JP2015070198A5 - - Google Patents
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Claims (1)
- ウェハポケットを有し、熱伝導性を有するサセプタと、
前記サセプタの前記ウェハポケットとは反対側に配置された、熱源となるヒータと、を具備し、
前記サセプタの厚さは、前記ウェハポケットの中心部よりも前記ウェハポケットの周縁部において小さく、前記ウェハポケットの下における前記サセプタの下面は、傾斜部を有する凸部形状であることを特徴とする成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013205081A JP6189164B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013205081A JP6189164B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 成長装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015070198A JP2015070198A (ja) | 2015-04-13 |
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| JP6189164B2 JP6189164B2 (ja) | 2017-08-30 |
Family
ID=52836581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013205081A Active JP6189164B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 成長装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP6189164B2 (ja) |
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