JP2015058666A - インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態のインクジェットヘッドは、エッチング規制部を備えインクを充填する圧力室と、前記圧力室に連通するノズルを備え、可動域端部が前記エッチング規制部に固定されるノズルプレートと、圧電体を備え、前記ノズルプレートに配置される面状の駆動部と、を備える。
【選択図】図4
Description
第1の実施形態のインクジェット記録装置について図1乃至図7を参照して説明する。図1はインクジェット記録装置であるインクジェットプリンタ10の一例を示す。図1に示すインクジェットプリンタ10は、記録媒体である記録紙Pを搬送しながら画像形成等の各種処理を行う。インクジェットプリンタ10は、筐体10a、給紙カセット11、排紙トレイ12、保持ローラ13、搬送部である給紙搬送部14、反転部16及び排紙搬送部17を備える。インクジェットプリンタ10は、保持ローラ13の周囲に保持部18、画像形成部20、剥離部21及びクリーニング部22を備える。
(実施例1)として、第1の実施形態のインクジェットヘッド100について有限要素法によるシミュレーションを行った。(実施例1)は、圧電素子40の下部電極41と上部電極43により、圧電膜42に駆動電圧を印加した場合の、インクジェットヘッド100の特性をシミュレーションした実施例である。
第2の実施形態のインクジェットヘッド200を、図8乃至図10を参照して説明する。第2の実施形態は、第1の実施形態において、圧電素子をノズルプレートの中央部に配置するものである。第2の実施形態にあって、前述の第1の実施形態で説明した構成と同一構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
(実施例2)として、第2の実施形態のインクジェットヘッド200について有限要素法によるシミュレーションを行った。実施例2は、圧電素子60の下部電極61と上部電極63により、圧電膜62に駆動電圧を発生した場合の、インクジェットヘッド200の特性をシミュレーションした実施例である。
第2の実施形態のインクジェットヘッドの構造は限定されず、例えば、図11及び図12に示す変形例のように、シリコン酸化膜側壁を円環状ではなく、複数に分割して配置しても良い。
第3の実施形態のインクジェットヘッド400を、図13乃至図15を参照して説明する。第3の実施形態は、第1の実施形態において、圧力発生室の平面形状を長方形とするものである。第3の実施形態にあって、前述の第1の実施形態で説明した構成と同一構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
(提案書には無かったので、13B12Z043の実施例3のコピーです。)
(実施例3)として、第3の実施形態のインクジェットヘッド400について有限要素法によるシミュレーションを行った。(実施例3)は、圧電素子80の下部電極87と上部電極88により、圧電膜86に駆動電圧を発生した場合の、インクジェットヘッド400の特性をシミュレーションした実施例である。
第4の実施形態のインクジェットヘッド500を、図16及び図17を参照して説明する。第4の実施形態は、第2の実施形態において、圧力室構造体に形成される複数の圧力発生室の、それぞれの円環状のシリコン酸化膜側壁を隣接して配置するものである。第4の実施形態にあって、前述の第2の実施形態で説明した構成と同一構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
30…ノズルプレート
31…ノズル
40…圧電素子
41…下部電極
42…圧電膜
43…上部電極
51…圧力発生室
55…隔壁
55a…シリコン酸化膜側壁
55b…シリコン膜側壁
100…インクジェットヘッド
Claims (9)
- エッチング規制部を備えインクを充填する圧力室と、
前記圧力室に連通するノズルを備え、可動域端部が前記エッチング規制部に固定されるノズルプレートと、
圧電体を備え、前記ノズルプレートに配置される面状の駆動部と、を備えることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記エッチング規制部は、前記圧力室構造体に前記ノズルプレートを形成するのと同じプロセスにより、前記ノズルプレートを形成するのと同時に形成されることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 隣り合う圧力室は、前記エッチング規制部の一部を共用することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧力室の平面形状が円形であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧力室の平面形状が多角形であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記エッチング規制部はシリコン酸化膜側壁であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記ノズルプレートの厚さを1とした場合の前記シリコン酸化膜側壁の厚さの割合は、2以上とすることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド。
- 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドから前記インクが吐出される位置に記録媒体を搬送する搬送部と、を備えることを特徴とするインクジェット記録装置。 - 圧力室構造体の第1の面に圧力室の内周に沿って溝を形成する工程と、
前記溝にあって前記圧力室構造体のエッチングレートを低下させる工程と、
前記溝の内周に沿って前記圧力室構造体をエッチングする圧力室形成工程と、を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
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