JP7484049B2 - Manufacturing method for multilayer ceramic electronic components - Google Patents

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Description

本発明は、サイドマージン部を後付けする積層セラミック電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component that includes retrofitting side margins.

積層セラミックコンデンサの製造過程においてサイドマージン部を後付けする技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。この技術は、薄いサイドマージン部によっても内部電極が露出した積層体の側面を確実に保護することができるため、積層セラミックコンデンサの小型化及び大容量化に有利である。 There is a known technology for retrofitting side margins during the manufacturing process of multilayer ceramic capacitors (see, for example, Patent Document 1). This technology is advantageous for miniaturizing multilayer ceramic capacitors and increasing their capacitance, because the thin side margins can reliably protect the side surfaces of the laminate where the internal electrodes are exposed.

一例として、特許文献1に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法では、内部電極が印刷されたセラミックシートを積層した積層シートを切断し、内部電極が露出した切断面を側面とする複数の積層体を作製する。そして、積層体の側面でセラミックシートを打ち抜くことにより、積層体の両側面にサイドマージン部を形成する。 As an example, in the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor described in Patent Document 1, a laminate sheet made by stacking ceramic sheets on which internal electrodes are printed is cut to produce multiple laminates with the cut surfaces on which the internal electrodes are exposed as sides. Then, the ceramic sheets are punched out at the sides of the laminate to form side margins on both sides of the laminate.

特開2012-209539号公報JP 2012-209539 A

特許文献1に記載の手法では、積層体の側面に対するサイドマージン部の接着性を高めるために、積層体の側面でセラミックシートを加熱しながら打ち抜いている。しかしながら、このような手法では、充分な接着性が得られる反面、積層体の両側面におけるサイドマージン部の形状に大きい差が生じやすくなる。 In the method described in Patent Document 1, the ceramic sheet is heated and punched on the side of the laminate in order to increase the adhesion of the side margin to the side of the laminate. However, while this method can provide sufficient adhesion, it can also easily result in large differences in the shape of the side margin on both sides of the laminate.

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、打ち抜き法によって積層体の両側面にサイドマージン部を良好に形成可能な技術を提供することにある。 In view of the above circumstances, the object of the present invention is to provide a technology that can effectively form side margins on both sides of a laminate using a punching method.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法では、第1軸方向に積層された複数のセラミック層と、上記複数のセラミック層の間に位置する複数の内部電極と、上記第1軸と直交する第2軸方向に対向し、上記複数の内部電極が露出する第1及び第2側面と、を有する積層体が用意される。
上記積層体の上記第1側面に第1サイドマージンシートが熱圧着される。
熱圧着された上記第1サイドマージンシートを上記積層体の上記第1側面で打ち抜くことによって第1サイドマージン部が形成される。
上記積層体の上記第2側面に、上記第1サイドマージンシートよりも厚みが小さい第2サイドマージンシートが熱圧着される。
熱圧着された上記第2サイドマージンシートを上記積層体の上記第2側面で打ち抜くことによって第2サイドマージン部が形成される。
In order to achieve the above-mentioned object, a manufacturing method for a multilayer ceramic electronic component according to one embodiment of the present invention provides a laminate having a plurality of ceramic layers stacked in a first axial direction, a plurality of internal electrodes located between the plurality of ceramic layers, and first and second side surfaces opposing each other in a second axial direction perpendicular to the first axis, on which the plurality of internal electrodes are exposed.
A first side margin sheet is heat-compression bonded to the first side surface of the laminate.
The thermocompression-bonded first side margin sheet is punched out at the first side surface of the laminate to form a first side margin portion.
A second side margin sheet having a thickness smaller than that of the first side margin sheet is thermocompression bonded to the second side surface of the laminate.
The thermocompression-bonded second side margin sheet is punched out at the second side surface of the laminate to form a second side margin portion.

上記の製造過程において、第1サイドマージン部は、第1サイドマージンシートの第1熱圧着時に加え、第2サイドマージンシートの第2熱圧着時にも、加熱により変形しやすい状態で押圧力を受けることとなる。これに対し、本発明の構成では、第1サイドマージンシートの厚みを、予め第2サイドマージンシートの厚みよりも大きくする。これにより、本発明の構成では、変形の大きい第1サイドマージン部と、変形の小さい第2サイドマージン部と、の間における厚みの差を小さく留めることができる。 In the above manufacturing process, the first side margin portion is subjected to pressure in a state where it is easily deformed by heating, not only during the first thermocompression bonding of the first side margin sheet, but also during the second thermocompression bonding of the second side margin sheet. In contrast, in the configuration of the present invention, the thickness of the first side margin sheet is made greater than the thickness of the second side margin sheet in advance. As a result, in the configuration of the present invention, the difference in thickness between the first side margin portion, which is more deformed, and the second side margin portion, which is less deformed, can be kept small.

上記第2サイドマージンシートを熱圧着する前における第1サイドマージン部と上記第2サイドマージンシートとの厚みが同等であってもよい。
このように第2サイドマージンシートの厚みを設計することで、同等の厚みの第1及び第2サイドマージン部が得られやすくなる。
The first side margin portion and the second side margin sheet may have the same thickness before the second side margin sheet is thermocompression bonded.
By designing the thickness of the second side margin sheet in this manner, it becomes easier to obtain first and second side margin portions of equal thickness.

上記第1及び第2サイドマージンシートが共通の組成を有してもよい。
これにより、第1及び第2サイドマージンシートを共通のセラミックスラリーを用いて形成可能となるため、積層セラミック電子部品の製造コストを低減することができる。
The first and second side margin sheets may have a common composition.
This makes it possible to form the first and second side margin sheets using a common ceramic slurry, thereby reducing the manufacturing costs of the multilayer ceramic electronic component.

上記第1及び第2サイドマージンシートがそれぞれ単一のシート材で構成される。
この構成では、第1及び第2サイドマージンシートを厚みの異なるシート材を用いて形成することで、上記の構成が得られる。
The first and second side margin sheets are each constructed from a single sheet material.
In this configuration, the first and second side margin sheets are formed using sheet materials having different thicknesses, thereby obtaining the above configuration.

上記第1及び第2サイドマージンシートが共通のシート材で構成されてもよい。この場合、上記第1サイドマージンシートが積層された複数のシート材で構成される。
この構成では、第1及び第2サイドマージンシートを共通のシート材を用いて作製可能となるため、積層セラミック電子部品の製造コストを更に低減することができる。
The first and second side margin sheets may be made of a common sheet material, in which case the first side margin sheet is made of a plurality of laminated sheet materials.
In this configuration, the first and second side margin sheets can be produced using a common sheet material, which further reduces the manufacturing costs of the multilayer ceramic electronic component.

以上述べたように、本発明によれば、打ち抜き法によって積層体の両側面にサイドマージン部を良好に形成可能な技術を提供することができる。 As described above, the present invention provides a technique that can effectively form side margins on both sides of a laminate using a punching method.

