JP2015012045A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板200に対しプラズマ処理を行うプラズマ処理装置100であって、基体111と、蓋体112とを有する筐体101と、処理対象の基板200の背方に配置される電極体102と、電極体102と蓋体112との間に電極体102を横断するように配置され、基板200の搬送経路を形成し、プラズマ処理中の基板200を保持するレール103と、基板200の搬送中、または、プラズマ処理中においてレール103が浮き上がることを規制するフランジ状の規制部163を有し、基体111に取り付けられる規制部材106と、筐体101内にプラズマを発生させるプラズマ発生用電源部104とを備える。
【選択図】図7
Description
101 筐体
102 電極体
103 レール
104 プラズマ発生用電源部
105 移動手段
106 規制部材
111 基体
112 蓋体
113 絶縁部材
114 シール部材
130 保持体
131 鍔部
132 摺動部
133 シャフト
134 切欠部
135 溝
137 突出部
138 載置板
139 外部レール
151 連動手段
152 付勢手段
161 ピン
162 調整部材
163 規制部
164 ネジ穴
165 長孔
166 ボルト
169 ネジ
200 基板
Claims (4)
- 基板に対しプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、
基体と、前記基体に対し相対的に移動する蓋体とを有する筐体と、
前記基体に絶縁状態で保持され、前記筐体に収容される処理対象の基板の背方に配置される電極体と、
前記電極体と前記蓋体との間に前記電極体を横断するように配置され、基板の搬送経路を形成し、プラズマ処理中の基板を保持するレールと、
基板の搬送中、または、プラズマ処理中において前記電極体から遠ざかる方向に前記レールが所定の位置から移動することを規制するフランジ状の規制部を有し、前記電極体の周辺の前記基体に直接的、または、間接的に取り付けられる規制部材と、
前記筐体内にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と
を備えるプラズマ処理装置。 - さらに、
前記電極体の周囲に配置され、複数の前記レールを一体に保持する保持体と、
前記基体に対し前記保持体を相対的に移動させることにより、プラズマ発生中は前記電極体に向かって前記基板の端縁を押圧する方向に前記レールを移動させ、基板の搬送中は前記基板の端縁への押圧を解除する方向に前記レールを移動させる移動手段とを備え、
前記規制手段は、前記保持体に取り付けられる
請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - さらに、
前記レール、および、前記規制部材が取り付けられるとともに、前記レール、および、前記規制部材を前記基板の搬送方向と交差する方向に移動させてレール幅を調整する調整部材
を備える請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。 - さらに、
前記レールの両端部と係合して前記レールの上下方向の移動を許容し水平方向の移動を規制するピンであって、前記電極体の周辺の前記基体に直接的、または、間接的に取り付けられる上下方向に延びて配置されるピン
を備える請求項1〜3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
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