JP2015030782A - 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置 - Google Patents
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- G—PHYSICS
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Abstract
Description
上記の方法は、顔料を用いることから光や熱に対して安定であると共に、フォトリソ法によってパターニングを行うことから位置精度が充分に確保され、カラーディスプレー用カラーフィルタ等の製造に好適な方法として広く利用されてきた。
本発明はかかる課題を解決するものであって、長時間引き置きをしても、着色パターンの線幅の均一性を維持できる着色組成物を提供することを目的とする。
具体的には、以下の手段<1>により、好ましくは、<2>〜<13>により、上記課題は解決された。
<1>(A)色素多量体と(B)溶剤を含有する着色組成物であって、
(A)色素多量体が、カチオン部位を有するキサンテン色素に由来する部分構造とアニオン部位を有し、
着色組成物中のトルエン濃度が0.001〜10ppmである、着色組成物。
<2>着色組成物中の含水率が0.005〜3ppmである、<1>に記載の着色組成物。
<3>着色組成物中のナトリウムイオン濃度およびカリウムイオン濃度の少なくとも一方が0.01〜20ppmである、<1>または<2>に記載の着色組成物。
<4>前記アニオン部位が低求核性のアニオン部位である、<1>〜<3>のいずれかに記載の着色組成物。
<5>さらにフタロシアニン顔料を含む、<1>〜<4>のいずれかに記載の着色組成物。
<6>さらに光重合開始剤を含む、<1>〜<5>のいずれかに記載の着色組成物。
<7>さらに硬化性化合物を含む、<1>〜<6>のいずれかに記載の着色組成物。
<8>カラーフィルタの着色層形成用である、<1>〜<7>のいずれかに記載の着色組成物。
<9><1>〜<8>のいずれかに記載の着色組成物を硬化してなる硬化膜。
<10><1>〜<8>のいずれかに記載の着色組成物を支持体上に適用して着色組成物層を形成する工程と、着色組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程とを含むカラーフィルタの製造方法。
<11><1>〜<8>のいずれかに記載の着色組成物を支持体上に適用して着色組成物層を形成し、硬化して着色層を形成する工程、
着色層上にフォトレジスト層を形成する工程、
露光および現像することによりフォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程、および
レジストパターンをエッチングマスクとして着色層をドライエッチングする工程を含む、カラーフィルタの製造方法。
<12><9>に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ、または<10>または<11>に記載のカラーフィルタの製造方法によって製造したカラーフィルタ。
<13><12>に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子または画像表示装置。
また、本明細書中における「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等を意味する。また、本発明において光とは、活性光線または放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、X線、EUV光などによる露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線による描画も露光に含める。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全組成から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
また、本明細書において、“単量体”と“モノマー”とは同義である。本明細書における単量体は、オリゴマーおよびポリマーと区別され、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基を言う。
本明細書において、化学式中のMeはメチル基を、Etはエチル基を、Prはプロピル基を、Buはブチル基を、Phはフェニル基をそれぞれ示す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本発明の着色組成物(以下、本発明の組成物ともいう。)は、(A)色素多量体と(B)溶剤を含有する着色組成物であって、(A)色素多量体が、カチオン部位を有するキサンテン色素に由来する部分構造(以下、「色素構造」ということがある)とアニオン部位を有し、本発明の組成物中のトルエン濃度が0.001〜10ppmであることを特徴とする。
本発明によれば、長時間引き置きをしても、着色パターンの線幅の線幅を均一に維持することができる。長時間の引き置きとは、着色組成物を用いて膜を形成した後からi線露光するまでに、膜を長時間放置することをいう。
本発明では、例えば、引き置き時間を2日以上とし、露光後の現像液として0.3質量%の水酸化テトラメチルアンモニウムを用いた場合でも、パターンの線幅を均一に維持することができる。
本発明では、組成物中のトルエン濃度が0.005〜10ppmであることが好ましく、0.01〜3ppmであることが好ましく、0.1〜3ppmがより好ましく、0.5〜2ppmがさらに好ましい。
含水率を3質量%以下にすることにより、色素多量体中のカチオン部位とアニオン部位が分離するのをより効果的に抑制することができる。カチオン部位とアニオン部位が分離しにくい状態で形成された膜は、低酸素濃度下において、光励起した色素ラジカルが酸素により捕捉(トラップ)されにくくなり、色素がより分解されにくくなる。
また、含水率を0.005質量%以上にすることにより、色素多量体中のカチオン部位とアニオン部位の距離が近くなりすぎないため、光励起時のエネルギー移動や電子移動が起きにくくなることにより、色素がより分解されにくくなる。結果として、低酸素濃度下に長期間置いても良好な耐光性を維持することができる。
特に、低酸素濃度下、照度10000ルクスで1週間以上照射した場合であっても、良好な耐光性を維持することができる。
ナトリウムイオン濃度およびカリウムイオン濃度を20ppm以下にすることにより、色素多量体中のカチオンと、組成物中のナトリウムイオンおよびカリウムイオンの少なくとも一方とのイオン交換反応を抑制し、色素構造と、組成物中のその他の成分(例えば樹脂、モノマー、溶剤等)との相溶性をより向上させることができ、組成物中での相分離を効果的に抑制できる。結果として、低温度環境下(例えば冷蔵保存状態)に置かれた組成物を製膜しても、異物を発生しにくくできる。また、ナトリウムイオン濃度およびカリウムイオンイオン濃度を0.01ppm以上にすることにより、色素構造とその他の成分との相溶性が高くなりすぎることによる異物の発生を効果的に抑制できる。
また、本発明では、種々の温度(例えば−30〜150℃)および/または高湿度(例えば相対湿度80%以上)環境下に長時間置かれた場合に、異物の発生率が小さい着色組成物得ることができる。例えば低温(5℃以下)の環境下に1か月以上置いた場合や、85℃85%RHの環境下に2週間以上置いた場合にも異物の発生率を小さくすることができる。
例えば、フォトレジストによって、着色層を形成する場合、本発明の着色組成物は、色素多量体、溶剤、硬化性化合物としてのアルカリ可溶性樹脂、顔料および光重合開始剤を含むことが好ましい。さらに、界面活性剤等の成分を含んでいてもよい。
また、ドライエッチングによって、着色層を形成する場合、色素多量体、溶剤、硬化性化合物としての重合性化合物、顔料および光重合開始剤を含むことが好ましい。さらに、界面活性剤等の成分を含んでいてもよい。
色素多量体は、二量体、三量体およびポリマーなどの構造を包含する。色素多量体は、本発明の着色組成物において、例えば着色剤として機能する。
(A1)カチオン部位を有するキサンテン色素に由来する部分構造を有する繰り返し単位を含み、対アニオン部位を有する色素多量体。
(A2)カチオン部位を有するキサンテン色素に由来する部分構造を有する繰り返し単位を含み、かつ、上記色素構造がアニオン部位を有する色素多量体。
(A3)カチオン部位を有するキサンテン色素に由来する部分構造を有するモノマーと、対アニオン部位を有する繰り返し単位を含む色素多量体。
(A4)上記において、さらに、他のカチオンおよびアニオン部位を有する色素多量体。
以下、各形態について詳細に説明する。
<<<<対アニオン部位>>>>
色素多量体(A)が有する対アニオン部位は、非求核性であることが好ましい。非求核性とは、加熱により色素を求核攻撃しない性質を意味する。
対アニオンは、有機アニオンであっても、無機アニオンであってもよく、有機アニオンが好ましい。アニオンの例として、特開2007−310315号公報の段落番号0075に記載のものが挙げられ、この内容は本願明細書に組み込まれる。
好ましくは、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン、テトラアリールボレートアニオン、B-(CN)n1(ORa)4-n1(Raは炭素数1〜10のアルキル基または炭素数6〜10のアリール基を表し、n1は1〜4を表す)およびPFn2RP (6-n2) -(RPは炭素数1〜10のフッ素化アルキル基を表し、n2は1〜6の整数を表す)が挙げられ、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオンおよびテトラアリールボレートアニオンから選択されることがより好ましく、ビス(スルホニル)イミドアニオンであることがさらに好ましい。このような対アニオンを用いることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される傾向にある。
X1およびX2は、それぞれ独立に、フッ素原子またはフッ素原子を有する炭素数1〜10のアルキル基を表し、フッ素原子またはフッ素原子を有する炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜10のペルフルオロアルキル基であることがより好ましく、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基であることがさらに好ましく、トリフルオロメチル基が特に好ましい。
X3、X4およびX5は、それぞれ独立に、X1およびX2と同義であり、好ましい範囲も同義である。
