JP2022020865A - Multilayer ceramic electronic component - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a multilayer ceramic electronic component to which damage is hardly applied to a ridge par of a lamination body.
SOLUTION: A manufacturing method of a multilayer ceramic electronic component, includes: a plurality of ceramic layers laminated in one axial direction; a plurality of inner electrodes arranged between the plurality of ceramic layers; first and second main surfaces directed to the one axial direction; first and second side surfaces connecting the first and second main surfaces, and from which the plurality of inner electrodes is exposed; and a ridge part connecting the first and second main surfaces at an obtuse angle, and manufactures the lamination body of which the first main surface is held by a holding member. By rotating and moving the lamination body on the holding member while using the ridge part as a support axis, a holding surface held by the holding member on the lamination body is changed to the first side surface from the first main surface. A side margin part is formed on the second side surface of the lamination body of which the first side surface is held by the holding member.
SELECTED DRAWING: Figure 11
COPYRIGHT: (C)2022,JPO&INPIT

Description

本発明は、サイドマージン部を後付けする積層セラミック電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component to which a side margin portion is retrofitted.

特許文献1には、積層セラミックコンデンサを製造するための技術が開示されている。この技術では、セラミックシートを積層した積層シートを切断し、内部電極が露出した切断面を側面とする複数の積層体を作製する。そして、積層体の側面に、内部電極の周囲の絶縁性を確保するためのサイドマージン部を形成する。 Patent Document 1 discloses a technique for manufacturing a monolithic ceramic capacitor. In this technique, a laminated sheet in which ceramic sheets are laminated is cut to produce a plurality of laminated bodies having a cut surface on which an internal electrode is exposed as a side surface. Then, a side margin portion for ensuring the insulating property around the internal electrode is formed on the side surface of the laminated body.

特許文献1に記載の技術では、積層シートを切断した直後の状態において、積層体の側面が横方向を向いているため、積層体の側面にサイドマージン部を形成することが困難である。このため、この技術では、サイドマージン部を形成する前に、積層体を90度転動させることによって、積層体の側面を上方向に向ける。 In the technique described in Patent Document 1, it is difficult to form a side margin portion on the side surface of the laminated body because the side surface of the laminated body faces in the lateral direction immediately after the laminated sheet is cut. Therefore, in this technique, the side surface of the laminated body is turned upward by rolling the laminated body 90 degrees before forming the side margin portion.

特開2012-209539号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-209039

特許文献1に記載の技術では、積層体が転動する際に、積層体の稜部が転動の回動中心となる支軸として機能するため、積層体の稜部に応力が集中しやすい。したがって、積層体を転動させる技術では、積層体の稜部に欠けなどの損傷が加わりやすい。これにより、積層セラミックコンデンサの製造歩留まりが低下する。 In the technique described in Patent Document 1, when the laminated body rolls, the ridge portion of the laminated body functions as a support axis that becomes the center of rotation of the rolling structure, so that stress tends to concentrate on the ridge portion of the laminated body. .. Therefore, in the technique of rolling the laminated body, damage such as chipping is likely to be added to the ridge portion of the laminated body. As a result, the manufacturing yield of the monolithic ceramic capacitor is lowered.

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、積層体の稜部に損傷が加わりにくい積層セラミック電子部品の製造方法を提供することにある。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component in which the ridge portion of the laminated body is not easily damaged.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法では、一軸方向に積層した複数のセラミック層と、上記複数のセラミック層の間に配置された複数の内部電極と、上記一軸方向を向いた第1及び第2主面と、上記第1及び第2主面を接続し、上記複数の内部電極が露出する第1及び第2側面と、上記第1主面と上記第1側面とを鈍角で接続する稜部と、を有し、上記第1主面が保持部材によって保持された積層体が作製される。
上記積層体を上記保持部材上で上記稜部を支軸として転動させることにより、上記積層体における上記保持部材によって保持される保持面が上記第1主面から上記第1側面に変更される。
上記第1側面を上記保持部材によって保持された上記積層体の上記第2側面にサイドマージン部が形成される。
In order to achieve the above object, in the method for manufacturing a laminated ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention, a plurality of ceramic layers laminated in the uniaxial direction and a plurality of internal electrodes arranged between the plurality of ceramic layers are used. , The first and second main surfaces facing the uniaxial direction, the first and second side surfaces connecting the first and second main surfaces, and the plurality of internal electrodes exposed, and the first main surface. A laminated body having a ridge portion connecting the first side surface at an obtuse angle and having the first main surface held by a holding member is produced.
By rolling the laminated body on the holding member with the ridge portion as a support axis, the holding surface held by the holding member in the laminated body is changed from the first main surface to the first side surface. ..
A side margin portion is formed on the second side surface of the laminated body in which the first side surface is held by the holding member.

この構成の積層体では、転動の回動中心となる支軸として機能する第1主面と第1側面とを接続する稜部における接続角が鈍角である。このため、この積層体が転動する際の稜部への応力の集中が抑制される。このため、積層セラミック電子部品の製造方法では、積層体の稜部に損傷が加わりにくい。 In the laminated body having this configuration, the connection angle at the ridge portion connecting the first main surface and the first side surface, which functions as a support shaft that is the center of rotation of rolling, is obtuse. Therefore, the concentration of stress on the ridge when the laminated body rolls is suppressed. Therefore, in the method for manufacturing the laminated ceramic electronic component, the ridge portion of the laminated body is less likely to be damaged.

