JP2015021752A - 放射線撮像装置、その製造方法及び放射線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射線撮像装置は、光を検知する複数のセンサが基板に配列されたセンサパネルと、前記センサパネルの上に配されたシンチレータと、を備え、前記シンチレータは、その外縁よりも外側に中心を有する同心円状の特性分布を有している。
【選択図】図4
Description
以下、図1乃至6を参照しながら、第1実施形態の放射線撮像装置RA1を説明する。
図7を参照しながら、第2実施形態の放射線撮像装置RA2を説明する。第1実施形態では、センサパネル上に、直接、シンチレータを形成する態様を例示したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、図7に例示されるように、アモルファスカーボン(a−C)やアルミニウム(Al)等で構成された基台20にシンチレータを形成し、該シンチレータが形成された基台20をセンサパネル52に貼り合わせて放射線撮像装置RA2を製造してもよい。
図8を参照しながら、第3実施形態の放射線撮像装置RA3を説明する。本実施形態は、CMOSセンサやCCDセンサ等の複数のセンサユニットがタイリングされたセンサパネル53の上に、直接、シンチレータを蒸着法により形成する点で、第2実施形態と異なる。なお、ここでは、説明の容易化のため、2行×5列にタイリングされたセンサパネル53を示したが、この行及び列の数量に限られるものではない。
シンチレータは、その外縁よりも外側に中心を有する同心円状の特性分布を有しているため、当該特性分布に応じてセンサパネル5における各センサの画素感度を補正してもよい。一方、シンチレータの特性分布は、x軸方向においては変化量が大きく、y軸方向においては変化量が小さい。よって、x軸方向については特性分布に応じた補正処理を行い、y軸方向については補正処理を行わない(又は、x軸方向の補正処理の補正量より小さい補正量で補正処理を行う)ようにしてもよい。
Claims (11)
- 光を検知する複数のセンサが基板に配列されたセンサパネルと、
前記センサパネルの上に配されたシンチレータと、を備え、
前記シンチレータは、その外縁よりも外側に中心を有する同心円状の特性分布を有している、
ことを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記シンチレータの前記特性分布は、当該シンチレータの輝度分布および検出量子効率分布の少なくとも一方を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の放射線撮像装置。 - 前記シンチレータは、前記輝度分布および検出量子効率分布の前記少なくとも一方の最大値となる部分が当該シンチレータの中央領域に位置している、
ことを特徴とする請求項2に記載の放射線撮像装置。 - 前記シンチレータは、その外縁よりも外側に中心を有する同心円状の膜厚分布を有している、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記シンチレータは、前記膜厚分布の最大値となる部分が当該シンチレータの中央領域に位置している、
ことを特徴とする請求項4に記載の放射線撮像装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置からの信号を処理する信号処理部と、
放射線を発生する放射線源と、を備える、
ことを特徴とする放射線検査装置。 - 光を検知する複数のセンサが基板に配列されたセンサパネルと、当該センサパネルの上に配されたシンチレータと、を備える放射線撮像装置の製造方法であって、
前記シンチレータは、蒸着対象物を保持するためのホルダを回転させながら蒸着処理を行う蒸着装置を用いて形成され、
前記放射線撮像装置の製造方法は、
前記ホルダの当該ホルダの回転中心から離れた位置にセンサパネルを設置する第1工程と、
前記蒸着処理によって前記センサパネルに前記シンチレータを形成する第2工程と、を有する、
ことを特徴とする放射線撮像装置の製造方法。 - 前記第2工程では、前記シンチレータの輝度分布および検出量子効率分布の少なくとも一方が当該シンチレータの中央領域に位置に最大値を有するように蒸着処理を行う、
ことを特徴とする請求項7に記載の放射線撮像装置の製造方法。 - 前記第2工程では、前記シンチレータの膜厚分布が当該シンチレータの中央領域に位置に最大値を有するように蒸着処理を行う、
ことを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の放射線撮像装置の製造方法。 - 前記第1工程では、前記センサパネルを、前記ホルダの回転中心を通る仮想直線と当該センサパネルの2つの対辺とが平行になるように設置する
ことを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の放射線撮像装置の製造方法。 - 前記第1工程では、前記ホルダの当該ホルダの回転中心から離れた位置に、複数のセンサパネルを、当該ホルダの回転中心を取り囲むように設置し、
前記第2工程では、前記複数のセンサパネルに前記シンチレータを形成する、
ことを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載の放射線撮像装置の製造方法。
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