Ar1、Ar2、Ar3およびAr4が表わすアリール基は、置換基を有しても良い。置換基を有する場合、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルバモイル基、スルホ基、スルホンアミド基、ニトロ基等が挙げられ、ハロゲン原子およびアルキル基が好ましく、フッ素原子、アルキル基がより好ましく、フッ素原子、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基がさらに好ましい。
n1は、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。
n2は、1〜4の整数が好ましく、1または2がより好ましい。
色素多量体は、対アニオン部位を1種類のみ含んでいても良いし、2種類以上を含んでいても良い。
本発明における色素構造とは、カチオン部位を有するキサンテン色素に由来する部分構造であり、色素構造を形成しうる具体的な色素(以下、色素化合物とも称する。)から水素原子を除いた、色素多量体連結部(ポリマー鎖やデンドリマーのコア等)と連結可能である構造をいう。以下、これらの詳細について説明する。
一般式(J)中のR81とR82、R83とR84、およびmが2以上の場合のR85同士は、各々独立に、互いに結合して、置換基を有しない5員、6員並びに7員の飽和環または5員、6員並びに7員の不飽和環を形成する場合、置換基を有しない5員、6員並びに7員の飽和環または5員、6員並びに7員の不飽和環としては、例えば、ピロール環、フラン環、チオフェン環、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピロリジン環、ピペリジン環、シクロペンテン環、シクロヘキセン環、ベンゼン環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環が挙げられ、好ましくは、ベンゼン環、ピリジン環が挙げられる。
色素多量体が有してもよい置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、ヒドロキシル基、ニトロ基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、シリルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アミノ基(アルキルアミノ基、アニリノ基を含む)、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキルまたはアリールスルホニルアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、スルファモイル基、スルホ基、アルキルまたはアリールスルフィニル基、アルキルまたはアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリールまたはヘテロ環アゾ基、イミド基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスフィニルオキシ基、ホスフィニルアミノ基、シリル基などが挙げられる。以下詳細に記述する。
本発明の着色組成物に用いる色素多量体(A)としては、特に定めるものではないが、下記一般式(a1−1)、および一般式(a1−2)で表される繰り返し単位の少なくとも一つを含む色素多量体であるか、または、一般式(a1−3)で表される色素多量体であることが好ましい。一般式(a1−1)で表される繰り返し単位は、1種類の色素多量体中に、1種類のみ含まれていても良いし、2種類以上含まれていてもよい。さらに、後述するとおり、他の繰り返し単位を含んでいてもよい。
本発明では、一般式(a1−1)で表される色素多量体を含むことが好ましい。これらを順次説明する。
一般式(a1−1)
以下、一般式(a1−1)について詳細に説明する。
(XX−1)〜(XX−24)中、*で示された部位でL1と連結していることを表す。
Meはメチル基を表す。また、(XX−18)および(XX−19)中のRは、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基またはフェニル基を表す。
L1が表わす2価の連結基としては、DyeIとイオン結合または配位結合可能な基であってもよい。この場合、アニオン性基またはカチオン性基のどちらでもよい。
アニオン性基としては、−COO-、−PO3H-、−SO3 -、−SO3NH-、−SO3N-CO−等が挙げられ、−COO-、−PO3H-、−SO3 -が好ましい。
カチオン性基としては、置換または無置換のオニウムカチオン(例えば、アンモニウム、ピリジニウム、イミダゾリウムおよびホスホニウム等)が挙げられ、特にアンモニウムカチオンが好ましい。
L1がDyeIとイオン結合または配位結合可能な基を有する場合、L1は、DyeIが有しているアニオン部(−COO-、−SO3 -、−O-等)やカチオン部(前記オニウムカチオンや金属カチオン等)と結合することができる。
付加重合には公知の付加重合(ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合)が適用できるが、このうち、特にラジカル重合により合成することが反応条件を穏和化でき、色素構造を分解させないため好ましい。ラジカル重合には、公知の反応条件を適用することができる。
中でも、一般式(a1−1)で表される繰り返し単位を有する色素多量体は、耐熱性の観点から、エチレン性不飽和結合を有する色素単量体を用いてラジカル重合して得られたラジカル重合体であることが好ましい。
次に、一般式(a1−2)で表される色素多量体について詳細を説明する。
一般式(a1−2)
mは0または1を表すが、1であることが好ましい。
次に、一般式(a1−3)で表される色素多量体について詳細を説明する。
一般式(a1−3)において、nが2の場合、L4で表される2価の連結基としては、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のアルキレン基(例えば、メチレン基、エチレン基、トリメチレン基、プロピレン基、ブチレン基など)、炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリーレン基(例えば、フェニレン基、ナフタレン基等)、置換もしくは無置換のヘテロ環連結基、−CH=CH−、−O−、−S−、−NR−(Rは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、またはヘテロ環基を表す。)、−C(=O)−、−SO−、−SO2−、およびこれらを2個以上連結して形成される連結基が好適に挙げられる。
色素多量体は、上述した色素多量体の色素構造部分に他の官能基を有していても良い。他の官能基としては、重合性基、酸基およびアルカリ可溶性基等が例示される。
また、色素多量体は、上述した色素構造を含む繰り返し単位の他に、他の繰り返し単位を含んでいても良い。他の繰り返し単位は、官能基を有していても良い。
また、他の繰り返し単位としては、重合性基、酸基およびアルカリ可溶性基の少なくとも1種を含む繰り返し単位が例示される。
すなわち、色素多量体は、一般式(a1−1)〜(a1−3)で表される繰り返し単位のほかに、他の繰り返し単位を有していてもよい。他の繰り返し単位は、1つの色素多量体中に、1種類のみ含まれていても良いし、2種類以上含まれていてもよい。
また、色素多量体は、一般式(a1−1)〜(a1−3)で表される色素多量体中に、他の官能基を有していても良い。以下、これらの詳細について説明する。
色素多量体は、重合性基を含むことが好ましい。重合性基は1種類のみ含んでいても良いし、2種類以上含んでいても良い。
重合性基は、色素構造が重合性基を含んでいても良いし、他の部分が含んでいても良い。本発明では、色素構造が重合性基を含むことが好ましい。このような構成とすることにより耐熱性が向上する傾向にある。
また、本発明では、色素構造以外の他の部分が重合性基を含む態様も好ましい。
重合性基としては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の重合性基を用いることができ、例えば、エチレン性不飽和結合を含む基、環状エーテル基(エポキシ基、オキセタン基)、メチロール基等が挙げられるが、特にエチレン性不飽和結合を含む基が好ましく、(メタ)アクリロイル基がさらに好ましく、(メタ)アクリル酸グリシジルおよび3,4−エポキシーシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート由来の(メタ)アクリロイル基がさらに好ましい。
重合性基は、色素多量体中に、重合性基を有する繰り返し単位として含まれることが好ましく、エチレン性不飽和結合を有する繰り返し単位として含まれることがより好ましい。すなわち、色素多量体の好ましい実施形態の一例は、色素多量体が色素単量体を含む繰り返し単位と重合性基を有する繰り返し単位を含有する態様であり、色素単量体を含む繰り返し単位とエチレン性不飽和結合を有する繰り返し単位を含有することがより好ましい。
色素多量体を重合性基含有化合物で変性して導入する方法としては、特に制限なく公知の方法を用いることができる。例えば、(a)色素多量体が有するカルボン酸と不飽和結合含有エポキシ化合物とを反応させる方法、(b)色素多量体が有するヒドロキシル基またはアミノ基と不飽和結合含有イソシアネート化合物とを反応させる方法、(c)色素多量体が有するエポキシ化合物と不飽和結合含有カルボン酸化合物とを反応させる方法が製造上の観点から好ましい。
(2)色素単量体と重合性基含有化合物を共重合して導入する方法としては、特に制限なく公知の方法を用いることができるが、(d)ラジカル重合可能な色素単量体とラジカル重合可能な重合性基含有化合物とを共重合する方法、(e)重付加可能な色素単量体と重付加可能な重合性基含有化合物とを共重合する方法が好ましい。
また、色素多量体が重合性基を有する繰り返し単位を含有する繰り返し単位の割合は、全繰り返し単位100モルに対し、例えば、5〜50モルが好ましく、10〜20モルがより好ましい。
色素多量体が有していてもよい酸基としては、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基が例示される。また、アルカリ可溶性基としては、フェノール性水酸基、カルボン酸が例示される。
本発明では、好ましくは、酸基および/またはアルカリ可溶性基は、酸基および/またはアルカリ可溶性基を有する繰り返し単位として、色素多量体中に含まれることが好ましい。
酸基を有する繰り返し単位の酸価としては、15mgKOH/g〜110mgKOH/gであることが好ましく、20mgKOH/g〜90mgKOH/gであることがより好ましく、30mgKOH/g〜60mgKOH/gであることがさらに好ましい。
色素多量体の酸価は、例えば、色素多量体中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、色素多量体を構成する酸基を含有するモノマー単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。
