TW201515119A - 光刻膠內袋 - Google Patents

光刻膠內袋 Download PDF

Info

Publication number
TW201515119A
TW201515119A TW102141455A TW102141455A TW201515119A TW 201515119 A TW201515119 A TW 201515119A TW 102141455 A TW102141455 A TW 102141455A TW 102141455 A TW102141455 A TW 102141455A TW 201515119 A TW201515119 A TW 201515119A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
photoresist
inner bag
bag body
bag
lower portion
Prior art date
Application number
TW102141455A
Other languages
English (en)
Inventor
Wei-Teng Chang
qi-feng Zhu
Kang-Cheng Wu
Original Assignee
Everdisplay Optronics Shanghai Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Everdisplay Optronics Shanghai Ltd filed Critical Everdisplay Optronics Shanghai Ltd
Publication of TW201515119A publication Critical patent/TW201515119A/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/14—Linings or internal coatings
    • B65D25/18—Linings or internal coatings spaced appreciably from container wall
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2231/00—Means for facilitating the complete expelling of the contents
    • B65D2231/001—Means for facilitating the complete expelling of the contents the container being a bag
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D83/00—Containers or packages with special means for dispensing contents
    • B65D83/14—Containers or packages with special means for dispensing contents for delivery of liquid or semi-liquid contents by internal gaseous pressure, i.e. aerosol containers comprising propellant for a product delivered by a propellant
    • B65D83/60—Contents and propellant separated
    • B65D83/62—Contents and propellant separated by membrane, bag, or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Packages (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

本發明提出一種光刻膠內袋，包括袋體、開口部和汲取管，其中，所述袋體用於盛放光刻膠，並包括上部和下部，所述開口部開設於所述上部的頂端，並具有光刻膠出口，所述下部呈錐形漸縮，所述汲取管連通於所述光刻膠出口並伸入所述袋體，並延伸至所述下部的底端。本發明的光刻膠內袋的由於袋體的下部具有漸縮的截面積，光刻膠快要用盡時能够沿著傾斜的下部流到袋體的的底端，集中於袋體的底部，這樣可以避免現有技術中光刻膠的浪費。

