JP2019160834A - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents

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Abstract

To provide a manufacturing method of multilayer ceramic electronic component capable of forming a side margin part stably.SOLUTION: In a manufacturing method of multilayer ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention, a laminate is manufactured, having a capacity formation part having multiple ceramic layers laminated in a first direction, and multiple internal electrodes placed between the multiple ceramic layers, a lateral face facing a second direction orthogonal to the first direction, and a cover part covering the capacity formation part from the first direction. A side margin sheet is punched out by pushing the laminate into an elastomer, where the side margin sheet is placed on the surface, two times or more of the thickness of the side margin sheet in the second direction from the lateral face side, and two times or less of the thickness of the laminate in the second direction.SELECTED DRAWING: Figure 9

Description

本発明は、サイドマージン部が後付けされる積層セラミック電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component to which a side margin portion is retrofitted.

代表的な積層セラミック電子部品に積層セラミックコンデンサがある。近年、電子機器の小型化及び高性能化に伴い、積層セラミックコンデンサに対する大容量化の要望がますます強くなってきている。   A typical multilayer ceramic electronic component is a multilayer ceramic capacitor. In recent years, with the miniaturization and high performance of electronic devices, there has been an increasing demand for higher capacity for multilayer ceramic capacitors.

積層セラミックコンデンサを大容量化するために、サイドマージン部を後付けする技術が知られている。当該技術によれば、サイドマージン部を薄く作製できるため、内部電極の交差面積を広く確保でき、積層セラミックコンデンサの大容量化に寄与する。   In order to increase the capacity of a multilayer ceramic capacitor, a technique of retrofitting a side margin portion is known. According to this technique, since the side margin portion can be made thin, it is possible to secure a large crossing area of the internal electrodes, contributing to an increase in the capacity of the multilayer ceramic capacitor.

例えば、特許文献1には、セラミックグリーンシートが配置された弾性体に積層チップの側面を押し付けることにより、積層チップの側面にサイドマージン部を形成する方法が記載されている。   For example, Patent Document 1 describes a method of forming a side margin portion on a side surface of a multilayer chip by pressing the side surface of the multilayer chip against an elastic body on which a ceramic green sheet is arranged.

特開2012−209539号公報JP 2012-209539 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、弾性体への積層チップの押し込み量が少ない場合、セラミックグリーンシートを打ち抜くことができない。その一方で、押し込み量が多い場合、圧縮変形した弾性体の応力が積層チップの主面方向及び端面方向に強く働く。このため、弾性体から積層チップを引き戻す際に、貼り付けたセラミックグリーンシートが積層チップから剥がれたり、積層チップが保持部材から剥がれたりしてしまう問題が発生する。   However, with the technique described in Patent Document 1, when the amount of the laminated chip pushed into the elastic body is small, the ceramic green sheet cannot be punched out. On the other hand, when the pushing amount is large, the stress of the elastic body that has been compressively deformed works strongly in the main surface direction and the end surface direction of the multilayer chip. For this reason, when pulling back the laminated chip from the elastic body, there arises a problem that the adhered ceramic green sheet is peeled off from the laminated chip or the laminated chip is peeled off from the holding member.

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、安定してサイドマージン部を形成可能な積層セラミック電子部品の製造方法を提供することにある。   In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component capable of stably forming a side margin portion.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法では、第1方向に積層された複数のセラミック層と、上記複数のセラミック層の間に配置された複数の内部電極と、を有する容量形成部と、上記第1方向と直交する第2方向を向いた側面と、上記容量形成部を上記第1方向から覆うカバー部と、を有する積層体が作製される。
サイドマージンシートが表面に配置された弾性体に、上記積層体を、上記側面側から上記サイドマージンシートの上記第2方向の厚みの2倍以上、かつ、上記積層体の上記第2方向の厚みの2倍以下押し込むことで、上記サイドマージンシートが打ち抜かれる。
In order to achieve the above object, in a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to an aspect of the present invention, a plurality of ceramic layers stacked in a first direction and a plurality of internal layers disposed between the plurality of ceramic layers. A laminated body having a capacitor forming portion having an electrode, a side surface facing a second direction orthogonal to the first direction, and a cover portion covering the capacitor forming portion from the first direction is manufactured.
On the elastic body having the side margin sheet disposed on the surface, the laminate is more than twice the thickness of the side margin sheet in the second direction from the side surface, and the thickness of the laminate in the second direction. The side margin sheet is punched out by pushing twice or less.

上記製造方法によれば、サイドマージン部を打ち抜く際、積層体の押し込み量を適切な範囲とすることができる。これにより、安定してサイドマージン部を形成することが可能となる。   According to the manufacturing method described above, when the side margin portion is punched out, the push amount of the stacked body can be set to an appropriate range. As a result, the side margin can be formed stably.