また、色素多量体が色素単量体を含む繰り返し単位と酸基を有する繰り返し単位を含有する場合、酸基を有する繰り返し単位を含有する繰り返し単位の割合は、色素単量体を含む繰り返し単位100モルに対し、例えば、5〜70モルが好ましく、10〜50モルがより好ましい。
導入方法として、色素単量体にあらかじめ導入しておく方法、および上記官能基を有するモノマーを共重合する方法が挙げられる。
色素多量体の(A2)の形態は、色素構造を有する繰り返し単位を含み、かつ、色素構造がアニオン部位を有する色素多量体である。
例えば、色素多量体は、一般式(a2)で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。
一般式(a2)中、X1およびL1は上述した一般式(a1−1)と同義であり、好ましい範囲も同様である。
一般式(a2)中、DyeIAは、上述した一般式(a1−1)中のDyeIが、さらにアニオン部位を有するものである。アニオン部位としては、−SO3-、−CO2 2-等が挙げられる。
色素多量体の(A3)の形態は、色素構造を有するモノマーと、対アニオン部位を有する繰り返し単位を含む色素多量体である。
色素構造を有するモノマーは、上述した一般式(J)で表されるキサンテン化合物に由来する部分構造を含むモノマーと同義である。
対アニオン部位を有する繰り返し単位としては、下記一般式(a3)で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。
一般式(a3)
一般式(a3)中、L2が2価の連結基を表す場合、炭素数1〜20(好ましくは1〜10)のアルキレン基、炭素数6〜20(好ましくは6〜10)のアリーレン基、炭素数4〜20(好ましくは5〜10)のヘテロ環基、炭素数1〜20(好ましくは1〜10)のアルキルスルホニル基、炭素数6〜20好ましくは6〜10)のアリールスルホニル基、炭素数1〜20(好ましくは1〜10)のアルキルカルボニル基)、炭素数6〜20(好ましくは6〜11)のアリールカルボニル基、炭素数1〜20(好ましくは1〜10)のアルキルアミノ基、炭素数6〜20(好ましくは6〜10)のアリールアミノ基、炭素数1〜20(好ましくは1〜10)のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数6〜20(好ましくは6〜11)のアリールカルボニルオキシ基などが挙げられる。これら2価の連結基は、電子吸引性基で置換されていることが好ましく、電子吸引性基としては、ハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子)、ニトロ基、シアノ基、ハロゲン化アルキル基(例えばトリフルオロメチル基)、ハロゲン化アリール基が挙げられる。
L2は、後述する、一般式(1)中のZが、前記一般式(2−1)で表される低求核性アニオン構造の場合、炭素数1〜10のフッ素原子で置換されたアルキレン基(フッ素化アルキレン基)であることが好ましい。
一般式(2−1)
*−Y1−A1
(一般式(2−1)中、*は、一般式(a3)中のL2との結合部位を表し、Y1はフッ素化アルキレン基を表し、A1はSO3 -を表す。)
一般式(2−3)
色素多量体の(A4)の形態は、さらに、他のカチオンおよびアニオン部位を有する色素多量体である。例えば、色素構造を有するモノマーと、カチオン部位を有する繰り返し単位を有し、色素構造を有するモノマーが、対応するアニオン部位を含む色素多量体である。
カチオン部位を有する繰り返し単位としては、特開2011−242752号公報の段落0018〜0061の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
色素構造を有するモノマーが、対応するアニオン部位を含むものとしては、C.I.アシッドレッド289が例示される。
色素多量体の(A4)の具体例としては、特開2011−242752号公報の段落0165の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
色素多量体の酸価は、5〜100mgKOH/gであることが好ましく、15〜60mgKOH/gであることがより好ましい。
本発明では、色素に由来する構造を含む繰り返し単位が合計繰り返し単位を100モル%としたとき、色素多量体中、10〜100モル%であることが好ましく、50〜100モル%であることがさらに好ましく、60〜100モル%であることが特に好ましい。
色素多量体の重量平均分子量は、2,000〜20,000であることが好ましく、3,000〜15,000であることがさらに好ましく、4,000〜10,000であることが特に好ましい。
重量平均分子量および数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により求めることができる。
また、色素多量体の重量平均分子量(Mw)と、数平均分子量(Mn)との比〔(Mw)/(Mn)〕は1.0〜3.0であることが好ましく、1.6〜2.5であることがさらに好ましく、1.6〜2.0であることが特に好ましい。
溶剤としては、エステル類(例えば、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル等)、エーテル類(例えばメチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等)、ケトン類(メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等)、芳香族炭化水素類(例えば、トルエン、キシレン等)が挙げられ、これら溶剤に対し、1質量%以上50質量%以下溶解することが好ましく、より好ましくは5質量%以上40質量%以下、さらに好ましくは10質量%以上30質量%以下であることが好ましい。この領域にあることで、本発明の着色組成物をカラーフィルタ等の作製に適用する際に、好適な塗布面状や、他色塗布後の溶出による濃度低下を低減させることができるようになる。
顔料に対する色素多量体の質量比(色素多量体(A)/顔料)としては、0.1〜5が好ましく、0.2〜2がよりに好ましく、0.3〜1がさらに好ましい。
例えば特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許4808501号明細書、米国特許5667920号明細書、米国特許505950号明細書、米国特許5667920号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開2010−250291号公報、特開2011−95732号公報、特開2012−13945号公報、特開2012−46708号公報、特開2012−46712号公報、特開2012−181502号公報、特開2012−208494号公報、特開2013−28764号公報、特開2013−29760号公報を参酌することができ、これらの内容は、本願明細書に組み込まれる。化学構造としては、ピラゾールアゾ系、ピロメテン系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系等の染料を使用できる。
本発明の着色組成物は、溶剤を含有する。
溶剤は、各成分の溶解性や着色組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、特に紫外線吸収剤、アルカリ可溶性樹脂や分散剤等の溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
これらの中でも、分子量が80〜135の範囲、もしくは沸点が120〜160℃の範囲にある溶媒が塗布後の乾燥の観点で好ましい。これらに該当するものとして、酢酸−n−ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノン、シクロペンタノンが挙げられる。
本発明の組成物は、溶剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は、硬化性化合物を含有することが好ましい。
硬化性化合物としては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の重合性化合物を用いることができ、例えば、エチレン性不飽和結合、環状エーテル(エポキシ、オキセタン)、メチロール等を含む重合性化合物が挙げられる。重合性化合物は、感度の観点から、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から好適に選ばれる。
中でも、多官能の重合性化合物が好ましく、4官能以上の多官能重合性化合物がより好ましく、5官能以上がさらに好ましく、6官能以上が特に好ましい。
特に、多官能モノマー(好ましくは4官能以上、より好ましくは6官能以上)であり、アルキレンオキサイド変性したものが好ましい。
これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落0095〜0108に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
多官能カルボン酸にグリシジル(メタ)アクリレート等の環状エーテル基とエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させ得られる多官能(メタ)アクリレートなども挙げることができる。
また、その他の好ましい重合性化合物として、特開2010−160418号公報、特開2010−129825号公報、特許第4364216号明細書等に記載される、フルオレン環を有し、エチレン性不飽和基を2官能以上有する化合物、カルド樹脂も使用することが可能である。
上記一般式(MO−1)〜(MO−5)で表される重合性化合物の各々において、複数存在するRの少なくとも1つは、−OC(=O)CH=CH2、または、−OC(=O)C(CH3)=CH2で表される基を表す。
上記一般式(MO−1)〜(MO−5)で表される重合性化合物の具体例としては、特開2007−269779号公報の段落番号0248〜段落番号0251に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
酸基を有する多官能モノマーの好ましい酸価としては、0.1mgKOH/g〜40mgKOH/gであり、特に好ましくは5mgKOH/g〜30mgKOH/gである。多官能モノマーの酸価が低すぎると現像溶解特性が落ち、高すぎると製造や取扱いが困難になり光重合性能が落ち、画素の表面平滑性等の硬化性が劣るものとなる。従って、異なる酸基の多官能モノマーを2種以上併用する場合、或いは酸基を有しない多官能モノマーを併用する場合、全体の多官能モノマーとしての酸基が上記範囲に入るように調整することが好ましい。
カプロラクトン構造を有する多官能性単量体としては、その分子内にカプロラクトン構造を有する限り特に限定されるものではないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸およびε−カプロラクトンをエステル化することにより得られる、ε−カプロラクトン変性多官能(メタ)アクリレートを挙げることができる。なかでも下記一般式(Z−1)で表されるカプロラクトン構造を有する多官能性単量体が好ましい。