上記第1及び第2側面が相互に平行であってもよい。
上記第2側面でセラミックシートを打ち抜くことによって上記サイドマージン部が形成されてもよい。
この構成では、転動後の複数の積層体の第2側面を同一平面上に配置することができる。これにより、複数の積層体の第2側面に一括してサイドマージン部を形成可能となる。このため、積層セラミック電子部品の製造効率が向上する。
The first and second sides may be parallel to each other.
The side margin portion may be formed by punching the ceramic sheet on the second side surface.
In this configuration, the second side surfaces of the plurality of laminated bodies after rolling can be arranged on the same plane. This makes it possible to collectively form side margin portions on the second side surface of the plurality of laminated bodies. Therefore, the manufacturing efficiency of the laminated ceramic electronic component is improved.

上記鈍角が93°より小さくてもよい。
この構成では、稜部における接続角を鈍角にすることによる積層体の寸法の変化を小さく留めることができる。これにより、積層セラミック電子部品の実装面積を小さく維持することができる。
The obtuse angle may be smaller than 93 °.
In this configuration, it is possible to keep the change in the dimensions of the laminated body small by making the connection angle at the ridge portion obtuse. As a result, the mounting area of the laminated ceramic electronic component can be kept small.

以上述べたように、本発明によれば、積層体の稜部に損傷が加わりにくい積層セラミック電子部品の製造方法を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component in which the ridge portion of the laminated body is not easily damaged.

本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの斜視図である。It is a perspective view of the multilayer ceramic capacitor which concerns on one Embodiment of this invention. 上記積層セラミックコンデンサの図1のA-A'線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the AA'line of FIG. 1 of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの図1のB-B'線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the BB'line of FIG. 1 of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing process of the said monolithic ceramic capacitor.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
図面には、適宜相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸、Y軸、及びZ軸は全図において共通である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
The drawings show X-axis, Y-axis, and Z-axis that are orthogonal to each other as appropriate. The X-axis, Y-axis, and Z-axis are common to all drawings.

[積層セラミックコンデンサ10の構成]
図1~3は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10を示す図である。図1は、積層セラミックコンデンサ10の斜視図である。図2は、積層セラミックコンデンサ10の図1のA-A'線に沿った断面図である。図3は、積層セラミックコンデンサ10の図1のB-B'線に沿った断面図である。
[Structure of Multilayer Ceramic Capacitor 10]
1 to 3 are views showing a multilayer ceramic capacitor 10 according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of the monolithic ceramic capacitor 10. FIG. 2 is a cross-sectional view of the monolithic ceramic capacitor 10 along the AA'line of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the monolithic ceramic capacitor 10 along the line BB'of FIG.

積層セラミックコンデンサ10は、セラミック素体11と、第1外部電極14と、第2外部電極15と、を具備する。セラミック素体11の外面は、X軸方向を向いた第1及び第2端面と、Y軸方向を向いた第1及び第2側面と、Z軸方向を向いた第1及び第2主面と、を有する。 The multilayer ceramic capacitor 10 includes a ceramic prime field 11, a first external electrode 14, and a second external electrode 15. The outer surfaces of the ceramic prime field 11 include first and second end faces facing the X-axis direction, first and second side surfaces facing the Y-axis direction, and first and second main faces facing the Z-axis direction. , Have.

各外部電極14,15は、セラミック素体11の第1及び第2端面を覆い、セラミック素体11を挟んでX軸方向に対向している。外部電極14,15は、セラミック素体11の各端面から主面及び側面に延出している。これにより、外部電極14,15では、X-Z平面に平行な断面、及びX-Y平面に平行な断面がいずれもU字状となっている。 The external electrodes 14 and 15 cover the first and second end faces of the ceramic element 11 and face each other in the X-axis direction with the ceramic element 11 interposed therebetween. The external electrodes 14 and 15 extend from each end surface of the ceramic prime field 11 to the main surface and the side surface. As a result, in the external electrodes 14 and 15, the cross section parallel to the XY plane and the cross section parallel to the XY plane are both U-shaped.

なお、外部電極14,15の形状は、図1に示すものに限定されない。例えば、外部電極14,15は、セラミック素体11の端面から一方の主面のみに延び、X-Z平面に平行な断面がL字状となっていてもよい。また、外部電極14,15は、いずれの主面及び側面にも延出していなくてもよい。 The shapes of the external electrodes 14 and 15 are not limited to those shown in FIG. For example, the external electrodes 14 and 15 may extend from the end surface of the ceramic prime field 11 to only one main surface, and may have an L-shaped cross section parallel to the XX plane. Further, the external electrodes 14 and 15 do not have to extend to any of the main surfaces and side surfaces.

外部電極14,15は、電気の良導体により形成されている。外部電極14,15を形成する電気の良導体としては、例えば、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。 The external electrodes 14 and 15 are formed of good electric conductors. Examples of good electrical conductors forming the external electrodes 14 and 15 include copper (Cu), nickel (Ni), tin (Sn), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), and gold (Au). Examples thereof include metals or alloys whose main components are such as.

セラミック素体11は、誘電体セラミックスで形成され、積層体16と、サイドマージン部17と、を有する。積層体16は、Y軸方向を向いた第1及び第2側面S1,S2と、Z軸方向を向いた第1及び第2主面M1,M2と、を有する。第1及び第2主面M1,M2は、X-Y平面に沿って延びている。 The ceramic prime field 11 is made of dielectric ceramics and has a laminated body 16 and a side margin portion 17. The laminated body 16 has first and second side surfaces S1 and S2 facing the Y-axis direction, and first and second main surfaces M1 and M2 facing the Z-axis direction. The first and second main surfaces M1 and M2 extend along the XY plane.

