JP2015054359A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
W 板状ワーク
1、100、200 テーブル洗浄手段
10、110、210 吸引部
11、111、211 吸引配管
12、112、212 アーム
13、113、213 支柱部
14、114、214 円板部
15、215 円形凹部
16、118、216 吸引口
17、217 緩衝材
18、218 連通孔
19、123、219 吸引源
2 保持テーブル
22 保持部
23 保持面
24 連通孔
25 枠体
26 リング状溝
27 切替バルブ
28 吸引源
29 供給源
3 研削手段
31 研削ホイール
32 研削砥石
4 搬送手段
41 アーム
42 支柱部
43 搬送テーブル
44 円形凹部
45 保持板
46 保持面
47 連通孔
48 吸引配管
49 吸引源
5 回転手段
115 支持板
116 リング状溝
117 対向部
119 第1の連通孔
120 第1の吸引配管
121 第2の連通孔
122 第3の連通孔
211 アーム
220 旋回軸
221 旋回駆動部
222 昇降手段
Claims (4)
- 板状ワークを吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルを回転させる回転手段と、該保持テーブルに吸引保持された板状ワークを研削砥石で研削する研削手段と、該保持テーブルを洗浄するテーブル洗浄手段とを備えた研削装置であって、
該テーブル洗浄手段は、該保持面を吸引する吸引口を有する吸引部と、該吸引口を吸引源に連通させる吸引配管と、該吸引部を保持テーブルに接近/離反させる位置付け手段と、から少なくとも構成され、
該位置付け手段で所定位置に位置付けた該吸引部で吸引させて該保持面を洗浄する研削装置。 - 該保持面の全面を覆う面積からなる該吸引口を備えた該吸引部で構成される請求項1記載の研削装置。
- 該保持テーブルは、板状ワークに接触する該保持面を有する多孔質材からなる保持部と、該保持面を露出させ該保持部を囲繞し該保持部に連通する連通孔を有する枠体とで構成され、
該保持面の外周付近を覆うリング状の該吸引口を備えた該吸引部で構成される請求項1記載の研削装置。 - 該テーブル洗浄手段に、該保持面に対して平行方向に該吸引部を移動させる移動手段を備え、
該保持テーブルを該回転手段で回転させると共に、該保持面の面積より狭い面積の該吸引口を備えた該吸引部を該位置付け手段で位置付け、該移動手段で移動させ、該吸引部で吸引させて該保持面を洗浄する請求項1記載の研削装置。
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