JP2015026721A - Method for manufacturing capacitor element - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品としてのコンデンサ素子の製造方法に関し、より特定的には、所定の方向に沿って交互に積層された誘電体層および内部電極層からなる積層体を含む略直方体形状のコンデンサ素子の製造方法に関する。 The present invention relates to a method of manufacturing a capacitor element as an electronic component, and more specifically, a substantially rectangular parallelepiped capacitor including a laminate composed of dielectric layers and internal electrode layers alternately laminated along a predetermined direction. The present invention relates to a method for manufacturing an element.
近年、コンデンサ素子としての積層セラミックコンデンサにおいては、その小型化および大容量化が飛躍的に進んでいる。その一方で、電子機器の高性能化に伴い、積層セラミックコンデンサに対しては、さらなる大容量化の要求が依然として強くある。この要求に応えるためには、積層配置される内部電極層の互いに対向する部分の面積(すなわち有効面積)を増加させることが効果的である。 In recent years, multilayer ceramic capacitors as capacitor elements have been dramatically reduced in size and capacity. On the other hand, with the improvement in performance of electronic devices, there is still a strong demand for higher capacity for multilayer ceramic capacitors. In order to meet this requirement, it is effective to increase the area (that is, the effective area) of the mutually facing portions of the stacked internal electrode layers.
上記要求に応える一つの手法として、特開平6−349669号公報(特許文献1)および特開2012−209539号公報(特許文献2)には、一対の外部電極を結ぶ方向と直交する方向において内部電極層に隣接して位置する部分の誘電体層(すなわち、内部電極層の積層方向と略平行に延在する積層セラミックコンデンサの4つの外表面のうちの誘電体層が露出している側面を形成する部分の誘電体層)を狭小化させる技術が開示されている。 As one method for meeting the above requirements, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-349669 (Patent Document 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-209539 (Patent Document 2) describe an internal method in a direction orthogonal to a direction connecting a pair of external electrodes. A portion of the dielectric layer located adjacent to the electrode layer (that is, the side surface where the dielectric layer of the four outer surfaces of the multilayer ceramic capacitor extending substantially parallel to the lamination direction of the internal electrode layer is exposed) A technique for narrowing a dielectric layer) to be formed is disclosed.
当該技術は、内部電極層となる導電パターンが印刷されたセラミックグリーンシートを複数枚積層してマザーブロックを製作し、これを切断することによって所定のサイズの複数のグリーンチップに個片化するに際して、グリーンチップの側面に相当する切断面において導電パターンが露出するように切断を行ない、当該切断面に十分に薄く形成された被覆用セラミックグリーンシートを貼り付けることで露出した導電パターンを含む当該切断面を被覆するものであり、これにより上述した積層セラミックコンデンサの側面を形成する部分の誘電体層の狭小化を可能にしている。 This technology is used to manufacture a mother block by laminating a plurality of ceramic green sheets printed with a conductive pattern serving as an internal electrode layer, and cutting the chip into individual green chips of a predetermined size. The cutting including the conductive pattern exposed by cutting the conductive pattern on the cut surface corresponding to the side surface of the green chip so that the conductive pattern is exposed and attaching the ceramic green sheet for coating sufficiently thin on the cut surface. By covering the surface, the dielectric layer in the portion forming the side surface of the multilayer ceramic capacitor described above can be narrowed.
ここで、上記特許文献2には、グリーンチップの側面に相当する切断面に被覆用セラミックグリーンシートを貼り付けるに際し、当該切断面よりも大きい被覆用セラミックグリーンシートを準備してこれを弾性体上に載置し、当該弾性体上に載置された被覆用セラミックグリーンシートに向けてグリーンチップを押し付けることでこれを打ち抜き、さらに被覆用セラミックグリーンシートの打ち抜き部分から残余部分を引き剥がすことにより、簡便にグリーンチップの上記切断面に被覆用セラミックグリーンシートを貼り付けることが可能になることが開示されている。 Here, when the ceramic green sheet for coating is prepared on the cut surface corresponding to the side surface of the green chip, a ceramic green sheet for coating larger than the cut surface is prepared and attached to the elastic body. By punching out the green chip by pressing it against the ceramic green sheet for coating placed on the elastic body, and by peeling the remaining part from the punched part of the ceramic green sheet for coating, It is disclosed that a ceramic green sheet for coating can be easily attached to the cut surface of the green chip.
しかしながら、上記特許文献2に開示された貼り付け方法を採用した場合には、被覆用セラミックグリーンシートにグリーンチップを押し付ける際に打ち抜きが一部において不十分であった場合に、被覆用セラミックグリーンシートの残余部分を引き剥がした後に、当該打ち抜きが不十分であった部分に隣接して位置する部分の被覆用セラミックグリーンシートの残余部分がグリーンチップに付着した状態のままとなり、この部分がグリーンチップから脱離せずにグリーンチップに残留してしまうことがある。
However, when the sticking method disclosed in
このように、被覆用セラミックグリーンシートの残余部分の一部がグリーンチップに残留してしまった場合には、その後に実施される各種の工程において不具合が生じる原因となり、歩留まりが大幅に悪化する問題を招来してしまう。また、仮にグリーンチップに上記残留物が付着したままこれが製品となった場合には、当該部分から水分が積層セラミックコンデンサの内部に侵入してしまうことになり、耐湿性能が劣るものとなって信頼性に悪影響を与えてしまう懸念もある。 As described above, when a part of the remaining part of the ceramic green sheet for coating remains on the green chip, it causes a problem in various processes performed thereafter, and the yield is greatly deteriorated. Will be invited. In addition, if the above residue remains on the green chip and becomes a product, moisture will enter the inside of the multilayer ceramic capacitor from that part, resulting in poor moisture resistance and reliability. There is also a concern of adversely affecting sex.
したがって、本発明は、上述した問題点を解決すべくなされたものであり、小型かつ大容量で高信頼性のコンデンサ素子を歩留まりよく製造することができるコンデンサ素子の製造方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a capacitor element that can manufacture a small, large-capacity, and highly reliable capacitor element with a high yield. And
本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法は、所定の方向に沿って交互に積層された誘電体層および内部電極層からなる積層体を含むコンデンサ素子を製造するための方法であって、上記誘電体層となる複数の第1誘電体グリーンシートが積層されることで構成されるとともに、その内部に上記内部電極層となる導電パターンが形成されてなるグリーン構造体を準備する工程と、上記グリーン構造体の相対して位置する一対の外表面のうちの一方の外表面側において上記グリーン構造体を保持具を用いて保持した状態で、上記グリーン構造体の上記一対の外表面のうちの他方の外表面を弾性体上に載置した第2誘電体グリーンシートに向けて押し付けることで上記グリーン構造体によって上記第2誘電体グリーンシートを打ち抜き、これにより上記第2誘電体グリーンシートの打ち抜き部分を上記グリーン構造体の上記他方の外表面に貼り付ける工程と、上記第2誘電体グリーンシートの上記打ち抜き部分および打ち抜き後の残余部分から上記弾性体を脱離させる工程と、上記第2誘電体グリーンシートの上記打ち抜き部分から上記第2誘電体グリーンシートの上記残余部分を引き剥がす工程とを備えている。上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記第2誘電体グリーンシートを上記グリーン構造体の上記他方の外表面に貼り付ける工程において、上記グリーン構造体の上記他方の外表面が上記第2誘電体グリーンシートの主表面に対して時間差をもって接触するように、上記グリーン構造体の上記他方の外表面を上記第2誘電体グリーンシートの上記主表面に対して傾斜させて押し付けるとともに、上記第2誘電体グリーンシートの上記残余部分を引き剥がす工程において、上記グリーン構造体の上記他方の外表面のうちの上記第2誘電体グリーンシートの上記主表面に先に接触した端部側から後に接触した端部側に向けて上記第2誘電体グリーンシートの上記残余部分を捲るように引き剥がす。 A method for manufacturing a capacitor element according to the present invention is a method for manufacturing a capacitor element including a multilayer body composed of dielectric layers and internal electrode layers alternately stacked along a predetermined direction. A step of preparing a green structure formed by laminating a plurality of first dielectric green sheets to be layers and having a conductive pattern to be the internal electrode layer formed therein; and the green structure The other of the pair of outer surfaces of the green structure is held in a state where the green structure is held using a holding tool on one outer surface side of the pair of outer surfaces positioned opposite to each other. By pressing the outer surface toward the second dielectric green sheet placed on the elastic body, the second dielectric green sheet is punched out by the green structure. Attaching the punched portion of the second dielectric green sheet to the other outer surface of the green structure, and removing the elastic body from the punched portion of the second dielectric green sheet and the remaining portion after punching. And a step of separating the remaining portion of the second dielectric green sheet from the punched portion of the second dielectric green sheet. In the method for manufacturing a capacitor element according to the present invention, in the step of attaching the second dielectric green sheet to the other outer surface of the green structure, the other outer surface of the green structure is The other outer surface of the green structure is inclined and pressed against the main surface of the second dielectric green sheet so as to contact the main surface of the second dielectric green sheet with a time difference. , In the step of peeling off the remaining portion of the second dielectric green sheet, the end side that has previously contacted the main surface of the second dielectric green sheet of the other outer surface of the green structure Then, the remaining part of the second dielectric green sheet is peeled off toward the end side that comes into contact later.