本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの斜視図である。1 is a perspective view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention; 上記積層セラミックコンデンサの図1のA-A'線に沿った断面図である。2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor taken along line AA' in FIG. 上記積層セラミックコンデンサの図1のB-B'線に沿った断面図である。2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor taken along line BB' in FIG. 1. 上記積層セラミックコンデンサの製造方法を示すフローチャートである。4 is a flowchart showing a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor. 上記製造方法のセラミックシート準備工程で準備されるセラミックシートの平面図である。3 is a plan view of a ceramic sheet prepared in a ceramic sheet preparing step of the manufacturing method. FIG. 上記製造方法の積層工程を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a lamination step of the manufacturing method. 上記製造方法の切断工程を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a cutting step in the manufacturing method. 上記切断工程を示す部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing the cutting step. 上記製造方法のサイドマージン部形成工程で得られる未焼成のセラミック素体の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of an unfired ceramic body obtained in a side margin portion forming step of the above manufacturing method. 上記サイドマージン部形成工程で用いる第1サイドマージンシートを示す図である。11 is a diagram showing a first side margin sheet used in the side margin portion forming process. FIG. 上記サイドマージン部形成工程で用いる第2サイドマージンシートを示す図である。13 is a diagram showing a second side margin sheet used in the side margin portion forming process. FIG. 上記サイドマージン部形成工程における形成方法を示すフローチャートである。10 is a flowchart showing a forming method in the side margin portion forming step. 上記形成方法の第1熱圧着工程を示す部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a first thermocompression bonding step of the forming method. 上記形成方法の第1打ち抜き工程を示す部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a first punching step of the forming method. 上記形成方法の第2熱圧着工程を示す部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a second thermocompression bonding step of the forming method. 上記形成方法の第2打ち抜き工程を示す部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a second punching step of the forming method. 上記第1サイドマージンシートの変形例を示す図である。13A and 13B are diagrams showing modified examples of the first side margin sheet.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10について説明する。なお、図面には、適宜、相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸、Y軸、及びZ軸は、積層セラミックコンデンサ10に対して固定された固定座標系を規定する。 The multilayer ceramic capacitor 10 according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, the drawings appropriately show an X-axis, a Y-axis, and a Z-axis that are mutually orthogonal. The X-axis, the Y-axis, and the Z-axis define a fixed coordinate system that is fixed with respect to the multilayer ceramic capacitor 10.

また、図面には、適宜、相互に直交するx軸、y軸、及びz軸が示されている。x軸、y軸、及びz軸は、上記のX軸、Y軸、及びZ軸とは異なり、実空間に対して固定された実空間座標系を規定する。x軸及びy軸は水平方向に延び、つまりx-y平面が水平面となる。z軸は、鉛直方向上下に延びる。 The drawings also show, where appropriate, x-, y-, and z-axes that are mutually orthogonal. Unlike the X-, Y-, and Z-axes described above, the x-, y-, and z-axes define a real space coordinate system that is fixed relative to real space. The x- and y-axes extend horizontally, meaning that the x-y plane is the horizontal plane. The z-axis extends vertically, up and down.

[積層セラミックコンデンサ10の構成]
図1~3は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10を示す図である。図1は、積層セラミックコンデンサ10の斜視図である。図2は、積層セラミックコンデンサ10の図1のA-A'線に沿った断面図である。図3は、積層セラミックコンデンサ10の図1のB-B'線に沿った断面図である。
[Configuration of Multilayer Ceramic Capacitor 10]
1 to 3 are diagrams showing a multilayer ceramic capacitor 10 according to an embodiment of the present invention. Fig. 1 is a perspective view of the multilayer ceramic capacitor 10. Fig. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 10 taken along line AA' in Fig. 1. Fig. 3 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 10 taken along line BB' in Fig. 1.

積層セラミックコンデンサ10は、セラミック素体11と、第1外部電極14と、第2外部電極15と、を備える。セラミック素体11は、X軸と直交する第1及び第2端面と、Y軸と直交する第1及び第2側面と、Z軸と直交する第1及び第2主面と、を有する6面体として構成される。 The multilayer ceramic capacitor 10 includes a ceramic body 11, a first external electrode 14, and a second external electrode 15. The ceramic body 11 is configured as a hexahedron having first and second end faces perpendicular to the X-axis, first and second side faces perpendicular to the Y-axis, and first and second main faces perpendicular to the Z-axis.

セラミック素体11の第1及び第2端面、第1及び第2側面、及び第1及び第2主面はいずれも、平坦面として構成される。本実施形態に係る平坦面とは、全体的に見たときに平坦と認識される面であれば厳密に平面でなくてもよく、例えば、表面の微小な凹凸形状や、所定の範囲に存在する緩やかな湾曲形状などを有する面も含まれる。 The first and second end faces, the first and second side faces, and the first and second main faces of the ceramic body 11 are all configured as flat surfaces. In this embodiment, the flat surface does not have to be a strictly flat surface as long as it is recognized as flat when viewed overall, and includes, for example, a surface having minute irregularities or a gently curved shape that exists within a specified range.

各外部電極14,15は、セラミック素体11の両端面を覆い、セラミック素体11を挟んでX軸方向に対向している。外部電極14,15は、セラミック素体11の各端面から主面及び側面に延出している。これにより、外部電極14,15では、X-Z平面に平行な断面、及びX-Y平面に平行な断面がいずれもU字状となっている。 The external electrodes 14, 15 cover both end faces of the ceramic body 11 and face each other in the X-axis direction with the ceramic body 11 in between. The external electrodes 14, 15 extend from each end face of the ceramic body 11 to the main surface and side surfaces. As a result, the cross sections of the external electrodes 14, 15 parallel to the X-Z plane and the cross sections parallel to the X-Y plane are both U-shaped.

なお、外部電極14,15の形状は、図1に示すものに限定されない。例えば、外部電極14,15は、セラミック素体11の両端面から一方の主面のみに延び、X-Z平面に平行な断面がL字状となっていてもよい。また、外部電極14,15は、いずれの主面及び側面にも延出していなくてもよい。 The shape of the external electrodes 14, 15 is not limited to that shown in FIG. 1. For example, the external electrodes 14, 15 may extend from both end faces of the ceramic body 11 to only one of the main surfaces, and may have an L-shaped cross section parallel to the X-Z plane. Furthermore, the external electrodes 14, 15 do not have to extend to any of the main surfaces or side surfaces.

外部電極14,15は、電気の良導体により形成されている。外部電極14,15を形成する電気の良導体としては、例えば、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。なお、本実施形態で主成分とは最も含有比率の高い成分を言うものとする。 The external electrodes 14, 15 are formed from a good electrical conductor. Examples of good electrical conductors that form the external electrodes 14, 15 include metals or alloys whose main component is copper (Cu), nickel (Ni), tin (Sn), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), gold (Au), etc. In this embodiment, the main component refers to the component with the highest content ratio.

セラミック素体11は、誘電体セラミックスで形成され、積層体16と、第1及び第2サイドマージン部17a,17bと、を有する。積層体16は、Y軸方向に対向する第1及び第2側面S1,S2と、X軸方向に対向する第1及び第2端面と、Z軸方向に対向する第1及び第2主面と、を有する。 The ceramic body 11 is made of dielectric ceramics and has a laminate 16 and first and second side margins 17a, 17b. The laminate 16 has first and second side surfaces S1, S2 that face each other in the Y-axis direction, first and second end faces that face each other in the X-axis direction, and first and second main surfaces that face each other in the Z-axis direction.

積層体16は、X-Y平面に沿って延びる平板状の複数のセラミック層がZ軸方向に積層された構成を有する。積層体16は、容量形成部18と、カバー部19と、を有する。カバー部19は、容量形成部18をZ軸方向上下から被覆し、積層体16の第1及び第2主面を構成している。 The laminate 16 has a configuration in which multiple flat ceramic layers extending along the X-Y plane are stacked in the Z-axis direction. The laminate 16 has a capacitance forming portion 18 and a cover portion 19. The cover portion 19 covers the capacitance forming portion 18 from above and below in the Z-axis direction, and constitutes the first and second main surfaces of the laminate 16.

容量形成部18は、複数のセラミック層の間に配置され、X-Y平面に沿って延びるシート状の複数の第1及び第2内部電極12,13を有する。内部電極12,13は、Z軸方向に沿って交互に配置されている。つまり、内部電極12,13は、セラミック層を挟んでZ軸方向に対向している。 The capacitance forming portion 18 is disposed between multiple ceramic layers and has multiple sheet-like first and second internal electrodes 12, 13 extending along the X-Y plane. The internal electrodes 12, 13 are alternately disposed along the Z-axis direction. In other words, the internal electrodes 12, 13 face each other in the Z-axis direction with the ceramic layers in between.

