JP4831072B2 - 顕微鏡装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 128
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 102
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 84
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 9
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 2
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 101710179734 6,7-dimethyl-8-ribityllumazine synthase 2 Proteins 0.000 description 2
- 101710186609 Lipoyl synthase 2 Proteins 0.000 description 2
- 101710122908 Lipoyl synthase 2, chloroplastic Proteins 0.000 description 2
- 101710101072 Lipoyl synthase 2, mitochondrial Proteins 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 2
- 101710179738 6,7-dimethyl-8-ribityllumazine synthase 1 Proteins 0.000 description 1
- 101710186608 Lipoyl synthase 1 Proteins 0.000 description 1
- 101710137584 Lipoyl synthase 1, chloroplastic Proteins 0.000 description 1
- 101710090391 Lipoyl synthase 1, mitochondrial Proteins 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/58—Optics for apodization or superresolution; Optical synthetic aperture systems
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0056—Optical details of the image generation based on optical coherence, e.g. phase-contrast arrangements, interference arrangements
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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Description
但し、超解像画像を観察するためには変調された被観察物の像(変調像)を復調する必要がある。復調の方法は大別して2種類あり、光学的な復調(非特許文献1,2参照)と、演算による復調(特許文献1,2参照)とがある。なお、光学的な復調は、回折格子などの空間変調素子を用いて変調像を再変調することによって実現する。
一方、光学的な復調は回折格子などの空間変調素子を用いるので時間は掛からないが、その復調精度は空間変調素子の形状精度や配置精度などに依存するので、良好な超解像画像を得ることが難しい。
そこで本発明は、高速に超解像画像の情報を生成することのできる顕微鏡装置を提供することを目的とする。
また、本発明の顕微鏡装置には、前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの方向を変化させる方向変化手段が更に備えられてもよい。
また、本発明の顕微鏡装置には、前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの方向を変化させる方向変化手段が更に備えられ、前記取得手段は、前記方向の異なる複数の状態の各々において前記時間積分データを取得してもよい。
また、前記演算手段は、前記複数の時間積分データに共通して含まれる空間周波数成分を平均化して合成してもよい。
また、本発明の顕微鏡装置には、前記中間像の像を検出してその像のデータを生成する検出手段と、前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの方向を変化させる方向変化手段と、前記位相及び前記方向の変化中における前記像の時間積分データを前記検出手段から取得する取得手段とが更に備えられてもよい。
また、前記検出手段として電荷蓄積型ではない撮像素子が用いられ、前記取得手段は、前記照明パターンの位相が整数周期変化する時間とほぼ等しい時定数を持つローパスフィルター、もしくは、積分回路を前記撮像素子の各画素に備えてもよい。
また、前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの空間周波数の上限は、前記結像光学系及びリレー光学系のMTF及び瞳径を考慮して決定され、前記照明パターンの空間周波数の下限は、超解像効果を考慮して決定されることが望ましい。
また、前記空間変調素子が回折格子であって、0次回折光の強度に対する、1次回折光の強度の比e1が、0.37<e1<1.9であることが望ましい。
本発明の顕微鏡装置の第1実施形態を説明する。
先ず、本顕微鏡装置の構成を説明する。