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記第2誘電体グリーンシートを上記グリーン構造体の上記他方の外表面に貼り付ける工程において、上記第2誘電体グリーンシートを貼り付ける前の上記グリーン構造体の上記他方の外表面において上記導電パターンが露出していてもよい。 In the method of manufacturing a capacitor element according to the present invention, in the step of attaching the second dielectric green sheet to the other outer surface of the green structure, before attaching the second dielectric green sheet. The conductive pattern may be exposed on the other outer surface of the green structure.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法は、上記第2誘電体グリーンシートを上記グリーン構造体の上記他方の外表面に貼り付ける工程に先立って、上記グリーン構造体の上記一方の外表面に第3誘電体グリーンシートを貼り付ける工程をさらに備えていてもよい。 The method for manufacturing a capacitor element according to the present invention includes the step of attaching the second dielectric green sheet to the one outer surface of the green structure prior to the step of attaching the second dielectric green sheet to the other outer surface of the green structure. You may further provide the process of affixing 3 dielectric green sheets.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記グリーン構造体の上記一方の外表面に上記第3誘電体グリーンシートを貼り付ける工程が、上記グリーン構造体の上記他方の外表面側において上記グリーン構造体を保持具を用いて保持した状態で、上記グリーン構造体の上記一方の外表面を弾性体上に載置した上記第3誘電体グリーンシートに向けて押し付けることで上記グリーン構造体によって上記第3誘電体グリーンシートを打ち抜き、これにより上記第3誘電体グリーンシートの打ち抜き部分を上記グリーン構造体の上記一方の外表面に貼り付ける工程と、上記第3誘電体グリーンシートの上記打ち抜き部分および打ち抜き後の残余部分から上記弾性体を脱離させる工程と、上記第3誘電体グリーンシートの上記打ち抜き部分から上記第3誘電体グリーンシートの上記残余部分を引き剥がす工程とを含んでいてもよい。 In the method of manufacturing a capacitor element according to the present invention, the step of attaching the third dielectric green sheet to the one outer surface of the green structure includes the other outer surface side of the green structure. In the state where the green structure is held using a holder, the one outer surface of the green structure is pressed against the third dielectric green sheet placed on an elastic body to Punching out the third dielectric green sheet by a body, thereby attaching the punched portion of the third dielectric green sheet to the one outer surface of the green structure, and the above-mentioned of the third dielectric green sheet Removing the elastic body from the punched portion and the remaining portion after punching, and punching the third dielectric green sheet From the portion may include the step of peeling the remaining portion of the third dielectric green sheet.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記保持具として、上記グリーン構造体の上記他方の外表面および上記グリーン構造体の上記一方の外表面に貼り付けられた上記第3誘電体グリーンシートの露出表面に接触することで上記グリーン構造体を保持する粘着面を有する粘着保持具を用いることが好ましい。 In the method of manufacturing a capacitor element according to the present invention, as the holder, the third dielectric attached to the other outer surface of the green structure and the one outer surface of the green structure. It is preferable to use an adhesive holder having an adhesive surface for holding the green structure by contacting the exposed surface of the body green sheet.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記グリーン構造体の上記一方の外表面に上記第3誘電体グリーンシートを貼り付ける工程において、上記グリーン構造体の上記他方の外表面に上記粘着保持具の上記粘着面を接触させることで上記グリーン構造体を上記粘着保持具を用いて保持させ、その後に、上記粘着保持具上において上記第3誘電体グリーンシートが貼り付けられた上記グリーン構造体を転動させることにより、上記グリーン構造体の上記一方の外表面に貼り付けられた上記第3誘電体グリーンシートの上記露出表面に上記粘着面を接触させて上記グリーン構造体を上記粘着保持具を用いて保持させることが好ましい。 In the method of manufacturing a capacitor element according to the present invention, in the step of attaching the third dielectric green sheet to the one outer surface of the green structure, the other outer surface of the green structure is attached. The green structure is held using the adhesive holder by contacting the adhesive surface of the adhesive holder, and then the third dielectric green sheet is pasted on the adhesive holder By rolling the green structure, the adhesive structure is brought into contact with the exposed surface of the third dielectric green sheet attached to the one outer surface of the green structure, thereby bringing the green structure into contact with the green structure. It is preferable to hold using an adhesive holder.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記第3誘電体グリーンシートを上記グリーン構造体の上記一方の外表面に貼り付ける工程において、上記第3誘電体グリーンシートを貼り付ける前の上記グリーン構造体の上記一方の外表面において上記導電パターンが露出していてもよい。 In the method of manufacturing a capacitor element according to the present invention, in the step of attaching the third dielectric green sheet to the one outer surface of the green structure, before attaching the third dielectric green sheet. The conductive pattern may be exposed on the one outer surface of the green structure.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記第2誘電体グリーンシートを上記グリーン構造体の上記他方の外表面に貼り付ける工程において、複数の上記グリーン構造体を行状または行列状に配置させた状態で上記保持具を用いて保持することにより、これら複数の上記グリーン構造体の各々に対して一括して上記第2誘電体グリーンシートを貼り付けることとしてもよい。 In the method of manufacturing a capacitor element according to the present invention, in the step of attaching the second dielectric green sheet to the other outer surface of the green structure, a plurality of the green structures are arranged in rows or rows. The second dielectric green sheet may be affixed to each of the plurality of green structures by holding the holder in a state where the second dielectric green sheet is placed.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記グリーン構造体が、上記積層体となる部分を1つのみ含むグリーンチップであってもよい。 In the method for manufacturing a capacitor element according to the present invention, the green structure may be a green chip including only one portion to be the laminated body.
上記本発明に基づくコンデンサ素子の製造方法にあっては、上記グリーン構造体が、上記積層体となる部分を複数含むグリーンブロックであってもよい。 In the method for manufacturing a capacitor element according to the present invention, the green structure may be a green block including a plurality of portions to be the laminate.
本発明によれば、小型かつ大容量で高信頼性のコンデンサ素子を歩留まりよく製造することが可能になる。 According to the present invention, it is possible to manufacture a small, large-capacity and highly reliable capacitor element with a high yield.
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or common parts are denoted by the same reference numerals in the drawings, and description thereof will not be repeated.
本発明が適用されて製造されるコンデンサ素子としては、誘電体材料としてセラミックス材料が使用される積層セラミックコンデンサや、誘電体材料として樹脂フィルムが使用される積層型金属化フィルムコンデンサ等が挙げられるが、以下に示す実施の形態においては、このうちの積層セラミックコンデンサに本発明を適用した場合を例示して説明を行なう。 Examples of the capacitor element manufactured by applying the present invention include a multilayer ceramic capacitor in which a ceramic material is used as a dielectric material, and a multilayer metallized film capacitor in which a resin film is used as a dielectric material. In the following embodiments, a case where the present invention is applied to a multilayer ceramic capacitor will be described as an example.