上記弾性体の静的せん断弾性率が5MPa以下であってもよい。
この構成によれば、打ち抜きに充分な量のせん断力をサイドマージンシートに与えることができ、かつ、弾性体に積層体を適切に押し込むことができる。
The static shear modulus of the elastic body may be 5 MPa or less.
According to this configuration, a sufficient amount of shearing force for punching can be applied to the side margin sheet, and the laminate can be appropriately pushed into the elastic body.

以上述べたように、本発明によれば、安定してサイドマージン部を形成可能な積層セラミック電子部品の製造方法を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component capable of stably forming a side margin portion.

本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの斜視図である。1 is a perspective view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 上記積層セラミックコンデンサの図1のA−A'線に沿った斜視図である。It is a perspective view along the AA 'line of FIG. 1 of the said multilayer ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの図1のB−B'線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the BB 'line | wire of FIG. 1 of the said multilayer ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the said multilayer ceramic capacitor. 上記製造方法のステップS01で準備される積層体の斜視図である。It is a perspective view of the laminated body prepared by step S01 of the said manufacturing method. 上記製造方法のステップS02を示す積層体の端面側から見た図である。It is the figure seen from the end surface side of the laminated body which shows step S02 of the said manufacturing method. 上記製造方法のステップS02の後の未焼成のセラミック素体の斜視図である。It is a perspective view of the unfired ceramic body after step S02 of the manufacturing method. 一般的な打ち抜き方法を示す積層体の端面側から見た図である。It is the figure seen from the end surface side of the laminated body which shows the general punching method. 上記実施形態に係る打ち抜き方法を示す積層体の端面側から見た図である。It is the figure seen from the end surface side of the laminated body which shows the punching method which concerns on the said embodiment. 上記実施形態に係る打ち抜き方法を示す積層体の端面側から見た図である。It is the figure seen from the end surface side of the laminated body which shows the punching method which concerns on the said embodiment.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
図面には、適宜相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸、Y軸、及びZ軸は全図において共通である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the drawing, an X axis, a Y axis, and a Z axis that are orthogonal to each other are shown as appropriate. The X axis, Y axis, and Z axis are common in all drawings.

[積層セラミックコンデンサ10の全体構成]
図1〜3は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10を示す図である。図2は、積層セラミックコンデンサ10の図1のA−A'線に沿った断面図である。図3は、積層セラミックコンデンサ10の図1のB−B'線に沿った断面図である。
[Overall Configuration of Multilayer Ceramic Capacitor 10]
1 to 3 are views showing a multilayer ceramic capacitor 10 according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 10 taken along the line AA ′ of FIG. 3 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 10 taken along line BB ′ of FIG.

積層セラミックコンデンサ10は、セラミック素体11と、第1外部電極14と、第2外部電極15と、を備える。セラミック素体11は、典型的には、X軸方向を向いた2つの端面と、Y軸方向を向いた2つの側面と、Z軸方向を向いた2つの主面と、を有する。なお、セラミック素体11の形状はこのような形状に限定されない。例えば、セラミック素体11の各面は曲面であってもよく、セラミック素体11は全体として丸みを帯びた形状であってもよい。   The multilayer ceramic capacitor 10 includes a ceramic body 11, a first external electrode 14, and a second external electrode 15. The ceramic body 11 typically has two end faces that face the X-axis direction, two side faces that face the Y-axis direction, and two main faces that face the Z-axis direction. The shape of the ceramic body 11 is not limited to such a shape. For example, each surface of the ceramic body 11 may be a curved surface, and the ceramic body 11 may have a rounded shape as a whole.

外部電極14,15は、セラミック素体11の端面を覆い、セラミック素体11を挟んでX軸方向に対向している。外部電極14,15は、セラミック素体11の端面から主面及び側面に延出している。これにより、外部電極14,15では、X−Z平面に平行な断面、及びX−Y平面に平行な断面がいずれもU字状となっている。なお、外部電極14,15の形状は、図1に示すものに限定されない。   The external electrodes 14 and 15 cover the end face of the ceramic body 11 and face each other in the X-axis direction with the ceramic body 11 interposed therebetween. The external electrodes 14 and 15 extend from the end surface of the ceramic body 11 to the main surface and side surfaces. Thereby, in the external electrodes 14 and 15, the cross section parallel to the XZ plane and the cross section parallel to the XY plane are both U-shaped. The shape of the external electrodes 14 and 15 is not limited to that shown in FIG.

外部電極14,15は、電気の良導体により形成されている。外部電極14,15を形成する電気の良導体としては、例えば、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。   The external electrodes 14 and 15 are formed of a good electrical conductor. For example, copper (Cu), nickel (Ni), tin (Sn), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), gold (Au) can be used as the good electrical conductor for forming the external electrodes 14 and 15. Examples thereof include metals and alloys mainly composed of these.