第1内部電極12は、第1外部電極14に覆われた端面に引き出されている。一方、第2内部電極13は第2外部電極15に覆われた端面に引き出されている。これにより、第1内部電極12は第1外部電極14のみに接続され、第2内部電極13は第2外部電極15のみに接続されている。 The first internal electrode 12 is extended to the end surface covered by the first external electrode 14. On the other hand, the second internal electrode 13 is extended to the end surface covered by the second external electrode 15. As a result, the first internal electrode 12 is connected only to the first external electrode 14, and the second internal electrode 13 is connected only to the second external electrode 15.

内部電極12,13は、容量形成部18のY軸方向の全幅にわたって形成され、積層体16の両側面S1,S2にそれぞれ露出している。つまり、セラミック素体11では、各内部電極12,13のY軸方向の両端部が、積層体16の両側面S1,S2上においてZ軸方向に沿って揃っている。 The internal electrodes 12, 13 are formed across the entire width of the capacitance forming portion 18 in the Y-axis direction, and are exposed on both side surfaces S1, S2 of the laminate 16. In other words, in the ceramic body 11, both ends of each internal electrode 12, 13 in the Y-axis direction are aligned along the Z-axis direction on both side surfaces S1, S2 of the laminate 16.

セラミック素体11では、第1サイドマージン部17aが積層体16の第1側面S1を覆い、第2サイドマージン部17bが積層体16の第2側面S2を覆っている。これにより、セラミック素体11では、積層体16の両側面S1,S2における内部電極12,13間の絶縁性を確保することができる。 In the ceramic body 11, the first side margin 17a covers the first side S1 of the laminate 16, and the second side margin 17b covers the second side S2 of the laminate 16. This ensures insulation between the internal electrodes 12, 13 on both side surfaces S1, S2 of the laminate 16 in the ceramic body 11.

このような構成により、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間に電圧が印加されると、第1内部電極12と第2内部電極13との間の複数のセラミック層に電圧が加わる。これにより、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間の電圧に応じた電荷が蓄えられる。 With this configuration, when a voltage is applied between the first external electrode 14 and the second external electrode 15 in the multilayer ceramic capacitor 10, the voltage is applied to the multiple ceramic layers between the first internal electrode 12 and the second internal electrode 13. As a result, a charge corresponding to the voltage between the first external electrode 14 and the second external electrode 15 is stored in the multilayer ceramic capacitor 10.

セラミック素体11では、内部電極12,13間の各セラミック層の容量を大きくするため、高誘電率の誘電体セラミックスが用いられる。高誘電率の誘電体セラミックスとしては、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)に代表される、バリウム(Ba)及びチタン(Ti)を含むペロブスカイト構造の材料が挙げられる。 In the ceramic body 11, a dielectric ceramic having a high dielectric constant is used to increase the capacitance of each ceramic layer between the internal electrodes 12 and 13. An example of a dielectric ceramic having a high dielectric constant is a material having a perovskite structure containing barium (Ba) and titanium (Ti), such as barium titanate ( BaTiO3 ).

なお、セラミック層は、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、チタン酸カルシウム(CaTiO)、チタン酸マグネシウム(MgTiO)、ジルコン酸カルシウム(CaZrO)、チタン酸ジルコン酸カルシウム(Ca(Zr,Ti)O)、ジルコン酸バリウム(BaZrO)、酸化チタン(TiO)などの組成系で構成してもよい。 The ceramic layer may be composed of a composition such as strontium titanate ( SrTiO3 ), calcium titanate ( CaTiO3 ), magnesium titanate ( MgTiO3 ), calcium zirconate ( CaZrO3 ), calcium zirconate titanate (Ca(Zr,Ti) O3 ), barium zirconate ( BaZrO3 ), titanium oxide ( TiO2 ), etc.

内部電極12,13は、電気の良導体により形成されている。内部電極12,13を形成する電気の良導体としては、典型的にはニッケル(Ni)が挙げられ、この他にも銅(Cu)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。 The internal electrodes 12, 13 are formed from a good electrical conductor. Typical examples of good electrical conductors that form the internal electrodes 12, 13 include nickel (Ni), as well as metals or alloys whose main components are copper (Cu), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), gold (Au), etc.

[積層セラミックコンデンサ10の製造方法]
図4は、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10の製造方法を示すフローチャートである。図5~9は積層セラミックコンデンサ10の製造過程を示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ10の製造方法について、図4に沿って、図5~9を適宜参照しながら説明する。
[Method of Manufacturing Multilayer Ceramic Capacitor 10]
Fig. 4 is a flowchart showing a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10 according to this embodiment. Figs. 5 to 9 are views showing the manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor 10. The method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10 will be described below along with Fig. 4 with appropriate reference to Figs. 5 to 9.

(ステップS01:セラミックシート準備)
ステップS01では、容量形成部18を形成するための第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102と、カバー部19を形成するための第3セラミックシート103と、を準備する。セラミックシート101,102,103は、誘電体セラミックスを主成分とする未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。
(Step S01: Prepare ceramic sheet)
In step S01, a first ceramic sheet 101 and a second ceramic sheet 102 for forming the capacitance forming portion 18, and a third ceramic sheet 103 for forming the cover portion 19 are prepared. The ceramic sheets 101, 102, and 103 are configured as unfired dielectric green sheets whose main component is dielectric ceramics.

セラミックシート101,102,103は、例えば、ロールコーターやドクターブレードなどを用いてシート状に成形される。セラミックシート101,102の厚みは、焼成後の容量形成部18におけるセラミック層の厚みに応じて調整される。第3セラミックシート103の厚みは適宜調整可能である。 The ceramic sheets 101, 102, and 103 are formed into sheets using, for example, a roll coater or a doctor blade. The thickness of the ceramic sheets 101 and 102 is adjusted according to the thickness of the ceramic layer in the capacitance forming portion 18 after firing. The thickness of the third ceramic sheet 103 can be adjusted as appropriate.

図5は、セラミックシート101,102,103の平面図である。この段階では、セラミックシート101,102,103が、個片化されていない大判のシートとして構成される。図5には、各積層セラミックコンデンサ10ごとに個片化する際の切断線Lx,Lyが示されている。切断線LxはX軸に平行であり、切断線LyはY軸に平行である。 Figure 5 is a plan view of the ceramic sheets 101, 102, and 103. At this stage, the ceramic sheets 101, 102, and 103 are configured as large sheets that have not been singulated. Figure 5 shows the cutting lines Lx and Ly used when singulating each multilayer ceramic capacitor 10. The cutting line Lx is parallel to the X-axis, and the cutting line Ly is parallel to the Y-axis.

図5に示すように、第1セラミックシート101には第1内部電極12に対応する未焼成の第1内部電極112が形成され、第2セラミックシート102には第2内部電極13に対応する未焼成の第2内部電極113が形成されている。なお、カバー部19に対応する第3セラミックシート103には内部電極が形成されていない。 As shown in FIG. 5, an unfired first internal electrode 112 corresponding to the first internal electrode 12 is formed on the first ceramic sheet 101, and an unfired second internal electrode 113 corresponding to the second internal electrode 13 is formed on the second ceramic sheet 102. No internal electrode is formed on the third ceramic sheet 103 corresponding to the cover portion 19.

内部電極112,113は、任意の導電性ペーストをセラミックシート101,102に塗布することによって形成することができる。導電性ペーストの塗布方法は、公知の技術から任意に選択可能である。例えば、導電性ペーストの塗布には、スクリーン印刷法やグラビア印刷法を用いることができる。 The internal electrodes 112, 113 can be formed by applying any conductive paste to the ceramic sheets 101, 102. The method for applying the conductive paste can be selected from any known technique. For example, the conductive paste can be applied by screen printing or gravure printing.