本発明において、カプロラクトン構造を有する多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
上記一般式(Z−4)中、アクリロイル基およびメタクリロイル基の合計は3個または4個であり、mは各々独立に0〜10の整数を表し、各mの合計は0〜40の整数である。但し、各mの合計が0の場合、Xのうちいずれか1つはカルボキシル基である。
上記一般式(ii)中、アクリロイル基およびメタクリロイル基の合計は5個または6個であり、nは各々独立に0〜10の整数を表し、各nの合計は0〜60の整数である。但し、各nの合計が0の場合、Xのうちいずれか1つはカルボキシル基である。
上記一般式(Z−5)中、nは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
また、各nの合計は、3〜60の整数が好ましく、3〜24の整数がより好ましく、6〜12の整数が特に好ましい。
また、一般式(Z−4)または一般式(Z−5)中の−((CH2)yCH2O)−または−((CH2)yCH(CH3)O)−は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
具体的には、下記式(a)〜(f)で表される化合物(以下、「例示化合物(a)〜(f)」ともいう。)が挙げられ、中でも、例示化合物(a)、(b)、(e)、(f)が好ましい。
重合性化合物の市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200」(新中村化学社製、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)などが挙げられる。
また、着色組成物に含有される他の成分(例えば、光重合開始剤、被分散体、アルカリ可溶性樹脂等)との相溶性、分散性に対しても、重合性化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、支持体などの硬質表面との密着性を向上させる観点で特定の構造を選択することもあり得る。
本発明の組成物は、硬化性化合物を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は、さらに、(C)顔料を含有することが好ましい。
本発明で使用する顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができ、有機顔料を用いることが好ましい。上記顔料としては、高透過率であることが好ましい。
C.I.ピグメントイエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199,;
C.I.ピグメントオレンジ36,38,43,71;
C.I.ピグメントレッド81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,39;
C.I.ピグメントブルー1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメントグリーン7,36,37,58;
C.I.ピグメントブラウン25,28;
C.I.ピグメントブラック1;
等を挙げることができる。
C.I.ピグメントオレンジ36,71,
C.I.ピグメントレッド122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264,
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,
C.I.ピグメントブルー15:1,15:3,15:6,16,22,60,66,
C.I.ピグメントグリーン7,36,37,58;
C.I.ピグメントブラック1
顔料の一次粒子サイズは、電子顕微鏡等の公知の方法で測定することができる。
特に、顔料としてはフタロシアニン顔料が好ましい。
顔料の含有量は、着色組成物に含有される溶剤を除いた全成分に対して、10〜70質量%が好ましく、より好ましくは20〜60質量%であり、さらに好ましくは25〜50質量%である。
顔料としてフタロシアニン顔料を用いる場合の含有量は、着色組成物に含有される溶剤を除いた全成分に対して、10〜70質量%が好ましく、より好ましくは20〜60質量%であり、さらに好ましくは25〜50質量%である。
本発明の組成物は、顔料を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は、光重合開始剤を含有することが、さらなる感度向上の観点から好ましい。
光重合開始剤としては、上記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
具体的には、トリハロメチルトリアジン化合物としては、以下の化合物が例示される。なお、Phはフェニル基である。
特に、本発明の着色組成物を固体撮像素子が備えるカラーフィルタの作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが特に好ましい。特に、固体撮像素子において微細なパターンを形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、重合開始剤の添加量も低く抑える必要があるため、これらの点を考慮すれば、固体撮像素子の如き微細パターンを形成するには(D)光重合開始剤としては、オキシム化合物を用いるのが特に好ましい。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959,IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、および、IRGACURE−379(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、365nmまたは405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179号公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるIRGACURE−819やDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
市販品ではIRGACURE−OXE01(BASF社製)、IRGACURE−OXE02(BASF社製)も好適に用いられる。
また、オキシム化合物の特定部位に不飽和結合を有する特開2009−242469号公報に記載の化合物も、重合不活性ラジカルから活性ラジカルを再生することで高感度化を達成でき好適に使用することができる。
具体的には、光重合開始剤であるオキシム化合物としては、下記一般式(OX−1)で表される化合物が好ましい。なお、オキシムのN−O結合が(E)体のオキシム化合物であっても、(Z)体のオキシム化合物であっても、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
一般式(OX−1)中、Rで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。
上記一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
具体的には、特開2009−191061号公報の段落0037を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
中でも、式(OX−1)におけるAとしては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基)で置換されたアルキレン基、アルケニル基(例えば、ビニル基、アリル基)で置換されたアルキレン基、アリール基(例えば、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基)で置換されたアルキレン基が好ましい。
なかでも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換または無置換のフェニル基が好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Carry−5 spctrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
本発明の組成物は、光重合開始剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物が顔料を有する場合は、顔料分散剤を、所望により併用することができる。
本発明に用いうる顔料分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、および、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等の界面活性剤、および、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
本発明の組成物は、顔料分散剤を、それぞれ、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
また、顔料誘導体を併用する場合、顔料誘導体の使用量としては、顔料100質量部に対し、質量換算で1質量部〜30質量部の範囲にあることが好ましく、3質量部〜20質量部の範囲にあることがより好ましく、5質量部〜15質量部の範囲にあることが特に好ましい。
本発明の着色組成物は、さらに、アルカリ可溶性樹脂を含有することが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂の分子量としては、特に定めるものではないが、Mwが5000〜100,000であることが好ましい。また、Mnは1000〜20,000であることが好ましい。
本発明で用いられる化合物の重量平均分子量は、GPC測定によるポリスチレン換算値として定義される。重量平均分子量及び数平均分子量は、例えば、HLC−8220(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel Super AWM―H(東ソー(株)製、6.0mmID×15.0cmを、溶離液として10mmol/L リチウムブロミドNMP(N−メチルピロリジノン)溶液を用いることによって求めることができる。
なお、重合後に酸基を付与しうるモノマーを単量体成分として酸基を導入する場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理が必要となる。