図1は、本発明の実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法に従って製造された積層セラミックコンデンサの概略斜視図である。図2および図3は、それぞれ図1に示す積層セラミックコンデンサの図1中に示すII−II線およびIII−III線に沿った模式断面図である。また、図4は、図1に示す積層セラミックコンデンサの素体のみの概略斜視図であり、図5は、図4に示す素体の一部を構成する積層体の前駆体であるグリーンチップの概略斜視図である。以下においては、本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法を説明するに先立って、当該コンデンサ素子の製造方法に従って製造された積層セラミックコンデンサについて、これら図1ないし図5を参照して説明する。 FIG. 1 is a schematic perspective view of a multilayer ceramic capacitor manufactured according to the method of manufacturing a capacitor element in the embodiment of the present invention. 2 and 3 are schematic cross-sectional views of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1 taken along lines II-II and III-III shown in FIG. 1, respectively. 4 is a schematic perspective view of only the element body of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a diagram of a green chip that is a precursor of the multilayer body constituting a part of the element body shown in FIG. It is a schematic perspective view. In the following, prior to describing the method for manufacturing a capacitor element in the present embodiment, a multilayer ceramic capacitor manufactured according to the method for manufacturing a capacitor element will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
図1ないし図3に示すように、積層セラミックコンデンサ10は、全体として略直方体形状を有する電子部品であり、素体11と一対の外部電極16とを備えている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the multilayer
図1および図2に示すように、一対の外部電極16は、素体11の所定方向の両端部の外表面を覆うように互いに離間して設けられている。一対の外部電極16は、それぞれ導電膜にて構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the pair of
より詳細には、一対の外部電極16は、たとえば焼結金属層とめっき層との積層膜にて構成される。焼結金属層は、たとえばCu、Ni、Ag、Pd、Ag−Pd合金、Au等のペーストを焼き付けることで形成される。めっき層は、たとえばNiめっき層とこれを覆うSnめっき層とによって構成される。めっき層は、これに代えてCuめっき層やAuめっき層であってもよい。また、一対の外部電極16は、めっき層のみによって構成されていてもよい。
More specifically, the pair of
さらには、一対の外部電極16として、導電性樹脂ペーストを利用することも可能である。一対の外部電極16として導電性樹脂ペーストを利用した場合には、導電性樹脂ペーストに含まれる樹脂成分が素体11において発生した振動を吸収する効果を発揮するため、素体11から外部に伝播する振動を効果的に減衰させることが可能になり、騒音の低減に有利である。
Further, a conductive resin paste can be used as the pair of
図1ないし図4に示すように、素体11は、所定の方向に沿って交互に積層された誘電体層13および内部電極層14からなる積層体12と、当該積層体12の所定部位を覆う一対の付加誘電体層15とを含んでいる。
As shown in FIGS. 1 to 4, the
誘電体層13および付加誘電体層15は、たとえばチタン酸バリウムを主成分とするセラミックス材料にて形成されている。また、誘電体層13および付加誘電体層15は、後述するセラミックグリーンシートの原料となるセラミックス粉末の副成分としてのMn化合物、Mg化合物、Si化合物、Co化合物、Ni化合物、希土類化合物等を含んでいてもよい。一方、内部電極層14は、たとえばNi、Cu、Ag、Pd、Ag−Pd合金、Au等に代表される金属材料にて形成されている。
図2に示すように、積層方向に沿って誘電体層13を挟んで隣り合う一対の内部電極層14のうちの一方は、積層セラミックコンデンサ10の内部において一対の外部電極16のうちの一方に電気的に接続されており、積層方向に沿って誘電体層13を挟んで隣り合う一対の内部電極層14のうちの他方は、積層セラミックコンデンサ10の内部において一対の外部電極16のうちの他方に電気的に接続されている。これにより、一対の外部電極16間は、複数のコンデンサ要素が電気的に並列に接続された構造となっている。
As shown in FIG. 2, one of the pair of internal electrode layers 14 adjacent to each other with the
なお、誘電体層13および付加誘電体層15の材質は、上述したチタン酸バリウムを主成分とするセラミックス材料に限られず、他の高誘電率のセラミックス材料(たとえば、CaTiO3、SrTiO3、CaZrO3等を主成分とするもの)を誘電体層13および付加誘電体層15の材質として選択してもよい。また、誘電体層13の材質と付加誘電体層15の材質とを一致させる必要性は必ずしもなく、誘電体層13および付加誘電体層15の材質として主成分が異なるセラミックス材料を利用することとしてもよい。一方、内部電極層14の材質も、上述した金属材料に限られず、他の導電材料を内部電極層14の材質として選択してもよい。
The material of the
ここで、図1ないし図3を参照して、積層セラミックコンデンサ10の向きを表わす用語として、一対の外部電極16が並ぶ方向を積層セラミックコンデンサ10の長さ方向Lとして定義し、誘電体層13と内部電極層14との積層方向を厚み方向Tとして定義し、これら長さ方向Lおよび厚み方向Tのいずれにも直交する方向を幅方向Wとして定義し、以下の説明においては、これら用語を使用する。
Here, referring to FIGS. 1 to 3, as a term indicating the direction of the multilayer
また、略直方体形状の積層セラミックコンデンサ10の6つの外表面のうち、長さ方向Lにおいて相対して位置する一対の外表面を端面10aと定義し、厚み方向Tにおいて相対して位置する一対の外表面を主面10bと定義し、幅方向Wにおいて相対して位置する一対の外表面を側面10cとして定義し、以下の説明においては、これら用語を使用する。
Of the six outer surfaces of the substantially rectangular parallelepiped
加えて、図4および図5を参照して、積層セラミックコンデンサ10の一対の端面10aに対応する素体11の一対の外表面およびグリーンチップ22の一対の外表面について、これらをそれぞれ端面11aおよび端面22aとして定義し、積層セラミックコンデンサ10の一対の主面10bに対応する素体11の一対の外表面およびグリーンチップ22の一対の外表面について、これらをそれぞれ主面11bおよび主面22bとして定義し、積層セラミックコンデンサ10の一対の側面10cに対応する素体11の一対の外表面およびグリーンチップ22の一対の外表面について、これらをそれぞれ側面11cおよび側面22cとして定義し、以下の説明においては、これら用語を使用する。
In addition, referring to FIG. 4 and FIG. 5, the pair of outer surfaces of the
なお、図1ないし図3に示すように、本実施の形態における積層セラミックコンデンサ10は、長さ方向Lに沿った外形寸法が最も長くなるように構成された細長の略直方体形状を有している。当該積層セラミックコンデンサ10の長さ方向Lの外形寸法および幅方向Wの外形寸法(通常、厚み方向Tの外形寸法は、幅方向Wの外形寸法と同等とされる)の代表値としては、たとえば3.2[mm]×1.6[mm]、2.0[mm]×1.25[mm]、1.6[mm]×0.8[mm]、1.0[mm]×0.5[mm]、0.8[mm]×0.4[mm]、0.6[mm]×0.3[mm]、0.4[mm]×0.2[mm]等が挙げられる。
As shown in FIGS. 1 to 3, the multilayer
図4に示すように、一対の付加誘電体層15は、素体11の一対の側面11cを構成するように、幅方向Wにおいて相対して位置する積層体12の一対の外表面を覆っている。一方、素体11の一対の端面11aは、主として長さ方向Lにおいて相対して位置する積層体12の一対の外表面によって構成されており、素体11の一対の主面11bは、主として厚み方向Tにおいて相対して位置する積層体12の一対の外表面によって構成されている。
As shown in FIG. 4, the pair of additional
図5に示すように、積層体12の前駆体であるグリーン構造体としてのグリーンチップ22は、誘電体層13となる第1誘電体グリーンシートとしての積層用セラミックグリーンシート23の表面に内部電極層14となる導電パターン24が印刷された素材シートを複数枚積層して切断することにより、図示する如くの略直方体形状を有するように形成されたものである。
As shown in FIG. 5, the
グリーンチップ22の一対の端面22aにおいては、それぞれ積層配置された導電パターン24のうちの一部が選択的に露出している。より具体的には、グリーンチップ22の一対の端面22aにおいては、それぞれ当該端面22aを覆うように形成される外部電極16に接続されるべき導電パターン24の長さ方向Lにおける片側の端部が露出している。一方、グリーンチップ22の一対の側面22cにおいては、それぞれ積層配置された導電パターン24のすべての幅方向Wにおける端部が露出している。
On the pair of end faces 22a of the
グリーンチップ22の一対の側面22cには、これを覆うように第2および第3誘電体グリーンシートしての被覆用セラミックグリーンシート(図25等において符号25b,26bにて示す部位がこれに相当)がそれぞれ対応付けて貼り付けられる。これにより、上述したグリーンチップ22の一対の側面22cにおいて露出している導電パターン24の幅方向Wにおける端部が当該被覆用セラミックグリーンシートによって覆われた状態とされ、さらに当該被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられた状態にあるグリーンチップ22が熱圧着されて焼成されることにより、図4に示す如くの素体11が製作されることになる。
A pair of side surfaces 22c of the
以上において説明した積層セラミックコンデンサ10においては、素体11の幅方向Wにおける両端部に位置する部分の誘電体層が、積層体12の幅方向Wにおいて相対して位置する一対の外表面を覆うように貼り付けられた、焼成後において付加誘電体層15となる被覆用セラミックグリーンシートにて構成されることになるため、貼り付ける被覆用セラミックグリーンシートの厚みを十分に薄くすることにより、積層セラミックコンデンサ10の側面10cを形成する部分の誘電体層の厚みを狭小化することができる。したがって、当該構造を採用することにより、その体格に対して内部電極層14を幅方向Wに沿って大型化することで有効面積を増大させることが可能になり、従来に比して小型で大容量の積層セラミックコンデンサとすることができる。
In the multilayer
図6は、本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法を概略的に示すフロー図であり、図7ないし図25は、図6に示す工程のうちの特定の工程を示す概略図である。次に、これら図6ないし図25を参照して、本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法について説明する。 FIG. 6 is a flowchart schematically showing a method for manufacturing a capacitor element in the present embodiment, and FIGS. 7 to 25 are schematic views showing specific steps among the steps shown in FIG. Next, with reference to these FIG. 6 thru | or FIG. 25, the manufacturing method of the capacitor | condenser element in this Embodiment is demonstrated.
本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法は、製造過程の途中段階まで一括して加工処理を行なうことで積層セラミックコンデンサの中核となる部品材料(マザーブロック)を一つの塊として製作し、その後にこれを切断して個片化し、個片化後の部品材料(すなわち、上述したグリーンチップ)にさらに加工処理を施すことによって複数の積層セラミックコンデンサを同時に大量に生産する生産方法に本発明を適用した場合の例である。 The capacitor element manufacturing method according to the present embodiment is a batch processing until the middle of the manufacturing process, and the component material (mother block) that is the core of the multilayer ceramic capacitor is manufactured as one lump, and then The present invention is applied to a production method in which a plurality of multi-layer ceramic capacitors are simultaneously produced in large quantities by cutting them into pieces and further processing the separated parts material (that is, the above-mentioned green chip). This is an example.
