JP7122129B2 - Manufacturing method for multilayer ceramic electronic component - Google Patents

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Description

本発明は、サイドマージン部が後付けされる積層セラミック電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a method of manufacturing a laminated ceramic electronic component to which a side margin portion is retrofitted.

代表的な積層セラミック電子部品に積層セラミックコンデンサがある。近年、電子機器の小型化及び高性能化に伴い、積層セラミックコンデンサに対する大容量化の要望がますます強くなってきている。 A typical laminated ceramic electronic component is a laminated ceramic capacitor. 2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization and high performance of electronic devices, the demand for higher capacity multilayer ceramic capacitors has become stronger.

積層セラミックコンデンサを大容量化するために、サイドマージン部を後付けする技術が知られている。当該技術によれば、サイドマージン部を薄く作製できるため、内部電極の交差面積を広く確保でき、積層セラミックコンデンサの大容量化に寄与する。 In order to increase the capacity of a multilayer ceramic capacitor, a technique of retrofitting a side margin portion is known. According to this technology, since the side margin portion can be made thin, a wide intersecting area of the internal electrodes can be ensured, which contributes to increasing the capacity of the multilayer ceramic capacitor.

例えば、特許文献1には、セラミックグリーンシートが配置された弾性体に積層チップの側面を押し付けることにより、積層チップの側面にサイドマージン部を形成する方法が記載されている。 For example, Patent Literature 1 describes a method of forming a side margin portion on the side surface of a laminated chip by pressing the side surface of the laminated chip against an elastic body on which a ceramic green sheet is arranged.

特開2012-209539号公報JP 2012-209539 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、弾性体への積層チップの押し込み量が少ない場合、セラミックグリーンシートを打ち抜くことができない。その一方で、押し込み量が多い場合、圧縮変形した弾性体の応力が積層チップの主面方向及び端面方向に強く働く。このため、弾性体から積層チップを引き戻す際に、貼り付けたセラミックグリーンシートが積層チップから剥がれたり、積層チップが保持部材から剥がれたりしてしまう問題が発生する。 However, with the technique described in Patent Document 1, the ceramic green sheet cannot be punched out when the amount of pressing of the laminated chip into the elastic body is small. On the other hand, when the amount of pushing is large, the stress of the compressively deformed elastic body acts strongly in the main surface direction and the end surface direction of the laminated chip. Therefore, when the laminated chip is pulled back from the elastic body, there arises a problem that the attached ceramic green sheet is peeled off from the laminated chip or the laminated chip is peeled off from the holding member.

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、安定してサイドマージン部を形成可能な積層セラミック電子部品の製造方法を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component capable of stably forming a side margin portion.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法では、第1方向に積層された複数のセラミック層と、上記複数のセラミック層の間に配置された複数の内部電極と、を有する容量形成部と、上記第1方向と直交する第2方向を向いた側面と、上記容量形成部を上記第1方向から覆うカバー部と、を有する積層体が作製される。
サイドマージンシートが表面に配置された弾性体に、上記積層体を、上記側面側から上記サイドマージンシートの上記第2方向の厚みの2倍以上、かつ、上記積層体の上記第2方向の厚みの2倍以下押し込むことで、上記サイドマージンシートが打ち抜かれる。
To achieve the above object, a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to one aspect of the present invention includes: a plurality of ceramic layers laminated in a first direction; electrodes, a side surface facing a second direction perpendicular to the first direction, and a cover portion covering the capacitance formation portion from the first direction.
The laminated body is applied from the side surface side to the elastic body having the side margin sheet disposed on the surface thereof, and is at least twice the thickness of the side margin sheet in the second direction and the thickness of the laminated body in the second direction. The side margin sheet is punched out by pushing down twice or less.

上記製造方法によれば、サイドマージン部を打ち抜く際、積層体の押し込み量を適切な範囲とすることができる。これにより、安定してサイドマージン部を形成することが可能となる。 According to the manufacturing method described above, when punching out the side margin portions, the pressing amount of the laminate can be set within an appropriate range. This makes it possible to stably form the side margin portions.

上記弾性体の静的せん断弾性率が5MPa以下であってもよい。
この構成によれば、打ち抜きに充分な量のせん断力をサイドマージンシートに与えることができ、かつ、弾性体に積層体を適切に押し込むことができる。
A static shear elastic modulus of the elastic body may be 5 MPa or less.
According to this configuration, a sufficient amount of shearing force for punching can be applied to the side margin sheet, and the laminate can be appropriately pushed into the elastic body.

以上述べたように、本発明によれば、安定してサイドマージン部を形成可能な積層セラミック電子部品の製造方法を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component that can stably form side margin portions.