内部電極112,113には、切断線Lyに沿ったX軸方向の隙間が、切断線Ly1本置きに形成されている。第1内部電極112の隙間と第2内部電極113の隙間とはX軸方向に互い違いに配置されている。つまり、第1内部電極112の隙間を通る切断線Lyと第2内部電極113の隙間を通る切断線Lyとが交互に並んでいる。 Gaps in the X-axis direction along the cutting lines Ly are formed in the internal electrodes 112 and 113, one for every other cutting line Ly. The gaps in the first internal electrode 112 and the gaps in the second internal electrode 113 are arranged alternately in the X-axis direction. In other words, the cutting lines Ly passing through the gaps in the first internal electrode 112 and the cutting lines Ly passing through the gaps in the second internal electrode 113 are arranged alternately.

(ステップS02:積層)
ステップS02では、ステップS01で準備したセラミックシート101,102,103を、図6に示すように積層することにより積層シート104を作製する。積層シート104では、容量形成部18に対応する第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102がZ軸方向に交互に積層されている。
(Step S02: Lamination)
In step S02, the ceramic sheets 101, 102, and 103 prepared in step S01 are laminated as shown in Fig. 6 to produce a laminated sheet 104. In the laminated sheet 104, the first ceramic sheet 101 and the second ceramic sheet 102 corresponding to the capacitance forming portion 18 are laminated alternately in the Z-axis direction.

また、積層シート104では、交互に積層されたセラミックシート101,102のZ軸方向上下面にカバー部19に対応する第3セラミックシート103が積層される。なお、図6に示す例では、第3セラミックシート103がそれぞれ3枚ずつ積層されているが、第3セラミックシート103の枚数は適宜変更可能である。 In the laminated sheet 104, third ceramic sheets 103 corresponding to the cover portion 19 are laminated on the upper and lower surfaces in the Z-axis direction of the alternately laminated ceramic sheets 101 and 102. In the example shown in FIG. 6, three third ceramic sheets 103 are laminated on each side, but the number of third ceramic sheets 103 can be changed as appropriate.

積層シート104は、セラミックシート101,102,103を圧着することにより一体化される。セラミックシート101,102,103の圧着には、例えば、静水圧加圧や一軸加圧などを用いることが好ましい。これにより、積層シート104を高密度化することが可能である。 The laminated sheet 104 is integrated by pressing the ceramic sheets 101, 102, and 103 together. For example, hydrostatic pressure or uniaxial pressure is preferably used to press the ceramic sheets 101, 102, and 103 together. This makes it possible to increase the density of the laminated sheet 104.

(ステップS03:切断)
ステップS03では、ステップS02で得られた積層シート104を、切断線Lx,Lyに沿って切断することにより、未焼成の積層体116を作製する。積層体116は、焼成後の積層体16に対応する。積層シート104の切断には、例えば、押し切り刃や回転刃などを用いることができる。
(Step S03: Disconnect)
In step S03, the laminate sheet 104 obtained in step S02 is cut along the cutting lines Lx and Ly to produce an unfired laminate 116. The laminate 116 corresponds to the fired laminate 16. For example, a press blade or a rotary blade can be used to cut the laminate sheet 104.

図7,8は、ステップS03の一例を説明するための模式図である。図7は、積層シート104の平面図である。図8は、積層シート104のY-Z平面に沿った断面図である。積層シート104は、例えば発泡剥離シートなどの粘着性のカットシートCによって保持された状態で、切断線Lx,Lyに沿って押し切り刃BLで切断される。 Figures 7 and 8 are schematic diagrams for explaining an example of step S03. Figure 7 is a plan view of the laminated sheet 104. Figure 8 is a cross-sectional view of the laminated sheet 104 along the Y-Z plane. The laminated sheet 104 is cut by the push cutter blade BL along the cutting lines Lx and Ly while being held by an adhesive cut sheet C, such as a foam release sheet.

まず、図8(A)に示すように、押し切り刃BLを積層シート104のZ軸方向上方に、先端をZ軸方向下方の積層シート104に向けて配置する。次に、図8(B)に示すように、押し切り刃BLをZ軸方向下方に、カットシートCに到達するまで移動させ、積層シート104を貫通させる。 First, as shown in FIG. 8(A), the push-cutting blade BL is positioned above the laminated sheet 104 in the Z-axis direction, with its tip pointing toward the laminated sheet 104 below in the Z-axis direction. Next, as shown in FIG. 8(B), the push-cutting blade BL is moved downward in the Z-axis direction until it reaches the cut sheet C, penetrating the laminated sheet 104.

そして、図8(C)に示すように、押し切り刃BLをZ軸方向上方に向けて移動させることにより、積層シート104から引き抜く。これにより、積層シート104がX軸及びY軸方向に切り分けられ、Y軸方向に内部電極112,113が露出する第1及び第2側面S1,S2を有する積層体116が形成される。 Then, as shown in FIG. 8(C), the cutting blade BL is moved upward in the Z-axis direction to pull it out of the laminated sheet 104. This cuts the laminated sheet 104 in the X-axis and Y-axis directions, forming a laminate 116 having first and second side surfaces S1, S2 that expose the internal electrodes 112, 113 in the Y-axis direction.

(ステップS04:サイドマージン部形成)
ステップS04では、ステップS03で得られた積層体116に未焼成の第1及び第2サイドマージン部117a,117bを設ける。これにより、図9に示すように、内部電極112,113が露出した側面S1,S2がサイドマージン部117a,117bによって覆われた未焼成のセラミック素体111が得られる。
(Step S04: Forming side margins)
In step S04, unsintered first and second side margin portions 117a, 117b are provided on the laminate 116 obtained in step S03. This results in an unsintered ceramic body 111 in which the side surfaces S1, S2 on which the internal electrodes 112, 113 are exposed are covered by the side margin portions 117a, 117b, as shown in FIG.

本実施形態に係るステップS04は、積層体116の第1及び第2側面S1,S2に対して第1及び第2サイドマージン部117a,117bを両方とも良好に形成可能なように構成されている。ステップS04における第1及び第2サイドマージン部117a,117bの形成方法の詳細については後述する。 Step S04 according to this embodiment is configured to allow both the first and second side margin portions 117a, 117b to be formed satisfactorily on the first and second side surfaces S1, S2 of the laminate 116. Details of the method for forming the first and second side margin portions 117a, 117b in step S04 will be described later.

(ステップS05:焼成)
ステップS05では、ステップS04で得られた図9に示すセラミック素体111を焼成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10のセラミック素体11を作製する。つまり、ステップS05によって、積層体116が積層体16になり、サイドマージン部117a,117bがサイドマージン部17a,17bになる。
(Step S05: Firing)
In step S05, the ceramic body 111 obtained in step S04 and shown in Fig. 9 is fired to produce the ceramic body 11 of the multilayer ceramic capacitor 10 shown in Figs. 1 to 3. That is, in step S05, the laminate 116 becomes the laminate 16, and the side margin portions 117a, 117b become the side margin portions 17a, 17b.

ステップS05における焼成温度は、セラミック素体111の焼結温度に基づいて決定することができる。例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)系材料を用いる場合には、焼成温度は1000~1300℃程度とすることができる。また、焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。 The firing temperature in step S05 can be determined based on the sintering temperature of the ceramic body 111. For example, when a barium titanate (BaTiO 3 ) based material is used, the firing temperature can be about 1000 to 1300° C. Furthermore, the firing can be performed, for example, in a reducing atmosphere or a low oxygen partial pressure atmosphere.

(ステップS06:外部電極形成)
ステップS06では、ステップS05で得られたセラミック素体11のX軸方向両端部に外部電極14,15を形成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10を作製する。ステップS06における外部電極14,15の形成方法は、公知の方法から任意に選択可能である。
(Step S06: Forming external electrodes)
In step S06, external electrodes 14, 15 are formed on both ends in the X-axis direction of the ceramic body 11 obtained in step S05, thereby producing the multilayer ceramic capacitor 10 shown in Figures 1 to 3. The method for forming the external electrodes 14, 15 in step S06 can be arbitrarily selected from known methods.