図6に示すように、本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法は、順に、マザーブロックが製作される工程(工程S1)と、マザーブロックが切断される工程(工程S2)と、被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられる工程(工程S3)と、熱圧着が実施される工程(工程S4)と、バレル研磨が実施される工程(工程S5)と、焼成が実施される工程(工程S6)と、外部電極が形成される工程(工程S7)とを主として備えている。 As shown in FIG. 6, the capacitor element manufacturing method according to the present embodiment includes, in order, a step of manufacturing a mother block (step S1), a step of cutting the mother block (step S2), and a coating ceramic. A step of attaching a green sheet (step S3), a step of performing thermocompression bonding (step S4), a step of performing barrel polishing (step S5), and a step of performing baking (step S6); And a step of forming external electrodes (step S7).
マザーブロックが製作される工程(工程S1)においては、まず、セラミックス粉末、バインダおよび溶剤を含むセラミックスラリーが準備され、このセラミックスラリーがキャリアフィルム上においてダイコータまたはグラビアコータ等を用いてシート状に成形されることでセラミックグリーンシートが製作される。次に、このセラミックグリーンシートに導電ペーストが所定のパターンを有するようにスクリーン印刷またはグラビア印刷等によって印刷される。 In the step of manufacturing the mother block (step S1), first, a ceramic slurry containing ceramic powder, a binder and a solvent is prepared, and this ceramic slurry is formed into a sheet shape on a carrier film using a die coater or a gravure coater. As a result, a ceramic green sheet is produced. Next, the ceramic green sheet is printed by screen printing or gravure printing so that the conductive paste has a predetermined pattern.
これにより、上述したように、誘電体層13となる積層用セラミックグリーンシート23の表面に内部電極層14となる導電パターン24が印刷された素材シートが準備されることになり、これら素材シートが所定のルールに従って複数枚積層されて熱圧着されることでマザーブロック20(図7参照)が製作される。
As a result, as described above, a material sheet in which the
マザーブロックが切断される工程(工程S2)は、順に、マザーブロックが第1保持用粘着シートに貼り付けられる工程と、マザーブロックが分断されてグリーンチップに個片化される工程とを含んでいる。 The step of cutting the mother block (step S2) includes, in order, the step of attaching the mother block to the first holding adhesive sheet and the step of dividing the mother block into pieces into green chips. Yes.
図7は、マザーブロックが第1保持用粘着シートに貼り付けられる工程を示す概略図であり、図8は、マザーブロックが分断されてグリーンチップに個片化される工程を示す概略図である。 FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a process in which the mother block is attached to the first holding pressure-sensitive adhesive sheet, and FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a process in which the mother block is divided and separated into green chips. .
図7に示すように、マザーブロックが第1保持用粘着シートに貼り付けられる工程においては、準備したマザーブロック20の一対の主表面のうちの一方に第1保持用粘着シート31が貼り付けられる。
As shown in FIG. 7, in the step of attaching the mother block to the first holding adhesive sheet, the first holding
これにより、マザーブロック20は、第1保持用粘着シート31によって保持された状態となる。ここで、第1保持用粘着シート31としては、粘着性を有するものであれば各種のものが利用できるが、たとえば加熱により粘着性が低下する発泡剥離シートが好適に利用できる。
As a result, the
図8に示すように、マザーブロックが分断されてグリーンチップに個片化される工程においては、マザーブロック20を第1保持用粘着シート31によって保持した状態のままこれらがテーブル32上に載置され、マザーブロック20を行列状に分断するように切断刃33を用いて切断が行なわれる。
As shown in FIG. 8, in the process of dividing the mother block into pieces into green chips, these are placed on the table 32 while the
これにより、マザーブロック20が分断されて複数のグリーンチップ22に個片化される。マザーブロック20の切断には、切断刃33として押切刃(ブレード)を用いた押し切りや、切断刃33として切削刃(ダイサー)を用いたダイシングが利用できる。
Thereby, the
こうして得られた複数のグリーンチップ22は、図5において示した構造を有することになり、導電パターン24が露出した切断面としての一対の端面22aおよび一対の側面22c(図8以降の図においては、これら一対の側面22cの各々を区別するために、必要に応じて一方の側面を符号22c1にて示すとともに他方の側面を符号22c2にて示すこととする)を有することになる。
The plurality of
なお、マザーブロック20の切断に先だってマザーブロック20に第1保持用粘着シート31が貼り付けられているため、マザーブロック20が複数のグリーンチップ22に分断された後においても、個々のグリーンチップ22が第1保持用粘着シート31によって保持された状態が維持される。そのため、複数のグリーンチップ22は、第1保持用粘着シート31によって行列状に整列した状態で保持されることになる。
Since the first holding
ここで、個片化された複数のグリーンチップ22の各々は、略直方体形状を有することになるが、図8に示すように切断刃33が先細りの形状を有していることに起因し、切断工程においてマザーブロック20に断面視略V字状の切断溝が形成されることに伴い、厳密な意味においては、切断面としての上記一対の端面22aおよび一対の側面22c1,22c2は、傾斜した形状を有することになる。当該一対の端面22aおよび一対の側面22c1,22c2の傾斜の度合いは、切断刃33として押切刃を用いた場合よりも切削刃を用いた場合に顕著となる。
Here, each of the plurality of separated
これに伴い、図8に示すように、個片化された複数のグリーンチップ22の各々は、厳密な意味においては、切断面としての上記一対の端面22aおよび一対の側面22c1,22c2の角部の内角が90°を僅かに下回る概ね四角錐台状となったり、あるいは歪んだ立方体状となったりする。
Accordingly, as shown in FIG. 8, each of the plurality of separated
より具体的には、グリーンチップ22が四角錐台状になった場合においては、グリーンチップ22の一対の主面22bのうち、第1保持用粘着シート31によって保持されていない方の主面の幅寸法が、第1保持用粘着シート31によって保持されている方の主面の幅寸法よりも数μm〜数十μm程度小さくなる。なお、図8においては、理解を容易にするために、当該一対の側面22c1,22c2の傾斜の度合いを実際よりも強調して描画している(以降において参照する図9ないし図25においても同様である)。
More specifically, when the
被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられる工程(工程S3)は、マザーブロックの切断後において隣り合うように位置することとなったグリーンチップ間の距離が広げられる工程と、グリーンチップの向きが変えられる第1転動工程と、グリーンチップの一方の側面に被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられる第1貼り付け工程と、第1貼り付け工程においてグリーンチップに貼り付けられた被覆用セラミックグリーンシートの残余部分が引き剥がされる第1引き剥がし工程と、グリーンチップの向きが再度変えられる第2転動工程と、グリーンチップの他方の側面に被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられる第2貼り付け工程と、第2貼り付け工程においてグリーンチップに貼り付けられた被覆用セラミックグリーンシートの残余部分が引き剥がされる第2引き剥がし工程とを含んでいる。 In the step of attaching the covering ceramic green sheet (step S3), the distance between the green chips that are positioned adjacent to each other after cutting the mother block is increased, and the direction of the green chip is changed. A first rolling step, a first attaching step in which a covering ceramic green sheet is attached to one side surface of the green chip, and a remaining portion of the covering ceramic green sheet attached to the green chip in the first attaching step A first peeling step in which the part is peeled off, a second rolling step in which the orientation of the green chip is changed again, a second attaching step in which a ceramic green sheet for coating is attached to the other side surface of the green chip, Ceramic grease for coating applied to the green chip in the second application process Remainder of Nshito contains a second peeling process is peeled off.
図9は、マザーブロックの切断後において隣り合うように位置することとなったグリーンチップ間の距離が広げられる工程を示す概略図である。 FIG. 9 is a schematic diagram showing a process of increasing the distance between green chips that are positioned adjacent to each other after cutting the mother block.
図9に示すように、隣り合うグリーンチップ間の距離が広げられる工程においては、まず、第1保持用粘着シート31によって行列状に整列して保持されていた複数のグリーンチップ22が、第2保持用粘着シート41に当該行列状に整列した状態が維持されたまま移し替えられる。ここで、第2保持用粘着シート41としては、粘着性を有するとともに加熱により伸長するエキスパンドシートが利用できる。
As shown in FIG. 9, in the step of increasing the distance between adjacent green chips, first, the plurality of
この移し替えは、たとえば、複数のグリーンチップ22を第1保持用粘着シート31に貼り付けた状態のまま、第1保持用粘着シート31に貼り付けられた主面とは反対側に位置する主面に第2保持用粘着シート41を貼り付け、その後、上記第1保持用粘着シート31を複数のグリーンチップ22から剥がすことで実現できる。なお、第2保持用粘着シート41として、第1保持用粘着シート31よりも粘着力の強いものを用いれば、よりスムーズにその移し替え作業が実施できる。
This transfer is performed, for example, in a state where the plurality of
次に、第2保持用粘着シート41が図中に示す矢印方向に向けて図示しないエキスパンド装置によって拡張されることにより、第2保持用粘着シート41が伸長され、これによって行列状に配置された複数のグリーンチップ22が互いに離間するように移動し、隣り合うグリーンチップ22間の距離G1,G2が広げられる。このとき、隣り合うグリーンチップ22間のうちの側面22cが対向する方向の距離G1は、後述する第1および第2転動工程において隣り合うグリーンチップ22同士が接触することがない程度にまで広げられる。
Next, the second holding pressure-
なお、第2保持用粘着シート41としては、拡張後において元の状態に復帰しない可塑性を有するエキスパンドシートを使用することが好ましく、当該特性を有するエキスパンドシートを利用することにより、以降の工程におけるハンドリングが容易に行なえることになる。
As the second holding pressure-
図10ないし図12は、グリーンチップの向きが変えられる第1転動工程を示す概略図である。 10 to 12 are schematic views illustrating a first rolling process in which the direction of the green chip is changed.