Description

光刻膠內袋
本發明涉及一種用於盛放光刻膠的光刻膠內袋。
在光刻加工中，需要大量使用光刻膠，光刻膠存放在如圖1A所示的光刻膠桶10’內供需要進行光刻加工的面板商使用。具體來說，在光刻膠生産和封裝過程中，光刻膠生産商先把光刻膠內袋轉入到光刻膠桶10’中，然後再把光刻膠注入光刻膠內袋中後用蓋體C’進行密封，面板生産商從光刻膠生産商購入光刻膠後，連同光刻膠桶10’一起放入光刻機並通過接口11’接入到生産線管路中。一台光刻機一般會有兩桶光刻膠交替使用。
光刻膠桶的內部結構圖如圖1B所示，光刻膠內袋的結構如圖1C所示，如圖1B和圖1C所示，光刻膠內袋1’通常由塑料等柔性材料製成，現有的光刻膠內袋1’填充滿光刻膠後類似圓柱體，其上部具有開口部2’，開口部2’密封連接一根汲取管3’，汲取管3’從開口部2’伸入光刻膠內袋1’的底部。光刻膠供應時，從光刻膠桶10’的光刻膠出口部12’內壁和汲取管3’外側間充入乾燥氣體，使氣體進入到光刻膠桶內壁10’和光刻膠內袋1’外部之間，從而潔淨乾燥氣體擠壓光刻膠內袋1’，光刻膠受到擠壓後經由汲取管3’從光刻膠內袋1’上方的開口部2’擠出從而接入到生産線。
然而，光刻膠快使用完畢時，光刻膠內袋1’受到擠壓由填滿時的圓柱體變爲幹扁的長方形，底部的光刻膠殘留在袋內四周，造成光刻膠的浪費；再者，在上述擠壓過程中圓柱體形狀的光刻膠內袋1’會産生褶皺，褶皺中容易殘留光刻膠，長年累月積累，這樣廢棄的光刻膠也是不小的浪費。
此外，光刻膠分爲普通光刻膠和有機光刻膠，普通光刻膠價格相對不高，啓封後保質期也相對較長，而有機光刻膠價格非常昂貴，啓封之後保質期非常短。所以針對有機光刻膠而言，現有的光刻膠內袋1’容量較大，經常會出現保質期內無法用完的情况，這也造成了有機光刻膠的浪費。
本發明的目的是提出一種光刻膠內袋，以解决現有技術中光刻膠被浪費的問題。
爲實現上述目的，本發明提出一種光刻膠內袋，包括袋體、開口部和汲取管，其中，所述袋體用於盛放光刻膠，並包括上部和下部，所述開口部開設於所述上部的頂端，並具有光刻膠出口，所述下部呈錐形漸縮，所述汲取管連通於所述光刻膠出口並伸入所述袋體，並延伸至所述下部的底端。
在本發明的光刻膠內袋的一實施例中，所述袋體爲錐體，並包括頂面和側面，所述開口部位於所述頂面。
在本發明的光刻膠內袋的一實施例中，所述袋體的所述下部爲錐體，所述下部的底端形成尖角。
在本發明的光刻膠內袋的一實施例中，所述袋體的所述下部爲錐台。
在本發明的光刻膠內袋的一實施例中，所述袋體的所述下部的底端形成圓角。
在本發明的光刻膠內袋的一實施例中，所述袋體的所述上部爲圓柱體。
在本發明的光刻膠內袋的一實施例中，所述袋體的所述上部爲長方體。
在本發明的光刻膠內袋的一實施例中，所述光刻膠內袋設置在光刻機的光刻膠桶內，所述光刻膠桶具有頂部開口，所述光刻膠內袋的所述開口部固定連接於所述光刻膠桶的頂部，並且光刻膠能够從所述頂部開口擠出，氣體能够從所述頂部開口進入所述光刻膠桶內，並從所述內袋的外部擠壓所述內袋以擠出所述光刻膠。
在本發明的光刻膠內袋的一實施例中，所述袋體爲塑料材質的袋體。
本發明的光刻膠內袋的由於袋體的下部具有漸縮的截面積，光刻膠快要用盡時能够沿著傾斜的下部流到袋體的的底端，集中於袋體的底部，這樣可以避免現有技術中光刻膠的浪費，同時在袋體被擠壓的過程中也能减少褶皺，避免光刻膠殘留在褶皺中造成浪費。
（先前技術）
10’‧‧‧光刻膠桶
C’‧‧‧蓋體
11’‧‧‧接口
1’‧‧‧光刻膠內袋
2’‧‧‧開口部
3’‧‧‧汲取管
12’‧‧‧出口部
（本發明）
1‧‧‧袋體
2‧‧‧開口部
3‧‧‧汲取管
11‧‧‧上部
12‧‧‧下部
21‧‧‧光刻膠出口
10‧‧‧光刻膠桶
20‧‧‧頂部開口
11‧‧‧頂面
12‧‧‧側面
圖1A所示爲光刻膠桶的示意圖。
圖1B所示爲光刻膠桶及現有的光刻膠內袋的局部剖視示意圖。
圖1C所示爲現有的光刻膠內袋的示意圖。
圖2所示爲本發明一實施例的光刻膠內袋的示意圖。
圖3所示爲圖2所示的實施例的光刻膠內袋置入光刻膠桶的示意圖。
圖4所示爲本發明另一實施例的光刻膠內袋的示意圖。
圖2所示爲本發明一實施例的光刻膠內袋的示意圖。圖3所示爲圖2所示的實施例的光刻膠內袋置入光刻膠桶的示意圖。如圖2所示，本實施例中的光刻膠內袋包括袋體1、開口部2和汲取管3。袋體1一般由塑料等柔性材料製成，包括上部11和下部12。開口部2位於袋體1的上部11，具體來說是位於上部11的頂端。開口部2具有用於吐出袋體1內光刻膠的光刻膠出口21。汲取管3連通於光刻膠出口21，並從開口部2伸入袋體1的底端。
如圖3所示，光刻膠桶10具有頂部開口20。光刻膠置入光刻膠桶10內之後，光刻膠內袋的開口部2固定連接於光刻膠桶10的頂部，並且光刻膠能够從光刻膠桶10的頂部開口20擠出。除此之外，光刻膠桶10的頂部開口20還允許外部氣管（圖未示）向光刻膠桶10內通入潔淨乾燥空氣（clean dry air）。潔淨乾燥空氣能够從頂部開口20進入光刻膠桶10內，但不進入光刻膠內袋中，使得潔淨乾燥空氣能够從袋體1的外部擠壓袋體1，將光刻膠從光刻膠內袋的開口部2擠出。
在本實施例中，光刻膠內袋的袋體1爲錐體。袋體1包括頂面11和側面12。袋體1可以與光刻膠桶10等高，或略低於光刻膠桶10的高度。開口部2位於袋體1的頂面11，汲取管3從開口部2伸入袋體1，並一直延伸到袋體1的錐形底端。
在光刻過程中，潔淨乾燥空氣從光刻膠桶10頂部的開口20通入光刻膠桶10中，利用光刻膠桶10內的氣壓從袋體1的外部擠壓袋體1，使得光刻膠經過汲取管3從袋體1上方的開口部2吐出。
圖4所示爲本發明另一實施例的光刻膠內袋的示意圖。如圖4所示，在另一實施例中，袋體1的上部11可以爲任意形狀，例如圓柱體、長方體等，袋體1的下部12呈錐形漸縮，並且下部12的底端形成尖角。或者袋體1的下部12爲錐台，即截掉底部的錐形。或者，袋體1的底端也可以形成圓角。汲取管3伸入袋體1並延伸至袋體1下部12的底端。在這一實施例中，袋體1的下部12爲錐體，汲取管3伸入錐體底部，通過潔淨乾燥空氣的擠壓將光刻膠從袋體1內擠出。
通過這一改進，由於袋體1的下部12爲錐形漸縮，也即下部12的側壁具有一定的傾斜角度，光刻膠快要用盡時能够沿著傾斜的下部12流到袋體1的底端，集中於袋體1的底部，這樣可以避免現有技術中光刻膠的浪費，同時在袋體1被擠壓的過程中也能减少褶皺，避免光刻膠殘留在褶皺中造成浪費。
相比於現有技術，本發明的光刻膠能够順利流到內袋的底部，光刻膠使用完全，减少光刻膠的浪費，降低了生産成本。同時，由於改進後的光刻膠內袋比傳統的長方形內袋容量减少，也避免了光刻膠開袋後未使用完畢就過了保質期的問題，提高了光刻膠的利用率。
雖然已參照幾個典型實施例描述了本發明，但應當理解，所用的術語是說明和示例性、而非限制性的術語。由於本發明能够以多種形式具體實施而不脫離本發明的精神或實質，所以應當理解，上述實施例不限於任何前述的細節，而應在所附申請專利範圍所限定的精神和範圍內廣泛地解釋，因此落入申請專利範圍或其等效範圍內的全部變化和改型都應爲所附申請專利範圍所涵蓋。
 
