JP2020106542A - 光検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[第1実施形態]
[光検出装置の構成]
[ファブリペロー干渉フィルタの構成]
[ファブリペロー干渉フィルタとスペーサとを接着する接着部材の構成]
[作用及び効果]
[第2実施形態]
[光検出装置の構成]
[ファブリペロー干渉フィルタと第3層基板とを接着する接着部材の構成]
[作用及び効果]
Claims (13)
- 距離が可変とされた第1ミラー及び第2ミラーを有し、前記第1ミラーと前記第2ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域を有するファブリペロー干渉フィルタと、
前記光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、
前記ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち前記光透過領域の外側の部分が載置された載置面を有する支持部材と、
前記ファブリペロー干渉フィルタと前記支持部材とを接着する接着部材と、を備え、
前記ファブリペロー干渉フィルタの側面の少なくとも一部は、前記載置面の一部が前記側面の外側に配置されるように、前記載置面上に位置しており、
前記接着部材は、前記側面、及び前記載置面の前記一部によって形成された隅部に配置され、前記側面、及び前記載置面の前記一部のそれぞれに接触しており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記第1ミラー及び前記第2ミラーを支持する基板を更に有し、
前記第1ミラーは、前記基板に対して光入射側に積層された誘電体多層膜によって構成されており、
前記第2ミラーは、空隙を介して前記第1ミラーと対向するように前記第1ミラーに対して光入射側に積層された誘電体多層膜によって構成されており、
前記接着部材は、前記第2ミラーを構成する前記誘電体多層膜に至っていない、光検出装置。 - 前記接着部材は、前記隅部に配置された第1部分と、前記載置面と前記底面との間に配置された第2部分と、を含み、
前記載置面に垂直な方向における前記第1部分の高さから、前記載置面に垂直な方向における前記第2部分の厚さを減じた値は、前記第2部分の前記厚さよりも大きい、請求項1記載の光検出装置。 - 前記隅部に配置された前記接着部材は、前記側面において前記基板に接触している、請求項1又は2記載の光検出装置。
- 前記側面は、第1側面を含み、
前記接着部材は、前記第1側面によって形成された前記隅部の全体に渡って連続するように、前記第1側面によって形成された前記隅部に配置され、前記第1側面に接触している、請求項1〜3のいずれか一項記載の光検出装置。 - 前記側面は、前記光透過領域を挟んで互いに対向する第2側面及び第3側面を含み、
前記接着部材は、前記第2側面によって形成された前記隅部、及び前記第3側面によって形成された前記隅部のそれぞれに配置され、前記第2側面及び前記第3側面のそれぞれに接触している、請求項1〜4のいずれか一項記載の光検出装置。 - 前記側面は、角部を形成する第4側面及び第5側面を含み、
前記接着部材は、前記第4側面によって形成された前記隅部、及び前記第5側面によって形成された前記隅部のそれぞれに配置され、前記第4側面及び前記第5側面のそれぞれに接触している、請求項1〜5のいずれか一項記載の光検出装置。 - 前記第4側面によって形成された前記隅部に配置された前記接着部材と、前記第5側面によって形成された前記隅部に配置された前記接着部材とは、互いに連続している、請求項6記載の光検出装置。
- 基板と、距離が可変とされた第1ミラー及び第2ミラーと、を有し、前記第1ミラーと前記第2ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域を有するファブリペロー干渉フィルタと、
前記光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、
前記ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち前記光透過領域の外側の部分が載置された載置面を有する支持部材と、
前記ファブリペロー干渉フィルタと前記支持部材とを接着する接着部材と、を備え、
前記接着部材は、前記載置面と前記底面との間の領域の外に配置された第1部分と、前記載置面と前記底面との間の前記領域に配置された第2部分と、を含み、
前記基板の厚さ方向における前記第1部分の厚さは、前記基板の厚さ方向における前記第2部分の厚さよりも大きく、
前記第1ミラーは、前記基板に対して光入射側に積層された誘電体多層膜によって構成されており、
前記第2ミラーは、空隙を介して前記第1ミラーと対向するように前記第1ミラーに対して光入射側に積層された誘電体多層膜によって構成されており、
前記接着部材は、前記第2ミラーを構成する前記誘電体多層膜に至っていない、光検出装置。 - 前記光透過領域を光が透過する方向から見た場合に、前記第1部分は、前記第2部分の外側に配置されている、請求項8記載の光検出装置。
- 前記接着部材は、前記光透過領域を光が透過する方向から見た場合に、前記第2部分の内側に配置された第3部分を更に含む、請求項9記載の光検出装置。
- 前記基板の厚さ方向に垂直な方向における前記第1部分の幅は、前記基板の厚さ方向に垂直な方向における前記第3部分の幅よりも大きい、請求項10記載の光検出装置。
- 前記基板の厚さ方向における前記第1部分の厚さは、前記基板の厚さ方向における前記第3部分の厚さよりも大きい、請求項10又は11記載の光検出装置。
- 前記接着部材の弾性率は、前記支持部材の弾性率よりも小さい、請求項8〜12のいずれか一項記載の光検出装置。
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