JP2015070198A - 成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、ウェハポケットを有するサセプタと、前記サセプタの前記ウェハポケットとは反対側に配置された、熱源となるヒータと、を具備し、前記サセプタの厚さは、前記ウェハポケットの中心部よりも前記ウェハポケットの周縁部において小さいことを特徴とする成長装置である。本発明によれば、半導体のドーパント濃度の均一性を高めることができる。
【選択図】 図1
Description
Organic Chemical Vapor Deposition:MOCVD)法が用いられる(特許文献1)。MOCVD法では、成長装置のチェンバーに原料ガスを流入し、かつ加熱することにより半導体を成長させる。半導体にはp型またはn型のドーパントをドープすることがある。
12 ランプヒータ
20 ウェハポケット
20a1、20a2 上面
20b1、20b2 下面
22、28 凸部
24 半導体基板
26 半導体層
100、200 成長装置
Claims (5)
- ウェハポケットを有するサセプタと、
前記サセプタの前記ウェハポケットとは反対側に配置された、熱源となるヒータと、を具備し、
前記サセプタの厚さは、前記ウェハポケットの中心部よりも前記ウェハポケットの周縁部において小さいことを特徴とする成長装置。 - 前記ヒータは、前記サセプタに対応した領域において複数配置されたランプヒータであることを特徴とする請求項1記載の成長装置。
- 前記ウェハポケットの下における前記サセプタの下面は、傾斜部を有する凸部形状であることを特徴とする請求項1または2記載の成長装置。
- 前記凸部形状の底面に対する前記傾斜部の角度は20°以上30°以下であることを特徴とする請求項3記載の成長装置。
- 前記サセプタは複数の前記ウェハポケットを有することを特徴とする請求項1から4いずれか一項記載の成長装置。
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