には、被検物３と
共に任意に移動および回転可能なエッジ検出領域を示す
キャリパーが表示され、キャリパー上にある被検物３の
画像のエッジの座標値の検出が行われる。

【００１８】上記の構成を備えた画像測定機１は、ＸＹ
ステージ２を移動させ、ＣＣＤカメラ８で被検物３を撮
像する。そして、被検物３のエッジをモニター１０の画
面に表示し、キャリパーをそのエッジに合わせその座標
を測定する。このエッジの座標の測定を、直線、円、円
弧等の図形要素毎に指定した点数だけ繰り返し行い、被
検物３の測定が行われる。

【００１９】上記の測定は、予め作成された測定手順デ
ータに従った自動測定により行われるが、本実施の形態
では、この測定手順データを新規な方法で作成する。測
定手順データは、測定する被検物３に含まれる図形要素
に対して、モニター画面に表示する領域を設定するため
のＸＹステージ２の位置、キャリパーの位置及び角度、
照明系及び光学系の条件、画像処理の条件などで構成さ
れる。

【００２０】図２は、画像測定機で測定が行われる被検
物の例を示す。この被検物３は、プレス加工で打抜かれ
た板やプリント基板等の板状体で、要求される寸法形状
に加工されている。被検物３は直線、円、円弧等の図形
要素のデータに従って加工され、画像測定機では、これ
らの図形要素毎に被検物３が規定された寸法に加工され
ているか否かを測定する。

【００２１】図３は、本実施の形態において、図２の被
検物３を画像測定機のモニター画面２０に表示した様子
を示す。モニター画面２０には、被検物３と共にキャリ
パー２１から２９が表示されている。被検物３のどの箇
所のエッジを測定するかは任意に指定できるが、図３
は、キャリパーが表示された９箇所のエッジ座標を測定
する場合を示す。

【００２２】図３の例では、直線３０に対しては、キャ
リパー２１と２２の２点でエッジ座標の測定が行われ
る。また円３１に対しては、キャリパー２３、２４、２
５、２６の４点でエッジ座標の測定が行われ、円弧３２
に対しては、キャリパー２７、２８、２９の３点でエッ
ジ座標の測定が行われる。

【００２３】図４は、本発明の実施の形態における画像
測定機１の機能ブロック図を示す。画像測定機１は、被
検物に含まれる図形要素の設計値が格納された図形要素
データテーブル５０と、照明条件等の測定条件を入力す
る測定条件入力部５１と、測定条件入力部５１から入力
された測定条件を測定手順データ作成部５３に出力する
測定条件設定部５２とを有する。

【００２４】また、図形要素データテーブル５０から出
力される図形要素データと、測定条件設定部５２で設定
される測定条件とから測定手順データを作成する測定手
順データ作成部５３と、作成された測定手順データを記
憶する測定手順データテーブル５４とを有する。

【００２５】更に、測定手順データテーブル５４に記憶
された測定手順データに従って被検物の測定を繰り返す
リプレイ測定部５５と、モニター画面に表示されたキャ
リパー部分の被検物の画像を処理しエッジ座標を測定す
る画像処理部５６とを有する。

【００２６】更に、各ブロックについて詳細に説明す
る。図形要素データテーブル５０は、被検物に含まれる
円、直線、円弧などの図形要素の設計値が格納されてい
るテーブルである。これらの設計値は、円要素なら中心
と直径、直線要素なら始点と終点、円弧要素なら中心と
半径と始角と終角を有する。被検物はこれらの設計値に
従って加工されている。

【００２７】図５は、これらの図形要素の設計値の例を
示す。図５（１）は円の設計値を示し、中心座標（ｘ
１，ｙ１）と直径Ｄ１を有する。図５（２）は直線の設
計値を示し、始点座標（ｘ２，ｙ２）と終点座標（ｘ
２’，ｙ２’）とを有する。図５（３）は円弧の設計値
を示し、中心座標（ｘ３，ｙ３）と半径Ｒ３及び始角θ
３と終角θ３’とを有する。

【００２８】図６は、図２に示した被検物３の図形要素
データテーブル５０の例を示す。図６（１）は、図２に
示した被検物３を円、直線、円弧の３種類の図形要素の
集合として示したものである。このように、被検物３の
形状は、円２００から円２０６、直線３００から直線３
３０、及び円弧４００から円弧４０６の集合である。

