JP2023000001A - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、サイドマージン部を後付けする積層セラミック電子部品の製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method of manufacturing a laminated ceramic electronic component to which a side margin portion is retrofitted.
積層セラミックコンデンサの製造過程においてサイドマージン部を後付けする技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。この技術は、薄いサイドマージン部によっても内部電極が露出した積層体の側面を確実に保護することができるため、積層セラミックコンデンサの小型化及び大容量化に有利である。 There is known a technique of retrofitting side margin portions in the manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor (see, for example, Patent Document 1). This technique is advantageous in reducing the size and increasing the capacity of the multilayer ceramic capacitor, since the thin side margins can reliably protect the side surfaces of the multilayer body where the internal electrodes are exposed.
一例として、特許文献1に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法では、内部電極が印刷されたセラミックシートを積層した積層シートを切断し、内部電極が露出した切断面を側面とする複数の積層体を作製する。そして、積層体の側面でセラミックシートを打ち抜くことにより、積層体の両側面にサイドマージン部を形成する。 As an example, in the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor described in Patent Document 1, a multilayer sheet obtained by laminating ceramic sheets having internal electrodes printed thereon is cut to form a plurality of multilayer bodies having the cut surfaces on which the internal electrodes are exposed as side surfaces. make. Then, side margin portions are formed on both side surfaces of the laminate by punching the ceramic sheets on the side surfaces of the laminate.
特許文献1に記載の手法では、積層体の側面に対するサイドマージン部の接着性を高めるために、積層体の側面でセラミックシートを加熱しながら打ち抜いている。しかしながら、このような手法でもなお、サイドマージン部の接着性が不足し、後の工程において積層体の側面からサイドマージン部が剥離する場合がある In the method described in Patent Document 1, the ceramic sheet is punched while being heated on the side surface of the laminate in order to enhance the adhesion of the side margins to the side surface of the laminate. However, even with such a method, the adhesiveness of the side margins is still insufficient, and the side margins may peel off from the side surfaces of the laminate in subsequent steps.
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、積層体の側面に対するサイドマージン部の接着性を向上させる技術を提供することにある。 In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide a technique for improving the adhesiveness of the side margins to the side surfaces of the laminate.
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法では、一軸方向に積層された複数のセラミック層と、上記複数のセラミック層の間に位置する複数の内部電極と、上記複数の内部電極が露出する側面と、を有する積層体と、サイドマージンシートと、が用意される。
上記側面と上記サイドマージンシートとの少なくとも一方に放電処理によって親水性を付与することで親水性面が形成される。
上記親水性面を接着面として上記側面と上記サイドマージンシートとが接着される。
この構成では、積層体の側面とサイドマージンシートとの接着面として親水性面を設けることにより、積層体の側面とサイドマージンシートとの間の高い接着性が得られる。
To achieve the above object, in a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, a plurality of uniaxially laminated ceramic layers and a plurality of internal electrodes positioned between the plurality of ceramic layers are provided. , a side surface where the plurality of internal electrodes are exposed, and a side margin sheet are prepared.
A hydrophilic surface is formed by imparting hydrophilicity to at least one of the side surface and the side margin sheet by a discharge treatment.
The side surface and the side margin sheet are adhered using the hydrophilic surface as an adhesive surface.
In this configuration, by providing a hydrophilic surface as an adhesion surface between the side surface of the laminate and the side margin sheet, high adhesiveness between the side surface of the laminate and the side margin sheet can be obtained.
上記製造方法では、上記複数のセラミック層及び上記サイドマージンシートよりも液体成分の量が多い接着材を介して上記側面と上記サイドマージンシートとを接着してもよい。
この場合、上記側面と上記サイドマージンシートとの両方に上記親水性面を形成することが好ましい。
また、上記接着材が0.1wt%以上の水分を含むことが好ましい。
In the manufacturing method described above, the side surfaces and the side margin sheets may be bonded via an adhesive material having a liquid component larger than that of the plurality of ceramic layers and the side margin sheets.
In this case, it is preferable to form the hydrophilic surface on both the side surface and the side margin sheet.
Moreover, it is preferable that the adhesive contains 0.1 wt % or more of water.
上記製造方法では、上記側面と上記サイドマージンシートとを直接接着してもよい。
この場合、上記側面に上記親水性面を設け、上記サイドマージンシートに上記親水性面を設けなくてもよい。
また、上記サイドマージンシートの液体成分の量が上記セラミックシートよりも多いことが好ましい。
更に、上記サイドマージンシートが0.05wt%以上の水分を含むことが好ましい。
In the above manufacturing method, the side surface and the side margin sheet may be directly adhered.
In this case, the hydrophilic surface may be provided on the side surface, and the hydrophilic surface may not be provided on the side margin sheet.
Further, it is preferable that the amount of the liquid component in the side margin sheets is larger than that in the ceramic sheets.
Furthermore, it is preferable that the side margin sheet contains 0.05 wt % or more of moisture.