グリーンチップの向きが変えられる第1転動工程においては、まず、図10に示すように、複数のグリーンチップ22が第2保持用粘着シート41によって保持された状態のまま当該第2保持用粘着シート41が支持板42に貼り付けられ、さらに複数のグリーンチップ22の第2保持用粘着シート41によって保持されていない主面の各々に接触するように作用板43が配置される。ここで、支持板42および作用板43としては、シリコーンラバー製のものが好適に使用できる。
In the first rolling step in which the orientation of the green chip is changed, first, as shown in FIG. 10, the second holding adhesive remains in a state where the plurality of
次に、図10に示すように、作用板43を固定した状態とし、支持板42が図中に示す矢印A1方向に向けて移動される。これにより、作用板43とグリーンチップ22との間の摩擦により、第2保持用粘着シート41の粘着力に抗してグリーンチップ22が図中に示す矢印B1方向に向けて回転することになり、第2保持用粘着シート41によって保持されていたグリーンチップ22の主面が浮き上がる。
Next, as shown in FIG. 10, the
その後、図11に示すように、さらに支持板42が図中に示す矢印A1方向に向けて移動されることにより、グリーンチップ22の側面22c1が第2保持用粘着シート41に接触する。
Thereafter, as shown in FIG. 11, the
以上により、図12に示すように、図10に示す状態から複数のグリーンチップ22が一括して略90°回転することになり、複数のグリーンチップ22の側面22c2がそれぞれ第2保持用粘着シート41の主表面の法線方向に向けて露出した状態になるとともに、当該状態を維持すべく複数のグリーンチップ22が側面22c1側において粘着保持具としての第2保持用粘着シート41によって保持されることになる。
Thus, as shown in FIG. 12, the plurality of
図13ないし図15は、グリーンチップの一方の側面に被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられる第1貼り付け工程を示す概略図である。 13 to 15 are schematic views showing a first attaching process in which a covering ceramic green sheet is attached to one side surface of the green chip.
グリーンチップの一方の側面に被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられる第1貼り付け工程においては、まず、図13に示すように、第2保持用粘着シート41によって保持された複数のグリーンチップ22の側面22c2が下方を向くように支持板42が配置されるとともに、当該複数のグリーンチップ22の下方に第3誘電体グリーンシートとしての被覆用セラミックグリーンシート25が複数のグリーンチップ22と向き合うように配置される。
In the first attaching step in which the covering ceramic green sheet is attached to one side surface of the green chip, first, as shown in FIG. 13, the plurality of
ここで、被覆用セラミックグリーンシート25は、弾性体51上に展開した状態で配置され、弾性体51は、テーブル52上に載置される。また、被覆用セラミックグリーンシート25としては、上述した積層用セラミックグリーンシート23と同様に、セラミックス粉末、バインダおよび溶剤を含むセラミックスラリーを原料としてシート状に成形されたものが用いられる。
Here, the covering ceramic
次に、図13中において示す矢印C1方向に向けて支持板42が下降させられることにより、図14に示すように、複数のグリーンチップ22が被覆用セラミックグリーンシート25に向けてそれぞれ押し付けられる。その際、複数のグリーンチップ22の各々は、当該複数のグリーンチップ22に被覆用セラミックグリーンシート25を介して接触する部分の弾性体51がそれぞれその近傍において弾性変形する程度の押し付け力をもって被覆用セラミックグリーンシート25に向けて押し付けられる。
Next, by lowering the
これにより、複数のグリーンチップ22と弾性体51とによって挟み込まれた部分の被覆用セラミックグリーンシート25が複数のグリーンチップ22の側面22c2にそれぞれ圧着されることになるとともに、複数のグリーンチップ22の側面22c2の端部において剪断力が被覆用セラミックグリーンシート25に作用することで被覆用セラミックグリーンシート25が打ち抜かれる。
Thereby, the covering ceramic
以上により、被覆用セラミックグリーンシート25は、複数のグリーンチップ22の各々によって打ち抜かれた打ち抜き部分25bと、打ち抜き後の残余部分25cとに分かれることになり、当該打ち抜き部分25bによって複数のグリーンチップ22の側面22c2のそれぞれが覆われることになる。
As described above, the covering ceramic
なお、被覆用セラミックグリーンシート25を複数のグリーンチップ22に貼り付けるに際しては、必要に応じて、複数のグリーンチップ22の側面22c2または/および被覆用セラミックグリーンシート25の主表面25aに図示しない接着剤が予め塗布されていてもよい。ここで、使用可能な接着剤としては、各種の樹脂成分を主成分とするもの、または当該樹脂成分を溶剤中に溶解させたもの、あるいはその中にセラミックス粒子を分散させたペースト等が挙げられる。また、接着剤の塗布方法も特に制限されるものではなく、各種の方法が利用できる。
Note that when the covering ceramic
ここで、上述したように、複数のグリーンチップ22の各々は、一対の側面22c1,22c2が傾斜した形状を有する略四角錐台状の形状を有しているため、これら複数のグリーンチップ22の一方の側面22c1が第2保持用粘着シート41にそれぞれ貼り付けられてグリーンチップ22が保持されることにより、複数のグリーンチップ22の他方の側面22c2は、いずれも被覆用セラミックグリーンシート25の主表面25aに対して傾斜した状態にある。
Here, as described above, each of the plurality of
したがって、支持板42が下降される際に、複数のグリーンチップ22の側面22c2の各々は、被覆用セラミックグリーンシート25の主表面25aに対して時間差をもって接触することになる。より具体的には、図14に示すように、グリーンチップ22の側面22c2のうち、より下方に位置する端部P1が被覆用セラミックグリーンシート25の主表面25aに先に接触することになり、より上方に位置する端部P2が被覆用セラミックグリーンシート25の主表面25aに後に接触することになる。
Therefore, when the
次に、図15に示すように、矢印D1方向に向けて支持板42が上昇させられることにより、複数のグリーンチップ22が弾性体51から遠ざけられる。その際、被覆用セラミックグリーンシート25の打ち抜き部分25bのみならず残余部分25cについても、これが複数のグリーンチップ22に付着した状態で当該複数のグリーンチップ22とともに上昇する。これにより、被覆用セラミックグリーンシート25の全体が、弾性体51から脱離することになる。
Next, as shown in FIG. 15, the plurality of
図16は、第1貼り付け工程においてグリーンチップに貼り付けた被覆用セラミックグリーンシートの残余部分が引き剥がされる第1引き剥がし工程を示す概略図である。また、図17は、当該第1引き剥がし工程後のグリーンチップの状態を示す概略図である。 FIG. 16 is a schematic diagram showing a first peeling process in which the remaining portion of the covering ceramic green sheet attached to the green chip in the first attaching process is peeled off. FIG. 17 is a schematic view showing the state of the green chip after the first peeling process.
図16に示すように、被覆用セラミックグリーンシートの残余部分が引き剥がされる第1引き剥がし工程においては、複数のグリーンチップ22に付着している被覆用セラミックグリーンシート25の残余部分25cのうち、上述したグリーンチップ22の側面22c2のうちの端部P1が位置する側の終端部25dが剥離装置の剥離ロール60によって保持され、当該剥離ロール60によって被覆用セラミックグリーンシート25の残余部分25cが巻き取られることで被覆用セラミックグリーンシート25の残余部分25cが複数のグリーンチップ22から引き剥がされる。
As shown in FIG. 16, in the first peeling process in which the remaining portion of the covering ceramic green sheet is peeled off, among the remaining
このとき、被覆用セラミックグリーンシート25の残余部分25cは、図中に示す矢印E1方向に向けて引っ張られることになり、個々のグリーンチップ22の側面22c2のうちの被覆用セラミックグリーンシート25の主表面25aに先に接触した端部P1側から後に接触した端部P2側に向けて捲るように引き剥がされる。
At this time, the remaining
これにより、被覆用セラミックグリーンシート25の残余部分25cは、複数のグリーンチップ22からすべて取り除かれることになり、図17に示すように、複数のグリーンチップ22の側面22c2に貼り付けられた部分の被覆用セラミックグリーンシート(すなわち、上述した打ち抜き部分25b)のみが複数のグリーンチップ22に残留することになる。なお、その詳細については、後述することとする。
As a result, the remaining
図18ないし図20は、グリーンチップの向きが変えられる第2転動工程を示す概略図である。 18 to 20 are schematic views showing a second rolling process in which the direction of the green chip is changed.
