JP2015075758A - フォトレジスト用内袋 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明のフォトレジスト用内袋によれば、袋体の下部が、下に近づくほどその幅が徐々に縮小する断面積を有するため、フォトレジストを使い切る前に、フォトレジストが傾斜する下部に沿って袋体の底部に流動して、袋体の底部に溜まることで、従来技術におけるフォトレジストの浪費を防止することができる。
【解決手段】 本発明は、上部と下部を含み、フォトレジストを内包するための袋体と、前記上部の最頂部に設けられ、フォトレジスト出口を有する開口部と、前記フォトレジスト出口に連通され、前記袋体に進入して前記下部の底部まで延びるディップチューブと、を含み、前記下部は、下に近づくほどその幅が徐々に縮小する錐形に形成されるフォトレジスト用内袋を提供する。
【選択図】図３

Description

本発明は、フォトレジストを内包するためのフォトレジスト用内袋に関する。

フォトエッチング加工の際には、大量のフォトレジストが必要である。フォトレジストは、図１Ａに示すようなフォトレジスト容器１０’に内包された状態で、フォトエッチング加工を施すパネルメーカーに供給される。具体的には、フォトレジスト製造メーカーは、フォトレジストを生産及びパッケージングする過程において、まず、フォトレジスト用内袋をフォトレジスト容器１０’の中に挿入し、その後、フォトレジストをフォトレジスト用内袋の内部に注入してから蓋体Ｃ’で密封する。パネル製造メーカーは、フォトレジスト製造メーカーからフォトレジストを購入した後、フォトレジスト容器１０’ごとにフォトエッチング装置に装着し、ポート１１’を介して生産ラインの管路に接続する。通常、１台のフォトエッチング装置は、２つのフォトレジストを交互に使用する。

フォトレジスト容器の内部構成は、図１Ｂに示されたようであり、フォトレジスト用内袋の構造は、図１Ｃに示されたようである。図１Ｂ及び図１Ｃに示されるように、通常、フォトレジスト用内袋１’は、プラスチック等の可撓性材料からなる。従来のフォトレジスト用内袋１’は、フォトレジストがフル充填されると、円柱体の形状になり、その上部に開口部２’を有し、開口部２’にはディップチューブ３’が密封接続される。当該ディップチューブ３’は、開口部２’から進入してフォトレジスト用内袋１’の底部まで延びている。フォトレジストを供給する時、乾燥ガスがフォトレジスト容器１０’の内壁とフォトレジスト用内袋１’の外部の間に入り込むように、フォトレジスト容器１０’のフォトレジスト出口部１２’の内壁とディップチューブ３’の外側との間に乾燥ガスを吹き込むようにする。これによって、清潔な乾燥ガスがフォトレジスト用内袋１’を押圧するようになり、フォトレジストがディップチューブ３’を介してフォトレジスト用内袋１’の上方の開口部２’から押し出されて、生産ラインに供給される。

しかしながら、フォトレジストを使い切る前に、フォトレジスト用内袋１’が押圧されて、フル充填時の円柱体から扁平な矩形に変形することにより、底部のフォトレジストが袋体の四周辺に残留してしまい、浪費になる。さらに、上記の押出し過程において、円柱体形状のフォトレジスト用内袋１’に皺が寄りやすく、このような皺の箇所にフォトレジストが残留してしまうので、長年積み重なると、無視できないほど多き量の浪費になる。

なお、フォトレジストは、一般的なフォトレジストと有機フォトレジストに分けられる。一般的なフォトレジストは、その価格が比較的安く、開封後の貯蔵期限も比較的長い。それに対して、有機フォトレジストは、その価格が非常に高く、開封後の貯蔵期限も比較的短い。そのため、有機フォトレジストの場合、従来のフォトレジスト用内袋１’の容量が比較的大きいため、その貯蔵期限内にフォトレジストを使用し切れない場合が多く、有機フォトレジストの浪費をもたらす。

本発明は、従来技術におけるフォトレジストを浪費する課題を解決するためのフォトレジスト用内袋を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、上部と下部を含み、フォトレジストを内包するための袋体と、前記上部の最頂部に設けられ、フォトレジスト出口を有する開口部と、前記フォトレジスト出口に連通され、前記袋体に進入して前記下部の底部まで延びるディップチューブと、を含み、前記下部は、下に近づくほどその幅が徐々に縮小する錐形に形成されるフォトレジスト用内袋を提供する。

本発明のフォトレジスト用内袋に係る１つの実施例において、前記袋体の前記下部は、錐体、或いは錐台である。

本発明のフォトレジスト用内袋に係る１つの実施例において、前記袋体の前記上部は、円柱体、或いは長方体である。

本発明のフォトレジスト用内袋によると、袋体の下部が、下に近づくほどその幅が徐々に縮小する断面積を有するため、フォトレジストを使い切る前に、フォトレジストが傾斜する下部に沿って袋体の底部に流動して、袋体の底部に溜まるようになり、従来技術におけるフォトレジストの浪費を防止することができるとともに、袋体が押圧される過程に皺が寄ることも減少させることができるので、フォトレジストが皺の箇所に残留することによるフォトレジストの浪費も防止することができる。

フォトレジスト容器を模式的に示す図である。 フォトレジスト容器及び従来のフォトレジスト用内袋を模式的に示す部分断面図である。 従来のフォトレジスト用内袋を模式的に示す図である。 本発明の１つの実施例に係るフォトレジスト用内袋を模式的に示す図である。 図２に示す同実施例に係るフォトレジスト用内袋をフォトレジスト容器へ装着した時の状況を模式的に示す図である。 本発明のもう１つの実施例に係るフォトレジスト用内袋を模式的に示す図である。