以上述べたように、本発明によれば、積層体の側面に対するサイドマージン部の接着性を向上させる技術を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a technique for improving the adhesiveness of the side margins to the side surfaces of the laminate.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10について説明する。なお、図面には、適宜、相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸、Y軸、及びZ軸は、積層セラミックコンデンサ10に対して固定された固定座標系を規定する。
A multilayer
また、図面には、適宜、相互に直交するx軸、y軸、及びz軸が示されている。x軸、y軸、及びz軸は、上記のX軸、Y軸、及びZ軸とは異なり、実空間に対して固定された実空間座標系を規定する。x軸及びy軸は水平方向に延び、つまりx-y平面が水平面となる。z軸は、鉛直方向上下に延びる。 The drawings also show, where appropriate, mutually orthogonal x-, y-, and z-axes. The x-axis, y-axis, and z-axis define a real space coordinate system that is fixed with respect to the real space, unlike the X-axis, Y-axis, and Z-axis described above. The x- and y-axes extend horizontally, ie the xy plane is horizontal. The z-axis extends vertically up and down.
[積層セラミックコンデンサ10の構成]
図1~3は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10を示す図である。図1は、積層セラミックコンデンサ10の斜視図である。図2は、積層セラミックコンデンサ10の図1のA-A'線に沿った断面図である。図3は、積層セラミックコンデンサ10の図1のB-B'線に沿った断面図である。
[Structure of Multilayer Ceramic Capacitor 10]
1 to 3 are diagrams showing a multilayer
積層セラミックコンデンサ10は、セラミック素体11と、第1外部電極14と、第2外部電極15と、を備える。セラミック素体11は、X軸と直交する第1及び第2端面と、Y軸と直交する第1及び第2側面と、Z軸と直交する第1及び第2主面と、を有する6面体として構成される。
A laminated
セラミック素体11の第1及び第2端面、第1及び第2側面、及び第1及び第2主面はいずれも、平坦面として構成される。本実施形態に係る平坦面とは、全体的に見たときに平坦と認識される面であれば厳密に平面でなくてもよく、例えば、表面の微小な凹凸形状や、所定の範囲に存在する緩やかな湾曲形状などを有する面も含まれる。
All of the first and second end faces, the first and second side faces, and the first and second principal faces of the
各外部電極14,15は、セラミック素体11の両端面を覆い、セラミック素体11を挟んでX軸方向に対向している。外部電極14,15は、セラミック素体11の各端面から主面及び側面に延出している。これにより、外部電極14,15では、X-Z平面に平行な断面、及びX-Y平面に平行な断面がいずれもU字状となっている。
The
なお、外部電極14,15の形状は、図1に示すものに限定されない。例えば、外部電極14,15は、セラミック素体11の両端面から一方の主面のみに延び、X-Z平面に平行な断面がL字状となっていてもよい。また、外部電極14,15は、いずれの主面及び側面にも延出していなくてもよい。
The shape of the
外部電極14,15は、電気の良導体により形成されている。外部電極14,15を形成する電気の良導体としては、例えば、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。なお、本実施形態で主成分とは最も含有比率の高い成分を言うものとする。
The
セラミック素体11は、誘電体セラミックスで形成され、積層体16と、第1及び第2サイドマージン部17a,17bと、を有する。積層体16は、Y軸方向に対向する第1及び第2側面S1,S2と、X軸方向に対向する第1及び第2端面と、Z軸方向に対向する第1及び第2主面と、を有する。
The
積層体16は、X-Y平面に沿って延びる平板状の複数のセラミック層がZ軸方向に積層された構成を有する。積層体16は、容量形成部18と、カバー部19と、を有する。カバー部19は、容量形成部18をZ軸方向上下から被覆し、積層体16の第1及び第2主面を構成している。
The laminate 16 has a structure in which a plurality of flat ceramic layers extending along the XY plane are laminated in the Z-axis direction. The laminate 16 has a
容量形成部18は、複数のセラミック層の間に配置され、X-Y平面に沿って延びるシート状の複数の第1及び第2内部電極12,13を有する。内部電極12,13は、Z軸方向に沿って交互に配置されている。つまり、内部電極12,13は、セラミック層を挟んでZ軸方向に対向している。
The
第1内部電極12は、第1外部電極14に覆われた端面に引き出されている。一方、第2内部電極13は第2外部電極15に覆われた端面に引き出されている。これにより、第1内部電極12は第1外部電極14のみに接続され、第2内部電極13は第2外部電極15のみに接続されている。
The first
内部電極12,13は、容量形成部18のY軸方向の全幅にわたって形成され、積層体16の両側面S1,S2にそれぞれ露出している。つまり、セラミック素体11では、各内部電極12,13のY軸方向の両端部が、積層体16の両側面S1,S2上においてZ軸方向に沿って揃っている。
The
セラミック素体11では、第1サイドマージン部17aが積層体16の第1側面S1を覆い、第2サイドマージン部17bが積層体16の第2側面S2を覆っている。これにより、セラミック素体11では、積層体16の両側面S1,S2における内部電極12,13間の絶縁性を確保することができる。
In the
このような構成により、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間に電圧が印加されると、第1内部電極12と第2内部電極13との間の複数のセラミック層に電圧が加わる。これにより、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間の電圧に応じた電荷が蓄えられる。
With such a configuration, in the multilayer
セラミック素体11では、内部電極12,13間の各セラミック層の容量を大きくするため、高誘電率の誘電体セラミックスが用いられる。高誘電率の誘電体セラミックスとしては、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO3)に代表される、バリウム(Ba)及びチタン(Ti)を含むペロブスカイト構造の材料が挙げられる。
In the
なお、セラミック層は、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)、チタン酸カルシウム(CaTiO3)、チタン酸マグネシウム(MgTiO3)、ジルコン酸カルシウム(CaZrO3)、チタン酸ジルコン酸カルシウム(Ca(Zr,Ti)O3)、ジルコン酸バリウム(BaZrO3)、酸化チタン(TiO2)などの組成系で構成してもよい。 The ceramic layer includes strontium titanate (SrTiO 3 ), calcium titanate (CaTiO 3 ), magnesium titanate (MgTiO 3 ), calcium zirconate (CaZrO 3 ), calcium zirconate titanate (Ca(Zr,Ti) O 3 ), barium zirconate (BaZrO 3 ), and titanium oxide (TiO 2 ).
