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  1. 対物レンズと、照明ビーム経路に沿ってサンプルを照明する光源と、両方の空間方向に構造化された平らな照明パターンを前記サンプル上に生成する装置と、1つの画像ビーム経路に沿って前記サンプルから来た光を検出する表面検出器と、前記サンプル上の前記照明パターンを1つの変位方向にシフトする装置と、前記検出器によって前記光が検出されたときに、前記変位方向に沿った前記パターンの異なる位置の位相画像として1つの画像を撮影し、それらの位相画像から、照明されたサンプル領域の全体構造化照明顕微鏡(SIM)画像を計算により再構成する制御ユニットとを備える顕微鏡デバイスにおいて、前記変位方向が、前記照明パターンの主対称軸に対して斜めであり、前記変位方向が、前記照明パターンに応じて、前記SIM画像の再構成に必要な位相画像の数が、照明パターンの強度のフーリエ次数の数に等しい理論上最低限必要な値に一致するような態様で選択されることを特徴とする顕微鏡デバイス。
  2. 前記照明パターンが六角形点パターンであり、前記変位方向が、3つの主対称軸のうちの1つの主対称軸に対して1から20度の範囲にあるように選択され、少なくとも7つの位相画像が最低限必要な値である、請求項1に記載の顕微鏡デバイス。
  3. 前記変位方向が、3つの主対称軸のうちの1つの主対称軸に対して4から20度、好ましくは13から20度の範囲にあるように選択される、請求項2に記載の顕微鏡デバイス。
  4. 前記照明パターンを生成する前記装置が、位相画像ごとに、照明されるサンプル表面の全ての領域を前記照明パターンで同時に照明するようになされている、請求項1から3のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  5. 前記照明パターンを生成する前記装置が、位相画像ごとに、照明されるサンプル表面の部分領域において前記照明パターンを逐次的に組み合わせ再び分解するようになされており、照明されるサンプル表面が、前記照明パターンで同時には照明されず、一部分ずつ逐次的に照明されるように、前記部分領域が、全体として、照明されるサンプル表面をカバーし、前記制御ユニットが、実質的にサンプル表面のちょうど照明された部分領域が結像されるときにだけ前記検出器の対応する領域がアクティブになるような態様で前記検出器を制御するようになされている、請求項1から3のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  6. 対物レンズと、照明ビーム経路に沿ってサンプルを照明する光源と、少なくとも1つの空間方向に構造化された照明パターンを前記サンプル上に生成する装置と、1つの画像ビーム経路に沿って前記サンプルから来た光を検出する表面検出器と、前記サンプル上の前記照明パターンを1つの変位方向にシフトする装置と、前記検出器によって前記光が検出されたときに、前記変位方向に沿った前記パターンの異なる位置の位相画像として1つの画像を撮影する制御ユニットとを備え、照明されたサンプル領域の全体画像が、前記位相画像から計算により再構成され、前記照明パターンを生成する前記装置が、位相画像ごとに、照明されるサンプル表面の部分領域において前記照明パターンを逐次的に組み合わせ再び分解するようになされており、照明されるサンプル表面が、前記照明パターンで同時には照明されず、一部分ずつ逐次的に照明されるように、前記部分領域が、全体として、照明されるサンプル表面をカバーし、前記制御ユニットが、実質的にサンプル表面のちょうど照明された部分領域が結像されるときにだけ前記検出器の対応する領域がアクティブになるような態様で前記検出器を制御するようになされている顕微鏡デバイス。
  7. 前記照明パターンを生成する前記装置が、前記照明パターンを、一方向に移動するストリップの形態で組み合わせおよび分解するようになされている、請求項6に記載の顕微鏡デバイス。
  8. 前記ストリップの幅が、前記ストリップで照明されたサンプル領域が少なくとも3本の検出器線上に結像されるように選択される、請求項7に記載の顕微鏡デバイス。
  9. 前記ストリップが縦方向にだけ構造化される、請求項7または8に記載の顕微鏡デバイス。
  10. 前記ストリップが横方向に回折限界がある、請求項7から9のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  11. 前記照明パターンを生成する前記装置が、前記ストリップを、前記ストリップを横切る方向にだけ移動させるようになされている、請求項7から10のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  12. 前記構造化された照明パターンを生成する前記装置が円柱レンズ・アレイを有し、移動するストリップの方向が前記円柱レンズの軸方向に対して平行である、請求項7から11のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  13. 前記ストリップの縦方向の、前記検出器上での前記ストリップの前記結像が、前記検出器表面の部分領域の上だけに及び、曲線状の軌道をたどるために、前記照明パターンを生成する前記装置が、前記パターンが組み合わせられているときに、前記ストリップを、前記ストリップを横切る方向だけでなく、前記ストリップの縦方向にも移動させるように作られている、請求項7から10のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  14. 前記照明パターンの前記変位方向が、前記ストリップの縦方向に1つの成分を含む、請求項7から13のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  15. 前記構造化された照明パターンを生成する前記装置が、物体平面または物体平面と共役する平面に前記照明パターンを生成するようになされている、請求項7から14のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  16. 前記構造化された照明パターンを生成する前記装置が、前記対物レンズの瞳内のコヒーレント照明光の干渉する焦点によって、前記照明パターンを生成するようになされている、請求項15に記載の顕微鏡デバイス。
  17. 前記サンプル上の前記照明パターンをシフトする前記装置が、前記サンプル上の前記照明パターンをシフトするために、前記対物レンズの瞳内の前記焦点の大きさの相対的な位相シフトを引き起こすようになされている、請求項16に記載の顕微鏡デバイス。
  18. 前記サンプル上の前記照明パターンをシフトする前記装置が、前記対物レンズの瞳内の前記焦点の前記相対的な位相シフトを引き起こすために、前記対物レンズの瞳の中もしくは瞳の近くのガルバノメトリック走査器、音響光学変調器、または圧電アクチュエータとミラーの組合せをその1つのアームに備える干渉計を有する、請求項17に記載の顕微鏡デバイス。
  19. 前記構造化された照明パターンを生成する前記装置が、1つの中間画像平面に点パターンを生成する要素を有する、請求項15に記載の顕微鏡デバイス。
  20. 前記中間画像平面に前記点パターンを生成する前記要素が、前記中間画像平面に位置する穴のあいたマスクである、請求項19に記載の顕微鏡デバイス。