【００２９】図６（２）は、被検物３の図形要素データ
テーブル５０の例を示す。上述のように、被検物３の図
形要素データテーブル５０には、円２００から円２０６
までの中心座標及び直径、直線３００から直線３３０ま
での始点座標及び終点座標、円弧４００から円弧４０６
までの中心座標、半径、始角及び終角等の設計値が格納
されている。

【００３０】本実施の形態の画像測定機は、この図形要
素データテーブル５０のデータをもとに、測定手順デー
タの一部であるキャリパーの位置及び角度を、後述する
アルゴリズムにより測定手順データ作成部５３にて自動
作成する。尚、この図形要素データテーブル５０を作成
する方法としては、被検物のＣＡＤ図面データから入力
する方法や、各図形要素データをキー入力する方法など
がある。

【００３１】次に測定条件設定部５２について説明す
る。測定条件設定部５２は、測定条件入力部５１からオ
ペレータにより入力される測定条件を、測定手順データ
作成部５３に出力する。測定条件には、測定に使用する
光学系、照明系の条件、エッジ検出のための画像処理条
件等がある。モニター画面上のキャリパー内の画像信号
を処理することにより被検物のエッジ検出が行われるの
で、光学条件、照明条件及び画像処理条件が適切でない
と、被検物のエッジは正確に検出されない。

【００３２】従って、オペレータは、同一の測定条件で
エッジ検出可能な複数の図形要素のうち、任意の代表す
るエッジに対してエッジ検出可能な光学条件、照明条件
及び画像処理条件を見出して設定する。そしてこの設定
した条件が、測定手順データの測定条件のデータとな
る。

【００３３】光学系の条件には、例えば、被検物をＣＣ
Ｄカメラで撮像する時の倍率がある。倍率によりエッジ
検出の精度が変わり、また倍率を変えると焦点深度が変
わり、被検物にｚ方向の厚さがある場合等に被検物のエ
ッジ検出の感度が変わる。

【００３４】照明系の条件には、透過照明、落射照明、
４方向斜め照明及びそれらの光量等がある。エッジ検出
は、モニター画面上のエッジの像が黒から白等に変化す
る点を検出するため、これらの照明条件によって、エッ
ジが検出できるか否かが決まる。

【００３５】画像処理条件には、キャリパーの大きさ、
しきい値Ｖｔｈの指定、強調処理の指定等がある。キャ
リパーは、モニター画面上で測定すべきエッジに直角に
設定されるが、その大きさもエッジ検出の感度に影響す
る。また、エッジ検出は、ＣＣＤカメラで受光する光量
変化の微分波形のピーク位置で行われるが、被検物の表
面の状況により検出するピークの最低高さを決めるしき
い値Ｖｔｈを調整して、被検物の表面のキズ等によるノ
イズを除くことができる。また、強調処理（エンハンス
モード）は、モニター画面上の黒はより黒く白はより白
くする画像処理であり、コントラストの低いエッジに対
して強調処理を行うことでそのエッジの検出感度を向上
させることができる。

【００３６】次に測定手順データ作成部５３について説
明する。測定手順データ作成部５３は、図形要素データ
を図形要素データテーブル５０から取り込み、測定に使
用する光学系、照明系の条件、及び画像処理条件を測定
条件設定部５２から取り込んで、測定手順データを自動
作成する。

【００３７】同一の加工条件で加工された多数の図形要
素を有する被検物を画像測定機で自動測定する場合は、
その多数の図形要素を同一の測定条件で測定出来る場合
が多い。本実施の形態による測定手順データ作成方法
は、この点に着目している。

【００３８】測定手順データを作成するには、まず、同
一の測定条件で測定できる複数の図形要素を１グループ
とする。そして、そのグループ内の任意のエッジを選
び、測定条件設定部５２で設定された測定条件で、その
エッジ座標が測定できるか否かを確認するために実際に
測定を行う。測定出来ない場合は、測定条件を変えて確
実にエッジ座標が測定できる測定条件を見出す。

【００３９】エッジ座標が測定できた場合は、その時の
測定条件が測定手順データ作成部５３に取り込まれ、そ
の被検物の同一グループ内のすべての図形要素の測定箇
所の測定条件として共通に使用される。従って、従来の
ように測定箇所毎に測定条件を設定する必要はなく、測
定手順データが短時間で作成できる。しかも、この測定
条件は、被検物のエッジ座標が実際に測定できた条件で
あるため、被検物の加工状態や形状に適合し確実なエッ
ジ座標の測定が可能になる。