以上により、積層セラミックコンデンサ10が完成する。この製造方法では、内部電極112,113が露出した積層体116の側面S1,S2にサイドマージン部117a,117bが形成されるため、セラミック素体11における複数の内部電極12,13のY軸方向の端部の位置が、0.5μm以内の範囲で揃う。 The multilayer ceramic capacitor 10 is thus completed. In this manufacturing method, side margins 117a, 117b are formed on the side surfaces S1, S2 of the laminate 116 where the internal electrodes 112, 113 are exposed, so that the positions of the ends of the multiple internal electrodes 12, 13 in the ceramic body 11 in the Y-axis direction are aligned to within 0.5 μm.

[サイドマージン部117a,117bの形成方法]
(概要)
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10の製造方法では、上記のステップS04において第1及び第2サイドマージン部117a,117bを形成するために、第1及び第2サイドマージンシート117s1,117s2を用いる。サイドマージンシート117s1,117s2は、相互に異なる厚みを有する。
[Method of forming side margin portions 117a, 117b]
(overview)
In the method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10 according to this embodiment, the first and second side margin sheets 117s1 and 117s2 are used to form the first and second side margin portions 117a and 117b in step S04. The side margin sheets 117s1 and 117s2 have thicknesses different from each other.

具体的に、図10,11は、サイドマージンシート117s1,117s2を示す(A)斜視図及び(B)縦断面図である。第1サイドマージンシート117s1は、厚みt1を有する単一のシート材M1で構成される。第2サイドマージンシート117s2は、厚みt2を有する単一のシート材M2で構成される。 Specifically, Figures 10 and 11 are (A) a perspective view and (B) a longitudinal cross-sectional view showing side margin sheets 117s1 and 117s2. The first side margin sheet 117s1 is made of a single sheet material M1 having a thickness t1. The second side margin sheet 117s2 is made of a single sheet material M2 having a thickness t2.

本実施形態では、第2サイドマージンシート117s2の厚みt2よりも大きい厚みt1を有する第1サイドマージンシート117s1を用いる。これにより、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10の製造方法では、サイドマージン部117a,117bを良好に形成することが可能となる。 In this embodiment, a first side margin sheet 117s1 is used that has a thickness t1 that is greater than the thickness t2 of the second side margin sheet 117s2. This makes it possible to satisfactorily form the side margin portions 117a and 117b in the method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10 according to this embodiment.

シート材M1,M2は、上記のセラミックシート101,102,103と同様に、誘電体セラミックスを主成分とする未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。シート材M1,M2は、例えば、セラミックスラリーを用い、ロールコーターやドクターブレードなどによってシート状に成形することで得られる。 The sheet materials M1 and M2 are formed as unfired dielectric green sheets whose main component is dielectric ceramics, similar to the above-mentioned ceramic sheets 101, 102, and 103. The sheet materials M1 and M2 are obtained, for example, by using a ceramic slurry and forming it into a sheet shape using a roll coater or a doctor blade.

また、シート材M1,M2の形成に共通のセラミックスラリーを用い、サイドマージンシート117s1,117s2の組成を共通とすることが好ましい。これにより、シート材M1,M2の物性を同等に揃えることができる上に、積層セラミックコンデンサ10の製造コストを低減することができる。 It is also preferable to use a common ceramic slurry to form the sheet materials M1 and M2, and to make the composition of the side margin sheets 117s1 and 117s2 the same. This allows the physical properties of the sheet materials M1 and M2 to be made equivalent, and also reduces the manufacturing cost of the multilayer ceramic capacitor 10.

図12は、本実施形態に係るサイドマージン部117a,117bの形成方法を示すフローチャートである。図13~16は、サイドマージン部117a,117bの形成過程を示す断面図である。以下、サイドマージン部117a,117bの形成方法について、図12に沿って、図13~16を適宜参照しながら説明する。 Figure 12 is a flow chart showing a method for forming the side margins 117a and 117b according to this embodiment. Figures 13 to 16 are cross-sectional views showing the process for forming the side margins 117a and 117b. Below, the method for forming the side margins 117a and 117b will be explained along with Figure 12, with appropriate reference to Figures 13 to 16.

(ステップS41:積層体向き変更)
ステップS41では、ステップS03後の複数の積層体116の向きを変更する。つまり、図8(C)に示すステップS03の直後の状態では、相互に隣接する積層体116の側面S1,S2がY軸方向に近接して対向しているため、各積層体116の側面S1,S2にサイドマージン部117a,117bを形成することが困難である。このため、ステップS41では、複数の積層体116の向きを、側面S1,S2が鉛直方向上下に向くように変更する。
(Step S41: Changing the orientation of the laminate)
In step S41, the orientation of the multiple laminates 116 after step S03 is changed. That is, in the state immediately after step S03 shown in Fig. 8C, the side surfaces S1 and S2 of the adjacent laminates 116 face each other closely in the Y-axis direction, making it difficult to form the side margins 117a and 117b on the side surfaces S1 and S2 of each laminate 116. For this reason, in step S41, the orientation of the multiple laminates 116 is changed so that the side surfaces S1 and S2 face up and down in the vertical direction.

複数の積層体116の側面S1,S2の向きを変更する方法としては、例えば、転動法などの公知の方法を用いることができる。転動法では、まず積層体116をカットシートCから伸長性を有する第1粘着シートF1に貼り変え、第1粘着シートF1を伸長させることにより、積層体116の間隔を広げる。 The orientation of the side surfaces S1, S2 of the multiple laminates 116 can be changed by a known method such as a rolling method. In the rolling method, the laminates 116 are first attached from the cut sheet C to a first adhesive sheet F1 having extensibility, and the first adhesive sheet F1 is stretched to increase the spacing between the laminates 116.

そして、複数の積層体116を第1粘着シートF1上において転動させる。このとき、例えば転動盤などを用いることによって、すべての積層体116を一括して転動させることができる。これにより、積層体116が90°回転し、側面S1,S2をそれぞれz軸方向上方及び下方を向けることができる(図13(A)参照)。 Then, the multiple laminates 116 are rolled on the first adhesive sheet F1. At this time, all of the laminates 116 can be rolled at once, for example, by using a rolling plate or the like. This rotates the laminates 116 by 90 degrees, so that the sides S1 and S2 face upward and downward in the z-axis direction, respectively (see FIG. 13(A)).

より詳細に、ステップS41後の複数の積層体116ではいずれも、z軸方向下方を向いた第2側面S2が第1粘着シートF1に保持され、第1側面S1がz軸方向上方を向いている。これにより、すべての積層体116におけるz軸方向上方を向いた第1側面S1について一括して第1サイドマージン部117aを形成可能となる。 More specifically, after step S41, in each of the multiple laminates 116, the second side surface S2 facing downward in the z-axis direction is held by the first adhesive sheet F1, and the first side surface S1 faces upward in the z-axis direction. This makes it possible to form the first side margin portion 117a collectively for the first side surfaces S1 facing upward in the z-axis direction in all of the laminates 116.

(ステップS42:第1熱圧着)
ステップS42では、ステップS41においてz軸方向上方に向けられた複数の積層体116の第1側面S1に、第1サイドマージン部117aを構成する第1サイドマージンシート117s1を熱圧着する。図13(A)~(C)は、ステップS42における第1熱圧着の過程を示す図である。
(Step S42: First thermocompression bonding)
In step S42, a first side margin sheet 117s1 constituting the first side margin portion 117a is thermocompression-bonded to the first side surface S1 of the plurality of laminates 116 that are oriented upward in the z-axis direction in step S41. Figures 13(A) to 13(C) are diagrams showing the first thermocompression bonding process in step S42.

まず、図13(A)に示すように、第1粘着シートF1のz軸方向下面を、保持部材Hのz軸方向上面で保持する。そして、複数の積層体116の第1側面S1上に、これらを一括して被覆可能なように、x-y平面に沿って延びる第1サイドマージンシート117s1を配置する。 First, as shown in FIG. 13A, the lower surface in the z-axis direction of the first adhesive sheet F1 is held by the upper surface in the z-axis direction of the holding member H. Then, a first side margin sheet 117s1 extending along the x-y plane is placed on the first side surfaces S1 of the multiple laminates 116 so as to cover them collectively.