  21. 前記中間画像平面に前記点パターンを生成する前記要素が、前記中間画像平面に前記照明光の焦点を生成するために前記光源と前記中間画像平面の間に配置されたマイクロレンズ・アレイである、請求項19に記載の顕微鏡デバイス。
  22. 前記サンプル上の前記照明パターンをシフトする前記装置が、前記中間画像平面と第1の管状レンズの間の非無限空間にビーム偏向要素を有する、請求項4、19から21のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  23. 前記ビーム偏向要素が、動力付きの偏向ミラーまたは回転するガラス窓として作られている、請求項22に記載の顕微鏡デバイス。
  24. 前記中間画像平面に前記点パターンを生成する前記要素にわたって照明光を移動させて、前記照明パターンを逐次的に組み合わせおよび分解するために、前記照明パターンを生成する前記装置が、1つの走査レンズを備える走査デバイスを有する、請求項5、6、19から21のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  25. 前記点パターンを含む前記中間画像平面に対して絶対的に対称な平面に前記表面検出器が位置するように作られた、請求項19に記載の顕微鏡デバイス。
  26. 前記中間画像平面が、前記第1の管状レンズと前記対物レンズのうちの一方によって前記サンプル上に結像され、前記サンプルが、前記対物レンズおよび前記第1の管状レンズと同じ第2の管状レンズによって前記表面検出器上に結像され、色分割器によって、前記照明ビーム経路が前記画像ビーム経路から分離される、請求項25に記載の顕微鏡デバイス。
  27. 前記サンプルの2光子励起の検出用に作られた、請求項7から26のいずれか一項に記載の顕微鏡デバイス。
  28. 光源と対物レンズ(22)からの光で照明ビーム経路(12)に沿ってサンプル(24)を照明することであり、前記光源(10)は前記サンプル上に両方の空間方向に構造化された平らな照明パターン(32)を生成することと、
    1つの画像ビーム経路(34)に沿って前記サンプルから来た光を表面検出器で検出することと、
    前記サンプル上の前記照明パターンを1つの変位方向にシフトすることと、
    前記検出器によって前記光が検出されたときに、前記変位方向(42)に沿った前記パターンの異なる位置の位相画像として1つの画像を撮影することと、
    それらの位相画像から、照明されたサンプル領域の全体構造化照明顕微鏡(SIM)画像を計算により再構成することと、
    を備える顕微鏡法であって、
    前記変位方向が、前記照明パターン(32)の主対称軸(40、40’、40’’、140、140’)に対して斜めであり、前記照明パターンに応じて、前記SIM画像の再構成に必要な位相画像の数が、計算による再構成に用いられる前記照明パターンのフーリエ次数の数のために理論上最低限必要な値に対応するように、前記変位方向が選択される
    顕微鏡法。
  29. 前記照明パターン(32)が六角形点パターンであり、前記変位方向(42)が、3つの主対称軸のうちの1つの主対称軸(40、40’、40’’)に対して1から20度の範囲にあるように選択され、少なくとも7つの位相画像が最低限必要な値である、請求項28に記載の顕微鏡法。
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Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012009836A1 (de) * 2012-05-16 2013-11-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Lichtmikroskop und Verfahren zur Bildaufnahme mit einem Lichtmikroskop
DE102012018303A1 (de) * 2012-09-14 2014-03-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Messgerät zur Lumineszenzmessung
CN103207449B (zh) * 2013-04-17 2015-04-29 华中科技大学 一种结构光快速扫描显微成像方法
US9350921B2 (en) * 2013-06-06 2016-05-24 Mitutoyo Corporation Structured illumination projection with enhanced exposure control
WO2015052936A1 (ja) * 2013-10-09 2015-04-16 株式会社ニコン 構造化照明顕微鏡装置
DE102013017124A1 (de) * 2013-10-15 2015-04-16 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Scanmikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Scanmikroskops
JP6270615B2 (ja) * 2014-05-02 2018-01-31 オリンパス株式会社 標本像データ生成装置、及び、標本像データ生成方法
US9797767B2 (en) 2014-08-26 2017-10-24 General Electric Company Calibration of microscopy systems
US10746980B2 (en) 2014-08-26 2020-08-18 General Electric Company Calibration of microscopy systems
US11300773B2 (en) 2014-09-29 2022-04-12 Agilent Technologies, Inc. Mid-infrared scanning system
DE102014017001A1 (de) * 2014-11-12 2016-05-12 Carl Zeiss Ag Mikroskop mit geringem Verzeichnungsfehler
US9953428B2 (en) 2015-03-03 2018-04-24 Microsoft Technology Licensing, Llc Digital camera unit with simultaneous structured and unstructured illumination
WO2016146411A1 (en) * 2015-03-19 2016-09-22 Koninklijke Philips N.V. Illumination in digital pathology scanning
DE102015209758A1 (de) * 2015-05-28 2016-12-01 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Anordnung und Verfahren zur Strahlformung und zur Lichtblattmikroskopie