セラミック素体11は、誘電体セラミックスで形成され、積層体16と、サイドマージン部17と、を有する。積層体16は、X軸方向を向いた2つの端面と、Y軸方向を向いた2つの側面Sと、Z軸方向を向いた2つの主面と、を有し、X−Y平面に沿って延びる平板状の複数のセラミック層がZ軸方向に積層された構成を有する。サイドマージン部17は、積層体16の両側面Sに形成されている。   The ceramic body 11 is made of dielectric ceramics and includes a laminated body 16 and side margin portions 17. The stacked body 16 has two end surfaces facing the X-axis direction, two side surfaces S facing the Y-axis direction, and two main surfaces facing the Z-axis direction, and is along the XY plane. A plurality of flat ceramic layers extending in the Z-axis direction are stacked. The side margin portion 17 is formed on both side surfaces S of the stacked body 16.

積層体16は、容量形成部18と、カバー部19と、を有する。容量形成部18は、誘電体セラミックスに覆われた第1内部電極12及び第2内部電極13を有し、Z軸方向上下からカバー部19に被覆されている。   The stacked body 16 includes a capacity forming portion 18 and a cover portion 19. The capacitance forming unit 18 includes a first internal electrode 12 and a second internal electrode 13 covered with dielectric ceramics, and is covered with a cover unit 19 from the upper and lower sides in the Z-axis direction.

内部電極12,13は、いずれもX−Y平面に沿って延びるシート状であり、Z軸方向に沿って交互に配置されている。つまり、内部電極12,13は、セラミック層を挟んでZ軸方向に対向している。第1内部電極12は、セラミック素体11の一方の端面に引き出され、第1外部電極14に接続されている。第2内部電極13は、セラミック素体11の他方の端面に引き出され、第2外部電極15に接続されている。   The internal electrodes 12 and 13 each have a sheet shape extending along the XY plane, and are alternately arranged along the Z-axis direction. That is, the internal electrodes 12 and 13 are opposed to each other in the Z-axis direction with the ceramic layer interposed therebetween. The first internal electrode 12 is drawn out to one end face of the ceramic body 11 and connected to the first external electrode 14. The second internal electrode 13 is drawn out to the other end face of the ceramic body 11 and connected to the second external electrode 15.

一方の端面側の第1内部電極12間のセラミック層は、第2内部電極13と第1外部電極14との絶縁性を確保するエンドマージンとして機能する。同様に、他方の端面側の第2内部電極13間のセラミック層は、第1内部電極12と第2外部電極15との絶縁性を確保するエンドマージンとして機能する。   The ceramic layer between the first internal electrodes 12 on one end face side functions as an end margin that ensures insulation between the second internal electrode 13 and the first external electrode 14. Similarly, the ceramic layer between the second internal electrodes 13 on the other end face side functions as an end margin for ensuring insulation between the first internal electrode 12 and the second external electrode 15.

このような構成により、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間に電圧が印加されると、第1内部電極12と第2内部電極13との間の複数のセラミック層に電圧が加わる。これにより、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間の電圧に応じた電荷が蓄えられる。   With such a configuration, in the multilayer ceramic capacitor 10, when a voltage is applied between the first external electrode 14 and the second external electrode 15, a plurality of layers between the first internal electrode 12 and the second internal electrode 13 are provided. A voltage is applied to the ceramic layer. As a result, in the multilayer ceramic capacitor 10, charges corresponding to the voltage between the first external electrode 14 and the second external electrode 15 are stored.

また、容量形成部18では、外部電極14,15が設けられたX軸方向両端面以外の面がサイドマージン部17及びカバー部19によって覆われている。したがって、容量形成部18では、サイドマージン部17及びカバー部19によってその周囲が保護され、内部電極12,13の絶縁性が確保される。   Further, in the capacitance forming portion 18, the surfaces other than both end surfaces in the X-axis direction where the external electrodes 14 and 15 are provided are covered with the side margin portion 17 and the cover portion 19. Accordingly, in the capacitance forming portion 18, the periphery thereof is protected by the side margin portion 17 and the cover portion 19, and the insulating properties of the internal electrodes 12 and 13 are ensured.

セラミック素体11では、内部電極12,13間の各セラミック層の容量を大きくするため、高誘電率の誘電体セラミックスが主成分として用いられる。高誘電率の誘電体セラミックスとしては、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)に代表される、バリウム(Ba)及びチタン(Ti)を含むペロブスカイト構造の材料が挙げられる。 In the ceramic body 11, a dielectric ceramic having a high dielectric constant is used as a main component in order to increase the capacity of each ceramic layer between the internal electrodes 12 and 13. Examples of the dielectric ceramic having a high dielectric constant include a perovskite structure material containing barium (Ba) and titanium (Ti) typified by barium titanate (BaTiO 3 ).

なお、セラミック層の主成分は、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)系、チタン酸カルシウム(CaTiO)系、チタン酸マグネシウム(MgTiO)系、ジルコン酸カルシウム(CaZrO)系、チタン酸ジルコン酸カルシウム(Ca(Zr,Ti)O)系、ジルコン酸バリウム(BaZrO)系、酸化チタン(TiO)系等で構成してもよい。 The main components of the ceramic layer are strontium titanate (SrTiO 3 ), calcium titanate (CaTiO 3 ), magnesium titanate (MgTiO 3 ), calcium zirconate (CaZrO 3 ), calcium zirconate titanate. (Ca (Zr, Ti) O 3 ), barium zirconate (BaZrO 3 ), titanium oxide (TiO 2 ), or the like may be used.