1‧‧‧袋體
2‧‧‧開口部
3‧‧‧汲取管
21‧‧‧光刻膠出口
10‧‧‧光刻膠桶
20‧‧‧頂部開口
11‧‧‧頂面
12‧‧‧側面

Claims (9)

  1. 一種光刻膠內袋，包括袋體（1）、開口部（2）和汲取管（3），其中，所述袋體（1）用於盛放光刻膠，並包括上部（11）和下部（12），所述開口部（2）開設於所述上部（11）的頂端，並具有光刻膠出口（21），所述下部（12）呈錐形漸縮，所述汲取管（3）連通於所述光刻膠出口並伸入所述袋體（1），並延伸至所述下部（12）的底端。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的光刻膠內袋，其中，所述袋體（1）爲錐體，並包括頂面（11）和側面（12），所述開口部（2）位於所述頂面（11）。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的光刻膠內袋，其中，所述袋體（1）的所述下部（12）爲錐體，所述下部（12）的底端形成尖角。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的光刻膠內袋，其中，所述袋體（1）的所述下部（12）爲錐台。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的光刻膠內袋，其中，所述袋體（1）的所述下部（12）的底端形成圓角。
  6. 如申請專利範圍第3項所述的光刻膠內袋，其中，所述袋體（1）的所述上部（11）爲圓柱體。
  7. 如申請專利範圍第3項所述的光刻膠內袋，其中，所述袋體（1）的所述上部（11）爲長方體。
  8. 如申請專利範圍第1項所述的光刻膠內袋，其中，所述光刻膠內袋設置在光刻機的光刻膠桶（10）內，所述光刻膠桶（10）具有頂部開口（20），所述光刻膠內袋的所述開口部（2）固定連接於所述光刻膠桶（10）的頂部，並且光刻膠能够從所述頂部開口（20）擠出，氣體能够從所述頂部開口（20）進入所述光刻膠桶（10）內，並從所述內袋（1）的外部擠壓所述內袋（1）以擠出所述光刻膠。
  9. 如申請專利範圍第1項所述的光刻膠內袋，其中，所述袋體（1）爲塑料材質的袋體。
TW102141455A 2013-10-09 2013-11-14 光刻膠內袋 TW201515119A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310467135.4A CN103496513A (zh) 2013-10-09 2013-10-09 光刻胶内袋

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201515119A true TW201515119A (zh) 2015-04-16

Family

ID=49861808

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102141455A TW201515119A (zh) 2013-10-09 2013-11-14 光刻膠內袋