積層体16は、第1及び第2稜部R1,R2を更に有する。第1稜部R1は、第1主面M1と第1側面S1とを90°よりもやや大きい鈍角の接続角θ1で接続する。第2稜部R2は、第1主面M1と第2側面S2とを90°よりもやや小さい鋭角の接続角θ2で接続する。つまり、側面S1,S2は、X-Z平面に対してやや傾いている。 The laminated body 16 further has first and second ridges R1 and R2. The first ridge portion R1 connects the first main surface M1 and the first side surface S1 at an obtuse angle θ1 slightly larger than 90 °. The second ridge portion R2 connects the first main surface M1 and the second side surface S2 at an acute angle θ2 slightly smaller than 90 °. That is, the side surfaces S1 and S2 are slightly inclined with respect to the XZ plane.

積層体16の側面S1,S2は相互に平行であることが好ましい。これにより、積層体16の側面S1,S2にサイドマージン部17を効率的に形成可能となる。サイドマージン部17の形成方法については、後述する積層セラミックコンデンサ10の製造方法において説明する。 It is preferable that the side surfaces S1 and S2 of the laminated body 16 are parallel to each other. As a result, the side margin portions 17 can be efficiently formed on the side surfaces S1 and S2 of the laminated body 16. The method of forming the side margin portion 17 will be described in the method of manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10 described later.

また、積層体16の第1稜部R1における接続角θ1は、93°より小さいことが好ましい。積層体16の第2稜部R2における接続角θ2は、87°より大きいことが好ましい。これにより、積層体16のY軸方向の寸法を小さく留めることができるため、積層セラミックコンデンサ10の実装面積を小さく維持することができる。 Further, the connection angle θ1 at the first ridge portion R1 of the laminated body 16 is preferably smaller than 93 °. The connection angle θ2 at the second ridge portion R2 of the laminated body 16 is preferably larger than 87 °. As a result, the dimension of the laminated body 16 in the Y-axis direction can be kept small, so that the mounting area of the laminated ceramic capacitor 10 can be kept small.

なお、積層体16では、稜部R1,R2が、第1主面M1と側面S1,S2とを直接接続する稜線であってもよいが、第1主面M1と側面S1,S2とを緩やかに接続する丸みを帯びた面であることが好ましい。これにより、積層体16では、稜部R1,R2に応力が集中しにくくなるため、稜部R1,R2に損傷が加わりにくくなる。 In the laminated body 16, the ridges R1 and R2 may be ridges that directly connect the first main surface M1 and the side surfaces S1 and S2, but the first main surface M1 and the side surfaces S1 and S2 are loosely connected. It is preferably a rounded surface that connects to. As a result, in the laminated body 16, stress is less likely to be concentrated on the ridges R1 and R2, so that damage is less likely to be applied to the ridges R1 and R2.

積層体16は、X-Y平面に沿って延びる平板状の複数のセラミック層がZ軸方向に積層された構成を有する。積層体16は、容量形成部18と、カバー部19と、を有する。カバー部19は、容量形成部18をZ軸方向上下から被覆し、積層体16の主面M1,M2を構成している。 The laminated body 16 has a structure in which a plurality of flat plate-shaped ceramic layers extending along an XY plane are laminated in the Z-axis direction. The laminated body 16 has a capacity forming portion 18 and a cover portion 19. The cover portion 19 covers the capacitance forming portion 18 from above and below in the Z-axis direction, and constitutes the main surfaces M1 and M2 of the laminated body 16.

容量形成部18は、複数のセラミック層の間に配置され、X-Y平面に沿って延びるシート状の複数の第1及び第2内部電極13を有する。内部電極12,13は、Z軸方向に沿って交互に配置されている。つまり、内部電極12,13は、セラミック層を挟んでZ軸方向に対向している。 The capacitance forming portion 18 is arranged between the plurality of ceramic layers and has a plurality of sheet-shaped first and second internal electrodes 13 extending along an XY plane. The internal electrodes 12 and 13 are alternately arranged along the Z-axis direction. That is, the internal electrodes 12 and 13 face each other in the Z-axis direction with the ceramic layer interposed therebetween.

第1内部電極12はセラミック素体11の第1端面のみに引き出され、第2内部電極13はセラミック素体11の第2端面のみに引き出されている。これにより、第1内部電極12は第1外部電極14のみに接続され、第2内部電極13は第2外部電極15のみに接続されている。 The first internal electrode 12 is drawn out only to the first end surface of the ceramic element 11, and the second internal electrode 13 is drawn out only to the second end surface of the ceramic element 11. As a result, the first internal electrode 12 is connected only to the first external electrode 14, and the second internal electrode 13 is connected only to the second external electrode 15.

内部電極12,13は、容量形成部18のY軸方向の全幅にわたって形成され、積層体16の両側面S1,S2に露出している。サイドマージン部17は、積層体16の両側面S1,S2を覆っている。これにより、積層体16の両側面S1,S2における内部電極12,13間の絶縁性を確保することができる。 The internal electrodes 12 and 13 are formed over the entire width of the capacitance forming portion 18 in the Y-axis direction, and are exposed on both side surfaces S1 and S2 of the laminated body 16. The side margin portion 17 covers both side surfaces S1 and S2 of the laminated body 16. Thereby, the insulating property between the internal electrodes 12 and 13 on both side surfaces S1 and S2 of the laminated body 16 can be ensured.

このような構成により、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間に電圧が印加されると、第1内部電極12と第2内部電極13との間の複数のセラミック層に電圧が加わる。これにより、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間の電圧に応じた電荷が蓄えられる。 With such a configuration, in the multilayer ceramic capacitor 10, when a voltage is applied between the first external electrode 14 and the second external electrode 15, a plurality of layers between the first internal electrode 12 and the second internal electrode 13 are applied. A voltage is applied to the ceramic layer of. As a result, in the multilayer ceramic capacitor 10, electric charges corresponding to the voltage between the first external electrode 14 and the second external electrode 15 are stored.