内部電極12,13は、電気の良導体により形成されている。内部電極12,13を形成する電気の良導体としては、典型的にはニッケル(Ni)が挙げられ、この他にも銅(Cu)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。
The
[積層セラミックコンデンサ10の製造方法]
図4は、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10の製造方法を示すフローチャートである。図5~15は積層セラミックコンデンサ10の製造過程を示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ10の製造方法について、図4に沿って、図5~15を適宜参照しながら説明する。
[Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor 10]
FIG. 4 is a flow chart showing the manufacturing method of the multilayer
(ステップS01:セラミックシート準備)
ステップS01では、容量形成部18を形成するための第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102と、カバー部19を形成するための第3セラミックシート103と、を準備する。セラミックシート101,102,103は、誘電体セラミックスを主成分とする未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。
(Step S01: Ceramic sheet preparation)
In step S01, the first
セラミックシート101,102,103は、例えば、ロールコーターやドクターブレードなどを用いてシート状に成形される。セラミックシート101,102の厚みは、焼成後の容量形成部18におけるセラミック層の厚みに応じて調整される。第3セラミックシート103の厚みは適宜調整可能である。
The
図5は、セラミックシート101,102,103の平面図である。この段階では、セラミックシート101,102,103が、個片化されていない大判のシートとして構成される。図5には、各積層セラミックコンデンサ10ごとに個片化する際の切断線Lx,Lyが示されている。切断線LxはX軸に平行であり、切断線LyはY軸に平行である。
FIG. 5 is a plan view of the
図5に示すように、第1セラミックシート101には第1内部電極12に対応する未焼成の第1内部電極112が形成され、第2セラミックシート102には第2内部電極13に対応する未焼成の第2内部電極113が形成されている。なお、カバー部19に対応する第3セラミックシート103には内部電極が形成されていない。
As shown in FIG. 5, unfired first
内部電極112,113は、任意の導電性ペーストをセラミックシート101,102に塗布することによって形成することができる。導電性ペーストの塗布方法は、公知の技術から任意に選択可能である。例えば、導電性ペーストの塗布には、スクリーン印刷法やグラビア印刷法を用いることができる。
The
内部電極112,113には、切断線Lyに沿ったX軸方向の隙間が、切断線Ly1本置きに形成されている。第1内部電極112の隙間と第2内部電極113の隙間とはX軸方向に互い違いに配置されている。つまり、第1内部電極112の隙間を通る切断線Lyと第2内部電極113の隙間を通る切断線Lyとが交互に並んでいる。
In the
(ステップS02:積層)
ステップS02では、ステップS01で準備したセラミックシート101,102,103を、図6に示すように積層することにより積層シート104を作製する。積層シート104では、容量形成部18に対応する第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102がZ軸方向に交互に積層されている。
(Step S02: Lamination)
In step S02,
また、積層シート104では、交互に積層されたセラミックシート101,102のZ軸方向上下面にカバー部19に対応する第3セラミックシート103が積層される。なお、図6に示す例では、第3セラミックシート103がそれぞれ3枚ずつ積層されているが、第3セラミックシート103の枚数は適宜変更可能である。
In the
積層シート104は、セラミックシート101,102,103を圧着することにより一体化される。セラミックシート101,102,103の圧着には、例えば、静水圧加圧や一軸加圧などを用いることが好ましい。これにより、積層シート104を高密度化することが可能である。
The
(ステップS03:切断)
ステップS03では、ステップS02で得られた積層シート104を、切断線Lx,Lyに沿って切断することにより、未焼成の積層体116を作製する。積層体116は、焼成後の積層体16に対応する。積層シート104の切断には、例えば、押し切り刃や回転刃などを用いることができる。
(Step S03: Disconnect)
In step S03, the
図7,8は、ステップS03の一例を説明するための模式図である。図7は、積層シート104の平面図である。図8は、積層シート104のY-Z平面に沿った断面図である。積層シート104は、例えば発泡剥離シートなどの粘着性のカットシートCによって保持された状態で、切断線Lx,Lyに沿って押し切り刃BLで切断される。
7 and 8 are schematic diagrams for explaining an example of step S03. FIG. 7 is a plan view of the
まず、図8(A)に示すように、押し切り刃BLを積層シート104のZ軸方向上方に、先端をZ軸方向下方の積層シート104に向けて配置する。次に、図8(B)に示すように、押し切り刃BLをZ軸方向下方に、カットシートCに到達するまで移動させ、積層シート104を貫通させる。
First, as shown in FIG. 8A, the press-cutting blade BL is arranged above the
そして、図8(C)に示すように、押し切り刃BLをZ軸方向上方に向けて移動させることにより、積層シート104から引き抜く。これにより、積層シート104がX軸及びY軸方向に切り分けられ、Y軸方向に内部電極112,113が露出する第1及び第2側面S1,S2を有する積層体116が形成される。
Then, as shown in FIG. 8C, the press cutting blade BL is moved upward in the Z-axis direction to pull out from the