【００４０】測定条件が設定されると、次に、被検物の
測定箇所に対応して、キャリパーの位置と角度が設定さ
れる。本実施の形態では、キャリパーの位置と角度は、
上述の図形要素データテーブル５０の図形要素データか
ら後述するアルゴリズムにより自動作成される。

【００４１】図７は、図形要素毎のキャリパーの位置と
角度を、図形要素の設計値から自動的に作成するアルゴ
リズムの説明図である。図７（１）は、円６０のエッジ
測定のためのキャリパー８０、８１、８２の位置と角度
を示す。自動作成アルゴリズムは、円６０を測定に必要
な数で分割した等間隔の位置に、前述の測定条件（光学
系、照明系の条件、画像処理条件）と同じ条件を持つキ
ャリパーを作成する。この時、キャリパーの向きは、円
の中心から放射方向に向かうように設定される。１つの
円に対して必要なキャリパーの数は、図７（１）に示す
ように通常３点であるが、任意に指定可能であり、真円
度等の測定のためには更に多数のキャリパーが必要とな
る。

【００４２】図７（２）は、直線６３のエッジ測定のた
めのキャリパー８３、８４の位置と角度を示す。自動作
成アルゴリズムは、直線６３の両端から、例えば、全長
の１／１０の測定可能マージンを除き、その領域を測定
に必要な数で分割した等間隔の位置に、前述の測定条件
と同じ条件を持つキャリパーを作成する。この時、キャ
リパーの向きは、直線６３の進行方向に対して、左方向
になるように設定される。１つの直線に対して必要なキ
ャリパーの数は、通常２点であるが、任意に指定可能で
あり、直線性等の測定のためには更に多数のキャリパー
が必要となる。

【００４３】図７（３）は、円弧のエッジ測定のための
キャリパー８５、８６、８７の位置と角度を示す。自動
作成アルゴリズムは、円弧の両端から全長の１／１０の
測定可能マージンを除き、その領域を測定に必要な数で
分割した等間隔の位置に、前述の測定条件と同じ条件を
持つキャリパーを作成する。この時、キャリパーの向き
は、円弧の中心から放射方向になるように設定される。
１つの円弧に対して必要なキャリパーの数は、通常３点
であるが、任意に指定可能である。以上のように、図形
要素毎に、設計データからキャリパーの位置と角度のデ
ータが自動作成され、それに対応する測定条件と共に夫
々の図形要素に対する測定手順データとなる。

【００４４】図８は、図７のそれぞれの図形要素毎の測
定手順データの一部を示す。上記の通り、それぞれの図
形要素に対するキャリパーの位置と角度は、図形要素デ
ータテーブル５０に格納された図形要素データから自動
作成され、光学条件、照明条件、画像処理条件は、測定
条件設定部５２で同一グループ毎に設定した測定条件が
共通に使用される。図８に示すデータに、更にＸＹステ
ージ２の位置データ等を加えて測定手順データが作成さ
れる。

【００４５】図９は、被検物３の測定箇所の指定の一例
を示す。測定箇所は、同一の測定条件で測定できるグル
ープ毎にオペレータにより予め指定されるが、図９で
は、グループ５００として円２００から２０６及び直線
３０５と３１３と３２８を指定し、グループ５０１とし
て直線３１５と円弧４０３と４０４が指定された場合を
示す。

【００４６】同一のグループ内のエッジ座標の測定は、
同一の測定条件で行われるため、被検物のエッジの加工
条件や、要求される測定精度によっては、別グループで
の測定が必要になる。例えば、被検物のエッジに段差が
あり光学系の条件を変える必要がある場合や、図形要素
の大きさに対応して検出感度を変える場合等は、測定条
件を変えた別グループでの測定が行われる。

【００４７】また図９では、円に対しては４箇所のキャ
リパーで、直線に対しては２箇所のキャリパーで、円弧
に対しては３箇所のキャリパーでエッジ測定を行うよう
に指定しているが、各図形要素に対して何箇所のキャリ
パーで測定するかは任意に指定できる。その場合も別の
グループに分けてそれぞれ指定する必要がある。

【００４８】図１０は、本発明の実施の形態における測
定手順データの例を示す。前述のように、測定手順デー
タは、測定する被検物に含まれる図形要素に対して、画
像測定機で自動測定するためのＸＹステージの位置座
標、キャリパーの位置座標及び角度、光学倍率等の光学
条件、照明の種類及び光量等の照明条件及び画像処理の
条件等からなる。