CN107667310B (zh) * 2015-06-02 2021-01-01 生命技术公司 荧光成像系统
DE102015109645B3 (de) * 2015-06-17 2016-09-08 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur Multiliniendetektion
CN105158224B (zh) * 2015-09-09 2017-10-20 深圳大学 一种提高多光子成像信号强度的方法及系统
DE102015116598A1 (de) 2015-09-30 2017-03-30 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren und Mikroskop zur hochauflösenden Abbildung mittels SIM
WO2017060954A1 (ja) 2015-10-05 2017-04-13 オリンパス株式会社 撮像装置
ITUB20154591A1 (it) * 2015-10-12 2017-04-12 Crestoptics S R L Apparato di microscopia confocale e relativo procedimento di acquisizione ed elaborazione di immagini
WO2017192896A1 (en) * 2016-05-06 2017-11-09 Uwm Research Foundation, Inc. Snapshot optical tomography system and method of acquiring an image with the system
DE102016007839A1 (de) 2016-06-28 2017-12-28 Horst Wochnowski Hochauflösendes Verfahren zur Mikroskopie und Nanostrukturierung von Substratoberflächen basierend auf dem SIM-Verfahren (Structured Illumination Microscopy)
FR3054321B1 (fr) * 2016-07-25 2018-10-05 Centre National De La Recherche Scientifique - Cnrs - Systeme et procede de mesure d'un parametre physique d'un milieu
US10908072B2 (en) 2016-12-15 2021-02-02 The Board Of Regents Of The University Of Texas System Total internal reflection and transmission illumination fluorescence microscopy imaging system with improved background suppression
CN107101982A (zh) * 2017-03-09 2017-08-29 深圳先进技术研究院 荧光显微装置
US10502944B2 (en) 2017-10-02 2019-12-10 Nanotronics Imaging, Inc. Apparatus and method to reduce vignetting in microscopic imaging
TWI791046B (zh) * 2017-10-02 2023-02-01 美商奈米創尼克影像公司 減少顯微鏡成像中之暈影的設備及方法
KR102058780B1 (ko) * 2017-11-29 2019-12-23 (주)로고스바이오시스템스 라인 스캐닝 방식의 공초점 현미경에서의 자동초점조절 방법 및 장치
CA3086974A1 (en) * 2018-02-09 2019-08-15 Alcon Inc. System inverting controller for laser scanning systems
EP3614190A1 (en) 2018-08-20 2020-02-26 Till GmbH Microscope device with virtual objective
DE102018124984A1 (de) * 2018-10-10 2020-04-16 Friedrich-Schiller-Universität Jena Verfahren und Vorrichtung zur hochaufgelösten Fluoreszenzmikroskopie
CN111122568B (zh) * 2018-11-01 2022-04-22 华中科技大学苏州脑空间信息研究院 一种高通量光学层析成像方法及成像系统
US11347040B2 (en) * 2019-02-14 2022-05-31 Double Helix Optics Inc. 3D target for optical system characterization
DE102019129932B4 (de) * 2019-11-06 2023-12-21 Technische Universität Braunschweig Optische Detektionseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer optischen Detektionseinrichtung
DE102020123668A1 (de) 2020-09-10 2022-03-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur Bildauswertung für die SIM-Mikroskopie und SIM-Mikroskopieverfahren
DE102020123669A1 (de) 2020-09-10 2022-03-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur SIM-Mikroskopie
CN113219643B (zh) * 2021-05-11 2022-07-12 浙江大学 一种基于非相干成像边缘模糊的光学显微镜对焦稳定方法及系统
DE102023102991B3 (de) 2023-02-08 2024-02-01 Till I.D. Gmbh Verfahren zur Generierung mikroskopischer Schichtaufnahmen 3-dimensionaler fluoreszierender Objekte sowie Vorrichtung, Computerprogramm und computerlesbares Speichermedium

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5078482A (en) * 1989-07-28 1992-01-07 At&T Bell Laboratories Resolution confocal microscope, and device fabrication method using same