本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの斜視図である。1 is a perspective view of a laminated ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention; FIG. 上記積層セラミックコンデンサの図1のA-A'線に沿った斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the multilayer ceramic capacitor taken along line AA' in FIG. 1; 上記積層セラミックコンデンサの図1のB-B'線に沿った断面図である。2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor taken along line BB' of FIG. 1; FIG. 上記積層セラミックコンデンサの製造方法を示すフローチャートである。4 is a flow chart showing a method for manufacturing the laminated ceramic capacitor. 上記製造方法のステップS01で準備される積層体の斜視図である。It is a perspective view of the laminated body prepared by step S01 of the said manufacturing method. 上記製造方法のステップS02を示す積層体の端面側から見た図である。It is the figure seen from the end surface side of the laminated body which shows step S02 of the said manufacturing method. 上記製造方法のステップS02の後の未焼成のセラミック素体の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of an unfired ceramic body after step S02 of the manufacturing method; 一般的な打ち抜き方法を示す積層体の端面側から見た図である。It is the figure seen from the end face side of the laminated body which shows the general punching method. 上記実施形態に係る打ち抜き方法を示す積層体の端面側から見た図である。It is the figure which looked at the end surface side of the laminated body which shows the punching method which concerns on the said embodiment. 上記実施形態に係る打ち抜き方法を示す積層体の端面側から見た図である。It is the figure which looked at the end surface side of the laminated body which shows the punching method which concerns on the said embodiment.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
図面には、適宜相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸、Y軸、及びZ軸は全図において共通である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
The drawings show mutually orthogonal X, Y and Z axes where appropriate. The X-axis, Y-axis, and Z-axis are common in all drawings.

[積層セラミックコンデンサ10の全体構成]
図1~3は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10を示す図である。図2は、積層セラミックコンデンサ10の図1のA-A'線に沿った断面図である。図3は、積層セラミックコンデンサ10の図1のB-B'線に沿った断面図である。
[Overall Configuration of Multilayer Ceramic Capacitor 10]
1 to 3 are diagrams showing a multilayer ceramic capacitor 10 according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 10 taken along line AA' in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 10 taken along line BB' of FIG.

積層セラミックコンデンサ10は、セラミック素体11と、第1外部電極14と、第2外部電極15と、を備える。セラミック素体11は、典型的には、X軸方向を向いた2つの端面と、Y軸方向を向いた2つの側面と、Z軸方向を向いた2つの主面と、を有する。なお、セラミック素体11の形状はこのような形状に限定されない。例えば、セラミック素体11の各面は曲面であってもよく、セラミック素体11は全体として丸みを帯びた形状であってもよい。 A laminated ceramic capacitor 10 includes a ceramic element body 11 , a first external electrode 14 and a second external electrode 15 . The ceramic body 11 typically has two end faces facing the X-axis direction, two side faces facing the Y-axis direction, and two principal faces facing the Z-axis direction. Note that the shape of the ceramic body 11 is not limited to such a shape. For example, each surface of the ceramic body 11 may be curved, and the ceramic body 11 may have a rounded shape as a whole.

外部電極14,15は、セラミック素体11の端面を覆い、セラミック素体11を挟んでX軸方向に対向している。外部電極14,15は、セラミック素体11の端面から主面及び側面に延出している。これにより、外部電極14,15では、X-Z平面に平行な断面、及びX-Y平面に平行な断面がいずれもU字状となっている。なお、外部電極14,15の形状は、図1に示すものに限定されない。 The external electrodes 14 and 15 cover the end faces of the ceramic body 11 and face each other in the X-axis direction with the ceramic body 11 interposed therebetween. The external electrodes 14 and 15 extend from the end surfaces of the ceramic body 11 to the main surface and side surfaces. As a result, the external electrodes 14 and 15 have a U-shaped cross section parallel to the XZ plane and a cross section parallel to the XY plane. The shape of the external electrodes 14 and 15 is not limited to that shown in FIG.

外部電極14,15は、電気の良導体により形成されている。外部電極14,15を形成する電気の良導体としては、例えば、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。 The external electrodes 14 and 15 are made of a good electrical conductor. Good electrical conductors forming the external electrodes 14 and 15 include, for example, copper (Cu), nickel (Ni), tin (Sn), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), and gold (Au). and the like as a main component.

セラミック素体11は、誘電体セラミックスで形成され、積層体16と、サイドマージン部17と、を有する。積層体16は、X軸方向を向いた2つの端面と、Y軸方向を向いた2つの側面Sと、Z軸方向を向いた2つの主面と、を有し、X-Y平面に沿って延びる平板状の複数のセラミック層がZ軸方向に積層された構成を有する。サイドマージン部17は、積層体16の両側面Sに形成されている。 The ceramic body 11 is made of dielectric ceramics and has a laminate 16 and side margin portions 17 . The laminate 16 has two end surfaces facing the X-axis direction, two side surfaces S facing the Y-axis direction, and two main surfaces facing the Z-axis direction, and along the XY plane It has a configuration in which a plurality of plate-like ceramic layers extending in the direction of the Z-axis are laminated. The side margin portions 17 are formed on both side surfaces S of the laminate 16 .