保持部材Hは、x-y平面に沿って延びる平板状の剛体であり、例えばステンレスやアルミニウムなどの一般的に剛体に分類される材料で形成することができる。なお、保持部材Hは、第1粘着シートF1を直接保持していなくてもよく、例えば離型シートなどの他のシートを介して第1粘着シートF1を保持していてもよい。 The holding member H is a flat rigid body extending along the x-y plane, and can be made of a material that is generally classified as a rigid body, such as stainless steel or aluminum. Note that the holding member H does not have to directly hold the first adhesive sheet F1, and may hold the first adhesive sheet F1 via another sheet, such as a release sheet.

また、第1サイドマージンシート117s1のz軸方向上方には、x-y平面に沿って延びる平板状の第1押圧部材E1が配置される。第1押圧部材E1は、弾性変形可能な材料で形成される。第1押圧部材E1を形成する材料としては、例えば、各種ゴムや各種エラストマーなどから任意に選択することができる。 A flat first pressing member E1 extending along the x-y plane is disposed above the first side margin sheet 117s1 in the z-axis direction. The first pressing member E1 is made of an elastically deformable material. The material for forming the first pressing member E1 can be selected from various rubbers and elastomers, for example.

第1押圧部材E1は、押圧時に第1サイドマージンシート117s1に対して熱を加えるために、例えば内部に設けられたヒータなどによって、z軸方向下面を加熱可能に構成される。第1押圧部材E1のz軸方向下面の温度は、第1サイドマージンシート117s1の転移点以上とすることが好ましい。 The first pressing member E1 is configured to be able to heat the lower surface in the z-axis direction, for example by an internal heater, in order to apply heat to the first side margin sheet 117s1 when pressing. It is preferable that the temperature of the lower surface in the z-axis direction of the first pressing member E1 be equal to or higher than the transition point of the first side margin sheet 117s1.

次に、図13(B)に示すように、第1押圧部材E1をz軸方向下方に移動させ、第1押圧部材E1によって第1サイドマージンシート117s1にz軸方向下方への押圧力を加える。このとき、第1サイドマージンシート117s1は、熱によって軟化した状態で各積層体116の第1側面S1に押し付けられる。 Next, as shown in FIG. 13B, the first pressing member E1 is moved downward in the z-axis direction, and the first pressing member E1 applies a downward pressing force in the z-axis direction to the first side margin sheet 117s1. At this time, the first side margin sheet 117s1 is pressed against the first side surface S1 of each laminate 116 in a state softened by heat.

これにより、第1サイドマージンシート117s1では、積層体116と第1押圧部材E1とに挟まれた部分が、z軸方向に沿って圧縮変形しながら、各積層体116の第1側面S1に沿って密着する。したがって、第1サイドマージンシート117s1では、各積層体116の第1側面S1に対する高い接着性が得られる。 As a result, the portion of the first side margin sheet 117s1 sandwiched between the laminate 116 and the first pressing member E1 is compressed and deformed along the z-axis direction while being adhered closely to the first side surface S1 of each laminate 116. Therefore, the first side margin sheet 117s1 has high adhesion to the first side surface S1 of each laminate 116.

そして、図13(C)に示すように、第1押圧部材E1をz軸方向上方に移動させる。これにより、第1押圧部材E1が第1サイドマージンシート117s1から離間し、第1サイドマージンシート117s1が各積層体116の第1側面S1に密着した状態で保持される。 Then, as shown in FIG. 13(C), the first pressing member E1 is moved upward in the z-axis direction. As a result, the first pressing member E1 is separated from the first side margin sheet 117s1, and the first side margin sheet 117s1 is held in close contact with the first side surface S1 of each laminate 116.

(ステップS43:第1打ち抜き)
ステップS43では、ステップS42で熱圧着された第1サイドマージンシート117s1を各積層体116の第1側面S1で打ち抜く。図14(A)~(C)は、ステップS43における第1打ち抜きの過程を示す図である。
(Step S43: First punching)
In step S43, the first side margin sheet 117s1 thermocompression bonded in step S42 is punched out at the first side surface S1 of each laminate 116. Figures 14(A) to 14(C) are diagrams showing the first punching process in step S43.

まず、図14(A)に示すように、ステップS42に引き続いて第1粘着シートF1のz軸方向下面を保持部材Hで保持した状態で、第1サイドマージンシート117s1のz軸方向上方にx-y平面に沿って延びる平板状の第2押圧部材E2を配置する。第2押圧部材E2は、弾性変形可能な材料で形成される。 First, as shown in FIG. 14(A), following step S42, with the lower surface of the first adhesive sheet F1 in the z-axis direction held by the holding member H, a flat second pressing member E2 extending along the x-y plane is placed above the first side margin sheet 117s1 in the z-axis direction. The second pressing member E2 is made of an elastically deformable material.

第2押圧部材E2では、良好な打ち抜き性を得るために、熱圧着のために用いる第1押圧部材E1よりも柔軟性が高いことが有利である。このため、第2押圧部材E2を形成する材料としては、例えば、各種ゴムや各種エラストマーなどから柔軟性が高いものを任意に選択することができる。 In order to obtain good punching properties, it is advantageous for the second pressing member E2 to be more flexible than the first pressing member E1 used for thermocompression bonding. For this reason, the material for forming the second pressing member E2 can be selected from various rubbers and elastomers, for example, any material with high flexibility.

次に、図14(B)に示すように、第2押圧部材E2をz軸方向下方に第1サイドマージンシート117s1に接触するまで移動させ、更に第2押圧部材E2で第1サイドマージンシート117s1をz軸方向下方に押し込む。 Next, as shown in FIG. 14(B), the second pressing member E2 is moved downward in the z-axis direction until it contacts the first side margin sheet 117s1, and the second pressing member E2 further presses the first side margin sheet 117s1 downward in the z-axis direction.

このとき、第2押圧部材E2は、複数の積層体116の間の空間に食い込むことにより、第1サイドマージンシート117s1における積層体116の第1側面S1に保持されていない領域をz軸方向下方に押し下げる。これにより、第1サイドマージンシート117s1は、z軸方向に加わるせん断力によって、各積層体116の第1側面S1の輪郭に沿って切断される。 At this time, the second pressing member E2 presses into the spaces between the multiple laminates 116, thereby pressing down in the z-axis direction the areas of the first side margin sheet 117s1 that are not held by the first side surface S1 of the laminates 116. As a result, the first side margin sheet 117s1 is cut along the contour of the first side surface S1 of each laminate 116 by the shear force applied in the z-axis direction.

そして、図14(C)に示すように、第2押圧部材E2をz軸方向上方に移動させることにより、第2押圧部材E2を第1サイドマージンシート117s1から離間させる。このとき、各積層体116の第1側面S1上に残った第1サイドマージンシート117s1が第1サイドマージン部117aとなる。複数の積層体116の間の空間に残った第1サイドマージンシート117s1は除去する。 Then, as shown in FIG. 14(C), the second pressing member E2 is moved upward in the z-axis direction to separate the second pressing member E2 from the first side margin sheet 117s1. At this time, the first side margin sheet 117s1 remaining on the first side surface S1 of each laminate 116 becomes the first side margin portion 117a. The first side margin sheet 117s1 remaining in the space between the multiple laminates 116 is removed.

ステップS43では、第1サイドマージンシート117s1に熱を加えずに、ステップS42よりも低い温度に保持することで、第1サイドマージンシート117s1を打ち抜くために充分なせん断力が得られやすくなる。なお、ステップS43では、せん断力を更に有効に得るために、第1サイドマージンシート117s1を冷却してもよい。 In step S43, the first side margin sheet 117s1 is not heated and is kept at a lower temperature than in step S42, making it easier to obtain sufficient shear force to punch out the first side margin sheet 117s1. Note that in step S43, the first side margin sheet 117s1 may be cooled to obtain the shear force more effectively.