セラミック素体11では、内部電極12,13間の各セラミック層の容量を大きくするため、高誘電率の誘電体セラミックスが用いられる。高誘電率の誘電体セラミックスとしては、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)に代表される、バリウム(Ba)及びチタン(Ti)を含むペロブスカイト構造の材料が挙げられる。 In the ceramic prime field 11, dielectric ceramics having a high dielectric constant are used in order to increase the capacity of each ceramic layer between the internal electrodes 12 and 13. Examples of the dielectric ceramics having a high dielectric constant include materials having a perovskite structure containing barium (Ba) and titanium (Ti) represented by barium titanate (BaTIO 3 ).

なお、セラミック層は、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)系、チタン酸カルシウム(CaTiO)系、チタン酸マグネシウム(MgTiO)系、ジルコン酸カルシウム(CaZrO)系、チタン酸ジルコン酸カルシウム(Ca(Zr,Ti)O)系、ジルコン酸バリウム(BaZrO)系、酸化チタン(TiO)系などで構成してもよい。 The ceramic layer is strontium titanate (SrTiO 3 ) -based, calcium titanate (CaTIO 3 ) -based, magnesium titanate (MgTIO 3 ) -based, calcium zirconate (CaZrO 3 ) -based, calcium titanate (Ca (Ca (Ca)). It may be composed of Zr, Ti) O 3 ) system, barium zirconate (BaZrO 3 ) system, titanium oxide (TiO 2 ) system and the like.

内部電極12,13は、電気の良導体により形成されている。内部電極12,13を形成する電気の良導体としては、典型的にはニッケル(Ni)が挙げられ、この他にも銅(Cu)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。 The internal electrodes 12 and 13 are formed of good electric conductors. Nickel (Ni) is typically mentioned as a good electric conductor forming the internal electrodes 12 and 13, and in addition to this, copper (Cu), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), and the like. Examples thereof include metals or alloys containing gold (Au) or the like as a main component.

なお、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、積層体16及びサイドマージン部17を備えていればよく、その他の構成について適宜変更可能である。例えば、第1及び第2内部電極12,13の枚数は、積層セラミックコンデンサ10に求められるサイズや性能に応じて、適宜決定可能である。 The laminated ceramic capacitor 10 according to the present embodiment may be provided with the laminated body 16 and the side margin portion 17, and other configurations can be appropriately changed. For example, the number of the first and second internal electrodes 12 and 13 can be appropriately determined according to the size and performance required for the multilayer ceramic capacitor 10.

[積層セラミックコンデンサ10の製造方法]
図4は、積層セラミックコンデンサ10の製造方法を示すフローチャートである。図5~13は積層セラミックコンデンサ10の製造過程を示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ10の製造方法について、図4に沿って、図5~13を適宜参照しながら説明する。
[Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor 10]
FIG. 4 is a flowchart showing a method of manufacturing the monolithic ceramic capacitor 10. FIGS. 5 to 13 are views showing a manufacturing process of the monolithic ceramic capacitor 10. Hereinafter, a method for manufacturing the monolithic ceramic capacitor 10 will be described with reference to FIGS. 5 to 13 with reference to FIGS. 4.

(ステップS01:セラミックシート準備)
ステップS01では、容量形成部18を形成するための第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102と、カバー部19を形成するための第3セラミックシート103と、を準備する。セラミックシート101,102,103は、誘電体セラミックスを主成分とする未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。
(Step S01: Ceramic sheet preparation)
In step S01, a first ceramic sheet 101 and a second ceramic sheet 102 for forming the capacitance forming portion 18 and a third ceramic sheet 103 for forming the cover portion 19 are prepared. The ceramic sheets 101, 102, 103 are configured as an unfired dielectric green sheet containing dielectric ceramics as a main component.

セラミックシート101,102,103は、例えば、ロールコーターやドクターブレードなどを用いてシート状に成形される。セラミックシート101,102の厚さは、焼成後の容量形成部18におけるセラミック層の厚さに応じて調整される。第3セラミックシート103の厚さは適宜調整可能である。 The ceramic sheets 101, 102, 103 are formed into a sheet shape using, for example, a roll coater or a doctor blade. The thickness of the ceramic sheets 101 and 102 is adjusted according to the thickness of the ceramic layer in the capacitance forming portion 18 after firing. The thickness of the third ceramic sheet 103 can be adjusted as appropriate.

図5は、セラミックシート101,102,103の平面図である。この段階では、セラミックシート101,102,103が、個片化されていない大判のシートとして構成される。図5には、各積層セラミックコンデンサ10ごとに個片化する際の切断線Lx,Lyが示されている。切断線LxはX軸に平行であり、切断線LyはY軸に平行である。 FIG. 5 is a plan view of the ceramic sheets 101, 102, 103. At this stage, the ceramic sheets 101, 102, and 103 are configured as large-sized sheets that are not individualized. FIG. 5 shows the cutting lines Lx and Ly for individualizing each multilayer ceramic capacitor 10. The cutting line Lx is parallel to the X axis, and the cutting line Ly is parallel to the Y axis.

図5に示すように、第1セラミックシート101には第1内部電極12に対応する未焼成の第1内部電極112が形成され、第2セラミックシート102には第2内部電極13に対応する未焼成の第2内部電極113が形成されている。なお、カバー部19に対応する第3セラミックシート103には内部電極が形成されていない。 As shown in FIG. 5, the first ceramic sheet 101 is formed with an unfired first internal electrode 112 corresponding to the first internal electrode 12, and the second ceramic sheet 102 is not corresponding to the second internal electrode 13. The second internal electrode 113 for firing is formed. An internal electrode is not formed on the third ceramic sheet 103 corresponding to the cover portion 19.