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20150096982A1 (zh)
JP (1) JP2015075758A (zh)
KR (1) KR20150041731A (zh)
CN (1) CN103496513A (zh)
TW (1) TW201515119A (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105292762A (zh) * 2015-10-29 2016-02-03 上海华力微电子有限公司 一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶
CN113655691B (zh) * 2020-05-12 2023-06-27 长鑫存储技术有限公司 挤压装置、光刻胶供应系统以及光刻胶供应方法
CN113455801B (zh) * 2021-07-20 2023-08-29 广东圣威玻璃科技有限公司 一种吸取方便且使用彻底干净化妆品包装瓶

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0540187U (ja) * 1991-03-20 1993-05-28 安規子 但馬 ポンプ付き容器
US5499758A (en) * 1994-08-19 1996-03-19 Mccann's Engineering & Manufacturing Co. Liquid dispenser for use with containers
JP3015067U (ja) * 1994-09-19 1995-08-29 泰明 岸本 ポンプ式容器の最後まで吸上げられる容器
US5853102A (en) * 1997-01-27 1998-12-29 Jarrett; Guy R. Insert for spray gun paint cups
JP3929000B2 (ja) * 1998-05-08 2007-06-13 アイセロ化学株式会社 高純度薬品液用容器
JPH11349070A (ja) * 1998-06-08 1999-12-21 Yasuko Sasaki ポンプ容器
FR2844773B1 (fr) * 2002-09-24 2005-01-28 Jerome Boumnso Dispositif formant un conditionnement de produits visqueux a vidage integral par pompage manuel
JP4853819B2 (ja) * 2005-09-12 2012-01-11 東洋製罐株式会社 ポンプディスペンサ容器
JP3125752U (ja) * 2006-01-17 2006-10-05 康夫 坂井 底部円錐容器
JP4926563B2 (ja) * 2006-06-28 2012-05-09 東京応化工業株式会社 流体用容器及びそれを用いた流体入り容器
CN201395336Y (zh) * 2008-08-18 2010-02-03 赵俊杰 一种节约型按压式容器
JP5196440B2 (ja) * 2009-01-29 2013-05-15 株式会社吉野工業所 吸上げパイプ付き容器
JP5252504B2 (ja) * 2009-08-31 2013-07-31 株式会社吉野工業所 吸上げパイプ付き容器
CN201386867Y (zh) * 2009-03-18 2010-01-20 天津万联管道工程有限公司 预应力混凝土石油、天然气管道
CN201447156U (zh) * 2009-07-21 2010-05-05 贺文婕 节约环保型溶液瓶
CN201484868U (zh) * 2009-08-03 2010-05-26 张允宜 不留残余液体的手压吸管式液体瓶
KR100973707B1 (ko) * 2010-04-12 2010-08-04 주식회사 엘디에스 유체공급장치

Also Published As

Publication number Publication date
US20150096982A1 (en) 2015-04-09
CN103496513A (zh) 2014-01-08
JP2015075758A (ja) 2015-04-20
KR20150041731A (ko) 2015-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201515119A (zh) 光刻膠內袋
KR102276452B1 (ko) 액체용 용기
JP2018529594A (ja) 装置
JP2017047971A (ja) スパウト付容器及び詰め替え方法
CN204528030U (zh) 一种喷淋盖
TW202009189A (zh) 採用真空原理的環保汲取裝置
JP2010126178A (ja) 液体もしくは粘体の排出用補助具及び排出方法
CN203568106U (zh) 一种带计量功能的牙膏
JP4657856B2 (ja) 注出容器
JP6125955B2 (ja) ブロー成形二重容器
CN202624775U (zh) 瓶子
JP2009067415A (ja) 容器装置およびキャップ保持体
CN203915473U (zh) 分量药剂吸服一体瓶
CN205989927U (zh) 一种香精香料生产用料桶
CN205770814U (zh) 纺织助剂储存瓶
CA3105113A1 (en) Eco-friendly pumping device using the principle of vaccum
JP6660765B2 (ja) ディスペンサー付き薄肉容器
CN208452574U (zh) 薄膜印刷油墨的防沉淀墨仓
CN210311271U (zh) 一种高密闭性的电感接脚胶包装结构
JP7111578B2 (ja) 液体注出容器
JP2010126165A (ja) 液体注出容器
CN207110388U (zh) 带储浆瓶的滚筒粉刷器
JP6599145B2 (ja) 詰替用液体袋を用いた液体取出装置及び液体取出方法
CN105460361B (zh) 一种按压式定量洗衣液袋
CN206278443U (zh) 一种液体挤压泵