内部電極12,13は、電気の良導体により形成されている。内部電極12,13を形成する電気の良導体としては、典型的にはニッケル(Ni)が挙げられ、この他にも銅(Cu)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)等を主成分とする金属又は合金が挙げられる。   The internal electrodes 12 and 13 are formed of a good electrical conductor. Typical examples of good electrical conductors forming the internal electrodes 12 and 13 include nickel (Ni). Besides these, copper (Cu), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), Examples thereof include metals or alloys mainly composed of gold (Au) or the like.

なお、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、積層体16及びサイドマージン部17を備えていればよく、その他の構成について適宜変更可能である。例えば、第1及び第2内部電極12,13の枚数は、積層セラミックコンデンサ10に求められるサイズや性能に応じて、適宜決定可能である。   Note that the multilayer ceramic capacitor 10 according to the present embodiment only needs to include the multilayer body 16 and the side margin portion 17, and other configurations can be appropriately changed. For example, the number of the first and second internal electrodes 12 and 13 can be appropriately determined according to the size and performance required for the multilayer ceramic capacitor 10.

[積層セラミックコンデンサ10の製造方法]
図4は、積層セラミックコンデンサ10の製造方法を示すフローチャートである。図5〜7は積層セラミックコンデンサ10の製造過程を示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ10の製造方法について、図4に沿って、図5〜7を適宜参照しながら説明する。
[Method of Manufacturing Multilayer Ceramic Capacitor 10]
FIG. 4 is a flowchart showing a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10. 5 to 7 are diagrams illustrating a manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor 10. Hereinafter, a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10 will be described along FIG. 4 with reference to FIGS.

(ステップS01:積層体準備)
ステップS01では、積層体116を準備する。図5は、積層体116の斜視図である。積層体116は、内部電極112,113が適宜パターニングされた、複数の未焼成の誘電体グリーンシートが積層されて構成されている。これにより、積層体116には、内部電極112,113の間に配置された複数の未焼成のセラミック層を有する未焼成の容量形成部118と、カバー部119とが形成されている。
(Step S01: Laminate preparation)
In step S01, the stacked body 116 is prepared. FIG. 5 is a perspective view of the stacked body 116. The laminate 116 is configured by laminating a plurality of unfired dielectric green sheets in which the internal electrodes 112 and 113 are appropriately patterned. As a result, an unfired capacitance forming portion 118 having a plurality of unfired ceramic layers disposed between the internal electrodes 112 and 113 and a cover portion 119 are formed in the laminate 116.

(ステップS02:サイドマージン部形成)
ステップS02では、ステップS01で準備された積層体116の側面Sに未焼成のサイドマージン部117を設けることにより、未焼成のセラミック素体111を作製する。サイドマージン部117の形成には、打ち抜き法を用いる。つまり、打ち抜き法では、積層体116の側面でサイドマージンシート117sを打ち抜くことで、サイドマージン部117を形成する。
(Step S02: Side margin portion formation)
In step S02, an unfired ceramic body 111 is produced by providing an unfired side margin portion 117 on the side surface S of the laminate 116 prepared in step S01. A punching method is used to form the side margin portion 117. That is, in the punching method, the side margin portion 117 is formed by punching the side margin sheet 117 s on the side surface of the stacked body 116.

図6(a)〜(c)は、積層体116の側面Sでサイドマージンシート117sを打ち抜く方法を示す図である。まず、図6(a)に示すように、粘着性を有するテープTで一方の側面Sを保持した積層体116の他方の側面Sを、平板状の弾性体200の上に配置されたサイドマージンシート117sに対向させる。本実施形態では、弾性体200は保持部材300によって保持されており、保持部材300はY軸方向に沿って移動可能に構成されている。   6A to 6C are diagrams illustrating a method of punching the side margin sheet 117s with the side surface S of the stacked body 116. FIG. First, as shown in FIG. 6A, the other side surface S of the laminate 116 holding one side surface S with an adhesive tape T is placed on a side margin arranged on a flat elastic body 200. It is made to oppose the sheet 117s. In the present embodiment, the elastic body 200 is held by a holding member 300, and the holding member 300 is configured to be movable along the Y-axis direction.

サイドマージンシート117sは、未焼成のサイドマージン部117を形成するための大判の誘電体グリーンシートとして構成される。サイドマージンシート117sの厚みによって、図2,3に示す積層セラミックコンデンサ10のサイドマージン部17のY軸方向の厚みを調整可能である。サイドマージンシート117sは、例えば、ロールコーターやドクターブレードを用いてシート状に成形することにより、厚みを正確に制御可能である。   The side margin sheet 117s is configured as a large dielectric green sheet for forming the unfired side margin portion 117. The thickness of the side margin portion 17 of the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIGS. 2 and 3 can be adjusted by the thickness of the side margin sheet 117s. The side margin sheet 117s can be accurately controlled by forming it into a sheet shape using, for example, a roll coater or a doctor blade.