積層体16は、容量形成部18と、カバー部19と、を有する。容量形成部18は、誘電体セラミックスに覆われた第1内部電極12及び第2内部電極13を有し、Z軸方向上下からカバー部19に被覆されている。 The laminate 16 has a capacitance forming portion 18 and a cover portion 19 . The capacitance forming portion 18 has a first internal electrode 12 and a second internal electrode 13 covered with dielectric ceramics, and is covered with a cover portion 19 from above and below in the Z-axis direction.

内部電極12,13は、いずれもX-Y平面に沿って延びるシート状であり、Z軸方向に沿って交互に配置されている。つまり、内部電極12,13は、セラミック層を挟んでZ軸方向に対向している。第1内部電極12は、セラミック素体11の一方の端面に引き出され、第1外部電極14に接続されている。第2内部電極13は、セラミック素体11の他方の端面に引き出され、第2外部電極15に接続されている。 The internal electrodes 12 and 13 are sheet-shaped and extend along the XY plane, and are alternately arranged along the Z-axis direction. That is, the internal electrodes 12 and 13 face each other in the Z-axis direction with the ceramic layer interposed therebetween. The first internal electrode 12 is drawn out to one end surface of the ceramic body 11 and connected to the first external electrode 14 . The second internal electrode 13 is drawn out to the other end surface of the ceramic body 11 and connected to the second external electrode 15 .

一方の端面側の第1内部電極12間のセラミック層は、第2内部電極13と第1外部電極14との絶縁性を確保するエンドマージンとして機能する。同様に、他方の端面側の第2内部電極13間のセラミック層は、第1内部電極12と第2外部電極15との絶縁性を確保するエンドマージンとして機能する。 The ceramic layer between the first internal electrodes 12 on one end face side functions as an end margin that ensures insulation between the second internal electrodes 13 and the first external electrodes 14 . Similarly, the ceramic layer between the second internal electrodes 13 on the other end face side functions as an end margin that ensures insulation between the first internal electrode 12 and the second external electrode 15 .

このような構成により、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間に電圧が印加されると、第1内部電極12と第2内部電極13との間の複数のセラミック層に電圧が加わる。これにより、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間の電圧に応じた電荷が蓄えられる。 With such a configuration, in the multilayer ceramic capacitor 10, when a voltage is applied between the first external electrode 14 and the second external electrode 15, the plurality of voltages between the first internal electrode 12 and the second internal electrode 13 A voltage is applied to the ceramic layer of As a result, in the multilayer ceramic capacitor 10 , electric charges corresponding to the voltage between the first external electrode 14 and the second external electrode 15 are stored.

また、容量形成部18では、外部電極14,15が設けられたX軸方向両端面以外の面がサイドマージン部17及びカバー部19によって覆われている。したがって、容量形成部18では、サイドマージン部17及びカバー部19によってその周囲が保護され、内部電極12,13の絶縁性が確保される。 Further, in the capacitance forming portion 18 , the surfaces other than the X-axis direction end surfaces on which the external electrodes 14 and 15 are provided are covered with the side margin portion 17 and the cover portion 19 . Therefore, the periphery of the capacitance forming portion 18 is protected by the side margin portion 17 and the cover portion 19, and the insulation of the internal electrodes 12 and 13 is ensured.

セラミック素体11では、内部電極12,13間の各セラミック層の容量を大きくするため、高誘電率の誘電体セラミックスが主成分として用いられる。高誘電率の誘電体セラミックスとしては、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)に代表される、バリウム(Ba)及びチタン(Ti)を含むペロブスカイト構造の材料が挙げられる。 In order to increase the capacity of each ceramic layer between the internal electrodes 12 and 13, the ceramic body 11 uses dielectric ceramics with a high dielectric constant as the main component. Dielectric ceramics with a high dielectric constant include, for example, perovskite structure materials containing barium (Ba) and titanium (Ti), represented by barium titanate (BaTiO 3 ).

なお、セラミック層の主成分は、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)系、チタン酸カルシウム(CaTiO)系、チタン酸マグネシウム(MgTiO)系、ジルコン酸カルシウム(CaZrO)系、チタン酸ジルコン酸カルシウム(Ca(Zr,Ti)O)系、ジルコン酸バリウム(BaZrO)系、酸化チタン(TiO)系等で構成してもよい。 The main components of the ceramic layer are strontium titanate (SrTiO 3 ), calcium titanate (CaTiO 3 ), magnesium titanate (MgTiO 3 ), calcium zirconate (CaZrO 3 ), and calcium zirconate titanate. (Ca(Zr, Ti)O 3 ) system, barium zirconate (BaZrO 3 ) system, titanium oxide (TiO 2 ) system, or the like may be used.

内部電極12,13は、電気の良導体により形成されている。内部電極12,13を形成する電気の良導体としては、典型的にはニッケル(Ni)が挙げられ、この他にも銅(Cu)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)等を主成分とする金属又は合金が挙げられる。 The internal electrodes 12 and 13 are made of a good electrical conductor. Nickel (Ni) is typically used as a good electrical conductor forming the internal electrodes 12 and 13. In addition, copper (Cu), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), A metal or alloy containing gold (Au) or the like as a main component can be used.