重合性基を含有するポリマーの例としては、ダイヤナ−ルNRシリーズ(三菱レイヨン株式会社製)、Photomer6173(COOH含有 polyurethane acrylic oligomer. Diamond Shamrock Co.Ltd.,製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業株式会社製)、サイクロマーPシリーズ、プラクセル CF200シリーズ(いずれもダイセル化学工業株式会社製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー株式会社製)などが挙げられる。これら重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂としては、予めイソシアネート基とOH基を反応させ、未反応のイソシアネート基を1つ残し、かつ(メタ)アクリロイル基を含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基および重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、OH基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する2塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂、OH基を含むアクリル樹脂とイソシアネートと重合性基を有する化合物を反応させた樹脂、特開2002−229207号公報および特開2003−335814号公報に記載されるα位またはβ位にハロゲン原子或いはスルホネート基などの脱離基を有するエステル基を側鎖に有する樹脂を、塩基性処理することで得られる樹脂などが好ましい。
さらに、特開2012−32767号公報に記載の段落番号0029〜0063に記載の共重合体(B)および実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開2012−208474号公報の段落番号0088〜0098に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−137531号公報の段落番号0022〜0032に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2013−024934号公報の段落番号0132〜0143に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2011−242752号公報の段落番号0092〜0098および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−032770号公報の段落番号0030〜0072の記載のバインダー樹脂を用いること好ましい。これらの内容は本願明細書に組み込まれる。より具体的には、下記の樹脂が好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)としては、2,000〜50,000が好ましく、5,000〜30,000がさらに好ましく、7,000〜20,000が特に好ましい。
本発明の組成物は、アルカリ可溶性樹脂を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよいが、2種以上含むことが好ましく、少なくとも1種が重合性基を有することがより好ましい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は、上述の各成分に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、さらに、界面活性剤、架橋剤、重合禁止剤、有機カルボン酸、有機カルボン酸無水物などの他の成分を含んでいてもよい。
本発明の着色組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
本発明の着色組成物に界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の添加量は、着色組成物の全質量に対して、0.001質量%〜2.0質量%が好ましく、より好ましくは0.05質量%〜1.0質量%である。
本発明の組成物は、界面活性剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物に補足的に架橋剤を用い、着色組成物を硬化させてなる硬化膜の硬度をより高めることもできる。
架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行なえるものであれば、特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも1つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも1つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
架橋剤の具体例などの詳細については、特開2004−295116号公報の段落0134〜0147の記載を参照することができる。
本発明の着色組成物中に架橋剤を含有する場合、架橋剤の配合量は、特に定めるものではないが、組成物の全固形分の2〜30質量%が好ましく、3〜20質量%がより好ましい。
本発明の組成物は、架橋剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物においては、着色組成物の製造中または保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
本発明の着色組成物中に重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の添加量は、全組成物の質量に対して、0.01〜5質量%が好ましい。
本発明の組成物は、重合禁止剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は、分子量1000以下の有機カルボン酸、および/または有機カルボン酸無水物を含有していてもよい。
有機カルボン酸化合物としては、具体的には、脂肪族カルボン酸または芳香族カルボン酸が挙げられる。脂肪族カルボン酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、グリコール酸、アクリル酸、メタクリル酸等のモノカルボン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、シクロヘキセンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸等のジカルボン酸、トリカルバリル酸、アコニット酸等のトリカルボン酸等が挙げられる。また、芳香族カルボン酸としては、例えば、安息香酸、フタル酸等のフェニル基に直接カルボキシル基が結合したカルボン酸、およびフェニル基から炭素結合を介してカルボキシル基が結合したカルボン酸類が挙げられる。これらの中では、特に分子量600以下、とりわけ分子量50〜500のもの、具体的には、例えば、マレイン酸、マロン酸、コハク酸、イタコン酸が好ましい。
本発明の組成物は、有機カルボン酸および/または有機カルボン酸無水物を、それぞれ、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
これら分子量1000以下の有機カルボン酸、および/または有機カルボン酸無水物を添加することによって、高いパターン密着性を保ちながら、着色組成物の未溶解物の残存をより一層低減することが可能である。
本発明の着色組成物においては、特開2004−295116号公報の段落0078に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落0081に記載の熱重合防止剤を含有することができる。
本発明の組成物は、上記成分を、それぞれ、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は、前述の成分を混合することで調製される。
なお、着色組成物の調製に際しては、着色組成物を構成する各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に溶解・分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解・分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜2つ以上の溶液・分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
上記のようにして調製された着色組成物は、好ましくは、孔径0.01μm〜3.0μm、より好ましくは孔径0.05μm〜0.5μm程度のフィルタなどを用いて濾別した後、使用に供することができる。
また、本発明の組成物に顔料を配合する場合、洗浄した顔料を用いることが好ましい。洗浄した顔料を用いることにより、組成物中の異物をより低減することができる。顔料を洗浄する方法は、特開2010−83997号公報の段落0011〜0099を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
次に、本発明における硬化膜、パターン形成方法およびカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明の硬化膜は、本発明の着色組成物を硬化してなる。かかる硬化膜はカラーフィルタに好ましく用いられる。
本発明のパターン形成方法は、カラーフィルタが有する着色パターン(画素)の形成に好適に適用することができる。
本発明の組成物は、いわゆるフォトリソグラフィ法でパターン形成によって、カラーフィルタを製造してもよいし、ドライエッチング法によってパターンを形成してもよい。
すなわち、本発明のカラーフィルタの第一の製造方法として、着色組成物を支持体上に適用して着色組成物層を形成する工程と、上記着色組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程とを含むカラーフィルタの製造方法が例示される。
また、本発明のカラーフィルタの第二の製造方法として、着色組成物を支持体上に適用して着色組成物層を形成し、硬化して着色層を形成する工程、上記着色層上にフォトレジスト層を形成する工程、露光および現像することにより上記フォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程、および上記レジストパターンをエッチングマスクとして上記着色層をドライエッチングする工程を含む、カラーフィルタの製造方法が例示される。
本発明では、フォトリソグラフィ法で製造することがより好ましい。
以下これらの詳細を述べる。
着色組成物層を形成する工程では、支持体上に、本発明の着色組成物を適用して着色組成物層形成工程を形成する。
本発明における着色パターンは、固体撮像素子用基板の撮像素子形成面側(おもて面)に形成されてもよいし、撮像素子非形成面側(裏面)に形成されてもよい。