次に、図6(b)に示すように、積層体116の側面Sをサイドマージンシート117sに押し込み、積層体116をサイドマージンシート117sとともに弾性体200に沈みこませる。このとき、サイドマージンシート117sは、弾性体200から加わるせん断力によって、積層体116に押圧された領域のみが切り離される。   Next, as shown in FIG. 6B, the side surface S of the multilayer body 116 is pushed into the side margin sheet 117s, and the multilayer body 116 is sunk into the elastic body 200 together with the side margin sheet 117s. At this time, only the region where the side margin sheet 117s is pressed against the laminated body 116 by the shearing force applied from the elastic body 200 is cut off.

そして、図6(c)に示すように、積層体116を弾性体200から離間するように移動させると、サイドマージンシート117sにおける積層体116の側面Sに貼り付いた部分のみが弾性体200から離間する。これにより、積層体116の側面Sにサイドマージン部117が形成される。   Then, as illustrated in FIG. 6C, when the stacked body 116 is moved away from the elastic body 200, only the portion attached to the side surface S of the stacked body 116 in the side margin sheet 117 s is removed from the elastic body 200. Separate. Thereby, the side margin portion 117 is formed on the side surface S of the multilayer body 116.

続いて、積層体116を保持するテープTを別のテープTに張り替えることにより、積層体116のY軸方向の向きを反転させる。そして、サイドマージン部117が形成されていない積層体116の反対側の側面Sにも、上記と同様の要領でサイドマージン部117を形成する。本実施形態では、積層体116の押し込み量を調整することで、安定してサイドマージンシート117sを打ち抜くことができる。その詳細な方法については後述する。   Subsequently, the direction of the multilayer body 116 in the Y-axis direction is reversed by replacing the tape T holding the multilayer body 116 with another tape T. Then, the side margin portion 117 is formed on the side surface S on the opposite side of the stacked body 116 where the side margin portion 117 is not formed in the same manner as described above. In the present embodiment, the side margin sheet 117s can be stably punched out by adjusting the push amount of the stacked body 116. The detailed method will be described later.

ステップS02により、積層体116の両側面Sに、サイドマージン部117が形成された未焼成のセラミック素体111が得られる。図7は、未焼成のセラミック素体111の斜視図である。未焼成のセラミック素体111では、内部電極112,113が露出した積層体116の側面Sがサイドマージン部117によって覆われている。   By step S02, the unfired ceramic body 111 in which the side margin portions 117 are formed on both side surfaces S of the multilayer body 116 is obtained. FIG. 7 is a perspective view of an unfired ceramic body 111. In the unfired ceramic body 111, the side margin S of the multilayer body 116 where the internal electrodes 112 and 113 are exposed is covered with the side margin portion 117.

なお、図6及び図8〜10では、テープT上に積層体116が3つ配置されているが、積層体116はX−Y平面に沿って等間隔に複数個並んでおり、その数及び間隔は適宜変更可能である。また、積層体116は、典型的にはテープT上に矩形に並んでいるが、並び方はこれに限られない。   6 and 8 to 10, three laminated bodies 116 are arranged on the tape T, but a plurality of laminated bodies 116 are arranged at equal intervals along the XY plane. The interval can be changed as appropriate. Moreover, although the laminated body 116 is typically located in a rectangle on the tape T, the way of arrangement is not limited to this.

(ステップS03:焼成)
ステップS03では、ステップS02で得られた未焼成のセラミック素体111を焼成することにより、図1〜3に示す積層セラミックコンデンサ10のセラミック素体11を作製する。つまり、ステップS03によって、積層体116が積層体16になり、サイドマージン部117がサイドマージン部17になる。
(Step S03: Firing)
In step S03, the ceramic body 11 of the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIGS. 1 to 3 is manufactured by firing the unfired ceramic body 111 obtained in step S02. That is, in step S03, the stacked body 116 becomes the stacked body 16, and the side margin portion 117 becomes the side margin portion 17.

ステップS03における焼成温度は、未焼成のセラミック素体111の焼結温度に基づいて決定することができる。例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)系材料を用いる場合には、焼成温度は1000〜1300℃程度とすることができる。また、焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。 The firing temperature in step S03 can be determined based on the sintering temperature of the unfired ceramic body 111. For example, when a barium titanate (BaTiO 3 ) -based material is used, the firing temperature can be about 1000 to 1300 ° C. The firing can be performed, for example, in a reducing atmosphere or a low oxygen partial pressure atmosphere.

(ステップS04:外部電極形成)
ステップS04では、ステップS03で得られたセラミック素体11のX軸方向両端部に外部電極14,15を形成することにより、図1,3に示す積層セラミックコンデンサ10を作製する。ステップS04における外部電極14,15の形成方法は、公知の方法から任意に選択可能である。
(Step S04: External electrode formation)
In step S04, the external electrodes 14 and 15 are formed at both ends in the X-axis direction of the ceramic body 11 obtained in step S03, so that the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIGS. The formation method of the external electrodes 14 and 15 in step S04 can be arbitrarily selected from known methods.