内部電極112,113は、任意の導電性ペーストをセラミックシート101,102に塗布することによって形成することができる。導電性ペーストの塗布方法は、公知の技術から任意に選択可能である。例えば、導電性ペーストの塗布には、スクリーン印刷法やグラビア印刷法を用いることができる。 The internal electrodes 112 and 113 can be formed by applying an arbitrary conductive paste to the ceramic sheets 101 and 102. The method for applying the conductive paste can be arbitrarily selected from known techniques. For example, a screen printing method or a gravure printing method can be used for applying the conductive paste.

内部電極112,113には、切断線Lyに沿ったX軸方向の隙間が、切断線Ly1本置きに形成されている。第1内部電極112の隙間と第2内部電極113の隙間とはX軸方向に互い違いに配置されている。つまり、第1内部電極112の隙間を通る切断線Lyと第2内部電極113の隙間を通る切断線Lyとが交互に並んでいる。 In the internal electrodes 112 and 113, gaps in the X-axis direction along the cutting line Ly are formed every other cutting line Ly. The gap between the first internal electrode 112 and the gap between the second internal electrodes 113 are arranged alternately in the X-axis direction. That is, the cutting line Ly passing through the gap of the first internal electrode 112 and the cutting line Ly passing through the gap of the second internal electrode 113 are alternately arranged.

(ステップS02:積層)
ステップS02では、ステップS01で準備したセラミックシート101,102,103を、図6に示すように積層することにより積層シート104を作製する。積層シート104では、容量形成部18に対応する第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102がZ軸方向に交互に積層されている。
(Step S02: Lamination)
In step S02, the laminated sheet 104 is produced by laminating the ceramic sheets 101, 102, 103 prepared in step S01 as shown in FIG. In the laminated sheet 104, the first ceramic sheet 101 and the second ceramic sheet 102 corresponding to the capacitance forming portion 18 are alternately laminated in the Z-axis direction.

また、積層シート104では、交互に積層されたセラミックシート101,102のZ軸方向上下面にカバー部19に対応する第3セラミックシート103が積層される。なお、図6に示す例では、第3セラミックシート103がそれぞれ3枚ずつ積層されているが、第3セラミックシート103の枚数は適宜変更可能である。 Further, in the laminated sheet 104, the third ceramic sheet 103 corresponding to the cover portion 19 is laminated on the upper and lower surfaces of the alternately laminated ceramic sheets 101 and 102 in the Z-axis direction. In the example shown in FIG. 6, three third ceramic sheets 103 are laminated, but the number of third ceramic sheets 103 can be changed as appropriate.

積層シート104は、セラミックシート101,102,103を圧着することにより一体化される。セラミックシート101,102,103の圧着には、例えば、静水圧加圧や一軸加圧などを用いることが好ましい。これにより、積層シート104を高密度化することが可能である。 The laminated sheet 104 is integrated by crimping the ceramic sheets 101, 102, 103. For crimping of the ceramic sheets 101, 102, 103, for example, hydrostatic pressure pressurization or uniaxial pressurization is preferably used. This makes it possible to increase the density of the laminated sheet 104.

(ステップS03:切断)
ステップS03では、ステップS02で得られた積層シート104を、切断線Lx,Lyに沿って切断することにより、未焼成の積層体116を作製する。積層体116は、焼成後の積層体16に対応する。積層シート104の切断には、例えば、押し切り刃や回転刃などを用いることができる。
(Step S03: Disconnection)
In step S03, the laminated sheet 104 obtained in step S02 is cut along the cutting lines Lx and Ly to produce an unfired laminated body 116. The laminated body 116 corresponds to the laminated body 16 after firing. For example, a push-cutting blade, a rotary blade, or the like can be used for cutting the laminated sheet 104.

図7,8は、ステップS03の一例を説明するための模式図である。図7は、積層シート104の平面図である。図8は、積層シート104をX軸方向から見た端面図である。積層シート104は、粘着性を有するテープ状の保持部材Tによって保持された状態で、切断線Lx,Lyに沿って押し切り刃Fで切断される。 7 and 8 are schematic views for explaining an example of step S03. FIG. 7 is a plan view of the laminated sheet 104. FIG. 8 is an end view of the laminated sheet 104 as viewed from the X-axis direction. The laminated sheet 104 is cut by the push-cutting blade F along the cutting lines Lx and Ly while being held by the adhesive tape-shaped holding member T.

図8に示すように、積層シート104を切断線Lxに沿って切断する際に、押し切り刃FをX-Z平面に対してX軸を中心として少し傾けて積層シート104に挿入する。これにより、図9に示すように、側面S1,S2が相互に平行であり、かつX-Z平面に対して傾いた未焼成の積層体116が得られる。 As shown in FIG. 8, when the laminated sheet 104 is cut along the cutting line Lx, the push-cutting blade F is inserted into the laminated sheet 104 with a slight inclination about the X axis with respect to the XZ plane. As a result, as shown in FIG. 9, an unfired laminated body 116 in which the side surfaces S1 and S2 are parallel to each other and is inclined with respect to the XZ plane is obtained.

積層体116において、第1稜部R1における第1主面M1と第1側面S1との接続角θ1及び第2稜部R2における第1主面M1と第2側面S2との接続角θ2は、押し切り刃FのX-Z平面に対する傾きによって制御することができる。しかし、接続角θ1,θ2の制御方法は、これに限定されない。 In the laminated body 116, the connection angle θ1 between the first main surface M1 and the first side surface S1 in the first ridge portion R1 and the connection angle θ2 between the first main surface M1 and the second side surface S2 in the second ridge portion R2 are set. It can be controlled by the inclination of the push cutting blade F with respect to the XX plane. However, the control method of the connection angles θ1 and θ2 is not limited to this.