固体撮像素子における着色パターンの間や、固体撮像素子用基板の裏面には、遮光膜が設けられていてもよい。
また、支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。下塗り層には、溶剤、アルカリ可溶性樹脂、重合性化合物、重合禁止剤、界面活性剤、光重合開始剤等を配合でき、これらの各成分は、上述の本発明の組成物に配合する成分から適宜選択されることが好ましい。
<<露光する工程>>
露光工程では、着色組成物層形成工程において形成された着色組成物層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、所定のマスクパターンを有するマスクを介してパターン露光する。これにより、硬化膜が得られる。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は30mJ/cm2〜1500mJ/cm2が好ましく50mJ/cm2〜1000mJ/cm2がより好ましく、80mJ/cm2〜500mJ/cm2が特に好ましい。
膜厚を、1.0μm以下とすることにより、高解像性、高密着性を得られるため、好ましい。
また、本工程においては、0.7μm以下の薄い膜厚を有する硬化膜も好適に形成することができ、得られた硬化膜を、後述するパターン形成工程にて現像処理することで、薄膜でありながらも、現像性、表面荒れ抑制、およびパターン形状に優れた着色パターンを得ることができる。
次いでアルカリ現像処理を行うことにより、露光工程における光未照射部分の着色組成物層がアルカリ水溶液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は、従来20秒〜90秒であった。より残渣を除去するため、近年では120秒〜180秒実施する場合もある。さらには、より残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返す場合もある。
なお、現像液には無機アルカリを用いてもよく、無機アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウムなどが好ましい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)する。
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100℃〜240℃、好ましくは200℃〜240℃の熱硬化処理を行う。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
ドライエッチングは、着色層を、パターニングされたフォトレジスト層をマスクとしてエッチングガスを用いて行うことができる。具体的には、着色層上にポジ型またはネガ型の感放射線性組成物を塗布し、これを乾燥させることによりフォトレジスト層を形成する。フォトレジスト層の形成においては、さらにプリベーク処理を施すことが好ましい。特に、フォトレジストの形成プロセスとしては、露光後の加熱処理(PEB)、現像後の加熱処理(ポストベーク処理)を実施する形態が望ましい。
具体的には、ポジ型の感放射線性組成物として、キノンジアジド化合物およびアルカリ可溶性樹脂を含有する組成物が好ましい。キノンジアジド化合物およびアルカリ可溶性樹脂を含有するポジ型の感放射線性組成物は、500nm以下の波長の光照射によりキノンジアジド基が分解してカルボキシル基を生じ、結果としてアルカリ不溶状態からアルカリ可溶性になることを利用するものである。このポジ型フォトレジストは解像力が著しく優れているので、ICやLSI等の集積回路の作製に用いられている。キノンジアジド化合物としては、ナフトキノンジアジド化合物が挙げられる。市販品としては例えばFHi622BC」(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)などが挙げられる。
フッ素系ガスと酸素ガス(O2)との混合ガスを用い、支持体が露出しない領域(深さ)までエッチングを行なう第1段階のエッチングと、この第1段階のエッチングの後に、窒素ガス(N2)と酸素ガス(O2)との混合ガスを用い、好ましくは支持体が露出する領域(深さ)付近までエッチングを行なう第2段階のエッチングと、支持体が露出した後に行なうオーバーエッチングとを含む形態が好ましい。以下、ドライエッチングの具体的手法、並びに第1段階のエッチング、第2段階のエッチング、およびオーバーエッチングについて説明する。
(1)第1段階のエッチングにおけるエッチングレート(nm/min)と、第2段階のエッチングにおけるエッチングレート(nm/min)とをそれぞれ算出する。(2)第1段階のエッチングで所望の厚さをエッチングする時間と、第2段階のエッチングで所望の厚さをエッチングする時間とをそれぞれ算出する。(3)上記(2)で算出したエッチング時間に従って第1段階のエッチングを実施する。(4)上記(2)で算出したエッチング時間に従って第2段階のエッチングを実施する。あるいはエンドポイント検出でエッチング時間を決定し、決定したエッチング時間に従って第2段階のエッチングを実施してもよい。(5)上記(3)、(4)の合計時間に対してオーバーエッチング時間を算出し、オーバーエッチングを実施する。
上記のうち、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレートおよびアルキレングリコールモノアルキルエーテルが好ましい。
これら溶媒は、単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。2種以上を混合する場合、水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤とを混合することが好ましい。水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤との質量比は、1/99〜99/1、好ましくは10/90〜90/10、さらに好ましくは20/80〜80/20である。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)とプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)の混合溶剤で、その比率が60/40であることが特に好ましい。なお、汚染物に対する洗浄液の浸透性を向上させるために、洗浄液には前掲の本組成物に関する界面活性剤を添加してもよい。
本発明のカラーフィルタは、CCD、CMOS等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCDやCMOS等に好適である。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、例えば、CCDまたはCMOSを構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
また、着色パターン(着色画素)のサイズ(パターン幅)としては、2.5μm以下が好ましく、2.0μm以下がより好ましく、1.7μm以下が特に好ましい。
本発明の固体撮像素子は、既述の本発明のカラーフィルタを備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明におけるカラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
さらに、上記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
本発明のカラーフィルタは、上記固体撮像素子のみならず、液晶表示装置や有機EL表示装置などの、画像表示装置に用いることができ、特に液晶表示装置の用途に好適である。本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れた高画質画像を表示することができる。
また、本発明におけるカラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color-filter On Array)方式にも供することが可能である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタ層に対する要求特性は、前述のような通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率および剥離液耐性が必要とされることがある。本発明のカラーフィルタにおいては、色相に優れた色素多量体を用いることから、色純度、光透過性などが良好で着色パターン(画素)の色合いに優れるので、解像度が高く長期耐久性に優れたCOA方式の液晶表示装置を提供することができる。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を設けてもよい。
これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
なお、特に断りのない限り、「%」および「部」は質量基準である。
下記キサンテン1〜4は、上述した色素多量体の好ましい形態(A1)に含まれる。下記キサンテン5は、上述した色素多量体の好ましい形態(A2)に含まれる。下記キサンテン6は、上述した色素多量体の好ましい形態(A3)に含まれる。下記キサンテン7、8は、上述した色素多量体の好ましい形態(A4)に含まれる。
<キサンテン1の合成>
(以下のモノマーの共重合体)
特開2011−242752号公報の段落0165に記載の造塩化合物(A−1)の製造方法に従って、色素多量体(キサンテン8)を得た。GPC測定により確認した色素多量体(キサンテン7)の重量平均分子量(Mw)は、10,500であった。
青色顔料分散液の調製
青色顔料分散液1を、以下のようにして調製した。
C.I.Pigment Blue15:6を9.6部(青色顔料、平均粒子サイズ55nm)、および顔料分散剤であるDisperbyk111を3.2部、PGMEA69.8部、シクロヘキサノン17.4部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/分として分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、実施例または比較例の着色組成物に用いる青色用顔料分散液1(C.I.Pigment Blue15:6分散液、顔料濃度12.8質量%)を得た。
下記の各成分を混合して分散、溶解し、実施例0の着色組成物を得た。
なお実施例0を調整する前に、使用溶媒の蒸留および乾燥剤を使用し、系中のトルエン、水分を取り除き、染料、顔料については蒸留水で洗浄、乾燥を繰り返して、系中のNa、Kイオンを取り除いた。その他のモノマー等の素材については使用前に精製を行い、不純物(トルエン、Na、Kイオン等)を除いてから、調整を行った。
・上記青色用顔料分散液1 52.3部