また、外部電極14,15は、未焼成のセラミック素体111と同時焼成してもよい。即ち、ステップS02の後に未焼成のセラミック素体111のX軸方向両端部に未焼成の外部電極を形成し、ステップS03で未焼成のセラミック素体111と同時に焼成することで外部電極14,15を形成することも可能である。   Further, the external electrodes 14 and 15 may be simultaneously fired with the unfired ceramic body 111. That is, after step S02, unfired external electrodes are formed on both ends in the X-axis direction of the unfired ceramic body 111, and fired simultaneously with the unfired ceramic body 111 in step S03, whereby the external electrodes 14, 15 are formed. It is also possible to form

以上の製造方法により、積層セラミックコンデンサ10が作製される。   The multilayer ceramic capacitor 10 is manufactured by the above manufacturing method.

[サイドマージンシート117sの打ち抜き方法の詳細]
ステップS02において、積層体116の側面Sでサイドマージンシート117sを打ち抜くことにより、積層体116の側面Sにサイドマージン部117を形成する方法について詳細に説明する。なお、積層体116の他方の側面Sについても、一方の側面Sと同様にサイドマージン部117を形成可能である。
[Details of punching method of side margin sheet 117s]
A method for forming the side margin portion 117 on the side surface S of the multilayer body 116 by punching out the side margin sheet 117s on the side surface S of the multilayer body 116 in step S02 will be described in detail. Note that the side margin portion 117 can be formed on the other side surface S of the stacked body 116 as well as the one side surface S.

一般に、弾性体を用いてサイドマージン部を後付けする方法では、積層体の押し込み量が少なすぎると、弾性体によるせん断力が足りないためにサイドマージンシートが切り離されず、適切にサイドマージンシートを打ち抜くことができない。これにより、サイドマージンシートの打ち抜き不良が発生する。このため、積層体の押し込み量を充分に多くする必要がある。   Generally, in the method of attaching the side margin part using an elastic body, if the amount of pushing in the laminated body is too small, the side margin sheet is not cut off due to insufficient shearing force by the elastic body, and the side margin sheet is punched appropriately. I can't. Thereby, the punching defect of the side margin sheet occurs. For this reason, it is necessary to increase the pushing amount of the laminated body sufficiently.

しかし、積層体の押し込み量が多すぎる場合にも不具合が発生する。図8(a)は、弾性体200への積層体116の押し込み量が多すぎる状態を示す図である。また、図8(b)は、図8(a)の状態から積層体116を引き抜いた状態を示す図である。   However, problems also occur when the amount of push-in of the laminate is too large. FIG. 8A is a diagram illustrating a state where the amount of pushing of the laminated body 116 into the elastic body 200 is too large. FIG. 8B is a diagram showing a state in which the stacked body 116 is pulled out from the state of FIG.

積層体116の押し込み量が多すぎると、図8(a)に示すように、圧縮変形した弾性体200の応力(復元力)が積層体116の主面方向及び端面方向に強く働く。この状態で、弾性体200から積層体116を引き抜くと、図8(b)に示すように、積層体116の側面に貼り付けたサイドマージン部117が剥離してしまったり(図中左の積層体116)、サイドマージン部117がズレてしまったり(図中中央の積層体116)、テープTから積層体116が引き剥がされてしまったり(図中右の積層体116)することがある。   If the pushing amount of the laminated body 116 is too large, as shown in FIG. 8A, the stress (restoring force) of the elastic body 200 that is compressively deformed works strongly in the main surface direction and the end surface direction of the laminated body 116. In this state, when the laminated body 116 is pulled out from the elastic body 200, the side margin portion 117 attached to the side surface of the laminated body 116 may be peeled off as shown in FIG. Body 116), the side margin 117 may be displaced (laminated body 116 in the figure), or the laminated body 116 may be peeled off from the tape T (right side laminated body 116 in the figure).

よって、上記のように打ち抜き量が極端な場合では、製造過程においてサイドマージンシートの打ち抜き不良や剥離等が発生するため、製品の歩留まりが低下する問題が生じる。   Therefore, when the punching amount is extreme as described above, defective punching or peeling of the side margin sheet occurs in the manufacturing process, which causes a problem that the yield of the product decreases.

そこで、本実施形態では、ステップS02において、サイドマージンシート117sが配置された弾性体200に対して、積層体116の押し込み量Dが適切な量に設定されている。以下、本実施形態のサイドマージンシート117sの打ち抜き方法について説明する。図9(a)は、弾性体200に積層体116を押し込む寸前の状態を示す図である。また、図9(b)は、弾性体200に積層体116を適切な押し込み量で押し込んだ状態を示す図である。   Therefore, in this embodiment, in step S02, the pushing amount D of the stacked body 116 is set to an appropriate amount with respect to the elastic body 200 on which the side margin sheet 117s is arranged. Hereinafter, a method for punching the side margin sheet 117s of the present embodiment will be described. FIG. 9A is a diagram showing a state just before the laminated body 116 is pushed into the elastic body 200. FIG. 9B is a diagram showing a state where the laminated body 116 is pushed into the elastic body 200 with an appropriate pushing amount.

