JP2015068887A - 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 129
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 422
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims abstract description 67
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 43
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 75
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 80
- 239000000306 component Substances 0.000 description 33
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 17
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 17
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 15
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 14
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 12
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 7
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 7
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 238000004186 food analysis Methods 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 235000012041 food component Nutrition 0.000 description 3
- 239000005428 food component Substances 0.000 description 3
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 2
- 210000001124 body fluid Anatomy 0.000 description 2
- 239000010839 body fluid Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 238000004497 NIR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 150000001720 carbohydrates Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013075 data extraction Methods 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 210000000554 iris Anatomy 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 210000001525 retina Anatomy 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Micromachines (AREA)
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013201048A JP2015068887A (ja) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス |
| US14/493,820 US20150092274A1 (en) | 2013-09-27 | 2014-09-23 | Optical filter device, optical module, electronic device, and mems device |
| CN201410490255.0A CN104516101A (zh) | 2013-09-27 | 2014-09-23 | 光学滤波器装置、光学模块、电子设备及mems装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013201048A JP2015068887A (ja) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015068887A true JP2015068887A (ja) | 2015-04-13 |
| JP2015068887A5 JP2015068887A5 (enExample) | 2016-11-04 |
Family
ID=52739905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013201048A Withdrawn JP2015068887A (ja) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20150092274A1 (enExample) |
| JP (1) | JP2015068887A (enExample) |
| CN (1) | CN104516101A (enExample) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016071039A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| WO2016175089A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| JP2019012273A (ja) * | 2018-08-07 | 2019-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2020003502A (ja) * | 2019-09-10 | 2020-01-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| JP2020106542A (ja) * | 2020-03-04 | 2020-07-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| JP2023011402A (ja) * | 2021-07-12 | 2023-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 分光デバイス、及び分光カメラ |
| WO2024116699A1 (ja) * | 2022-12-01 | 2024-06-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | フィルタユニット |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015112326A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | キヤノン株式会社 | プローブ、被検体情報取得装置 |
| JP6335099B2 (ja) * | 2014-11-04 | 2018-05-30 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
| US11078075B2 (en) | 2015-12-31 | 2021-08-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Packaging method and associated packaging structure |
| JP6720633B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2020-07-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学ユニットおよび電子機器 |
| FR3050831B1 (fr) * | 2016-04-29 | 2018-04-27 | Silios Technologies | Dispositif d'imagerie multispectrale |
| GB2553574B (en) * | 2016-09-12 | 2019-11-20 | Ipulse Ltd | Dermatological Treatment Apparatus |
| JP7569622B2 (ja) * | 2019-11-21 | 2024-10-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラーユニット |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4081760A (en) * | 1976-06-03 | 1978-03-28 | Coherent, Inc. | Etalon laser mode selector |
| US20070242358A1 (en) * | 2006-04-18 | 2007-10-18 | Xerox Corporation | Fabry-perot tunable filter |
| JP5914972B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2016-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | 光モジュールおよび光分析装置 |
| JP6119090B2 (ja) * | 2011-09-27 | 2017-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP5910099B2 (ja) * | 2012-01-18 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学モジュールおよび電子機器 |
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| JP6003168B2 (ja) * | 2012-04-11 | 2016-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| US10162146B2 (en) * | 2012-05-14 | 2018-12-25 | Intuitive Surgical Operations, Inc. | Opto-mechanical apparatus adapted for mounting optical elements with small cross sections |
| CN103175991A (zh) * | 2013-02-27 | 2013-06-26 | 浙江大学 | 集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器 |
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-
2013
- 2013-09-27 JP JP2013201048A patent/JP2015068887A/ja not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-09-23 US US14/493,820 patent/US20150092274A1/en not_active Abandoned
- 2014-09-23 CN CN201410490255.0A patent/CN104516101A/zh active Pending
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| WO2016175089A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
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| TWI885832B (zh) * | 2015-04-28 | 2025-06-01 | 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司 | 光檢測裝置 |
| JP2016211860A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| US11555741B2 (en) | 2015-04-28 | 2023-01-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical detection device having adhesive member |
| KR102708442B1 (ko) * | 2015-04-28 | 2024-09-24 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 광 검출 장치 |
| US11118972B2 (en) | 2015-04-28 | 2021-09-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical detection device having adhesive member |
| JP2019012273A (ja) * | 2018-08-07 | 2019-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
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| JP7049296B2 (ja) | 2019-09-10 | 2022-04-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
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| JP7647403B2 (ja) | 2021-07-12 | 2025-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 分光デバイス、及び分光カメラ |
| WO2024116699A1 (ja) * | 2022-12-01 | 2024-06-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | フィルタユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104516101A (zh) | 2015-04-15 |
| US20150092274A1 (en) | 2015-04-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150113 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160617 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160624 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160914 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160914 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20170111 |