GB9102903D0 (en) 1991-02-12 1991-03-27 Oxford Sensor Tech An optical sensor
KR960011399B1 (ko) * 1991-04-03 1996-08-22 샤프 가부시끼가이샤 광학 소자 조립 장치
US5381224A (en) * 1993-08-30 1995-01-10 A. E. Dixon Scanning laser imaging system
DE19510102C1 (de) * 1995-03-20 1996-10-02 Rainer Dr Uhl Konfokales Fluoreszenzmikroskop
DK0972220T3 (da) 1997-04-04 2002-03-11 Isis Innovation Afbildningsapparat og -fremgangsmåde til mikroskopi
US6248988B1 (en) * 1998-05-05 2001-06-19 Kla-Tencor Corporation Conventional and confocal multi-spot scanning optical microscope
DE10038527A1 (de) * 2000-08-08 2002-02-21 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Erhöhung der Tiefendiskriminierung optisch abbildender Systeme
US6731383B2 (en) * 2000-09-12 2004-05-04 August Technology Corp. Confocal 3D inspection system and process
DE10050529B4 (de) * 2000-10-11 2016-06-09 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop und Scanmikroskop
DE10155002A1 (de) 2001-11-08 2003-05-22 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe
DE10118463A1 (de) 2001-04-07 2002-10-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe
DE10330716A1 (de) * 2003-07-03 2005-02-17 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Eliminierung von Falschlicht
US20050225849A1 (en) * 2004-04-05 2005-10-13 Fujifilm Electronic Imaging Ltd. Slit confocal microscope and method
US7335898B2 (en) * 2004-07-23 2008-02-26 Ge Healthcare Niagara Inc. Method and apparatus for fluorescent confocal microscopy
JP4831072B2 (ja) 2005-10-13 2011-12-07 株式会社ニコン 顕微鏡装置
DE102006031177A1 (de) * 2006-07-06 2008-01-10 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes einer dünnen Schicht eines Objekts
WO2008010182A2 (de) * 2006-07-17 2008-01-24 Max Wiki Analytisches system mit einer anordnung zur zeitlich veränderbaren räumlichen lichtmodulation und damit ausführbares nachweisverfahren
US7834980B2 (en) * 2006-12-21 2010-11-16 Asml Netherlands B. V. Lithographic apparatus and method
US7916304B2 (en) * 2006-12-21 2011-03-29 Howard Hughes Medical Institute Systems and methods for 3-dimensional interferometric microscopy
DE102007009550B4 (de) 2007-02-27 2008-12-18 Ludwig-Maximilian-Universität Verfahren und Mikroskopvorrichtung zur Beobachtung einer bewegten Probe
WO2008152605A1 (en) 2007-06-15 2008-12-18 Koninklijke Philips Electronics N.V. Multi-spot scanning optical device for imaging of a sample
JP2010537166A (ja) 2007-08-16 2010-12-02 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ サンプルを撮像する方法
DE102007047465A1 (de) * 2007-09-28 2009-04-02 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Verfahren und Anordnung zur optischen Erfassung einer beleuchteten Probe
DE102007047466A1 (de) 2007-09-28 2009-04-02 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Verfahren und Anordnung zur optischen Erfassung einer beleuchteten Probe
DE102007047468A1 (de) 2007-09-28 2009-04-02 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Verfahren und Anordnung zur optischen Erfassung einer beleuchteten Probe
CN101978303A (zh) * 2008-03-20 2011-02-16 皇家飞利浦电子股份有限公司 用于光学扫描设备的二维辐射斑阵列
JP5393406B2 (ja) * 2009-11-06 2014-01-22 オリンパス株式会社 パターン投影装置、走査型共焦点顕微鏡、及びパターン照射方法

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