(ステップS04:サイドマージン部形成)
ステップS04では、ステップS03で得られた積層体116における内部電極112,113が露出した側面S1,S2に未焼成のサイドマージン部117を設けることにより、未焼成のセラミック素体111を作製する。図10~13は、ステップS04の過程を示す図である。
(Step S04: Forming a side margin portion)
In step S04, the unfired ceramic prime 111 is produced by providing the unfired side margin portions 117 on the side surfaces S1 and S2 where the internal electrodes 112 and 113 of the laminated body 116 obtained in step S03 are exposed. 10 to 13 are diagrams showing the process of step S04.

図10(A)は、ステップS03の直後の状態を示している。この状態では、保持部材T上にX軸及びY軸方向に配列された積層体116同士が近接しているため、各積層体116の取り扱いに困難がある。このため、保持部材T上に配列された積層体116のX軸及びY軸方向の間隔を広げる。 FIG. 10A shows the state immediately after step S03. In this state, since the laminated bodies 116 arranged in the X-axis and Y-axis directions are close to each other on the holding member T, it is difficult to handle each of the laminated bodies 116. Therefore, the distance between the X-axis and Y-axis directions of the laminated body 116 arranged on the holding member T is widened.

具体的には、図10(A)に示す保持部材TをX軸及びY軸方向に引き延ばす。これにより、図10(B)に示すように保持部材T上の積層体116の間隔が広がる。なお、例えばステップS03で用いた保持部材Tが伸縮性を有さない場合など、必要に応じて、積層体116を事前に伸縮性を有する他の保持部材Tに張り替えておく。 Specifically, the holding member T shown in FIG. 10A is stretched in the X-axis and Y-axis directions. As a result, as shown in FIG. 10B, the spacing between the laminated bodies 116 on the holding member T is widened. In addition, for example, when the holding member T used in step S03 does not have elasticity, the laminated body 116 is replaced with another holding member T having elasticity in advance, if necessary.

図10(B)に示す状態においてもなお、各積層体116の側面S1,S2が保持部材Tの表面の面内方向であるY軸方向を向いているため、積層体116の側面S1,S2にサイドマージン部117を設けることが困難である。このため、保持部材T上において、積層体116の向きを変更する。 Even in the state shown in FIG. 10B, since the side surfaces S1 and S2 of each laminated body 116 are oriented in the Y-axis direction, which is the in-plane direction of the surface of the holding member T, the side surfaces S1 and S2 of the laminated body 116 are still oriented. It is difficult to provide the side margin portion 117 in the. Therefore, the orientation of the laminated body 116 is changed on the holding member T.

具体的に、図11(A)に示すように、X-Y平面に沿って延びる平板状の作用板Bを積層体116の第2主面M2上に配置する。作用板Bは、保持部材T上の全ての積層体116の第2主面M2を一括して被覆することが好ましい。作用板Bは、例えば、シリコンラバーなどの滑りにくい弾性材料で形成されていることが好ましい。 Specifically, as shown in FIG. 11A, a flat plate-shaped working plate B extending along the XY plane is arranged on the second main surface M2 of the laminated body 116. It is preferable that the working plate B collectively covers the second main surface M2 of all the laminated bodies 116 on the holding member T. The working plate B is preferably made of a non-slip elastic material such as silicon rubber.

そして、図11(B)に示すように、作用板BをY軸方向に移動させる。このとき、積層体116には、作用板BからY軸方向に加わる力によってモーメントが発生する。これにより、積層体116は、第1主面M1と第1側面S1とを接続する第1稜部R1を回動中心として保持部材T上で転動する。 Then, as shown in FIG. 11B, the action plate B is moved in the Y-axis direction. At this time, a moment is generated in the laminated body 116 due to the force applied from the working plate B in the Y-axis direction. As a result, the laminated body 116 rolls on the holding member T with the first ridge portion R1 connecting the first main surface M1 and the first side surface S1 as the rotation center.

積層体116の転動によって、第1主面M1が保持部材Tから剥がれた後に、第1側面S1が保持部材Tに接着される。これにより、図11(C)に示すように、積層体116における保持部材Tに保持される保持面が第1主面M1から第1側面S1に変更され、積層体116の第2側面S2がZ軸方向上方向を向く。 After the first main surface M1 is peeled off from the holding member T by the rolling of the laminated body 116, the first side surface S1 is adhered to the holding member T. As a result, as shown in FIG. 11C, the holding surface held by the holding member T in the laminated body 116 is changed from the first main surface M1 to the first side surface S1, and the second side surface S2 of the laminated body 116 is changed. It faces upward in the Z-axis direction.

積層体116では、転動の回動中心となる支軸として機能する第1稜部R1が鈍角であるため、転動の際に第1稜部R1に加わる応力が分散される。つまり、転動時の積層体116の第1稜部R1には、応力が集中しにくい。したがって、ステップS04では、積層体116の転動の際に、積層体に欠けなどの損傷が加わりにくい。 In the laminated body 116, since the first ridge portion R1 that functions as a support shaft that is the center of rotation of rolling has an obtuse angle, the stress applied to the first ridge portion R1 during rolling is dispersed. That is, stress is unlikely to be concentrated on the first ridge portion R1 of the laminated body 116 at the time of rolling. Therefore, in step S04, when the laminated body 116 is rolled, damage such as chipping is unlikely to be applied to the laminated body.