(ステップS04:放電処理1)
本実施形態では、サイドマージン部117a,117bの形成の前処理として放電処理を行う。放電処理には、高電圧によって放電を発生させる放電装置Pを用いる。放電処理は、被処理面に親水性を付与することを目的とし、例えば、窒素プラズマ処理、アルゴンプラズマ処理、酸素プラズマ処理、コロナ放電処理などが挙げられる。
(Step S04: discharge process 1)
In this embodiment, discharge treatment is performed as a pretreatment for forming the
ステップS04では、第1サイドマージン部117aを良好に形成するための放電処理を行う。具体的に、複数の積層体116の第1側面S1と、第1サイドマージンシート117s1の一方の面と、に放電処理を施す。第1サイドマージンシート117s1は、第1サイドマージン部117aを形成するために準備される絶縁性のセラミックシートである。
In step S04, a discharge process is performed to form the first
第1サイドマージンシート117s1は、上記のセラミックシート101,102,103と同様に、誘電体セラミックスを主成分とする未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。第1サイドマージンシート117s1は、例えば、ロールコーターやドクターブレードなどを用いてシート状に成形される。
Like the
ステップS04では、複数の積層体116の第1側面S1に対して一括して放電処理を施すために、ステップS03後の複数の積層体116の向きを変更する。つまり、図8(C)に示すステップS03の直後の複数の積層体116を、側面S1,S2がY軸方向に近接した状態から、側面S1,S2が鉛直方向上下を向いた状態に変更する。
In step S<b>04 , the orientation of the plurality of
複数の積層体116の側面S1,S2の向きを変更する方法としては、例えば、転動法などの公知の方法を用いることができる。転動法では、まず積層体116をカットシートCから伸長性を有する第1粘着シートF1に貼り変え、第1粘着シートF1を伸長させることにより、積層体116の間隔を広げる。
As a method for changing the directions of the side surfaces S1 and S2 of the plurality of
そして、複数の積層体116を第1粘着シートF1上において転動させる。このとき、例えば転動盤などを用いることによって、すべての積層体116を一括して転動させることができる。これにより、積層体116が90°回転し、図9(A)に示すように、側面S1,S2をそれぞれz軸方向上方及び下方を向けることができる。
Then, the plurality of
つまり、転動後の複数の積層体116ではいずれも、z軸方向下方を向いた第2側面S2が第1粘着シートF1に保持され、第1側面S1がz軸方向上方を向いている。これにより、すべての積層体116におけるz軸方向上方を向いた第1側面S1について一括して放電処理を施すことが可能となる。
That is, in each of the plurality of
ステップS04の放電処理では、図9(A)に示すように、複数の積層体116の第1側面S1に対向させた放電装置Pによって放電照射を行う。放電照射を受けた複数の積層体116の第1側面S1には、親水性基の増加に伴って親水性が付与される。これにより、複数の積層体116の第1側面S1が親水性面Tとなる。
In the discharge treatment in step S04, as shown in FIG. 9A, discharge irradiation is performed by a discharge device P facing the first side surfaces S1 of the
同様に、図9(B)に示すように、第1サイドマージンシート117s1に対向させた放電装置Pによって放電照射を行う。放電照射を受けた第1サイドマージンシート117s1の照射面には、親水性基の増加に伴って親水性が付与される。これにより、第1サイドマージンシート117s1の一方の面が親水性面Tとなる。 Similarly, as shown in FIG. 9B, discharge irradiation is performed by a discharge device P facing the first side margin sheet 117s1. Hydrophilicity is imparted to the irradiated surface of the first side margin sheet 117s1 that has been irradiated with discharge as the number of hydrophilic groups increases. As a result, one surface of the first side margin sheet 117s1 becomes a hydrophilic surface T. As shown in FIG.
本実施形態では、対象となる面における放電処理の前後の親水性を、水の濡れ性によって把握し、具体的に、滴下した水の当該面に対する接触角によって評価する。つまり、本実施形態では、放電処理が施された親水性面Tにおける水の接触角が、放電処理が施される前の当該面における水の接触角よりも小さくなる。 In this embodiment, the hydrophilicity of the target surface before and after the discharge treatment is determined from the wettability of water, and specifically, the contact angle of the dropped water with respect to the surface is evaluated. That is, in the present embodiment, the contact angle of water on the hydrophilic surface T that has been subjected to the discharge treatment is smaller than the contact angle of water on the surface before the discharge treatment.