【００４９】本実施の形態における測定手順データは、
同一の測定条件で測定するグループ毎に作成され、ＸＹ
ステージの位置座標、キャリパーの位置座標及び角度
は、図形要素データテーブル５０の図形要素データから
自動作成され、光学条件、照明条件及び画像処理の条件
は測定条件設定部５２で設定された測定条件が同一グル
ープ内で共通に使用される。図１０の例では、第１グル
ープ５００の図形要素に対する測定条件は、Ｋ、Ｌ、Ｍ
であり、第２グループ５０１の図形要素に対する測定条
件は、Ｐ、Ｑ、Ｒである。

【００５０】測定手順データ作成部５３で作成された測
定手順データは、測定手順データテーブル５４に格納さ
れる。そして、リプレイ測定部５５で、測定手順データ
テーブル５４にある測定手順データどおりに、順々に被
検物の寸法測定を行う。

【００５１】図１１は、本発明の実施の形態により測定
手順データを作成する処理のフローチャートを示す。ス
テップ１０１では、図形要素データテーブル５０の中か
ら、測定したい図形要素で、かつ同じ測定条件で測定で
きる図形要素をすべて選択する。例えば、図９に示した
ように、グループ５００として円２００から２０６、及
び直線３０５と３１３と３２８を選択あるいは、グルー
プ５０１として直線３１５と円弧４０３と４０４を選択
する。

【００５２】ステップ１０２では、測定条件設定部５２
において、同一グループ内の被検物の測定点の任意の一
点に対し、被検物のエッジ座標が測定できる光学系、照
明系の条件、画像処理条件などの測定条件を設定して、
エッジ座標を測定する。

【００５３】ステップ１０３で、オペレータはステップ
１０２で設定した測定条件でエッジ座標が測定できたか
否かを確認する。測定条件によりエッジ座標の測定が出
来ない場合は、ステップ１０４で測定条件を変えてエッ
ジ座標を再度測定する（ステップ１０２）。オペレータ
は、同一グループ内の被検物の適当なエッジに、キャリ
パーを手操作であわせてエッジ座標を測定する。

【００５４】ステップ１０５では、測定条件設定部５２
から測定手順データ作成部５３に、ステップ１０３でエ
ッジ座標の測定が可能だった測定条件が入力される。こ
の測定条件が、同一グループ内の他のすべての測定箇所
における測定条件となる。

【００５５】ステップ１０６から、図形要素データテー
ブル５０内の図形要素の中から、選択した図形要素につ
いて測定手順データの作成が開始される。まず、ステッ
プ１０６では、ステップ１０１でグループ１として被検
物の図形要素のうち円、直線、円弧を選択している場合
は、まずそのグループ中の円が選択される。

【００５６】ステップ１０７では、被検物の中に選択し
た図形要素があるか否かを判別し、あればステップ１０
９に進み、なければステップ１０８に進む。この場合
は、最初なので選択した図形要素があるのでステップ１
０９に進む。

【００５７】ステップ１０９では、選択した図形要素に
対して、設計データからキャリパーの位置と角度を自動
作成し、ステップ１０５で与えた測定条件を加えて測定
手順データを作成する処理を行う。この処理を図１２の
フローチャートにより説明する。

【００５８】図１２は、図１１のステップ１０９の詳細
フローチャートを示す。ステップ１２１では、使用する
図形要素が円か否かを判別する。円の場合にはステップ
１２２に進み、円でなければステップ１２３に進む。ス
テップ１２２では、円の測定手順データを作成して、図
１１のフローチャートに戻る。

【００５９】円の測定手順データの作成では、図７
（１）に示したように、円を測定に必要な数で分割した
等間隔の位置に放射状の角度をもち、前述の測定条件
（光学系、照明系の条件、画像処理条件）と同じ条件を
持つキャリパーを設定する。同様に、同一グループ内で
測定が必要なすべての円に対して同様にキャリパーを設
定して測定手順データを作成する。

【００６０】ステップ１２３では、使用する図形要素が
直線か否かを判別する。直線の場合にはステップ１２４
に進み、直線でなければステップ１２５に進む。ステッ
プ１２４では、直線の測定手順データを作成して、図１
１のフローチャートに戻る。

【００６１】直線の測定手順データの作成では、図７
（２）に示したように、直線の両端から測定可能マージ
ンを除き、その領域を測定に必要な数で分割した等間隔
の位置に、直線の始点から終点への方向に対し左方向の
角度をもち、前述の測定条件と同じ条件を持つキャリパ
ーを設定する。同様に、同一グループ内で測定が必要な
すべての直線に対して同様にキャリパーを設定して測定
手順データを作成する。