図２は、本発明の１つの実施例に係るフォトレジスト用内袋を模式的に示す図である。図３は、図２に示す同実施例に係るフォトレジスト用内袋をフォトレジスト容器へ装着した状況を模式的に示す図である。図２に示されるように、本実施例に係るフォトレジスト用内袋は、袋体１、開口部２、及びディップチューブ３を含む。通常、袋体１は、プラスチック等の可撓性材料からなり、上部１１及び下部１２を含む。開口部２は、袋体１の上部１１に位置する。具体的には、開口部２は上部１１の最頂部に位置する。開口部２は、袋体１内のフォトレジストを吐出するためのフォトレジスト出口２１を備える。ディップチューブ３は、フォトレジスト出口２１と連通し、開口部２から進入して袋体１の底部まで延びている。

図３に示されるように、フォトレジスト容器１０は、最頂部開口２０を備える。フォトレジストをフォトレジスト用内袋に注入した後、フォトレジスト用内袋の開口部２をフォトレジスト容器１０の最頂部に固定して接続することで、フォトレジストをフォトレジスト容器１０の最頂部開口２０から押出すことができる。さらに、フォトレジスト容器１０の最頂部開口２０からは、清潔な干燥空気（ｃｌｅａｎ ｄｒｙ ａｉｒ）を外部エアチューブ（不図示）を介してフォトレジスト容器１０の内部に注入することができる。清潔な干燥空気は、最頂部開口２０から、フォトレジスト用内袋の内部に進入せずにフォトレジスト容器１０の内部に入り込むことで、袋体１の外部から袋体１を押圧して、フォトレジスト用内袋の開口部２からフォトレジストが押出されるようにする。

本実施例において、フォトレジスト用内袋の袋体１は錐体である。袋体１は、頂面及び側面を含む。袋体１の高さは、フォトレジスト容器１０とほぼ同様であるか、フォトレジスト容器１０よりやや低い。開口部２は、袋体１の頂面に位置し、ディップチューブ３が開口部２から袋体１に進入して、錐形の袋体１的底部まで延びる。

フォトエッチングの際には、清潔な干燥空気をフォトレジスト容器１０の最頂部開口２０からフォトレジスト容器１０の内部に吹きむことにより、フォトレジスト容器１０内の気圧を利用して袋体１の外部から袋体１を押圧して、フォトレジストがディップチューブ３を介して袋体１の上方の開口部２から吐出されるようにする。

図４は、本発明のもう１つの実施例に係るフォトレジスト用内袋を模式的に示す図である。図４に示されるように、当該実施例において、袋体１の上部１１は、例えば、円柱体、長方体などの任意な形状であってもよく、袋体１の下部１２は、下に近づくほどその幅が徐々に縮小する錐形に形成され、下部１２の底部は尖っている形状に形成されている。又は、袋体１の下部１２は、錐台即ち錐形の底部が切断されてなる形状であってもよい。又は、袋体１の底部は丸角形状に形成されてもよい。ディップチューブ３は、袋体１に進入されてから袋体１の下部１２の底部まで延びる。本実施例において、袋体１の下部１２は錐体であり、ディップチューブ３が錐体の底部まで延ばされて、清潔な干燥空気による押圧によりフォトレジストを袋体１から押出すようにする。

上記のような改善によれば、袋体１の下部１２が錐形であり、下に近づくほどその幅が徐々に縮小するため、即ち、下部１２の側壁が所定の傾斜角度を有するため、フォトレジストを使い切る前に、フォトレジストが傾斜する下部１２を沿って、袋体１の底部に流動して袋体１の底部に溜まるので、従来技術におけるフォトレジストの浪費を防止することができるとともに、袋体が押圧される際に皺が寄ることも減少させることができ、フォトレジストが皺の箇所に残留することによるフォトレジストの浪費も防止することができる。

本発明に係るフォトレジストは、従来技術に比べて、内袋の底部までスムーズに流動することができるため、フォトレジストを完全に使い切ることができ、フォトレジストの浪費が減少されて、生産のコストダウンを図ることができる。同時に、改善されたフォトレジスト用内袋は、従来の矩形の内袋よりその容量が少ないため、開封後、フォトレジストを使い切れてないうちに貯蔵期限が過ぎてしまうことも防止でき、フォトレジストの使用率を高めることができる。

以上、幾つかの典型的な実施例を参照しながら本発明について説明したが、上記の説明において使用した用語は、説明及び例示のためのものであって、制限的なものとして捕らえてはいけない。本発明は、本発明の意味及びその実質を逸脱しない範囲で、様々な形態で具体的に実施することができるため、その保護範囲は、上記の実施例の如何なる細部により限定されることなく、特許請求の範囲によって限定される意味及び範囲内で幅広く解釈されるべきである。そのため、特許請求の範囲又はそれと均等の範囲内の全ての変更及び変形も特許請求の範囲に含まれるべきである。

Claims (3)

1. 上部（１１）と下部（１２）を含み、フォトレジストを内包するための袋体（１）と、
   前記上部（１１）の最頂部に設けられ、フォトレジスト出口（２１）を有する開口部（２）と、
   前記フォトレジスト出口に連通され、前記袋体（１）に進入して前記下部（１２）の底部まで延びるディップチューブ（３）と、を含み、
   前記下部（１２）は、下に近づくほどその幅が徐々に縮小する錐形に形成される
   ことを特徴とするフォトレジスト用内袋。
2. 前記袋体の前記下部（１２）は、錐体、或いは錐台である
   ことを特徴とする請求項１に記載のフォトレジスト用内袋。
3. 前記袋体の前記上部（１１）は、円柱体、或いは長方体である
   ことを特徴とする請求項１に記載のフォトレジスト用内袋。