なお、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、積層体16及びサイドマージン部17を備えていればよく、その他の構成について適宜変更可能である。例えば、第1及び第2内部電極12,13の枚数は、積層セラミックコンデンサ10に求められるサイズや性能に応じて、適宜決定可能である。 The laminated ceramic capacitor 10 according to the present embodiment only needs to include the laminated body 16 and the side margin portions 17, and other configurations can be changed as appropriate. For example, the numbers of the first and second internal electrodes 12 and 13 can be appropriately determined according to the size and performance required of the multilayer ceramic capacitor 10 .

[積層セラミックコンデンサ10の製造方法]
図4は、積層セラミックコンデンサ10の製造方法を示すフローチャートである。図5~7は積層セラミックコンデンサ10の製造過程を示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ10の製造方法について、図4に沿って、図5~7を適宜参照しながら説明する。
[Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor 10]
FIG. 4 is a flow chart showing the manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor 10. As shown in FIG. 5 to 7 are diagrams showing the manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor 10. FIG. Hereinafter, a method for manufacturing the laminated ceramic capacitor 10 will be described along FIG. 4 with reference to FIGS. 5 to 7 as appropriate.

(ステップS01:積層体準備)
ステップS01では、積層体116を準備する。図5は、積層体116の斜視図である。積層体116は、内部電極112,113が適宜パターニングされた、複数の未焼成の誘電体グリーンシートが積層されて構成されている。これにより、積層体116には、内部電極112,113の間に配置された複数の未焼成のセラミック層を有する未焼成の容量形成部118と、カバー部119とが形成されている。
(Step S01: Laminate preparation)
In step S01, the laminate 116 is prepared. FIG. 5 is a perspective view of the laminate 116. FIG. The laminate 116 is constructed by laminating a plurality of unfired dielectric green sheets on which the internal electrodes 112 and 113 are appropriately patterned. Thus, the laminate 116 is formed with an unfired capacitance forming portion 118 having a plurality of unfired ceramic layers arranged between the internal electrodes 112 and 113 and a cover portion 119 .

(ステップS02:サイドマージン部形成)
ステップS02では、ステップS01で準備された積層体116の側面Sに未焼成のサイドマージン部117を設けることにより、未焼成のセラミック素体111を作製する。サイドマージン部117の形成には、打ち抜き法を用いる。つまり、打ち抜き法では、積層体116の側面でサイドマージンシート117sを打ち抜くことで、サイドマージン部117を形成する。
(Step S02: Side Margin Formation)
In step S02, an unfired ceramic body 111 is manufactured by providing an unfired side margin portion 117 on the side surface S of the laminate 116 prepared in step S01. A punching method is used to form the side margin portions 117 . That is, in the punching method, the side margin portions 117 are formed by punching the side margin sheets 117 s from the side surfaces of the laminate 116 .

図6(a)~(c)は、積層体116の側面Sでサイドマージンシート117sを打ち抜く方法を示す図である。まず、図6(a)に示すように、粘着性を有するテープTで一方の側面Sを保持した積層体116の他方の側面Sを、平板状の弾性体200の上に配置されたサイドマージンシート117sに対向させる。本実施形態では、弾性体200は保持部材300によって保持されており、保持部材300はY軸方向に沿って移動可能に構成されている。 FIGS. 6A to 6C are diagrams showing a method of punching out the side margin sheet 117s on the side surface S of the laminate 116. FIG. First, as shown in FIG. 6( a ), the other side S of the laminated body 116 having one side S held by an adhesive tape T is placed on a flat elastic body 200 at a side margin. It is made to face the sheet 117s. In this embodiment, the elastic body 200 is held by a holding member 300, and the holding member 300 is configured to be movable along the Y-axis direction.

サイドマージンシート117sは、未焼成のサイドマージン部117を形成するための大判の誘電体グリーンシートとして構成される。サイドマージンシート117sの厚みによって、図2,3に示す積層セラミックコンデンサ10のサイドマージン部17のY軸方向の厚みを調整可能である。サイドマージンシート117sは、例えば、ロールコーターやドクターブレードを用いてシート状に成形することにより、厚みを正確に制御可能である。 The side margin sheet 117 s is configured as a large dielectric green sheet for forming the unfired side margin portion 117 . The thickness of the side margin sheet 117s in the Y-axis direction of the side margin portion 17 of the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIGS. 2 and 3 can be adjusted. The thickness of the side margin sheet 117s can be accurately controlled by forming it into a sheet shape using, for example, a roll coater or a doctor blade.

次に、図6(b)に示すように、積層体116の側面Sをサイドマージンシート117sに押し込み、積層体116をサイドマージンシート117sとともに弾性体200に沈みこませる。このとき、サイドマージンシート117sは、弾性体200から加わるせん断力によって、積層体116に押圧された領域のみが切り離される。 Next, as shown in FIG. 6B, the side surface S of the laminated body 116 is pushed into the side margin sheet 117s, and the laminated body 116 sinks into the elastic body 200 together with the side margin sheet 117s. At this time, only the region of the side margin sheet 117s pressed against the laminate 116 is cut off by the shearing force applied from the elastic body 200 .