【００６２】ステップ１２５では、使用する図形要素が
円弧か否かを判別する。円弧の場合にはステップ１２６
に進み、円弧でなければ、測定手順データ作成不能とし
て図１１のフローチャートに戻る。ステップ１２６で
は、円弧の測定手順データを作成して、図１１のフロー
チャートに戻る。

【００６３】円弧の測定手順データの作成では、図７
（３）に示したように、円弧の両端から測定可能マージ
ンを除き、その領域を測定に必要な数で分割した等間隔
の位置に、円弧の外側向きの角度をもち、前述の測定条
件と同じ条件を持つキャリパーを設定する。同様に、同
一グループ内で測定が必要なすべての円弧に対して同様
にキャリパーを設定して測定手順データを作成する。

【００６４】このように、図１１のステップ１０９で測
定しようとする図形要素の測定手順データを作成した
後、ステップ１１０では、作成した測定手順データを測
定手順データテーブル５４に格納する。そして、ステッ
プ１１１では、測定手順データの作成対象を、図形要素
データテーブル５０内の次に選択されている図形要素に
変更してステップ１０７に戻る。

【００６５】ステップ１０７では、再び次の図形要素が
あるか判別し、選択された図形要素がある限りステップ
１０７からステップ１１１までを繰り返し行い、すべて
の選択された図形要素に対して測定手順データの作成が
行えたらステップ１０８に進む。ステップ１０８では、
エッジ検出の測定条件が異なる他のグループがあるか否
かを判断し、あればステップ１０１に戻り、なければ測
定手順データの作成処理を終了する。

【００６６】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、被
検物に含まれる図形要素のエッジ座標を自動測定する測
定手順データを作成する場合に、キャリパーの位置、角
度等は被検物の図形要素データを利用して自動作成し、
測定条件は被検物の任意の１点で測定できた測定条件を
共通に使用するので、測定手順データの作成を非常に短
時間で行うことができる。

【００６７】また、被検物の状態に応じて、実際に測定
できた測定条件を取り込むので、確実に測定可能な測定
手順データを作成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による画像測定機の概略構
成図である。

【図２】被検物の例を示す図である。

【図３】被検物を表示するモニター画面の図である。

【図４】本発明の実施の形態における画像測定機の機能
ブロック図である。

【図５】図形要素の設計値を示す図である。

【図６】被検物３の図形要素データテーブルの構造図で
ある。

【図７】図形要素ごとにキャリパーの位置と角度を作成
するアルゴリズムの説明図である。

【図８】図形要素毎の測定手順データの一部を示す図で
ある。

【図９】被検物の測定箇所を示す図である。

【図１０】本発明の実施の形態における測定手順データ
の例である。

【図１１】本発明の実施の形態における測定手順データ
テーブル作成処理のフローチャート図である。

【図１２】本発明の実施の形態におけるステップ１０９
の詳細フローチャート図である。

【符号の説明】

１画像測定機２ＸＹテーブル３被検物８ＣＣＤカメラ１０モニター５０図形要素データテーブル５２測定条件設定部５３測定手順データ作成部５４測定手順データテーブル５５リプレイ測定部５６画像処理部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検物を撮像した画像データを処理して、
設定されたエッジ検出領域内の前記被検物のエッジを検
出し、前記エッジの位置を測定する画像測定機におい
て、前記被検物のエッジを形成する図形要素のデータが格納
される図形要素データテーブルと、前記図形要素のデータから前記エッジ検出領域の位置と
角度を求め、前記エッジ検出領域の位置と角度のデータ
に複数の図形要素の任意の点における測定条件データを
加えた測定手順データを作成する測定手順データ作成部
と、前記測定手順データに従って前記被検物のエッジの位置
を自動測定する測定部とを有することを特徴とする画像
測定機。
【請求項２】同一の測定条件で測定可能な被検物内の複
数の図形要素を選択する工程と、前記選択された複数の図形要素の任意の位置のエッジに
ついて測定条件を設定する工程と、前記選択された複数の図形要素のエッジ検出領域の位置
及び角度を、前記図形要素の設計データから求める工程
と、前記エッジ検出領域の位置及び角度データと前記測定条
件とを有する測定手順データに従って、前記被検物のエ
ッジ位置を自動測定する工程とを有する画像測定方法。