本実施形態において、積層体116の押し込み量Dとは、サイドマージンシート117sが配置された弾性体200に、積層体116をY軸方向に沿って押し込んだときの、積層体116のY軸方向の変位である。具体的に、積層体116の弾性体200側を向いた側面Sがサイドマージンシート117sに接触した状態(図9(a)の状態)から押し込み後(図9(b)の状態)までの、当該側面SのY軸方向の変位を押し込み量Dとする。即ち、押し込み量Dは、弾性体200を保持する保持部材300及び当該側面S間の距離によって規定される。   In this embodiment, the pushing amount D of the laminated body 116 is the Y axis direction of the laminated body 116 when the laminated body 116 is pushed along the Y axis direction into the elastic body 200 on which the side margin sheet 117s is arranged. Displacement. Specifically, from the state in which the side surface S facing the elastic body 200 side of the laminated body 116 is in contact with the side margin sheet 117s (the state in FIG. 9A) to after being pushed in (the state in FIG. 9B), The displacement of the side surface S in the Y-axis direction is defined as a push-in amount D. That is, the pushing amount D is defined by the distance between the holding member 300 that holds the elastic body 200 and the side surface S.

図9(a)に示すように、弾性体200に積層体116を押し込む寸前の状態では、サイドマージンシート117sと、積層体116の弾性体200側の側面Sとが接触している。このときの保持部材300及び当該側面S間の距離をDとし、押し込み量Dの基準値とする。従って、このときの押し込み量Dは0となる。 As shown in FIG. 9A, the side margin sheet 117s and the side surface S on the elastic body 200 side of the laminated body 116 are in contact with each other in a state just before the laminated body 116 is pushed into the elastic body 200. The distance between the holding member 300 and the side surface S at this time is a D 0, the reference value of the pressing amount D. Accordingly, the pushing amount D at this time becomes zero.

次に、図9(b)に示すように、弾性体200に積層体116を押し込んだ状態では、弾性体200側の側面Sが保持部材300に近づく。このときの保持部材300及び当該側面S間の距離をDとすると、押し込み量Dは、D=D−Dで表すことができる。 Next, as illustrated in FIG. 9B, the side surface S on the elastic body 200 side approaches the holding member 300 in a state where the laminated body 116 is pushed into the elastic body 200. When the distance between the holding member 300 and the side surface S at this time is D 1, the push amount D can be expressed by D = D 0 -D 1.

本実施形態では、押し込み量Dは、サイドマージンシート117sのY軸方向の厚みの2倍以上、かつ、積層体116のY軸方向の厚みの2倍以下となっている。押し込み量Dを、サイドマージンシート117sのY軸方向の厚みの2倍以上とすることにより、サイドマージンシート117sに、打ち抜きに充分な量のせん断力を加えることができる。これにより、サイドマージンシート117sを適切に打ち抜くことができる。   In the present embodiment, the push-in amount D is not less than twice the thickness of the side margin sheet 117s in the Y-axis direction and not more than twice the thickness of the stacked body 116 in the Y-axis direction. By setting the pushing amount D to be twice or more the thickness of the side margin sheet 117s in the Y-axis direction, a sufficient amount of shearing force can be applied to the side margin sheet 117s. Thereby, the side margin sheet 117s can be appropriately punched.

また、押し込み量Dを、積層体116のY軸方向の厚みの2倍以下とすることにより、積層体116の主面及び端面に働く、圧縮変形した弾性体200による応力を軽減することができる。これにより、サイドマージン部117や積層体116の剥離を防止することができる。   Further, by setting the pushing amount D to be equal to or less than twice the thickness of the laminate 116 in the Y-axis direction, it is possible to reduce the stress caused by the compression-deformed elastic body 200 acting on the main surface and the end face of the laminate 116. . Thereby, peeling of the side margin part 117 and the laminated body 116 can be prevented.

つまり、上記の各条件を満たすことで、積層体116の側面Sに安定してサイドマージン部117を形成することが可能となる。   That is, by satisfying the above conditions, the side margin portion 117 can be stably formed on the side surface S of the stacked body 116.

本実施形態では、弾性体200の静的せん断弾性率は、5MPa以下とすることが好ましい。弾性体200の静的せん断弾性率を5MPa以下とすることで、弾性体200に積層体116を適切に押し込むことができる。   In the present embodiment, the static shear modulus of the elastic body 200 is preferably 5 MPa or less. By setting the static shear modulus of the elastic body 200 to 5 MPa or less, the laminate 116 can be appropriately pushed into the elastic body 200.