グリーンチップの向きが変えられる第2転動工程においては、まず、図18に示すように、複数のグリーンチップ22の第2保持用粘着シート41によって保持されていない主面に貼り付けられた被覆用セラミックグリーンシート25の打ち抜き部分25bの露出表面の各々に接触するように作用板43が配置される。
In the second rolling step in which the orientation of the green chip is changed, first, as shown in FIG. 18, a coating adhered to the main surface that is not held by the second holding
次に、作用板43を固定した状態とし、支持板42が図中に示す矢印A2方向に向けて移動される。これにより、作用板43と被覆用セラミックグリーンシート25の打ち抜き部分25bとの間の摩擦により、第2保持用粘着シート41の粘着力に抗してグリーンチップ22が図中に示す矢印B2方向に向けて回転することになり、図19に示すように、複数のグリーンチップ22が一括して略90°回転する。
Next, the
その後、図19に示すように、さらに支持板42が図中に示す矢印A2方向に向けて移動される。これにより、作用板43と被覆用セラミックグリーンシート25の打ち抜き部分25bとの間の摩擦および作用板43とグリーンチップ22との間の摩擦により、第2保持用粘着シート41の粘着力に抗してグリーンチップ22が図中に示す矢印B2方向に向けてさらに回転することになり、図20に示すように、複数のグリーンチップ22が一括してさらに略90°回転し、被覆用セラミックグリーンシート25の打ち抜き部分25bの露出表面が第2保持用粘着シート41に接触する。
Thereafter, as shown in FIG. 19, the
以上により、図18に示す状態から複数のグリーンチップ22が一括して略180°回転することになり、複数のグリーンチップ22の側面22c1がそれぞれ第2保持用粘着シート41の主表面の法線方向に向けて露出した状態になるとともに、当該状態を維持すべく複数のグリーンチップ22が側面22c2側において粘着保持具としての第2保持用粘着シート41によって保持されることになる。
Accordingly, the plurality of
図21ないし図23は、グリーンチップの他方の側面に被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられる第2貼り付け工程を示す概略図である。 21 to 23 are schematic views showing a second attaching step in which a covering ceramic green sheet is attached to the other side surface of the green chip.
グリーンチップの他方の側面に被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられる第2貼り付け工程においては、上述した第1貼り付け工程の場合と同様に、まず、図21に示すように、第2保持用粘着シート41によって保持された複数のグリーンチップ22の側面22c1が下方を向くように支持板42が配置されるとともに、当該複数のグリーンチップ22の下方に第2誘電体グリーンシートとしての被覆用セラミックグリーンシート26が複数のグリーンチップ22と向き合うように配置される。
In the second attaching step in which the covering ceramic green sheet is attached to the other side surface of the green chip, as in the case of the first attaching step described above, first, as shown in FIG. A
ここで、被覆用セラミックグリーンシート26は、弾性体51上に展開した状態で配置され、弾性体51は、テーブル52上に載置される。また、被覆用セラミックグリーンシート26としては、上述した積層用セラミックグリーンシート23と同様に、セラミックス粉末、バインダおよび溶剤を含むセラミックスラリーを原料としてシート状に成形されたものが用いられる。
Here, the covering ceramic
次に、図21中において示す矢印C2方向に向けて支持板42が下降させられることにより、図22に示すように、複数のグリーンチップ22が被覆用セラミックグリーンシート26に向けてそれぞれ押し付けられる。その際、複数のグリーンチップ22の各々は、当該複数のグリーンチップ22に被覆用セラミックグリーンシート26を介して接触する部分の弾性体51がそれぞれその近傍において弾性変形する程度の押し付け力をもって被覆用セラミックグリーンシート26に向けて押し付けられる。
Next, the
これにより、複数のグリーンチップ22と弾性体51とによって挟み込まれた部分の被覆用セラミックグリーンシート26が複数のグリーンチップ22の側面22c1にそれぞれ圧着されることになるとともに、複数のグリーンチップ22の側面22c1の端部において剪断力が被覆用セラミックグリーンシート26に作用することで被覆用セラミックグリーンシート26が打ち抜かれる。
Thereby, the covering ceramic
以上により、被覆用セラミックグリーンシート26は、複数のグリーンチップ22の各々によって打ち抜かれた打ち抜き部分26bと、打ち抜き後の残余部分26cとに分かれることになり、当該打ち抜き部分26bによって複数のグリーンチップ22の側面22c1のそれぞれが覆われることになる。
As described above, the covering ceramic
なお、被覆用セラミックグリーンシート26を複数のグリーンチップ22に貼り付けるに際しては、必要に応じて、複数のグリーンチップ22の側面22c1または/および被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに図示しない接着剤が予め塗布されていてもよい。ここで、使用可能な接着剤としては、各種の樹脂成分を主成分とするもの、または当該樹脂成分を溶剤中に溶解させたもの、あるいはその中にセラミックス粒子を分散させたペースト等が挙げられる。また、接着剤の塗布方法も特に制限されるものではなく、各種の方法が利用できる。
When the covering ceramic
ここで、上述したように、複数のグリーンチップ22の各々は、一対の側面22c1,22c2が傾斜した形状を有する略四角錐台状の形状を有しているため、これら複数のグリーンチップ22の他方の側面22c2に貼り付けられた被覆用セラミックグリーンシート25の打ち抜き部分25bの露出表面が第2保持用粘着シート41にそれぞれ貼り付けられてグリーンチップ22が保持されることにより、複数のグリーンチップ22の一方の側面22c1は、いずれも被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに対して傾斜した状態にある。
Here, as described above, each of the plurality of
したがって、支持板42が下降される際に、複数のグリーンチップ22の側面22c1の各々は、被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに対して時間差をもって接触することになる。より具体的には、図22に示すように、グリーンチップ22の側面22c1のうち、より下方に位置する端部P3が被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに先に接触することになり、より上方に位置する端部P4が被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに後に接触することになる。
Therefore, when the
次に、図23に示すように、矢印D2方向に向けて支持板42が上昇させられることにより、複数のグリーンチップ22が弾性体51から遠ざけられる。その際、被覆用セラミックグリーンシート26の打ち抜き部分26bのみならず残余部分26cについても、これが複数のグリーンチップ22に付着した状態で当該複数のグリーンチップ22とともに上昇する。これにより、被覆用セラミックグリーンシート26の全体が、弾性体51から脱離することになる。
Next, as shown in FIG. 23, the plurality of
図24は、第2貼り付け工程においてグリーンチップに貼り付けた被覆用セラミックグリーンシートの残余部分が引き剥がされる第2引き剥がし工程を示す概略図である。また、図25は、当該第2引き剥がし工程後のグリーンチップの状態を示す概略図である。 FIG. 24 is a schematic view showing a second peeling process in which the remaining portion of the covering ceramic green sheet attached to the green chip in the second attaching process is peeled off. FIG. 25 is a schematic view showing the state of the green chip after the second peeling process.