そして、図6(c)に示すように、積層体116を弾性体200から離間するように移動させると、サイドマージンシート117sにおける積層体116の側面Sに貼り付いた部分のみが弾性体200から離間する。これにより、積層体116の側面Sにサイドマージン部117が形成される。 Then, as shown in FIG. 6C, when the laminate 116 is moved away from the elastic body 200, only the portion of the side margin sheet 117s stuck to the side surface S of the laminate 116 is separated from the elastic body 200. Separate. As a result, side margin portions 117 are formed on the side surfaces S of the laminate 116 .

続いて、積層体116を保持するテープTを別のテープTに張り替えることにより、積層体116のY軸方向の向きを反転させる。そして、サイドマージン部117が形成されていない積層体116の反対側の側面Sにも、上記と同様の要領でサイドマージン部117を形成する。本実施形態では、積層体116の押し込み量を調整することで、安定してサイドマージンシート117sを打ち抜くことができる。その詳細な方法については後述する。 Subsequently, by replacing the tape T holding the laminate 116 with another tape T, the orientation of the laminate 116 in the Y-axis direction is reversed. Side margin portions 117 are formed in the same manner as described above on the opposite side surface S of the laminate 116 where the side margin portions 117 are not formed. In this embodiment, the side margin sheet 117s can be stably punched out by adjusting the pushing amount of the laminate 116. FIG. The detailed method will be described later.

ステップS02により、積層体116の両側面Sに、サイドマージン部117が形成された未焼成のセラミック素体111が得られる。図7は、未焼成のセラミック素体111の斜視図である。未焼成のセラミック素体111では、内部電極112,113が露出した積層体116の側面Sがサイドマージン部117によって覆われている。 By step S02, unfired ceramic body 111 having side margin portions 117 formed on both side surfaces S of laminate 116 is obtained. FIG. 7 is a perspective view of the unfired ceramic body 111. FIG. In the unfired ceramic body 111 , the side surfaces S of the laminate 116 where the internal electrodes 112 and 113 are exposed are covered with the side margin portions 117 .

なお、図6及び図8~10では、テープT上に積層体116が3つ配置されているが、積層体116はX-Y平面に沿って等間隔に複数個並んでおり、その数及び間隔は適宜変更可能である。また、積層体116は、典型的にはテープT上に矩形に並んでいるが、並び方はこれに限られない。 In FIGS. 6 and 8 to 10, three laminates 116 are arranged on the tape T, and a plurality of laminates 116 are arranged at regular intervals along the XY plane. The interval can be changed as appropriate. Moreover, although the laminates 116 are typically arranged in a rectangular shape on the tape T, the arrangement is not limited to this.

(ステップS03:焼成)
ステップS03では、ステップS02で得られた未焼成のセラミック素体111を焼成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10のセラミック素体11を作製する。つまり、ステップS03によって、積層体116が積層体16になり、サイドマージン部117がサイドマージン部17になる。
(Step S03: Firing)
In step S03, the ceramic body 11 of the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIGS. 1 to 3 is produced by firing the unfired ceramic body 111 obtained in step S02. That is, by step S<b>03 , the layered body 116 becomes the layered body 16 and the side margin portion 117 becomes the side margin portion 17 .

ステップS03における焼成温度は、未焼成のセラミック素体111の焼結温度に基づいて決定することができる。例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)系材料を用いる場合には、焼成温度は1000~1300℃程度とすることができる。また、焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。 The sintering temperature in step S<b>03 can be determined based on the sintering temperature of the unsintered ceramic body 111 . For example, when a barium titanate (BaTiO 3 )-based material is used, the firing temperature can be about 1000 to 1300°C. Also, the firing can be performed, for example, in a reducing atmosphere or in a low oxygen partial pressure atmosphere.

(ステップS04:外部電極形成)
ステップS04では、ステップS03で得られたセラミック素体11のX軸方向両端部に外部電極14,15を形成することにより、図1,3に示す積層セラミックコンデンサ10を作製する。ステップS04における外部電極14,15の形成方法は、公知の方法から任意に選択可能である。
(Step S04: External electrode formation)
In step S04, external electrodes 14 and 15 are formed on both ends of the ceramic body 11 obtained in step S03 in the X-axis direction to fabricate the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIGS. A method for forming the external electrodes 14 and 15 in step S04 can be arbitrarily selected from known methods.

また、外部電極14,15は、未焼成のセラミック素体111と同時焼成してもよい。即ち、ステップS02の後に未焼成のセラミック素体111のX軸方向両端部に未焼成の外部電極を形成し、ステップS03で未焼成のセラミック素体111と同時に焼成することで外部電極14,15を形成することも可能である。 Also, the external electrodes 14 and 15 may be fired simultaneously with the unfired ceramic body 111 . That is, after step S02, unfired external electrodes are formed on both ends of the unfired ceramic body 111 in the X-axis direction, and fired at the same time as the unfired ceramic body 111 in step S03, thereby forming external electrodes 14 and 15. It is also possible to form

以上の製造方法により、積層セラミックコンデンサ10が作製される。 The multilayer ceramic capacitor 10 is manufactured by the manufacturing method described above.