(ステップS44:転写)
ステップS44では、ステップS43で第1サイドマージン部117aが形成された複数の積層体116を第1粘着シートF1から第2粘着シートF2に転写する。具体的に、ステップS43後の状態から、まず、複数の積層体116の第1側面S1に形成された第1サイドマージン部117aに第2粘着シートF2を貼り付ける。
(Step S44: Transfer)
In step S44, the plurality of laminates 116 on which the first side margins 117a have been formed in step S43 are transferred from the first adhesive sheet F1 to the second adhesive sheet F2. Specifically, starting from the state after step S43, the second adhesive sheet F2 is first attached to the first side margins 117a formed on the first side surfaces S1 of the plurality of laminates 116.

次に、第1及び第2粘着シートF1,F2に挟まれた状態の第1サイドマージン部117aが形成された複数の積層体116をz軸方向上下に反転させる。そして、第1粘着シートF1を複数の積層体116の第2側面S2から剥離させる。これにより、複数の積層体116ではいずれも、第2側面S2がz軸方向上方を向く(図15(A)参照)。 Next, the multiple laminates 116 with the first side margin portion 117a formed and sandwiched between the first and second adhesive sheets F1 and F2 are inverted up and down in the z-axis direction. Then, the first adhesive sheet F1 is peeled off from the second side surface S2 of the multiple laminates 116. As a result, the second side surface S2 of each of the multiple laminates 116 faces upward in the z-axis direction (see FIG. 15(A)).

(ステップS45:第2熱圧着)
ステップS45では、ステップS44においてz軸方向上方に向けられた各積層体116の第2側面S2に、第2サイドマージン部117bを構成する第2サイドマージンシート117s2を熱圧着する。図15(A)~(C)は、ステップS45における第2熱圧着の過程を示す図である。
(Step S45: Second thermocompression bonding)
In step S45, a second side margin sheet 117s2 constituting the second side margin portion 117b is thermocompression-bonded to the second side surface S2 of each laminate 116 that was directed upward in the z-axis direction in step S44. Figures 15(A) to 15(C) are diagrams showing the second thermocompression bonding process in step S45.

まず、図15(A)に示すように、第2粘着シートF2のz軸方向下面を、保持部材Hのz軸方向上面で保持する。そして、複数の積層体116の第2側面S2上に、これらを一括して被覆可能なように、x-y平面に沿って延びる第2サイドマージンシート117s2を配置する。 First, as shown in FIG. 15(A), the lower surface in the z-axis direction of the second adhesive sheet F2 is held by the upper surface in the z-axis direction of the holding member H. Then, a second side margin sheet 117s2 extending along the x-y plane is placed on the second side surfaces S2 of the multiple laminates 116 so as to cover them collectively.

次に、図15(B)に示すように、第1押圧部材E1をz軸方向下方に移動させ、第1押圧部材E1によって熱を加えながら第2サイドマージンシート117s2にz軸方向下方への押圧力を加える。このとき、第2サイドマージンシート117s2は、熱によって軟化した状態で各積層体116の第2側面S2に押し付けられる。 Next, as shown in FIG. 15(B), the first pressing member E1 is moved downward in the z-axis direction, and a pressing force is applied downward in the z-axis direction to the second side margin sheet 117s2 while applying heat by the first pressing member E1. At this time, the second side margin sheet 117s2 is pressed against the second side surface S2 of each laminate 116 in a state softened by heat.

これにより、第2サイドマージンシート117s2では、積層体116と第1押圧部材E1とに挟まれた部分が、z軸方向に沿って圧縮変形しながら、各積層体116の第2側面S2に沿って密着する。したがって、第2サイドマージンシート117s2では、各積層体116の第2側面S2に対する高い接着性が得られる。 As a result, the portion of the second side margin sheet 117s2 sandwiched between the laminate 116 and the first pressing member E1 is compressed and deformed along the z-axis direction while being adhered closely to the second side surface S2 of each laminate 116. Therefore, the second side margin sheet 117s2 has high adhesion to the second side surface S2 of each laminate 116.

ステップS45の第2熱圧着では、第2サイドマージンシート117s2のみならず、ステップS43で形成された第1サイドマージン部117aにも熱及び押圧力が加わる。これにより、ステップS45では、第1サイドマージン部117aが第2サイドマージンシート117s2と同様にz軸方向に圧縮変形する。 In the second thermocompression bonding in step S45, heat and pressure are applied not only to the second side margin sheet 117s2 but also to the first side margin portion 117a formed in step S43. As a result, in step S45, the first side margin portion 117a is compressed and deformed in the z-axis direction in the same manner as the second side margin sheet 117s2.

第2サイドマージンシート117s2の厚みt2は、第2熱圧着の前の第1サイドマージン部117aの厚みt3と同等となるように設計することが好ましい。これにより、第1熱圧着による第1サイドマージンシート117s1の圧縮変形量を相殺することができ、サイドマージン部117a,117bに厚みの差が生じにくくなる。 It is preferable to design the thickness t2 of the second side margin sheet 117s2 to be equal to the thickness t3 of the first side margin portion 117a before the second thermocompression bonding. This makes it possible to offset the amount of compressive deformation of the first side margin sheet 117s1 caused by the first thermocompression bonding, making it less likely that a difference in thickness will occur between the side margin portions 117a and 117b.

なお、本実施形態では、第2熱圧着の前における第2サイドマージンシート117s2の厚みt2及び第1サイドマージン部117aの厚みt3について、厚みt2と厚みt3との差が、厚みt2の10%以内に収まる場合に、厚みt2と厚みt3とが同等とであるものとする。 In this embodiment, with respect to the thickness t2 of the second side margin sheet 117s2 and the thickness t3 of the first side margin portion 117a before the second thermocompression bonding, if the difference between thickness t2 and thickness t3 is within 10% of thickness t2, then thickness t2 and thickness t3 are considered to be equivalent.

そして、図15(C)に示すように、第1押圧部材E1をz軸方向上方に移動させる。これにより、第1押圧部材E1が第2サイドマージンシート117s2から離間し、第2サイドマージンシート117s2が各積層体116の第2側面S2に密着した状態で保持される。 Then, as shown in FIG. 15(C), the first pressing member E1 is moved upward in the z-axis direction. As a result, the first pressing member E1 is separated from the second side margin sheet 117s2, and the second side margin sheet 117s2 is held in close contact with the second side surface S2 of each laminate 116.

(ステップS46:第2打ち抜き)
ステップS46では、ステップS45で熱圧着された第2サイドマージンシート117s2を複数の積層体116の第2側面S2で打ち抜く。図16(A)~(C)は、ステップS46における第2打ち抜きの過程を示す図である。ステップS46の第2打ち抜きは、ステップS43の第1打ち抜きと同様の要領で実施可能である。
(Step S46: Second punching)
In step S46, the second side margin sheet 117s2 thermocompression-bonded in step S45 is punched out by the second side surface S2 of the plurality of laminates 116. Figures 16(A) to 16(C) are diagrams showing the process of the second punching in step S46. The second punching in step S46 can be performed in the same manner as the first punching in step S43.

まず、図16(A)に示すように、ステップS45に引き続いて第2粘着シートF2のz軸方向下面を保持部材Hで保持した状態で、第2サイドマージンシート117s2のz軸方向上方に第2押圧部材E2を配置する。次に、図16(B)に示すように、第2押圧部材E2をz軸方向下方に移動させ、各積層体116の第2側面S2で第2サイドマージンシート117s2を打ち抜く。 First, as shown in FIG. 16(A), following step S45, with the lower surface in the z-axis direction of the second adhesive sheet F2 held by the holding member H, the second pressing member E2 is placed above the second side margin sheet 117s2 in the z-axis direction. Next, as shown in FIG. 16(B), the second pressing member E2 is moved downward in the z-axis direction, and the second side surface S2 of each laminate 116 punches out the second side margin sheet 117s2.