図11(C)に示す状態では、保持部材T上の全ての積層体116の第2側面S2が、保持部材T側とは反対のZ軸方向上側を向いているため、積層体116の第2側面S2にサイドマージン部117を形成しやすくなっている。サイドマージン部117の形成方法の一例について、図12を用いて説明する。 In the state shown in FIG. 11C, since the second side surface S2 of all the laminated bodies 116 on the holding member T faces the upper side in the Z-axis direction opposite to the holding member T side, the first layer of the laminated body 116 is It is easy to form the side margin portion 117 on the two side surfaces S2. An example of the method of forming the side margin portion 117 will be described with reference to FIG.

まず、図12(A)に示すように、保持部材T上に配列された積層体116を覆うように、セラミックシート117sを配置する。このとき、全ての積層体116の第2側面S2がX-Y平面に沿った同一平面上にあるため、セラミックシート117sを全ての積層体116の第2側面S2に密着させることができる。 First, as shown in FIG. 12A, the ceramic sheets 117s are arranged so as to cover the laminated body 116 arranged on the holding member T. At this time, since the second side surface S2 of all the laminated bodies 116 is on the same plane along the XY plane, the ceramic sheet 117s can be brought into close contact with the second side surface S2 of all the laminated bodies 116.

セラミックシート117sは、ステップS01で準備されるセラミックシート101,102,103と同様に、未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。セラミックシート117sは、例えば、ロールコーターやドクターブレードを用いてシート状に成形される。 The ceramic sheet 117s is configured as an unfired dielectric green sheet, similarly to the ceramic sheets 101, 102, 103 prepared in step S01. The ceramic sheet 117s is formed into a sheet shape using, for example, a roll coater or a doctor blade.

そして、図12(A)に示す状態から、各積層体116の第2側面S2の輪郭に沿ってセラミックシート117sを切断する。セラミックシート117sの切断方法としては、公知の方法から任意に選択可能であるが、例えば、セラミックシート117sを各積層体116の第2側面S2で打ち抜く打ち抜き法を採用可能である。 Then, from the state shown in FIG. 12A, the ceramic sheet 117s is cut along the contour of the second side surface S2 of each laminated body 116. As the cutting method of the ceramic sheet 117s, a known method can be arbitrarily selected. For example, a punching method of punching the ceramic sheet 117s with the second side surface S2 of each laminated body 116 can be adopted.

打ち抜き法では、セラミックシート117sをZ軸方向上側から弾性部材で押圧する。これにより、弾性部材と積層体116の第2側面S2との間に挟まれたセラミックシート117sには、各積層体116の第2側面S2の輪郭に沿ってせん断力が加わる。これにより、セラミックシート117sを打ち抜くことができる。 In the punching method, the ceramic sheet 117s is pressed by an elastic member from the upper side in the Z-axis direction. As a result, a shearing force is applied to the ceramic sheet 117s sandwiched between the elastic member and the second side surface S2 of the laminated body 116 along the contour of the second side surface S2 of each laminated body 116. As a result, the ceramic sheet 117s can be punched out.

続いて、図12(B)に示す積層体116を別の保持部材Tに張り替えることにより、積層体116のY軸方向の向きを反転させる。そして、積層体116の第2側面Sとは反対側の、サイドマージン部117が形成されていない第1側面S1にも、上記と同様の要領でサイドマージン部117を形成する。 Subsequently, by replacing the laminated body 116 shown in FIG. 12B with another holding member T, the orientation of the laminated body 116 in the Y-axis direction is reversed. Then, the side margin portion 117 is formed on the first side surface S1 on the side opposite to the second side surface S of the laminated body 116 on which the side margin portion 117 is not formed in the same manner as described above.

これにより、図13に示すように、積層体116の両側面S1,S2にサイドマージン部117が形成された未焼成のセラミック素体111が得られる。未焼成のセラミック素体111では、内部電極112,113が露出した積層体116の両側面S1,S2がサイドマージン部117によって覆われている。 As a result, as shown in FIG. 13, an unfired ceramic prime field 111 having side margin portions 117 formed on both side surfaces S1 and S2 of the laminated body 116 is obtained. In the unfired ceramic prime 111, both side surfaces S1 and S2 of the laminated body 116 with the internal electrodes 112 and 113 exposed are covered with the side margin portions 117.

なお、図11(C)に示す状態の積層体116の第2側面S2にサイドマージン部117を形成する方法は、上記に限定されない。例えば、予め切断されたセラミックシート117sを積層体116の第2側面S2に貼り付けてもよい。また、セラミックスラリーを積層体116の第2側面S2に例えばディップ法によって塗布してもよい。 The method of forming the side margin portion 117 on the second side surface S2 of the laminated body 116 in the state shown in FIG. 11C is not limited to the above. For example, the pre-cut ceramic sheet 117s may be attached to the second side surface S2 of the laminated body 116. Further, the ceramic slurry may be applied to the second side surface S2 of the laminated body 116 by, for example, a dip method.

(ステップS05:焼成)
ステップS05では、ステップS04で得られた未焼成のセラミック素体111を焼成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10のセラミック素体11を作製する。つまり、ステップS05によって、積層体116が積層体16になり、サイドマージン部117がサイドマージン部17になる。
(Step S05: Baking)
In step S05, the unfired ceramic prime field 111 obtained in step S04 is fired to produce the ceramic prime field 11 of the laminated ceramic capacitor 10 shown in FIGS. 1 to 3. That is, in step S05, the laminated body 116 becomes the laminated body 16, and the side margin portion 117 becomes the side margin portion 17.