[サイドマージンシート117sの打ち抜き方法の詳細]
ステップS02において、積層体116の側面Sでサイドマージンシート117sを打ち抜くことにより、積層体116の側面Sにサイドマージン部117を形成する方法について詳細に説明する。なお、積層体116の他方の側面Sについても、一方の側面Sと同様にサイドマージン部117を形成可能である。
[Details of punching method for side margin sheet 117s]
A method of forming side margin portions 117 on side surfaces S of laminate 116 by punching side margin sheets 117s from side surfaces S of laminate 116 in step S02 will be described in detail. It should be noted that the side margin portion 117 can be formed on the other side surface S of the laminate 116 as well as on the one side surface S.

一般に、弾性体を用いてサイドマージン部を後付けする方法では、積層体の押し込み量が少なすぎると、弾性体によるせん断力が足りないためにサイドマージンシートが切り離されず、適切にサイドマージンシートを打ち抜くことができない。これにより、サイドマージンシートの打ち抜き不良が発生する。このため、積層体の押し込み量を充分に多くする必要がある。 In general, in the method of post-attaching the side margins using an elastic body, if the amount of pushing into the laminate is too small, the side margin sheets will not be cut off due to the insufficient shearing force of the elastic body, and the side margin sheets will be punched out appropriately. I can't. As a result, defective punching of the side margin sheet occurs. Therefore, it is necessary to sufficiently increase the pushing amount of the laminate.

しかし、積層体の押し込み量が多すぎる場合にも不具合が発生する。図8(a)は、弾性体200への積層体116の押し込み量が多すぎる状態を示す図である。また、図8(b)は、図8(a)の状態から積層体116を引き抜いた状態を示す図である。 However, problems also occur when the amount of pressing of the laminate is too large. FIG. 8A is a diagram showing a state in which the amount of pressing of the laminate 116 into the elastic body 200 is too large. FIG. 8(b) is a diagram showing a state in which the laminated body 116 is pulled out from the state shown in FIG. 8(a).

積層体116の押し込み量が多すぎると、図8(a)に示すように、圧縮変形した弾性体200の応力(復元力)が積層体116の主面方向及び端面方向に強く働く。この状態で、弾性体200から積層体116を引き抜くと、図8(b)に示すように、積層体116の側面に貼り付けたサイドマージン部117が剥離してしまったり(図中左の積層体116)、サイドマージン部117がズレてしまったり(図中中央の積層体116)、テープTから積層体116が引き剥がされてしまったり(図中右の積層体116)することがある。 If the amount of pressing of the laminated body 116 is too large, the stress (restoring force) of the compressively deformed elastic body 200 acts strongly in the main surface direction and the end surface direction of the laminated body 116, as shown in FIG. 8(a). In this state, when the laminated body 116 is pulled out from the elastic body 200, the side margin portion 117 attached to the side surface of the laminated body 116 may peel off as shown in FIG. 116), the side margin portion 117 may be displaced (laminated body 116 in the center of the drawing), or the laminated body 116 may be peeled off from the tape T (laminated body 116 on the right in the drawing).

よって、上記のように打ち抜き量が極端な場合では、製造過程においてサイドマージンシートの打ち抜き不良や剥離等が発生するため、製品の歩留まりが低下する問題が生じる。 Therefore, when the amount of punching is extremely large as described above, defective punching or peeling of the side margin sheet occurs in the manufacturing process, resulting in a problem of reduced product yield.

そこで、本実施形態では、ステップS02において、サイドマージンシート117sが配置された弾性体200に対して、積層体116の押し込み量Dが適切な量に設定されている。以下、本実施形態のサイドマージンシート117sの打ち抜き方法について説明する。図9(a)は、弾性体200に積層体116を押し込む寸前の状態を示す図である。また、図9(b)は、弾性体200に積層体116を適切な押し込み量で押し込んだ状態を示す図である。 Therefore, in the present embodiment, in step S02, the pressing amount D of the laminate 116 is set to an appropriate amount with respect to the elastic body 200 on which the side margin sheet 117s is arranged. A method of punching the side margin sheet 117s of this embodiment will be described below. FIG. 9A is a diagram showing a state just before the laminated body 116 is pushed into the elastic body 200. FIG. FIG. 9B is a diagram showing a state in which the laminated body 116 is pushed into the elastic body 200 by an appropriate amount of pushing.