なお、ステップS46の第2打ち抜きで用いる第2押圧部材E2は、ステップS43の第1打ち抜きで用いる第2押圧部材E2と同一でなくてもよく、第2サイドマージンシート117s2の物性や第2打ち抜きの条件に応じたものを適宜選択することができる。 The second pressing member E2 used in the second punching in step S46 does not have to be the same as the second pressing member E2 used in the first punching in step S43, and can be appropriately selected according to the physical properties of the second side margin sheet 117s2 and the conditions of the second punching.

そして、図16(C)に示すように、第2押圧部材E2をz軸方向上方に移動させることにより、第2押圧部材E2を第2サイドマージンシート117s2から離間させる。このとき、各積層体116の第2側面S2上に残った第2サイドマージンシート117s2が第2サイドマージン部117bとなる。複数の積層体116の間の空間に残った第2サイドマージンシート117s2は除去する。 Then, as shown in FIG. 16(C), the second pressing member E2 is moved upward in the z-axis direction to separate the second pressing member E2 from the second side margin sheet 117s2. At this time, the second side margin sheet 117s2 remaining on the second side surface S2 of each laminate 116 becomes the second side margin portion 117b. The second side margin sheet 117s2 remaining in the space between the multiple laminates 116 is removed.

これにより、複数の積層体116の第1及び第2側面S1,S2に第1及び第2サイドマージン部117a,117bが形成され、図9に示す未焼成のセラミック素体111が得られる。以上により、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10の製造方法におけるサイドマージン部形成工程が完了する。 As a result, first and second side margin portions 117a, 117b are formed on the first and second side surfaces S1, S2 of the multiple laminates 116, and the unsintered ceramic body 111 shown in FIG. 9 is obtained. This completes the side margin portion forming process in the manufacturing method for the laminated ceramic capacitor 10 according to this embodiment.

(変形例)
サイドマージンシート117s1,117s2は、上記のように単一のシート材M1,M2で構成されていなくてもよく、複数のシート材が積層された構成であってもよい。特に、積層セラミックコンデンサ10では、サイドマージンシート117s1,117s2を共通のシート材で構成することで、製造コストを更に低減することができる。
(Modification)
The side margin sheets 117s1 and 117s2 do not have to be made of a single sheet material M1 and M2 as described above, and may be made of a laminate of a plurality of sheet materials. In particular, in the multilayer ceramic capacitor 10, the manufacturing cost can be further reduced by making the side margin sheets 117s1 and 117s2 out of a common sheet material.

例えば、積層セラミックコンデンサ10では、第1サイドマージンシート117s1を、第2サイドマージンシート117s2と共通のシート材M2で構成することができる。この場合、図17に示すように、第1サイドマージンシート117s1を、複数枚のシート材M2の積層構造とすることができる。 For example, in the multilayer ceramic capacitor 10, the first side margin sheet 117s1 can be made of the same sheet material M2 as the second side margin sheet 117s2. In this case, as shown in FIG. 17, the first side margin sheet 117s1 can have a laminated structure of multiple sheets of the sheet material M2.

[その他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
[Other embodiments]
Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and various modifications can be made, as a matter of course.

例えば、上記実施形態では積層セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサ10の製造方法について説明したが、本発明の製造方法は積層セラミック電子部品全般に適用可能である。このような積層セラミック電子部品としては、例えば、チップバリスタ、チップサーミスタ、積層インダクタなどが挙げられる。 For example, in the above embodiment, the manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor 10 was described as an example of a multilayer ceramic electronic component, but the manufacturing method of the present invention can be applied to multilayer ceramic electronic components in general. Examples of such multilayer ceramic electronic components include chip varistors, chip thermistors, and multilayer inductors.

10…積層セラミックコンデンサ
11…セラミック素体
12,13…内部電極
14,15…外部電極
16…積層体
17a,17b…サイドマージン部
18…容量形成部
19…カバー部
111…セラミック素体
112,113…内部電極
116…積層体
117a,117b…サイドマージン部
117s1,117s2…サイドマージンシート
S1,S2…側面
M1,M2…シート材
10... Multilayer ceramic capacitor 11... Ceramic body 12, 13... Internal electrodes 14, 15... External electrodes 16... Laminates 17a, 17b... Side margin portion 18... Capacitor forming portion 19... Cover portion 111... Ceramic body 112, 113... Internal electrode 116... Laminates 117a, 117b... Side margin portions 117s1, 117s2... Side margin sheets S1, S2... Side surfaces M1, M2... Sheet material

Claims (4)

第1軸方向に積層された複数のセラミック層と、前記複数のセラミック層の間に位置する複数の内部電極と、前記第1軸方向と直交する第2軸方向に対向し、前記複数の内部電極が露出する第1及び第2側面と、を有する積層体を用意し、
前記積層体の前記第1側面に第1サイドマージンシートを熱圧着し、
熱圧着された前記第1サイドマージンシートを前記積層体の前記第1側面で打ち抜くことによって第1サイドマージン部を形成し、
前記積層体の前記第2側面に、前記第1サイドマージンシートよりも厚みが小さい第2サイドマージンシートを熱圧着し、
熱圧着された前記第2サイドマージンシートを前記積層体の前記第2側面で打ち抜くことによって第2サイドマージン部を形成する工程を含み、
前記第2サイドマージンシートを熱圧着する前における前記第1サイドマージン部の厚みと前記第2サイドマージンシートの厚みとの差が、前記第2サイドマージンシートの厚みの10%以内であり、
前記第1サイドマージンシートの熱圧着及び前記第2サイドマージンシートの熱圧着は、押圧部材を用いて実施し、
前記第1サイドマージンシートの熱圧着は、前記押圧部材の前記第1サイドマージンシートと接触する面の温度を前記第1サイドマージンシートの転移点以上として実施する
積層セラミック電子部品の製造方法。
A laminate is prepared, the laminate having a plurality of ceramic layers stacked in a first axial direction, a plurality of internal electrodes positioned between the plurality of ceramic layers, and first and second side surfaces facing each other in a second axial direction perpendicular to the first axial direction and from which the plurality of internal electrodes are exposed;
a first side margin sheet is heat-compressed to the first side surface of the laminate;
forming a first side margin portion by punching out the thermocompression-bonded first side margin sheet at the first side surface of the laminate;
A second side margin sheet having a thickness smaller than that of the first side margin sheet is heat-compressed to the second side surface of the laminate;
forming a second side margin portion by punching out the thermocompression-bonded second side margin sheet at the second side surface of the laminate;
a difference between a thickness of the first side margin portion and a thickness of the second side margin sheet before the second side margin sheet is thermally compressed is within 10% of the thickness of the second side margin sheet;
The thermocompression bonding of the first side margin sheet and the thermocompression bonding of the second side margin sheet are performed using a pressing member;
The thermocompression bonding of the first side margin sheet is performed by setting the temperature of the surface of the pressing member that contacts the first side margin sheet to a transition point of the first side margin sheet or higher.
A method for manufacturing multilayer ceramic electronic components.
請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記第1及び第2サイドマージンシートが共通の組成を有する
積層セラミック電子部品の製造方法。
2. A method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, comprising the steps of:
the first and second side margin sheets having a common composition.
請求項2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記第1及び第2サイドマージンシートがそれぞれ単一のシート材で構成される
積層セラミック電子部品の製造方法。
3. A method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 2, comprising the steps of:
the first and second side margin sheets each being made of a single sheet material.
請求項2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記第1及び第2サイドマージンシートが共通のシート材で構成され、
前記第1サイドマージンシートが積層された複数のシート材で構成される
積層セラミック電子部品の製造方法。
3. A method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 2, comprising the steps of:
The first and second side margin sheets are made of a common sheet material,
the first side margin sheet is made of a plurality of laminated sheet materials.
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