(ステップS05:サイドマージン部形成1)
ステップS05では、積層体116に未焼成の第1サイドマージン部117aを設ける。第1サイドマージン部117aは、各積層体116の第1側面S1で第1サイドマージンシート117s1を打ち抜くことで形成される。ステップS05では、各積層体116と第1サイドマージン部117aとの接着性を高めるために接着材Dを用いる。
(Step S05: Side Margin Formation 1)
In step S05, the laminate 116 is provided with the unfired first
ステップS05で用いる接着材Dでは、バインダや溶剤などの液体成分の量が、積層体116の複数のセラミック層を構成するセラミックシート101,102,103、及び第1サイドマージン部117aを構成する第1サイドマージンシート117s1よりも多い。これにより、接着材Dでは、親水性面Tに対する高い濡れ性が得られる。
In the adhesive D used in step S05, the amount of the liquid component such as the binder and the solvent causes the
ステップS05で用いる接着材Dでは、親水性面Tに対するより高い濡れ性を得る観点から、バインダや溶剤などの液体成分の量が、1.0wt%以上であることが好ましい。また、接着材Dは、親水性面Tに対する更に高い濡れ性を得るために、液体成分として0.1wt%以上の水分を含むことが更に好ましい。 In the adhesive D used in step S05, from the viewpoint of obtaining higher wettability with respect to the hydrophilic surface T, it is preferable that the amount of the liquid component such as the binder and the solvent is 1.0 wt % or more. Moreover, in order to obtain a higher wettability with respect to the hydrophilic surface T, the adhesive D further preferably contains 0.1 wt % or more of water as a liquid component.
図10に示すように、接着材Dは、各積層体116の第1側面S1上に配置される。各積層体116の第1側面S1への接着材Dの配置には、例えば、一定量の接着材Dを吐出可能なディスペンサを用いることができる。これ以外にも、任意の塗布装置を用いて、各積層体116の第1側面S1に接着材Dを塗布してもよい。 As shown in FIG. 10, the adhesive D is placed on the first side S1 of each laminate 116. As shown in FIG. For arranging the adhesive D on the first side surface S1 of each laminate 116, for example, a dispenser capable of discharging a certain amount of the adhesive D can be used. Alternatively, the adhesive D may be applied to the first side surface S1 of each laminate 116 using any application device.
次に、接着材Dが配置された複数の積層体116の第1側面S1で第1サイドマージンシート117s1を打ち抜く。まず、図11(A)に示すように、第1サイドマージンシート117s1の親水性面Tを、接着材Dが配置された複数の積層体116の第1側面S1のz軸方向上方に対向させる。
Next, the first side margin sheets 117s1 are punched out from the first side surfaces S1 of the
そして、図11(B)に示すように、保持部材Hで第1粘着シートF1のz軸方向下面を保持した状態で、z軸方向上方に配置された弾性部材Eで第1サイドマージンシート117s1を保持部材Hに向けてz軸方向下方に押し込む。これにより、弾性部材Eが複数の積層体116の間の空間に食い込む。
Then, as shown in FIG. 11(B), with the holding member H holding the lower surface of the first adhesive sheet F1 in the z-axis direction, the first side margin sheet 117s1 is held by the elastic member E disposed above in the z-axis direction. toward the holding member H and pushed downward in the z-axis direction. As a result, the elastic member E bites into the space between the
このとき、第1サイドマージンシート117s1は、弾性部材Eによって複数の積層体116の第1側面S1に接着材Dを介して押し付けられる。これにより、複数の積層体116の親水性面Tである第1側面S1と第1サイドマージンシート117s1の親水性面Tとの双方に液体成分の量が多い接着材Dが隙間なく濡れ広がる。
At this time, the elastic member E presses the first side margin sheet 117s1 against the first side surfaces S1 of the
これと同時に、第1サイドマージンシート117s1は、積層体116の第1側面S1の周囲において弾性部材Eによってz軸方向下方に押し下げる。これにより、第1サイドマージンシート117s1は、z軸方向に加わるせん断力によって、各積層体116の第1側面S1の輪郭に沿って切断されて個片化される。 At the same time, the first side margin sheet 117s1 is pushed downward in the z-axis direction by the elastic member E around the first side surface S1 of the laminate 116. As shown in FIG. As a result, the first side margin sheet 117s1 is cut along the contour of the first side surface S1 of each laminate 116 by a shearing force applied in the z-axis direction to separate into pieces.
個片化された第1サイドマージンシート117s1は、各積層体116の第1側面S1上に残り、第1サイドマージン部117aとなる。このように接着材Dを介して接着された各積層体116と第1サイドマージン部117aとでは、双方の親水性面Tに対して隙間なく密着する接着材Dの作用によって高い接着性が得られる。
The separated first side margin sheet 117s1 remains on the first side surface S1 of each laminate 116 and becomes the first
そして、図11(C)に示すように、弾性部材Eをz軸方向上方に移動させることにより、弾性部材Eを第1サイドマージンシート117s1から離間させる。第1サイドマージン部117aが形成された複数の積層体116の間の空間に残った第1サイドマージンシート117s1は除去する。
Then, as shown in FIG. 11C, by moving the elastic member E upward in the z-axis direction, the elastic member E is separated from the first side margin sheet 117s1. The first side margin sheet 117s1 remaining in the spaces between the plurality of
(ステップS06:放電処理2)
ステップS06では、第2サイドマージン部117bを良好に形成するための放電処理を行う。具体的に、複数の積層体116の第2側面S2と、第2サイドマージンシート117s2の一方の面と、に放電処理を施す。第2サイドマージンシート117s2は、第2サイドマージン部117bを形成するために準備される絶縁性のセラミックシートである。
(Step S06: discharge process 2)
In step S06, a discharge process is performed to form the second
第2サイドマージンシート117s2は、第1サイドマージンシート117s1と同様に、誘電体セラミックスを主成分とする未焼成の誘電体グリーンシートとして構成される。第2サイドマージンシート117s2は、第1サイドマージンシート117s1と共通の構成であっても異なる構成であってもよい。 Like the first side margin sheet 117s1, the second side margin sheet 117s2 is configured as an unfired dielectric green sheet containing dielectric ceramics as a main component. The second side margin sheet 117s2 may have the same configuration as the first side margin sheet 117s1 or may have a different configuration.