本実施形態において、積層体116の押し込み量Dとは、サイドマージンシート117sが配置された弾性体200に、積層体116をY軸方向に沿って押し込んだときの、積層体116のY軸方向の変位である。具体的に、積層体116の弾性体200側を向いた側面Sがサイドマージンシート117sに接触した状態(図9(a)の状態)から押し込み後(図9(b)の状態)までの、当該側面SのY軸方向の変位を押し込み量Dとする。即ち、押し込み量Dは、弾性体200を保持する保持部材300及び当該側面S間の距離によって規定される。 In this embodiment, the pushing amount D of the laminated body 116 is the Y-axis direction of the laminated body 116 when the laminated body 116 is pushed along the Y-axis direction into the elastic body 200 on which the side margin sheets 117s are arranged. is the displacement of Specifically, from the state in which the side surface S of the laminate 116 facing the elastic body 200 side is in contact with the side margin sheet 117s (the state in FIG. 9A) to the state after being pushed in (the state in FIG. 9B), The displacement of the side surface S in the Y-axis direction is defined as a pushing amount D. As shown in FIG. That is, the pushing amount D is defined by the distance between the holding member 300 holding the elastic body 200 and the side surface S.

図9(a)に示すように、弾性体200に積層体116を押し込む寸前の状態では、サイドマージンシート117sと、積層体116の弾性体200側の側面Sとが接触している。このときの保持部材300及び当該側面S間の距離をDとし、押し込み量Dの基準値とする。従って、このときの押し込み量Dは0となる。 As shown in FIG. 9A, just before the laminated body 116 is pushed into the elastic body 200, the side margin sheet 117s and the side surface S of the laminated body 116 on the elastic body 200 side are in contact with each other. The distance between the holding member 300 and the side surface S at this time is D0, which is the reference value for the pushing amount D. FIG. Therefore, the pushing amount D at this time is zero.

次に、図9(b)に示すように、弾性体200に積層体116を押し込んだ状態では、弾性体200側の側面Sが保持部材300に近づく。このときの保持部材300及び当該側面S間の距離をDとすると、押し込み量Dは、D=D-Dで表すことができる。 Next, as shown in FIG. 9B , in a state in which the laminated body 116 is pushed into the elastic body 200 , the side surface S on the elastic body 200 side approaches the holding member 300 . Assuming that the distance between the holding member 300 and the side surface S at this time is D 1 , the pushing amount D can be expressed as D=D 0 -D 1 .

本実施形態では、押し込み量Dは、サイドマージンシート117sのY軸方向の厚みの2倍以上、かつ、積層体116のY軸方向の厚みの2倍以下となっている。押し込み量Dを、サイドマージンシート117sのY軸方向の厚みの2倍以上とすることにより、サイドマージンシート117sに、打ち抜きに充分な量のせん断力を加えることができる。これにより、サイドマージンシート117sを適切に打ち抜くことができる。 In this embodiment, the pushing amount D is twice or more the thickness of the side margin sheet 117s in the Y-axis direction and is twice or less than the thickness of the laminate 116 in the Y-axis direction. A sufficient amount of shearing force for punching can be applied to the side margin sheet 117s by setting the pressing amount D to be at least twice the thickness of the side margin sheet 117s in the Y-axis direction. Thereby, the side margin sheet 117s can be punched out appropriately.

また、押し込み量Dを、積層体116のY軸方向の厚みの2倍以下とすることにより、積層体116の主面及び端面に働く、圧縮変形した弾性体200による応力を軽減することができる。これにより、サイドマージン部117や積層体116の剥離を防止することができる。 In addition, by setting the pushing amount D to be equal to or less than twice the thickness of the laminate 116 in the Y-axis direction, it is possible to reduce the stress due to the compressively deformed elastic body 200 acting on the main surfaces and end surfaces of the laminate 116 . . As a result, peeling of the side margin portion 117 and the laminate 116 can be prevented.

つまり、上記の各条件を満たすことで、積層体116の側面Sに安定してサイドマージン部117を形成することが可能となる。 That is, by satisfying each of the above conditions, it is possible to stably form the side margin portion 117 on the side surface S of the stacked body 116 .

本実施形態では、弾性体200の静的せん断弾性率は、5MPa以下とすることが好ましい。弾性体200の静的せん断弾性率を5MPa以下とすることで、弾性体200に積層体116を適切に押し込むことができる。 In this embodiment, the static shear elastic modulus of the elastic body 200 is preferably 5 MPa or less. By setting the static shear elastic modulus of the elastic body 200 to 5 MPa or less, the laminate 116 can be appropriately pushed into the elastic body 200 .

なお、図9(b)の状態においても、圧縮変形した弾性体200の応力が積層体116の主面方向及び端面方向に働いているが、弾性体200が大きく圧縮変形していないため、その力は弱くなる。このため、積層体116及び貼り付けたサイドマージンシート117sが剥がれるおそれがない。 In the state shown in FIG. 9(b), the stress of the elastic body 200 that has undergone compressive deformation acts in the main surface direction and the end surface direction of the laminate 116. power becomes weaker. Therefore, there is no possibility that the laminated body 116 and the attached side margin sheet 117s are peeled off.