・アルカリ可溶性樹脂1(ベンジルメタクリレート55mol%とメタクリル酸45mol%との共重合体、重量平均分子量10,000、以下、「B1」と呼ぶ) 1.3部
・アルカリ可溶性樹脂2(以下の樹脂、重量平均分子量11,000、以下、「B2」と呼ぶ) 0.2部
24.6部
・フッ素系界面活性剤(DIC(株)製 F−781、PGMEA1質量%溶液)
2.5部
・PGMEA 16.2部
・エマルゲン408(花王製) 0.7部
・p−メトキシフェノール 0.01部
含水率:0.005質量%以下
トルエン濃度:0.001ppm以下
Naイオン濃度:0.001ppm以下
Kイオン濃度:0.001ppm以下
硬化性化合物(モノマー(m−2))
実施例および比較例で得られた組成物の初期での粘度(Vi)を測定し、密閉容器中で5℃100日経時させた。また、経時後の粘度(Vd)を測定した。|Vi―Vd|/Vi×100%の値を計算し、その値により評価を行った。結果を下記表に示す。
6:粘度変化率が0.5%以下(特に良好)
5:粘度変化率が0.5%より高く3%以下(良好)
4:粘度変化率が3%より高く7%以下(やや良好)
3:粘度変化率が7%より高く8%以下(許容範囲内)
2:粘度変化率が8%より高く12%以下(許容範囲外)
1:粘度変化率が12%より高い(許容範囲外)
<パターン形成>
上記のように調製した実施例および比較例の着色組成物の各々を、ガラス基板上に塗布し、着色組成物層(塗布膜)を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.6μmになるように、90℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
実施例および比較例で得られた成膜品(パターン)にガラスカバーを被せ、(酸素供給が遮断され低酸素状態になる)キセノンランプ光源の耐光性試験器であるスガ試験機(株)製、SX75Fを用いて、照度10000ルクスで200時間照射して耐光性試験を行なった。
大塚電子(株)製、MCPD−2000により、照射前後の色差(ΔE*ab)を測定して、評価を行った。結果を下記表に示す。
6:0.5%以下(特に良好)
5:0.5%より高く1%以下(良好)
4:1%より高く2%以下(やや良好)
3:2%より高く3%以下(許容範囲内)
2:3%より高く5%以下(許容範囲外)
1:5%より高い(許容範囲外)
上記で得られた各感放射線性組成物を、塗布後の膜厚が0.6μmになるように、シリコンウェハ上に塗布し、その後ホットプレート上で、100℃で2分間加熱して着色組成物層を得た。
着色組成物層が形成された基板に対して、欠陥評価装置ComPLUS(アプライド・マテリアルズ社製)を使用して、1.0μm以上の大きさの異物をカウントした。
この評価を、着色組成物の調製直後、冷蔵5℃経時1ヶ月後の各々において実施し、異物増加率を下記の判定基準で評価した。
なお、異物増加率は、(冷蔵5℃1ヵ月後の異物数/調製直後の異物数)で算出した。判定基準3以上が実用上望ましい。結果を表に示す。
(判定基準)
6:1.1未満
5:1.1以上1.3未満
4:1.3以上1.5未満
3:1.5以上2.0未満
2:2.0以上3.0未満
1:3.0以上
(下塗り層付シリコンウェハの作製)
レジストCT−4000L溶液(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製;下地透明剤)を、シリコンウェハの上に膜厚0.1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥させて、下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウェハを得た。
(着色パターンの作製)
実施例および比較例の着色組成物を、塗布後の膜厚が0.6μmになるように、下塗り層付きシリコンウェハ上にスピンコート法で塗布し、その後ホットプレート上で、90℃で2分間加熱して着色組成物層を得た。
次いで、得られた着色組成物層に対し、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、3.0μmのアイランドパターンを、マスクを介して300mj/cm2で露光した。次いで、露光後の着色組成物層に対し、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗し、着色パターンを得た。
得られた着色パターンの線幅を測長SEM(商品名:S−7800H、(株)日立製作所製)を用いて観察した。引き置き時間が72時間の場合の1画素内での線幅の最大値と最小値の差を、ウェハ内で任意の10点を測定し平均値を求めた。なお、引き置き時間が0時間の場合は、いずれの実施例、比較例においても平均値は<0.02μmであった。
(判定基準)
6:0.02μm未満(最良)
5:0.02μm以上0.04μm未満(良)
4:0.04μm以上0.06μm未満(やや良)
3:0.06μm以上0.10μm未満(許容内)
2:0.10μm以上0.20μm未満(許容外)
1:0.20μm以上(許容外(最低))
実施例および比較例の組成物を、塗布後の膜厚が0.6μmになるように、シリコンウェハ上に塗布し、ホットプレート上で、100℃で2分間加熱して着色組成物層を得た。その後、1000mJ/cm2の露光量で全面i線露光を行い、ホットプレート上で200℃/10分間の追加過熱を行い初期サンプルとした。
初期サンプルに関して、85℃85%RHの条件下で408時間耐湿を行ったサンプルを耐湿試験後のサンプルとした。
各々のサンプルに対して、欠陥評価装置ComPLUS(アプライド・マテリアルズ社製)を使用して、1.0μm以上の大きさの異物をカウントした。異物増加率を下記の判定基準で評価した。
なお、異物増加率は、(耐湿試験後のサンプルの異物数/初期サンプルの異物数)で算出した。判定基準3以上が実用上望ましい。結果を表に示す。
(判定基準)
6:1.1未満
5:1.1以上1.3未満
4:1.3以上1.5未満
3:1.5以上2.0未満
2:2.0以上3.0未満
1:3.0以上
実施例および比較例の組成物を以下の温度条件で保管した後の、塗布異物の増加率を評価した。
温度条件(1):45℃/24H
温度条件(2):23℃/24H
温度条件(3):−18℃/24H
温度条件(1)、温度条件(2)および温度条件(3)の順序で3回繰り返した後に塗布異物を評価した。
<塗布異物評価>
着色組成物を、塗布後の膜厚が0.6μmになるように、シリコンウェハ上に塗布し、その後ホットプレート上で、90℃で2分間加熱して着色組成物層を得た。
着色組成物層が形成された基板に対して、欠陥評価装置ComPLUS(アプライド・マテリアルズ社製)を使用して、2.0μm以上の大きさの異物をカウントした。
なお、異物増加率は、(サイクルサーモ試験後の異物数/調製直後の異物数)で算出し、以下の区分に従って評価した。
(判定基準)
6:1.1未満(最良)
5:1.1以上1.3未満(良)
4:1.3以上1.5未満(やや良)
3:1.5以上2.0未満(許容内)
2:2.0以上4.0未満(許容外)
1:4.0以上(許容外)
また、着色組成物中のナトリウムイオン濃度およびカリウムイオン濃度の少なくとも一方が0.01〜20ppmであることにより、低温度環境下に長期間置いた場合、異物を発生しにくいことがわかった。
また、着色組成物中の含水率が0.005〜3ppmであることにより、低酸素濃度下に長期間置いても良好な耐光性を維持できることがわかった。
また、実施例79〜86では、長期経時安定性の評価以外のいずれの評価結果も良好であることがわかった。
Claims (13)
- (A)色素多量体と(B)溶剤を含有する着色組成物であって、
(A)色素多量体が、カチオン部位を有するキサンテン色素に由来する部分構造とアニオン部位を有し、
着色組成物中のトルエン濃度が0.001〜10ppmである、着色組成物。 - 着色組成物中の含水率が0.005〜3ppmである、請求項1に記載の着色組成物。
- 着色組成物中のナトリウムイオン濃度およびカリウムイオン濃度の少なくとも一方が0.01〜20ppmである、請求項1または2に記載の着色組成物。
- 前記アニオン部位が低求核性のアニオン部位である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の着色組成物。
- さらにフタロシアニン顔料を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の着色組成物。
- さらに光重合開始剤を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の着色組成物。
- さらに硬化性化合物を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の着色組成物。
- カラーフィルタの着色層形成用である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の着色組成物。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の着色組成物を硬化してなる硬化膜。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の着色組成物を支持体上に適用して着色組成物層を形成する工程と、着色組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程とを含むカラーフィルタの製造方法。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の着色組成物を支持体上に適用して着色組成物層を形成し、硬化して着色層を形成する工程、
着色層上にフォトレジスト層を形成する工程、
露光および現像することによりフォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程、および
レジストパターンをエッチングマスクとして着色層をドライエッチングする工程を含む、カラーフィルタの製造方法。 - 請求項9に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ、または請求項10または11に記載のカラーフィルタの製造方法によって製造したカラーフィルタ。
- 請求項12に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子または画像表示装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015030783A (ja) * | 2013-08-01 | 2015-02-16 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置 |
CN107976866A (zh) * | 2016-10-24 | 2018-05-01 | 东京应化工业株式会社 | 感光性组合物、感光性组合物的制造方法、光聚合引发剂、及光聚合引发剂的制备方法 |
