JP2015026809A5 - - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims 2
- -1 thiol compound Chemical class 0.000 claims 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014040838A JP6332738B2 (ja) | 2013-06-19 | 2014-03-03 | アクチュエータ及びその製造方法、並びに、そのアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
| US14/303,858 US9056454B2 (en) | 2013-06-19 | 2014-06-13 | Actuator, method of manufacturing the actuator, and liquid droplet ejecting head, liquid droplet ejecting apparatus, and image forming apparatus having the actuator |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013128472 | 2013-06-19 | ||
| JP2013128472 | 2013-06-19 | ||
| JP2014040838A JP6332738B2 (ja) | 2013-06-19 | 2014-03-03 | アクチュエータ及びその製造方法、並びに、そのアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015026809A JP2015026809A (ja) | 2015-02-05 |
| JP2015026809A5 true JP2015026809A5 (enExample) | 2017-03-16 |
| JP6332738B2 JP6332738B2 (ja) | 2018-05-30 |
Family
ID=52110572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014040838A Expired - Fee Related JP6332738B2 (ja) | 2013-06-19 | 2014-03-03 | アクチュエータ及びその製造方法、並びに、そのアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9056454B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6332738B2 (enExample) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016042566A (ja) | 2014-08-18 | 2016-03-31 | 株式会社リコー | 電気機械変換膜の製造方法、電気機械変換素子の製造方法、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
| CN105032717B (zh) * | 2015-09-18 | 2017-10-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种封框胶涂布喷嘴及封框胶涂布装置 |
| JP6903865B2 (ja) | 2016-01-22 | 2021-07-14 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子及びその製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
| JP2017199892A (ja) | 2016-02-17 | 2017-11-02 | 株式会社リコー | 電気−機械変換素子とその製造方法、電気−機械変換素子を備えた液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
| JP6720669B2 (ja) | 2016-04-22 | 2020-07-08 | 株式会社リコー | 電気機械変換装置、センサ、アクチュエータ、及びそれらの製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
| US11145803B2 (en) | 2019-07-30 | 2021-10-12 | Ricoh Company, Ltd. | Piezoelectric element substrate, bonded substrate, liquid discharge head, liquid discharge unit, and liquid discharge apparatus |
| JP2021153293A (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子、超音波トランスデューサー、超音波探触子、超音波診断装置及び電気機械変換素子の製造方法 |
| JP7567444B2 (ja) * | 2020-12-22 | 2024-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッド、および液体吐出装置 |
| JP2022139043A (ja) | 2021-03-11 | 2022-09-26 | 株式会社リコー | 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニットおよび液体を吐出する装置 |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3379538B2 (ja) | 1992-04-23 | 2003-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 |
| JP3379106B2 (ja) | 1992-04-23 | 2003-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
| JP3473608B2 (ja) | 1992-04-23 | 2003-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
| JP2003297825A (ja) | 2002-03-28 | 2003-10-17 | Seiko Epson Corp | 強誘電体薄膜の作製方法 |
| JP2003309298A (ja) | 2002-04-18 | 2003-10-31 | Ngk Insulators Ltd | 圧電／電歪素子およびその製造方法 |
| JP2004066496A (ja) * | 2002-08-01 | 2004-03-04 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| KR100519764B1 (ko) * | 2003-03-20 | 2005-10-07 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트헤드의 압전 액츄에이터 및 그 형성 방법 |
| JP4963159B2 (ja) | 2004-11-19 | 2012-06-27 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪デバイス |
| JP4269172B2 (ja) | 2004-12-24 | 2009-05-27 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット塗布用インクおよびその製造方法、ならびに強誘電体膜の製造方法 |
| JP2009252757A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Seiko Epson Corp | 圧電素子およびその製造方法、圧電アクチュエータ、並びに、液体噴射ヘッド |
| JP5585209B2 (ja) | 2009-05-28 | 2014-09-10 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子の製造方法、該製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
| WO2011027879A1 (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-10 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪膜型素子の製造方法 |
| JP5423414B2 (ja) | 2010-01-15 | 2014-02-19 | 株式会社リコー | 電気機械変換膜の製造方法、電気機械変換膜、電気機械変換膜群、電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、電気機械変換素子群、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 |
| JP5526810B2 (ja) | 2010-01-28 | 2014-06-18 | 株式会社リコー | ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| US8833921B2 (en) | 2010-07-30 | 2014-09-16 | Ricoh Company, Limited | Thin-film forming apparatus, thin-film forming method, piezoelectric-element forming method, droplet discharging head, and ink-jet recording apparatus |
| JP5659607B2 (ja) | 2010-07-30 | 2015-01-28 | 株式会社リコー | 薄膜製造方法 |
| JP5853355B2 (ja) | 2010-09-15 | 2016-02-09 | 株式会社リコー | 電機−機械変換膜の製造方法 |
| EP2617076B1 (en) | 2010-09-15 | 2014-12-10 | Ricoh Company, Limited | Electromechanical transducing device and manufacturing method thereof |
| JP5772039B2 (ja) | 2011-02-15 | 2015-09-02 | 株式会社リコー | 電気機械変換膜の製造方法および電気機械変換素子の製造方法 |
| JP5724490B2 (ja) * | 2011-03-16 | 2015-05-27 | 株式会社リコー | 圧電アクチュエータおよびその作製方法、液体吐出ヘッドおよび記録装置 |
| JP5708089B2 (ja) | 2011-03-18 | 2015-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス |
| JP5865601B2 (ja) | 2011-04-28 | 2016-02-17 | 株式会社リコー | 強誘電体膜の製造方法及び強誘電体膜の製造装置 |
| JP2012256756A (ja) | 2011-06-09 | 2012-12-27 | Ricoh Co Ltd | 電気−機械変換膜の形成方法、電気−機械変換膜、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
| JP2013065832A (ja) | 2011-08-31 | 2013-04-11 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換膜の製造方法、電気機械変換素子の製造方法、該製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
| JP5974485B2 (ja) | 2011-09-16 | 2016-08-23 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子の製造方法 |
| US20130164436A1 (en) | 2011-12-27 | 2013-06-27 | Ricoh Company | Thin film manufacturing apparatus, thin film manufacturing method, liquid droplet ejecting head, and inkjet recording apparatus |
| JP6119231B2 (ja) | 2011-12-29 | 2017-04-26 | 株式会社リコー | 強誘電体膜の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法、強誘電体膜製造装置、液体吐出ヘッド製造装置 |
| JP5974486B2 (ja) | 2012-01-10 | 2016-08-23 | 株式会社リコー | 電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド、液滴吐出装置および画像形成装置 |
| JP2013154315A (ja) | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Ricoh Co Ltd | 薄膜形成装置、薄膜形成方法、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド、およびインクジェット記録装置 |
| JP6182968B2 (ja) | 2012-08-14 | 2017-08-23 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び電気機械変換素子の製造方法 |
-
2014
- 2014-03-03 JP JP2014040838A patent/JP6332738B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-06-13 US US14/303,858 patent/US9056454B2/en active Active
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| JP2007152870A5 (enExample) | ||
| JP2005305874A5 (enExample) |