JP7266369B2 - Cmp装置及び方法 - Google Patents
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Description
2 ・・・プラテン
3 ・・・(プラテンの)回転軸
4 ・・・モータ
5 ・・・研磨パッド
10 ・・・研磨ヘッド
10a ・・・(研磨ヘッドの)回転軸
20 ・・・ヘッド本体
21 ・・・回転部
30 ・・・キャリア
31 ・・・ポーラスチャック
31a ・・・吸着面
32 ・・・収容部
33 ・・・管路
33a ・・・切換弁(切換手段)
34 ・・・キャリア押圧手段
35 ・・・給水管
40 ・・・リテーナ
41 ・・・リテーナリング
41a ・・・収容ポケット
42 ・・・スナップリング
43 ・・・リテーナ押圧部材
44 ・・・リテーナ押圧手段
45 ・・・リテーナリングホルダ
50 ・・・エア層形成手段
60 ・・・洗浄部材
61 ・・・洗浄カップ
A ・・・エア室
W ・・・ウェハ
Claims (6)
- 研磨パッド上のウェハを非吸着状態で収容した研磨ヘッドで前記ウェハを前記研磨パッドに押圧して行うエアーフロート研磨、又は前記ウェハを前記研磨ヘッドに吸着させて前記研磨パッドに押圧して行う吸着研磨の少なくとも一方を実行するCMP装置であって、
前記研磨ヘッドは、
前記ウェハの上面に対向する吸着面を備えるポーラスチャックと、
前記ポーラスチャックを収容する収容部を有するキャリアと、
前記キャリアの周囲を包囲するリテーナと、
前記ポーラスチャックに前記ウェハの裏面を吸着させる負圧を供給する負圧源と、
前記ポーラスチャックの吸着面から吐出する圧縮空気をポーラスチャックに供給する圧縮空気源と、
前記ウェハ、前記ポーラスチャック、前記キャリア及び前記リテーナで包囲されるエア室における前記ウェハ及び前記ポーラスチャックの間の第1隙間よりも相対的に小さい前記キャリア及び前記リテーナの間の第2隙間に相当し、前記エア室の空気を徐々に外部に排出するエア層形成手段と、
前記ポーラスチャック及び負圧源の接続と前記ポーラスチャック及び圧縮空気源の接続とを択一的に切り換える切換手段と、
を備え、
前記エア室に滞留される圧縮空気のエア層により前記ウェハを押圧し、
前記エア室に負圧を供給して前記ポーラスチャックに前記ウェハを吸着することを特徴とするCMP装置。 - 前記研磨ヘッドの前記吸着面は略平坦に形成され、
前記ポーラスチャックは、前記ウェハに直接接触可能なことを特徴とする請求項1記載のCMP装置。 - 前記圧縮空気に混入する水分を供給する給水源をさらに備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のCMP装置。
- 前記キャリア及び前記ポーラスチャックの前記吸着面を洗浄する洗浄部材をさらに備えていることを特徴とする請求項1から3の何れか1項記載のCMP装置。
- 請求項1から4の何れか1項記載のCMP装置を用いたCMP方法であって、
前記ポーラスチャックが前記ウェハを吸着した状態で研磨した後に、前記ポーラスチャックが研磨後の前記ウェハを前記圧縮空気で押圧してさらに研磨することを特徴とするCMP方法。 - 請求項1から4の何れか1項記載のCMP装置を用いたCMP方法であって、
前記ポーラスチャックが前記ウェハを前記圧縮空気で押圧して研磨した後に、前記ポーラスチャックが研磨後の前記ウェハを吸着した状態でさらに研磨することを特徴とするCMP方法。
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- 2023-04-18 JP JP2023067537A patent/JP2023103241A/ja active Pending
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