TWI628171B (zh) * | 2016-03-31 | 2018-07-01 | Lg化學股份有限公司 | 包括三級胺之二苯并哌喃類化合物及其製備方法 |
US20190361158A1 (en) * | 2017-03-07 | 2019-11-28 | Fujifilm Corporation | Laminate, optical filter, solid image pickup element, image display device, infrared sensor, and kit |
JPWO2018142804A1 (ja) * | 2017-02-01 | 2019-12-12 | 富士フイルム株式会社 | 樹脂組成物、樹脂膜、樹脂膜の製造方法、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、および、赤外線センサ |
JPWO2019077912A1 (ja) * | 2017-10-20 | 2020-11-05 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、膜の製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6054824B2 (ja) * | 2013-08-01 | 2016-12-27 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置 |
JP6401134B2 (ja) * | 2015-09-10 | 2018-10-03 | 信越化学工業株式会社 | 導電性ポリマー複合体及び基板 |
JP6889543B2 (ja) * | 2016-01-14 | 2021-06-18 | 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. | 染料溶解液の製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000010283A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-01-14 | Nec Corp | 化学増幅系フォトレジスト |
JP2005221655A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Asahi Kasei Chemicals Corp | フレキソ印刷原版用感光性樹脂組成物 |
JP2008242311A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物、並びにそれを用いた色フィルタアレイ及び固体撮像素子 |
JP2009175452A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性組成物、並びにそれを用いた色フィルタアレイ及び固体撮像素子 |
JP2009175451A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性組成物、並びにそれを用いた色フィルタアレイ及び固体撮像素子 |
JP2012032754A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-02-16 | Fujifilm Corp | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、その製造方法、固体撮像素子、液晶表示装置、および色素多量体 |
JP2015030783A (ja) * | 2013-08-01 | 2015-02-16 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5142579B2 (ja) | 2007-04-16 | 2013-02-13 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 着色組成物およびそれを用いたカラーフィルタ |
JP5283747B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2013-09-04 | 富士フイルム株式会社 | 着色感放射線性組成物、カラーフィルタ、その製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置 |
US9052458B2 (en) * | 2011-03-17 | 2015-06-09 | Fujifilm Corporation | Radiation-sensitive colored composition, colored cured film, color filter and method of producing the same, solid-state imaging device, liquid crystal display apparatus, and method of producing dye |
-
2013
- 2013-08-01 JP JP2013160685A patent/JP6147133B2/ja active Active
-
2014
- 2014-07-18 TW TW103124653A patent/TWI615673B/zh active
- 2014-07-30 KR KR1020167002345A patent/KR101851548B1/ko active IP Right Grant
- 2014-07-30 WO PCT/JP2014/070010 patent/WO2015016241A1/ja active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000010283A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-01-14 | Nec Corp | 化学増幅系フォトレジスト |
JP2005221655A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Asahi Kasei Chemicals Corp | フレキソ印刷原版用感光性樹脂組成物 |
JP2008242311A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物、並びにそれを用いた色フィルタアレイ及び固体撮像素子 |
JP2009175452A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性組成物、並びにそれを用いた色フィルタアレイ及び固体撮像素子 |
JP2009175451A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性組成物、並びにそれを用いた色フィルタアレイ及び固体撮像素子 |
JP2012032754A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-02-16 | Fujifilm Corp | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、その製造方法、固体撮像素子、液晶表示装置、および色素多量体 |
JP2015030783A (ja) * | 2013-08-01 | 2015-02-16 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015030783A (ja) * | 2013-08-01 | 2015-02-16 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置 |
TWI628171B (zh) * | 2016-03-31 | 2018-07-01 | Lg化學股份有限公司 | 包括三級胺之二苯并哌喃類化合物及其製備方法 |
CN107976866A (zh) * | 2016-10-24 | 2018-05-01 | 东京应化工业株式会社 | 感光性组合物、感光性组合物的制造方法、光聚合引发剂、及光聚合引发剂的制备方法 |
JP2018072397A (ja) * | 2016-10-24 | 2018-05-10 | 東京応化工業株式会社 | 感光性組成物、感光性組成物の製造方法、光重合開始剤、及び光重合開始剤の調製方法 |
CN107976866B (zh) * | 2016-10-24 | 2021-05-04 | 东京应化工业株式会社 | 感光性组合物、感光性组合物的制造方法、光聚合引发剂、及光聚合引发剂的制备方法 |
JP7194492B2 (ja) | 2016-10-24 | 2022-12-22 | 東京応化工業株式会社 | 感光性組成物、感光性組成物の製造方法、光重合開始剤、及び光重合開始剤の調製方法 |
JPWO2018142804A1 (ja) * | 2017-02-01 | 2019-12-12 | 富士フイルム株式会社 | 樹脂組成物、樹脂膜、樹脂膜の製造方法、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、および、赤外線センサ |
US10988608B2 (en) | 2017-02-01 | 2021-04-27 | Fujifilm Corporation | Resin composition, resin film, method of manufacturing resin film, optical filter, solid-state imaging element, image display device, and infrared sensor |
JP7049272B2 (ja) | 2017-02-01 | 2022-04-06 | 富士フイルム株式会社 | 樹脂組成物、樹脂膜、樹脂膜の製造方法、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、および、赤外線センサ |
US20190361158A1 (en) * | 2017-03-07 | 2019-11-28 | Fujifilm Corporation | Laminate, optical filter, solid image pickup element, image display device, infrared sensor, and kit |
JPWO2019077912A1 (ja) * | 2017-10-20 | 2020-11-05 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、膜の製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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