ステップS05における焼成温度は、セラミック素体111の焼結温度に基づいて決定することができる。例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)系材料を用いる場合には、焼成温度は1000~1300℃程度とすることができる。また、焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。 The firing temperature in step S05 can be determined based on the sintering temperature of the ceramic prime field 111. For example, when a barium titanate (BaTIO 3 ) -based material is used, the firing temperature can be about 1000 to 1300 ° C. Further, the calcination can be performed, for example, in a reducing atmosphere or a low oxygen partial pressure atmosphere.

(ステップS06:外部電極形成)
ステップS06では、ステップS05で得られたセラミック素体11のX軸方向両端部に外部電極14,15を形成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10を作製する。ステップS06における外部電極14,15の形成方法は、公知の方法から任意に選択可能である。
(Step S06: External electrode formation)
In step S06, the laminated ceramic capacitors 10 shown in FIGS. 1 to 3 are manufactured by forming the external electrodes 14 and 15 at both ends of the ceramic prime field 11 obtained in step S05 in the X-axis direction. The method for forming the external electrodes 14 and 15 in step S06 can be arbitrarily selected from known methods.

以上により、積層セラミックコンデンサ10が完成する。この製造方法では、内部電極12,13が露出した積層体16の側面S1,S2にサイドマージン部17が後付けされるため、セラミック素体11における複数の内部電極12,13のY軸方向の端部の位置が、0.5μm以内の範囲で揃う。 From the above, the monolithic ceramic capacitor 10 is completed. In this manufacturing method, since the side margin portions 17 are retrofitted to the side surfaces S1 and S2 of the laminated body 16 in which the internal electrodes 12 and 13 are exposed, the ends of the plurality of internal electrodes 12 and 13 in the ceramic prime field 11 in the Y-axis direction. The positions of the parts are aligned within a range of 0.5 μm.

[その他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
[Other embodiments]
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made.

例えば、積層体16,116では、第1稜部R1における接続角θ1が鈍角であれば、転動の際に損傷が加わりにくい構成を実現可能である。このため、積層体16,116では、第2稜部R2における接続角θ2は、必ずしも鋭角でなくてもよく、直角であっても鈍角であってもよい。 For example, in the laminated bodies 16 and 116, if the connection angle θ1 at the first ridge portion R1 is an obtuse angle, it is possible to realize a configuration in which damage is less likely to occur during rolling. Therefore, in the laminated bodies 16 and 116, the connection angle θ2 at the second ridge portion R2 does not necessarily have to be an acute angle, and may be a right angle or an obtuse angle.

また、上記実施形態では積層セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサ10について説明したが、本発明は積層セラミック電子部品全般に適用可能である。このような積層セラミック電子部品としては、例えば、チップバリスタ、チップサーミスタ、積層インダクタなどが挙げられる。 Further, in the above embodiment, the laminated ceramic capacitor 10 has been described as an example of the laminated ceramic electronic component, but the present invention can be applied to all the laminated ceramic electronic components. Examples of such laminated ceramic electronic components include chip varistor, chip thermistor, and laminated inductor.

10…積層セラミックコンデンサ
11,111…セラミック素体
12,112…第1内部電極
13,113…第2内部電極
14,114…第1外部電極
15,115…第2外部電極
104…積層シート
16,116…積層体
17,117…サイドマージン部
M1,M2…主面
S1,S2…側面
R1,R2…稜部
θ1,θ2…接続角
T…保持部材
F…押し切り刃
B…作用板
10 ... Multilayer ceramic capacitor 11,111 ... Ceramic prime field 12,112 ... First internal electrode 13,113 ... Second internal electrode 14,114 ... First external electrode 15, 115 ... Second external electrode 104 ... Laminated sheet 16, 116 ... Laminated bodies 17, 117 ... Side margin portions M1, M2 ... Main surfaces S1, S2 ... Side surfaces R1, R2 ... Ridges θ1, θ2 ... Connection angles T ... Holding member F ... Push-cutting blade B ... Action plate

Claims (3)

一軸方向に積層した複数のセラミック層と、前記複数のセラミック層の間に配置された複数の内部電極と、前記一軸方向を向いた第1及び第2主面と、前記第1及び第2主面を接続し、前記複数の内部電極が露出する第1及び第2側面と、前記第1主面と前記第1側面とを鈍角で接続する第1稜部と、前記第1主面と前記第2側面とを鋭角で接続する第2稜部と、を有する積層体と、
前記積層体の前記第1及び第2側面にそれぞれ形成されたサイドマージン部と、
を具備する、積層セラミック電子部品。
A plurality of ceramic layers laminated in the uniaxial direction, a plurality of internal electrodes arranged between the plurality of ceramic layers, the first and second main surfaces facing the uniaxial direction, and the first and second main surfaces. The first and second side surfaces that connect the surfaces and expose the plurality of internal electrodes, the first ridge portion that connects the first main surface and the first side surface at an obtuse angle, and the first main surface and the above. A laminated body having a second ridge portion connecting the second side surface at an acute angle, and
The side margin portions formed on the first and second side surfaces of the laminated body, respectively,
A laminated ceramic electronic component.
請求項1に記載の積層セラミック電子部品であって、
前記第1及び第2側面が相互に平行である
積層セラミック電子部品。
The laminated ceramic electronic component according to claim 1.
A laminated ceramic electronic component whose first and second sides are parallel to each other.
請求項1又は2に記載の積層セラミック電子部品であって、
前記鈍角が93°より小さく、
前記鋭角が87°より大きい、
積層セラミック電子部品。
The laminated ceramic electronic component according to claim 1 or 2.
The obtuse angle is less than 93 °,
The acute angle is greater than 87 °,
Multilayer ceramic electronic components.
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