図24に示すように、被覆用セラミックグリーンシートの残余部分が引き剥がされる第2引き剥がし工程においては、上述した第1引き剥がし工程と同様に、複数のグリーンチップ22に付着している被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cのうち、上述したグリーンチップ22の側面22c1のうちの端部P3が位置する側の終端部26dが剥離装置の剥離ロール60によって保持され、当該剥離ロール60によって被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cが巻き取られることで被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cが複数のグリーンチップ22から引き剥がされる。
As shown in FIG. 24, in the second peeling process in which the remaining part of the ceramic green sheet for coating is peeled off, as in the first peeling process described above, the coating material attached to the plurality of
このとき、被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cは、図中に示す矢印E2方向に向けて引っ張られることになり、個々のグリーンチップ22の側面22c1のうちの被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに先に接触した端部P3側から後に接触した端部P4側に向けて捲るように引き剥がされる。
At this time, the remaining
これにより、被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cは、複数のグリーンチップ22からすべて取り除かれることになり、図25に示すように、複数のグリーンチップ22の側面22c1に貼り付けられた部分の被覆用セラミックグリーンシート(すなわち、上述した打ち抜き部分26b)のみが複数のグリーンチップ22に残留することになる。なお、その詳細については、後述することとする。
As a result, the remaining
以上の工程を経ることにより、グリーンチップ22の一対の側面22c1,22c2に、当該一対の側面22c1,22c2に対応した形状および大きさで被覆用セラミックグリーンシート25,26がそれぞれ対応付けて貼り付けられることになる。
Through the above steps, the ceramic
熱圧着が実施される工程(工程S4)においては、上述した被覆用セラミックグリーンシート25,26が貼り付けられた後のグリーンチップ22が所定の温度に加熱された状態とされ、当該状態において弾性体等を用いて被覆用セラミックグリーンシート25,26の露出面が互いにグリーンチップ22側に向けて押圧されることにより、熱圧着処理が施される。これにより、被覆用セラミックグリーンシート25,26の打ち抜き部分25b,26bのグリーンチップ22に対する密着性が向上することになる。
In the step (step S4) in which the thermocompression bonding is performed, the
バレル研磨が実施される工程(工程S5)においては、上述した熱圧着が施された後のグリーンチップ22(当該グリーンチップ22に貼り付けられた被覆用セラミックグリーンシート25,26の打ち抜き部分25b,26bを含む)が、バレルと呼ばれる小箱内にセラミックス材料よりも硬度の高いメディアボールとともに封入され、当該バレルを回転させることにより、研磨処理が施される。これにより、グリーンチップ22および被覆用セラミックグリーンシート25,26の外表面(特に角部やコーナー部)に曲面状の丸みが持たされる。
In the step (step S5) in which barrel polishing is performed, the
焼成が実施される工程(工程S6)においては、バレル研磨が施された後のグリーンチップ22(当該グリーンチップ22に貼り付けられた被覆用セラミックグリーンシート25,26の打ち抜き部分25b,26bを含む)が所定の温度に加熱され、これによりセラミックス材料の焼結処理が施される。当該処理により、グリーンチップ22は、図2において示した素体11となる。
In the step where the firing is performed (step S6), the
外部電極が形成される工程(工程S7)においては、素体11の一対の端面11aに導電性ペーストが塗布されることで金属層が形成され、形成された金属層に焼き付け処理が施され、さらにその後に、焼き付けられた金属層上にNiめっき、Snめっきを順に施すことで一対の外部電極16が形成される。
In the step of forming the external electrode (step S7), a metal layer is formed by applying a conductive paste to the pair of end faces 11a of the
以上において説明した一連の工程を経ることにより、図1ないし図3に示した構造を有する積層セラミックコンデンサ10の製造が完了する。
Through the series of steps described above, the manufacture of the multilayer
上述したように、本実施の形態におけるコンデンサの製造方法にあっては、グリーン構造体としてのグリーンチップ22に付加誘電体層15となる被覆用セラミックグリーンシート25,26が貼り付けられる第1貼り付け工程および第2貼り付け工程において、被覆用セラミックグリーンシート25,26の残余部分25c,26cを複数のグリーンチップ22からすべて取り除くことを可能にしている。
As described above, in the method for manufacturing a capacitor according to the present embodiment, the first attachment in which the covering ceramic
すなわち、前述したように、被覆用セラミックグリーンシート25,26にグリーンチップ22が押し付けられる際において、仮に被覆用セラミックグリーンシート25,26の打ち抜きが一部において不十分であった場合には、被覆用セラミックグリーンシート25,26の残余部分25c,26cを引き剥がした後においても、当該打ち抜きが不十分であった端部P2,P4に隣接して位置する部分の被覆用セラミックグリーンシート25,26の残余部分25c,26cが上記側面22c1,22c2に連続して位置する部分の外表面に付着した状態のままとなり、この部分がグリーンチップ22から脱離せずにグリーンチップ22に残留してしまう懸念がある。
That is, as described above, when the
しかしながら、上述したように、本実施の形態におけるコンデンサの製造方法にあっては、図14および図22に示すように、グリーンチップ22の側面22c1,22c2が被覆用セラミックグリーンシート25,26の主表面25a,26aに対してそれぞれ時間差をもって接触するように、グリーンチップ22の側面22c1,22c2が被覆用セラミックグリーンシート25,26の主表面25a,26aに対してそれぞれ傾斜させた状態で押し付けられるため、グリーンチップ22の上記側面22c1,22c2のうち、被覆用セラミックグリーンシート25,26の主表面25a,26aに先に接触した端部P1,P3側において剪断力を確実に被覆用セラミックグリーンシート25,26に作用させることが可能とされており、これにより当該部分において打ち抜きが確実に行なわれるようにしている。そのため、打ち抜きが不十分になるおそれのある部分を、グリーンチップ22の上記側面22c1,22c2のうち、被覆用セラミックグリーンシート25,26の主表面25a,26aに後に接触した端部P2,P4側に集約することを可能にしている。
However, as described above, in the capacitor manufacturing method according to the present embodiment, as shown in FIGS. 14 and 22, the side surfaces 22c1 and 22c2 of the
一方で、上述したように、本実施の形態におけるコンデンサの製造方法にあっては、図16および図24に示すように、グリーンチップ22の側面22c1,22c2のうちの被覆用セラミックグリーンシート25,26の主表面25a,26aに先に接触した端部P1,P3側から後に接触した端部P2,P4側に向けて被覆用セラミックグリーンシート25,26の残余部分25c,26cがそれぞれ捲るように引き剥がされるため、仮に被覆用セラミックグリーンシート25,26の主表面25a,26aに後に接触した端部P2,P4側において打ち抜きが不十分であった場合にも、上記側面22c1,22c2に連続して位置する部分の外表面に付着した、当該打ち抜きが不十分であった部分に隣接して位置する部分の被覆用セラミックグリーンシート25,26の残余部分25c,26cに対して引き剥がしのための引っ張り力を確実に作用させることが可能とされており、これにより被覆用セラミックグリーンシート25,26の主表面25a,26aに後に接触した端部P2,P4側においても、残らず被覆用セラミックグリーンシート25,26の残余部分25c,26cを引き剥がすことが可能とされている。
On the other hand, as described above, in the method of manufacturing a capacitor according to the present embodiment, as shown in FIGS. 16 and 24, the ceramic
したがって、本実施の形態におけるコンデンサの製造方法を採用することにより、被覆用セラミックグリーンシート25,26の残余部分25c,26cを複数のグリーンチップ22からすべて取り除くことが可能になる。そのため、本実施の形態におけるコンデンサの製造方法を採用することにより、被覆用セラミックグリーンシート25,26の残余部分25c,26cの一部がグリーンチップ22に残留してしまうことに起因する各種の不具合の発生を防止することが可能になり、結果として、小型かつ大容量で高信頼性のコンデンサ素子を歩留まりよく製造することが実現可能になる。
Therefore, by adopting the capacitor manufacturing method according to the present embodiment, it is possible to remove all of the remaining
ここで、上述した第1貼り付け工程と第2貼り付け工程とを比較した場合には、第1貼り付け工程においてグリーンチップ22が直接第2保持用粘着シート41によって保持されているのに対し、第2貼り付け工程においてグリーンチップ22が当該グリーンチップ22に先に貼り付けられた被覆用セラミックグリーンシート25を介して第2保持用粘着シート41によって保持されている点において相違している。そのため、特に上述した第2貼り付け工程においては、先に貼り付けられた当該被覆用セラミックグリーンシート25がクッションとして機能してしまうことにより、第1貼り付け工程の場合よりも、グリーンチップ22の側面22c2のうちの被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに後に接触した端部P4側において打ち抜きが不十分となるおそれが高まることになる。したがって、本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法を採用することによって得られる効果は、上記第2貼り付け工程においてより意味のあるものとなる。
Here, when comparing the above-described first attaching step and the second attaching step, the
そこで、上記効果を確認するために、本発明者は、上述した第2貼り付け工程において、被覆用セラミックグリーンシート26の引き剥がし方向を、グリーンチップ22の側面22c2のうちの被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに先に接触した端部P3側から後に接触した端部P4側に向けて引き剥がす方向とした場合と、これとは逆に、グリーンチップ22の側面22c2のうちの被覆用セラミックグリーンシート26の主表面26aに後に接触した端部P4側から先に接触した端部P3側に向けて引き剥がす方向とした場合とを、それぞれ実際に適用することで被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cを引き剥がすこととし、その場合に被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cの一部がどの程度グリーンチップ22に残留してしまうかを比較する実験を行なった。
Therefore, in order to confirm the above-described effect, the present inventor sets the peeling direction of the covering ceramic
その結果、端部P3側から端部P4側に向けて被覆用セラミックグリーンシート26を引き剥がすこととした場合(すなわち、本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法が適用された場合)においては、グリーンチップ22に対する被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cの残留が生じたサンプルが、100サンプル中0サンプルであったのに対し、端部P4側から端部P3側に向けて被覆用セラミックグリーンシート26を引き剥がすこととした場合(すなわち、本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法が適用されていない場合)においては、グリーンチップ22に対する被覆用セラミックグリーンシート26の残余部分26cの残留が生じたサンプルが、100サンプル中50サンプルにのぼることが確認された。
As a result, in the case where the covering ceramic
上記結果により、本実施の形態におけるコンデンサ素子の製造方法を採用することによって上述した如くの効果が得られることが、実験的にも確認されたと言える。 From the above results, it can be said that it has been experimentally confirmed that the effects as described above can be obtained by employing the method of manufacturing a capacitor element according to the present embodiment.
以上において説明した本実施の形態においては、グリーン構造体としてのグリーンチップの一対の側面にそれぞれ被覆用セラミックグリーンシートを貼り付ける場合の双方に本発明が適用されて被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられることとした場合を例示したが、必ずしもそのように構成される必要はなく、少なくとも一対の側面のうちの一方に本発明が適用されて被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられことで上述した効果の少なくとも一部を得ることができる。 In the present embodiment described above, the present invention is applied to both the case where the covering ceramic green sheet is attached to each of the pair of side surfaces of the green chip as the green structure, and the covering ceramic green sheet is attached. However, it is not necessarily required to be configured as such, and the effect described above is achieved by applying the present invention to at least one of the pair of side surfaces and attaching the covering ceramic green sheet. You can get at least part of.