ステップS06では、ステップS05で第1サイドマージン部117aが形成された複数の積層体116を第1粘着シートF1から第2粘着シートF2に転写する。具体的に、ステップS05後の状態から、まず、複数の積層体116の第1側面S1に形成された第1サイドマージン部117aに第2粘着シートF2を貼り付ける。
In step S06, the plurality of
次に、第1及び第2粘着シートF1,F2に挟まれた状態の第1サイドマージン部117aが形成された複数の積層体116をz軸方向上下に反転させる。そして、第1粘着シートF1を複数の積層体116の第2側面S2から剥離させる。これにより、複数の積層体116ではいずれも、第2側面S2がz軸方向上方を向く(図12(A)参照)。
Next, the plurality of
ステップS06の放電処理では、図12(A)に示すように、複数の積層体116の第2側面S2に対向させた放電装置Pによって放電照射を行う。放電照射を受けた複数の積層体116の第2側面S2には、親水性基の増加に伴って親水性が付与される。これにより、複数の積層体116の第2側面S2が親水性面Tとなる。
In the discharge treatment in step S06, as shown in FIG. 12A, discharge irradiation is performed by a discharge device P facing the second side surfaces S2 of the plurality of
同様に、図12(B)に示すように、第2サイドマージンシート117s2に対向させた放電装置Pによって放電照射を行う。放電照射を受けた第2サイドマージンシート117s2の照射面には、親水性基の増加に伴って親水性が付与される。これにより、第2サイドマージンシート117s2の一方の面が親水性面Tとなる。 Similarly, as shown in FIG. 12B, discharge irradiation is performed by a discharge device P facing the second side margin sheet 117s2. Hydrophilicity is imparted to the irradiated surface of the second side margin sheet 117s2 that has been irradiated with the discharge as the number of hydrophilic groups increases. As a result, one surface of the second side margin sheet 117s2 becomes a hydrophilic surface T. As shown in FIG.
(ステップS07:サイドマージン部形成2)
ステップS07では、積層体116に未焼成の第2サイドマージン部117bを設ける。第2サイドマージン部117bは、各積層体116の第2側面S2で第2サイドマージンシート117s2を打ち抜くことで形成される。ステップS07では、各積層体116と第2サイドマージン部117bとの接着性を高めるために接着材Dを用いる。
(Step S07: Side Margin Formation 2)
In step S<b>07 , unfired second
図13に示すように、接着材Dは、各積層体116の第2側面S2上に配置される。ステップS07における接着材Dの配置は、ステップS05と同様にディスペンサなどを用いて行うことが可能である。なお、ステップS07で用いる接着材Dの組成は、ステップS05と同様であっても、ステップS05とは異なっていてもよい。 As shown in FIG. 13, the adhesive D is placed on the second side S2 of each laminate 116. As shown in FIG. The placement of the adhesive D in step S07 can be performed using a dispenser or the like as in step S05. The composition of the adhesive D used in step S07 may be the same as in step S05 or different from that in step S05.
ステップS07で用いる接着材Dでは、バインダや溶剤などの液体成分の量が、積層体116の複数のセラミック層を構成するセラミックシート101,102,103、及び第2サイドマージン部117bを構成する第2サイドマージンシート117s2よりも多い。これにより、接着材Dでは、親水性面Tに対する高い濡れ性が得られる。
In the adhesive D used in step S07, the amount of the liquid component such as the binder and the solvent increases the amount of the
ステップS07で用いる接着材Dでは、親水性面Tに対するより高い濡れ性を得る観点から、バインダや溶剤などの液体成分の量が、1.0wt%以上であることが好ましい。また、接着材Dは、親水性面Tに対する更に高い濡れ性を得る観点ために、液体成分として0.1wt%以上の水分を含むことが更に好ましい。 In the adhesive D used in step S07, from the viewpoint of obtaining higher wettability with respect to the hydrophilic surface T, it is preferable that the amount of the liquid component such as the binder and the solvent is 1.0 wt % or more. Moreover, from the viewpoint of obtaining higher wettability with respect to the hydrophilic surface T, the adhesive D further preferably contains 0.1 wt % or more of water as a liquid component.