図10(a)は、積層体116間のサイドマージンシート117sがテープTに接するまで押し込んだ状態を示す図である。また、図10(b)は、図10(a)の状態から積層体116を引き抜いた状態を示す図である。 FIG. 10(a) shows a state in which the side margin sheet 117s between the laminates 116 is pushed in until it comes into contact with the tape T. FIG. 10(b) is a diagram showing a state in which the laminated body 116 is pulled out from the state shown in FIG. 10(a).

図10(a)に示すように、積層体116間のサイドマージンシート117sがテープTに接するまで押し込んだ状態であっても、押し込み量Dがサイドマージンシート117sのY軸方向の厚みの2倍以上、かつ、積層体116のY軸方向の厚みの2倍以下となっていれば、図10(b)に示すように問題なく打ち抜くことができる。 As shown in FIG. 10A, even when the side margin sheets 117s between the stacks 116 are pushed in until they come into contact with the tape T, the pushing amount D is twice the thickness of the side margin sheets 117s in the Y-axis direction. As long as the thickness is equal to or less than twice the thickness of the laminate 116 in the Y-axis direction, punching can be performed without problems as shown in FIG. 10(b).

図10(b)において、テープTに接着されたサイドマージンシート117sは、積層体116を別のテープTに移し替える際に回収することができる。よって、上記のようなサイドマージンシート117sの打ち抜き方法によれば、サイドマージン部117を安定して形成可能であり、かつ、打ち抜き後のサイドマージンシート117sの残留を防止することが可能である。 10(b), the side margin sheet 117s adhered to the tape T can be recovered when the laminate 116 is transferred to another tape T. In FIG. Therefore, according to the punching method of the side margin sheet 117s as described above, the side margin portion 117 can be stably formed, and the side margin sheet 117s after punching can be prevented from remaining.

[その他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
[Other embodiments]
Although the embodiments of the present invention have been described above, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiments and can be modified in various ways.

例えば、上記実施形態では積層セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサ10について説明したが、本発明は積層セラミック電子部品全般に適用可能である。このような積層セラミック電子部品としては、例えば、チップバリスタ、チップサーミスタ、積層インダクタなどが挙げられる。 For example, in the above embodiments, the laminated ceramic capacitor 10 was explained as an example of the laminated ceramic electronic component, but the present invention is applicable to all laminated ceramic electronic components. Examples of such multilayer ceramic electronic components include chip varistors, chip thermistors, and multilayer inductors.

10…積層セラミックコンデンサ
11,111…セラミック素体
12,13,112,113…内部電極
16,116…積層体
17,117…サイドマージン部
117s…サイドマージンシート
18,118…容量形成部
19,119…カバー部
200…弾性体
300…保持部材
S…側面
T…テープ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Laminated ceramic capacitor 11, 111... Ceramic element body 12, 13, 112, 113... Internal electrode 16, 116... Laminated body 17, 117... Side margin part 117s... Side margin sheet 18, 118... Capacitance forming part 19, 119 ... Cover part 200 ... Elastic body 300 ... Holding member S ... Side surface T ... Tape

Claims (3)

第1方向に積層された複数のセラミック層と、前記複数のセラミック層の間に配置された複数の内部電極と、を有する容量形成部と、前記第1方向と直交する第2方向を向いた側面と、前記容量形成部を前記第1方向から覆うカバー部と、を有する積層体を作製し、
サイドマージンシートが表面に配置された弾性体に、前記積層体を、前記側面側から前記積層体の前記第2方向の厚みの1倍以上2倍以下押し込むことで、前記サイドマージンシートを打ち抜く
積層セラミック電子部品の製造方法。
a capacitance forming portion having a plurality of ceramic layers laminated in a first direction and a plurality of internal electrodes arranged between the plurality of ceramic layers; producing a laminate having a side surface and a cover portion covering the capacitance forming portion from the first direction;
The side margin sheet is pushed into the elastic body on which the side margin sheet is arranged on the surface by pressing the laminate from the side surface side to 1 to 2 times the thickness of the laminate in the second direction. A method for manufacturing a laminated ceramic electronic component by punching.
請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記弾性体の静的せん断弾性率が、5MPa以下である
積層セラミック電子部品の製造方法。
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1,
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein the elastic body has a static shear elastic modulus of 5 MPa or less.
請求項1又は2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、 A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1 or 2,
前記積層体は、前記第2方向を向いた第1及び第2側面を有し、 The laminate has first and second side surfaces facing the second direction,
粘着性を有するテープによって前記第1側面が保持された前記積層体を前記第2側面側から前記弾性体に押し込むことで前記サイドマージンシートを打ち抜いて、打ち抜かれた前記サイドマージンシートを前記テープに接着させ、 The side margin sheet is punched out by pressing the laminated body, the first side surface of which is held by an adhesive tape, into the elastic body from the second side surface side, and the punched side margin sheet is attached to the tape. glue,
前記テープを前記第2側面から剥がすことで前記打ち抜かれたサイドマージンシートを前記テープとともに回収する The punched side margin sheet is collected together with the tape by peeling the tape from the second side surface.
積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
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