なお、図9(b)の状態においても、圧縮変形した弾性体200の応力が積層体116の主面方向及び端面方向に働いているが、弾性体200が大きく圧縮変形していないため、その力は弱くなる。このため、積層体116及び貼り付けたサイドマージンシート117sが剥がれるおそれがない。   Even in the state of FIG. 9B, the stress of the elastic body 200 that has been compressively deformed is acting in the main surface direction and the end surface direction of the laminate 116, but since the elastic body 200 is not greatly compressed and deformed, Power is weakened. For this reason, there is no possibility that the laminated body 116 and the attached side margin sheet 117s are peeled off.

図10(a)は、積層体116間のサイドマージンシート117sがテープTに接するまで押し込んだ状態を示す図である。また、図10(b)は、図10(a)の状態から積層体116を引き抜いた状態を示す図である。   FIG. 10A is a diagram illustrating a state in which the side margin sheets 117s between the stacked bodies 116 are pushed in until they are in contact with the tape T. FIG. Moreover, FIG.10 (b) is a figure which shows the state which pulled out the laminated body 116 from the state of Fig.10 (a).

図10(a)に示すように、積層体116間のサイドマージンシート117sがテープTに接するまで押し込んだ状態であっても、押し込み量Dがサイドマージンシート117sのY軸方向の厚みの2倍以上、かつ、積層体116のY軸方向の厚みの2倍以下となっていれば、図10(b)に示すように問題なく打ち抜くことができる。   As shown in FIG. 10A, even when the side margin sheet 117s between the stacked bodies 116 is pushed in until it comes into contact with the tape T, the pushing amount D is twice the thickness of the side margin sheet 117s in the Y-axis direction. If the thickness is not more than twice the thickness of the laminate 116 in the Y-axis direction, it can be punched without problems as shown in FIG.

図10(b)において、テープTに接着されたサイドマージンシート117sは、積層体116を別のテープTに移し替える際に回収することができる。よって、上記のようなサイドマージンシート117sの打ち抜き方法によれば、サイドマージン部117を安定して形成可能であり、かつ、打ち抜き後のサイドマージンシート117sの残留を防止することが可能である。   In FIG. 10B, the side margin sheet 117s adhered to the tape T can be collected when the laminated body 116 is transferred to another tape T. Therefore, according to the punching method of the side margin sheet 117s as described above, the side margin portion 117 can be stably formed, and the remaining side margin sheet 117s after the punching can be prevented.

[その他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
[Other Embodiments]
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited only to the above-mentioned embodiment, Of course, a various change can be added.

例えば、上記実施形態では積層セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサ10について説明したが、本発明は積層セラミック電子部品全般に適用可能である。このような積層セラミック電子部品としては、例えば、チップバリスタ、チップサーミスタ、積層インダクタなどが挙げられる。   For example, in the above embodiment, the multilayer ceramic capacitor 10 has been described as an example of the multilayer ceramic electronic component. However, the present invention is applicable to all multilayer ceramic electronic components. Examples of such multilayer ceramic electronic components include chip varistors, chip thermistors, and multilayer inductors.

10…積層セラミックコンデンサ
11,111…セラミック素体
12,13,112,113…内部電極
16,116…積層体
17,117…サイドマージン部
117s…サイドマージンシート
18,118…容量形成部
19,119…カバー部
200…弾性体
300…保持部材
S…側面
T…テープ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Multilayer ceramic capacitor 11, 111 ... Ceramic body 12, 13, 112, 113 ... Internal electrode 16, 116 ... Laminated body 17,117 ... Side margin part 117s ... Side margin sheet 18, 118 ... Capacitance formation part 19,119 ... Cover part 200 ... Elastic body 300 ... Holding member S ... Side surface T ... Tape

Claims (2)

第1方向に積層された複数のセラミック層と、前記複数のセラミック層の間に配置された複数の内部電極と、を有する容量形成部と、前記第1方向と直交する第2方向を向いた側面と、前記容量形成部を前記第1方向から覆うカバー部と、を有する積層体を作製し、
サイドマージンシートが表面に配置された弾性体に、前記積層体を、前記側面側から前記サイドマージンシートの前記第2方向の厚みの2倍以上、かつ、前記積層体の前記第2方向の厚みの2倍以下押し込むことで、前記サイドマージンシートを打ち抜く
積層セラミック電子部品の製造方法。
A capacitor forming portion having a plurality of ceramic layers stacked in a first direction and a plurality of internal electrodes disposed between the plurality of ceramic layers, and facing a second direction orthogonal to the first direction A laminated body having a side surface and a cover portion covering the capacitance forming portion from the first direction;
On the elastic body having the side margin sheet disposed on the surface, the laminated body is more than twice the thickness of the side margin sheet in the second direction from the side surface side, and the thickness of the laminated body in the second direction. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component in which the side margin sheet is punched out by being pressed twice or less.
請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記弾性体の静的せん断弾性率が、5MPa以下である
積層セラミック電子部品の製造方法。
It is a manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component according to claim 1,
A method for producing a multilayer ceramic electronic component, wherein the elastic body has a static shear modulus of 5 MPa or less.
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