次に、接着材Dが配置された複数の積層体116の第2側面S2で第2サイドマージンシート117s2を打ち抜く。まず、図14(A)に示すように、第2サイドマージンシート117s2の親水性面Tを、接着材Dが配置された複数の積層体116の第2側面S2のz軸方向上方に対向させる。
Next, the second side margin sheets 117s2 are punched out from the second side surfaces S2 of the plurality of
そして、図14(B)に示すように、保持部材Hで第2粘着シートF2のz軸方向下面を保持した状態で、z軸方向上方に配置された弾性部材Eで第2サイドマージンシート117s2を保持部材Hに向けてz軸方向下方に押し込む。これにより、弾性部材Eが複数の積層体116の間の空間に食い込む。
Then, as shown in FIG. 14(B), while the lower surface of the second adhesive sheet F2 in the z-axis direction is held by the holding member H, the second side margin sheet 117s2 is held by the elastic member E arranged above in the z-axis direction. toward the holding member H and pushed downward in the z-axis direction. As a result, the elastic member E bites into the space between the
このとき、第2サイドマージンシート117s2は、弾性部材Eによって複数の積層体116の第2側面S2に接着材Dを介して押し付けられる。これにより、複数の積層体116の親水性面Tである第2側面S2と第2サイドマージンシート117s2の親水性面Tとの双方に液体成分の量が多い接着材Dが隙間なく濡れ広がる。
At this time, the second side margin sheet 117s2 is pressed against the second side surfaces S2 of the plurality of
これと同時に、第2サイドマージンシート117s2は、積層体116の第2側面S2の周囲において弾性部材Eによってz軸方向下方に押し下げる。これにより、第2サイドマージンシート117s2は、z軸方向に加わるせん断力によって、各積層体116の第2側面S2の輪郭に沿って切断されて個片化される。
At the same time, the second side margin sheet 117
個片化された第2サイドマージンシート117s2は、各積層体116の第2側面S2上に残り、第2サイドマージン部117bとなる。このように接着材Dを介して接着された各積層体116と第2サイドマージン部117bとでは、双方の親水性面Tに対して隙間なく密着する接着材Dの作用によって高い接着性が得られる。
The separated second side margin sheet 117s2 remains on the second side surface S2 of each laminate 116 and becomes the second
そして、図14(C)に示すように、弾性部材Eをz軸方向上方に移動させることにより、弾性部材Eを第2サイドマージンシート117s2から離間させる。第2サイドマージン部117bが形成された複数の積層体116の間の空間に残った第2サイドマージンシート117s2は除去する。
Then, as shown in FIG. 14C, by moving the elastic member E upward in the z-axis direction, the elastic member E is separated from the second side margin sheet 117s2. The second side margin sheet 117s2 remaining in the spaces between the plurality of
これにより、図15に示す未焼成のセラミック素体111が得られる。セラミック素体111では、サイドマージン部117a,117bの積層体116の側面S1,S2に対する高い接着性が得られるため、サイドマージン部117a,117bが積層体116の側面S1,S2から剥離しにくくなる。
As a result, the unfired
(ステップS08:焼成)
ステップS08では、ステップS07で得られた図15に示すセラミック素体111を焼成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10のセラミック素体11を作製する。つまり、ステップS08によって、積層体116が積層体16になり、サイドマージン部117a,117bがサイドマージン部17a,17bになる。
(Step S08: Firing)
In step S08,
ステップS08における焼成温度は、セラミック素体111の焼結温度に基づいて決定することができる。例えば、チタン酸バリウム(BaTiO3)系材料を用いる場合には、焼成温度は1000~1300℃程度とすることができる。また、焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。
The sintering temperature in step S<b>08 can be determined based on the sintering temperature of the
(ステップS09:外部電極形成)
ステップS09では、ステップS08で得られたセラミック素体11のX軸方向両端部に外部電極14,15を形成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10を作製する。ステップS06における外部電極14,15の形成方法は、公知の方法から任意に選択可能である。
(Step S09: External electrode formation)
In step S09,
以上により、積層セラミックコンデンサ10が完成する。この製造方法では、内部電極112,113が露出した積層体116の側面S1,S2にサイドマージン部117a,117bが形成されるため、セラミック素体11における複数の内部電極12,13のY軸方向の端部の位置が、0.5μm以内の範囲で揃う。
By the above, the multilayer
[その他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
[Other embodiments]
Although the embodiments of the present invention have been described above, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiments and can be modified in various ways.
例えば、ステップS04,S06の放電処理は、複数の積層体116及びサイドマージンシート117s1,117s2の両方に施すことが好ましいが、いずれか一方のみに施してもよい。また、ステップS04,S06の放電処理は、2回以上の放電照射を含んでいてもよく、更に相互に異なる種類の放電処理を含んでいてもよい。
For example, the discharge treatment in steps S04 and S06 is preferably applied to both the plurality of
また、ステップS05,S07では、接着材Dを、複数の積層体116の側面S1,S2ではなく、サイドマージンシート117s1,117s2に設けてもよい。この場合、サイドマージンシート117s1,117s2に対して、全面に接着材Dを塗布しても、複数の積層体116に対向する位置のみに接着材Dを配置してもよい。
Also, in steps S05 and S07, the adhesive D may be provided on the side margin sheets 117s1 and 117s2 instead of the side surfaces S1 and S2 of the multiple laminates . In this case, the adhesive D may be applied to the entire surface of the side margin sheets 117 s 1 and 117
更に、ステップS05,S07は、複数の積層体116の側面S1,S2でサイドマージンシート117s1,117s2を打ち抜く構成に限定されない。例えば、サイドマージンシート117s1,117s2を予め切り分けることで個片化したサイドマージン部117a,117bを複数の積層体116の側面S1,S2に貼り付けてもよい。
Furthermore, steps S05 and S07 are not limited to the configuration in which the side margin sheets 117s1 and 117s2 are punched at the side surfaces S1 and S2 of the multiple laminates . For example, the
加えて、ステップS05,S07では、接着材Dを用いなくてもよく、つまり複数の積層体116の側面S1,S2にサイドマージン部117a,117bを直接接着してもよい。この場合にも、親水性面Tの作用によって複数の積層体116の側面S1,S2とサイドマージン部117a,117bとが良好に密着する。
In addition, in steps S05 and S07, adhesive D may not be used, that is,