また、上述した本実施の形態においては、切断工程においてマザーブロックを行列状に切断することにより、予め製品に含まれる積層体となる部分を1つのみ含むグリーン構造体としてのグリーンチップに個片化した後に、これら複数のグリーンチップに一括して被覆用セラミックグリーンシートを貼り付けることで図2に示す素体の前駆体を得る手順のコンデンサ素子の製造方法に本発明を適用した場合を例示して説明を行なったが、切断工程においてマザーブロックを行状にのみ切断することにより、製品に含まれる積層体となる部分を複数含むグリーン構造体としての棒状のグリーンブロックに一旦個片化し、個片化後のこれら複数の棒状のグリーンブロックのそれぞれに被覆用セラミックグリーンシートを貼り付け、さらにその後に被覆用セラミックグリーンシートが貼り付けられた複数の棒状のグリーンブロックのそれぞれを再度切断して図2に示す素体の前駆体を得る手順のコンデンサ素子の製造方法に本発明を適用することも可能である。 Further, in the above-described embodiment, the mother blocks are cut in a matrix in the cutting step, so that the green chip as a green structure including only one portion that becomes a laminated body included in the product in advance is obtained. 2 illustrates an example in which the present invention is applied to a method of manufacturing a capacitor element having a procedure for obtaining a precursor of an element body shown in FIG. In the cutting process, the mother block is cut only in rows, so that it is once separated into rod-like green blocks as green structures including a plurality of portions to be laminated bodies included in the product. A ceramic green sheet for coating is attached to each of the plurality of rod-shaped green blocks after singulation, and then It is also possible to apply the present invention to a method of manufacturing a capacitor element in a procedure in which each of a plurality of rod-shaped green blocks to which a covering ceramic green sheet is attached is cut again to obtain a precursor of an element body shown in FIG. It is.
また、上述した本実施の形態においては、グリーン構造体としての複数のグリーンチップに一括して被覆用セラミックグリーンシートを貼り付けることとした場合を例示して説明を行なったが、単一のグリーン構造体に個別に被覆用セラミックグリーンシートを貼り付ける場合にも、当然に本発明の適用が可能である。 In the above-described embodiment, the case where the ceramic green sheets for coating are collectively pasted to a plurality of green chips as the green structure has been described as an example. Of course, the present invention can also be applied to the case where the ceramic green sheet for coating is individually attached to the structure.
また、上述した本実施の形態においては、グリーンチップの側面を被覆用セラミックグリーンシートの主表面に対して傾斜させた状態で押し付けるための具体的な方法として、切断工程において使用する切断刃の形状に起因してグリーンチップが概ね四角錐台状の形状を有することを利用した場合を例示して説明を行なったが、他の方法を用いてこれを実現することも当然に可能である。 In the above-described embodiment, the shape of the cutting blade used in the cutting process is a specific method for pressing the side surface of the green chip in a state where the side surface of the green chip is inclined with respect to the main surface of the coating ceramic green sheet. The case where the green chip has a substantially quadrangular pyramid shape due to the above has been described as an example, but it is naturally possible to realize this by using other methods.
さらには、上述した本実施の形態においては、グリーン構造体としてのグリーンチップに被覆用セラミックグリーンシートを貼り付けるに際して使用する保持具として、グリーンチップを粘着保持する粘着保持具としての第2粘着保持シートを使用した場合を例示したが、他の機構の保持具を用いてグリーン構造体を保持した状態でグリーン構造体に被覆用セラミックグリーンシートを貼り付けることも当然に可能である。 Further, in the above-described embodiment, the second adhesive holding as an adhesive holding tool for sticking and holding the green chip is used as a holding tool used when the coating ceramic green sheet is attached to the green chip as the green structure. Although the case where the sheet is used has been illustrated, it is naturally possible to attach the coating ceramic green sheet to the green structure in a state where the green structure is held using a holder of another mechanism.
このように、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。 Thus, the above-described embodiment disclosed herein is illustrative in all respects and is not restrictive. The technical scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
10 積層セラミックコンデンサ、10a 端面、10b 主面、10c 側面、11 素体、11a 端面、11b 主面、11c 側面、12 積層体、13 誘電体層、14 内部電極層、15 付加誘電体層、16 外部電極、20 マザーブロック、22 グリーンチップ、22a 端面、22b 主面、22c,22c1,22c2 側面、23 積層用セラミックグリーンシート、24 導電パターン、25,26 被覆用セラミックグリーンシート、25a,26a 主表面、25b,26b 打ち抜き部分、25c,26c 残余部分、25d,26d 終端部、31 第1保持用粘着シート、32 テーブル、33 切断刃、41 第2保持用粘着シート、42 支持板、43 作用板、51 弾性体、52 テーブル、60 剥離ロール、P1〜P4 端部。
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記誘電体層となる複数の第1誘電体グリーンシートが積層されることで構成されるとともに、その内部に前記内部電極層となる導電パターンが形成されてなるグリーン構造体を準備する工程と、
前記グリーン構造体の相対して位置する一対の外表面のうちの一方の外表面側において前記グリーン構造体を保持具を用いて保持した状態で、前記グリーン構造体の前記一対の外表面のうちの他方の外表面を弾性体上に載置した第2誘電体グリーンシートに向けて押し付けることで前記グリーン構造体によって前記第2誘電体グリーンシートを打ち抜き、これにより前記第2誘電体グリーンシートの打ち抜き部分を前記グリーン構造体の前記他方の外表面に貼り付ける工程と、
前記第2誘電体グリーンシートの前記打ち抜き部分および打ち抜き後の残余部分から前記弾性体を脱離させる工程と、
前記第2誘電体グリーンシートの前記打ち抜き部分から前記第2誘電体グリーンシートの前記残余部分を引き剥がす工程とを備え、
前記第2誘電体グリーンシートを前記グリーン構造体の前記他方の外表面に貼り付ける工程において、前記グリーン構造体の前記他方の外表面が前記第2誘電体グリーンシートの主表面に対して時間差をもって接触するように、前記グリーン構造体の前記他方の外表面を前記第2誘電体グリーンシートの前記主表面に対して傾斜させて押し付け、
前記第2誘電体グリーンシートの前記残余部分を引き剥がす工程において、前記グリーン構造体の前記他方の外表面のうちの前記第2誘電体グリーンシートの前記主表面に先に接触した端部側から後に接触した端部側に向けて前記第2誘電体グリーンシートの前記残余部分を捲るように引き剥がす、コンデンサ素子の製造方法。 A method of manufacturing a capacitor element for manufacturing a capacitor element including a laminate composed of dielectric layers and internal electrode layers alternately laminated along a predetermined direction,
A step of preparing a green structure formed by laminating a plurality of first dielectric green sheets serving as the dielectric layers and having a conductive pattern serving as the internal electrode layer formed therein;
Among the pair of outer surfaces of the green structure, in a state where the green structure is held using a holding tool on one outer surface side of the pair of outer surfaces positioned relative to the green structure. The second dielectric green sheet is punched out by the green structure by pressing the other outer surface of the second dielectric green sheet against the second dielectric green sheet placed on the elastic body. A step of attaching a punched portion to the other outer surface of the green structure;
Detaching the elastic body from the punched portion and the remaining portion after punching of the second dielectric green sheet;
Peeling the remaining part of the second dielectric green sheet from the punched part of the second dielectric green sheet,
In the step of attaching the second dielectric green sheet to the other outer surface of the green structure, the other outer surface of the green structure has a time difference with respect to the main surface of the second dielectric green sheet. Inclining and pressing the other outer surface of the green structure against the main surface of the second dielectric green sheet so as to contact,
In the step of peeling off the remaining portion of the second dielectric green sheet, the end of the other outer surface of the green structure that has previously contacted the main surface of the second dielectric green sheet A method of manufacturing a capacitor element, wherein the remaining portion of the second dielectric green sheet is peeled away toward an end side that comes into contact later.
その後に、前記粘着保持具上において前記第3誘電体グリーンシートが貼り付けられた前記グリーン構造体を転動させることにより、前記グリーン構造体の前記一方の外表面に貼り付けられた前記第3誘電体グリーンシートの前記露出表面に前記粘着面を接触させて前記グリーン構造体を前記粘着保持具を用いて保持させる、請求項5に記載のコンデンサ素子の製造方法。 In the step of attaching the third dielectric green sheet to the one outer surface of the green structure, the green surface is obtained by bringing the adhesive surface of the adhesive holder into contact with the other outer surface of the green structure. Hold the structure using the adhesive holder,
Then, the third structure attached to the one outer surface of the green structure by rolling the green structure to which the third dielectric green sheet is attached on the adhesive holder. 6. The method of manufacturing a capacitor element according to claim 5, wherein the adhesive surface is brought into contact with the exposed surface of a dielectric green sheet and the green structure is held using the adhesive holder.
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