図16は、ステップS05において、複数の積層体116の第1側面S1に第1サイドマージン部117aを直接接着する構成を示している。この構成では、複数の積層体116の第1側面S1で第1サイドマージンシート117s1を打ち抜くことで、各積層体116の第1側面S1に第1サイドマージン部117aが直接形成される。
FIG. 16 shows a configuration in which the first
この場合、図16に示すように、複数の積層体116の第1側面S1のみに親水性面Tを設け、第1サイドマージンシート117s1に親水性面Tを設けない構成とすることができる。この構成では、第1サイドマージンシート117s1の液体成分の量を、積層体116を構成する複数のセラミック層よりも多くすることが好ましい。
In this case, as shown in FIG. 16, only the first side surfaces S1 of the
これにより、第1サイドマージンシート117s1では、親水性面Tに対する高い濡れ性が得られる。したがって、複数の積層体116の親水性面Tである第1側面S1に第1サイドマージンシート117s1が隙間なく濡れ広がるため、第1サイドマージン部117aの積層体116の第1側面S1に対する高い接着性が得られる。
Thereby, high wettability with respect to the hydrophilic surface T is obtained in the first side margin sheet 117s1. Therefore, since the first side margin sheet 117s1 wets and spreads without gaps on the first side surfaces S1, which are the hydrophilic surfaces T of the plurality of
同様に、ステップS07でも、複数の積層体116の第2側面S2のみに親水性面Tを設け、第2サイドマージンシート117s2の液体成分の量を積層体116を構成する複数のセラミック層よりも多くすることで、第2サイドマージン部117bの積層体116の第2側面S2に対する高い接着性が得られる。
Similarly, in step S07, only the second side surfaces S2 of the
上記の構成において、サイドマージンシート117s1,117s2では、親水性面Tに対するより高い濡れ性を得る観点から、バインダや溶剤などの液体成分の量が、1.0wt%以上であることが好ましい。また、サイドマージンシート117s1,117s2は、親水性面Tに対する更に高い濡れ性を得るために、液体成分として0.05wt%以上の水分を含むことが更に好ましい。 In the above configuration, in the side margin sheets 117s1 and 117s2, from the viewpoint of obtaining higher wettability with respect to the hydrophilic surface T, the amount of the liquid component such as the binder and solvent is preferably 1.0 wt % or more. Further, the side margin sheets 117s1 and 117s2 more preferably contain 0.05 wt % or more of water as a liquid component in order to obtain even higher wettability with respect to the hydrophilic surface T.
なお、上記実施形態では積層セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサ10の製造方法について説明したが、本発明の製造方法は積層セラミック電子部品全般に適用可能である。このような積層セラミック電子部品としては、例えば、チップバリスタ、チップサーミスタ、積層インダクタなどが挙げられる。
In the above embodiment, the manufacturing method of the multilayer
10…積層セラミックコンデンサ
11…セラミック素体
12,13…内部電極
14,15…外部電極
16…積層体
17a,17b…サイドマージン部
18…容量形成部
19…カバー部
111…セラミック素体
112,113…内部電極
116…積層体
117a,117b…サイドマージン部
117s1,117s2…サイドマージンシート
D…接着材
S1,S2…側面
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記側面と前記サイドマージンシートとの少なくとも一方に放電処理によって親水性を付与することで親水性面を形成し、
前記親水性面を接着面として前記側面と前記サイドマージンシートとを接着する
積層セラミック電子部品の製造方法。 a laminate having a plurality of ceramic layers laminated in a uniaxial direction, a plurality of internal electrodes positioned between the plurality of ceramic layers, and side surfaces on which the plurality of internal electrodes are exposed; a side margin sheet; prepare a
forming a hydrophilic surface by imparting hydrophilicity to at least one of the side surface and the side margin sheet by a discharge treatment;
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein the side surface and the side margin sheet are bonded using the hydrophilic surface as an adhesive surface.
前記複数のセラミック層及び前記サイドマージンシートよりも液体成分の量が多い接着材を介して前記側面と前記サイドマージンシートとを接着する
積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1,
A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein the side surfaces and the side margin sheets are bonded via an adhesive material having a liquid component larger than that of the plurality of ceramic layers and the side margin sheets.
前記側面と前記サイドマージンシートとの両方に前記親水性面を形成する
積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 2,
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein the hydrophilic surfaces are formed on both the side surfaces and the side margin sheets.
前記接着材が0.1wt%以上の水分を含む
積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 2 or 3,
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein the adhesive contains 0.1 wt% or more of water.
前記側面と前記サイドマージンシートとを直接接着する
積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1,
A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein the side surface and the side margin sheet are directly bonded.
前記側面に前記親水性面を設け、前記サイドマージンシートに前記親水性面を設けず、
前記サイドマージンシートの液体成分の量が前記セラミックシートよりも多い
積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 5,
The hydrophilic surface is provided on the side surface, and the side margin sheet is not provided with the hydrophilic surface,
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein the amount of liquid component in the side margin sheets is larger than that in the ceramic sheets.
前記サイドマージンシートが0.05wt%以上の水分を含む
積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 5 or 6,
A method for producing a multilayer ceramic electronic component, wherein the side margin sheet contains 0.05 wt% or more of water.
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