図1は、本顕微鏡装置の概略構成図である。図1に示すとおり、本顕微鏡装置には、光源1、コレクタレンズ2、レンズ3、励起フィルタ4、ダイクロイックミラー5、レンズ7、回折格子8、第2対物レンズ9、対物レンズ10、蛍光色素で標識された標本(生体標本など)11、バリアフィルタ6、レンズ12、撮像装置(CCDカメラなど)25、制御・演算装置(回路やコンピュータなど)42、画像表示装置43、アクチュエータ40、回転ステージ41が配置される。
以上、本顕微鏡装置は、標本11の共役面22から標本11までの光路を照明光学系LS1と観察光学系LS2とで完全に共通光路にすると共に、その共役面22に回折格子8を配置している。本顕微鏡装置ではこの回折格子8により、標本11の微細構造の変調を図る。そして、変調された標本11の微細構造は、この位置に配置された回折格子8により、自動的に再変調される。
あるいは、撮像装置25の撮像素子としてNMOS、CMOSなど電荷蓄積型ではない撮像素子を用い、更に各画素の出力にローパスフィルター、もしくは、積分回路を接続しておくことで、構造化照明のパターンと、再変調時に生じた不要な回折成分を消去してもよい。その際には、接続するローパスフィルター、もしくは、積分回路の時定数として構造化照明の位相が1周期分若しくはN周期分(Nは自然数)だけ変化するのに必要な時間以上とする。
次に、本顕微鏡装置のリレー光学系LS22に必要な条件を説明する。
図2は、本顕微鏡装置における観察光学系LS2の標本11からレンズ7までの結像光束の開口数を説明する図である。なお、図2では、光束の広がりの変化をわかりやすくするために、回折格子8の像23と標本11とをずらして描き、標本11の共役面22と回折格子8とをずらして描いた。
このような蛍光LA’を含む結像光束を導光するためには、リレー光学系LS22の物体側開口数NA’を、予め大きく設定しておく必要がある。
但し、一般に、構造化照明による超解像効果は、対物レンズ10の解像限界の2倍程度である。なぜなら、照明光学系LS1によって標本11上に投影される構造化照明の空間周波数は、対物レンズ10の解像限界が上限だからである。したがって、リレー光学系LS22の物体側開口数NA’は、或る程度大きければ十分である。
1.49/60=0.024
このとき、回折格子8によって再変調された後の光束のうち復調に寄与できる0,±1次の回折光は、これらの中心が回折格子8による回折角に相当する間隔だけ離れて並ぶと共に、結像光学系LS21の中間像側の瞳径を半径とした円形になるため、最大で以下の値をとる。
3×0.024=0.72
したがって、リレー光学系LS22の物体側開口数NA’は、0.072あれば十分である。リレー光学系LS22がこのスペックを満たすことは特に難しいことではない。
その場合でも超解像効果として従来の顕微鏡の1.5倍程度を持たせることが望ましく、この場合のNA‘は、
2×0.24=0.048
であればよい。
(i)リレー光学系LS22の物体側開口数NA’は、結像光学系LS21の物体側開口数NAobjと結像倍率Mとに対し、少なくともNA’>a・NAobj/Mの式を満たす必要がある(aは定数であり、結像光学系LS21の中間像側の瞳径と回折格子8による回折角との値に依存して決定される)。
但し、現実的には撮像装置25で取得された画像のコントラストの観点から検討する必要がある。
通常の顕微鏡画像を持つ空間周波数成分は、上記0次回折光、±1次回折光、±2次回折光のうち互いに同じ次数の光同士による干渉の結果得られるが、標本11を構造化照明したことにより得られる超解像の情報は、0次回折光と±1次回折光、±1次回折光と±2次回折光、といった具合に隣り合う回折光が干渉した結果、像面に画像として再現される。
このため、できるだけ多くの0次回折光、±1次回折光の成分が通過でき、±2次以上の高次回折光の成分はできるだけ通過できないようなリレー光学系LS22が必要となる。
コントラストの減衰を検討する際、解像限界の空間周波数ではコントラストが0になってしまうので、ここではその9割の空間周波数の構造の画像コントラストを用いて評価することとする。結像光学系LS21の開口数NA、波長λとすると、回折格子8によって再変調された解像限界kgは、構造化照明の空間周波数k0とすると、
kg=2*NA/λ+k0
で表され、その9割の空間周波数をkghとすると、
kgh=0.9*(2*NA/λ+k0)
となる。
図3を用いて、空間周波数kghに対する再変調後のMTFを算出する。図3からMTFが0になる(解像限界のとき)ときの規格化空間周波数(横軸の値)は、約3.7であり、前述したようにその9割の空間周波数(約3.7*0.9=約3.33)で評価すると、そのときのMTFの値は約0.025である。
撮像装置25に256階調の撮像素子を用いる場合、素子が認識できる画像コントラストの最低値は、2/256≒0.01である。この場合も、前述の解像限界のときの規格化空間周波数の9割の空間周波数は十分観測可能ということになる。
(1)所定波長の光を用いて回折格子8のパターンを結像光学系LS21を介して標本11へ投影する場合の結像光学系LS21のMTFをMTFilとする。これにより構造化照明のコントラストが決定される。
(2)構造化照明された標本11からの所定波長の光(反射光、蛍光)を観察光学系LSを介して撮像素子上へ結像する場合の結像光学系LS21のMTFをMTFimとする。これにより撮像素子上の像のコントラストが決定される。
MTFtotal1=MTFil*MTFim
で表される。ここでMTFimは再変調後のリレー光学系まで含んだMTFである。
コヒーレント照明―インコヒーレント結像の場合、全体のMTFは、
MTFtotal2=1*MTFim
で表される。
k=b*(2*NA/λ)
と表す。
図4は空間周波数をNA/λで規格化した、無収差光学系のインコヒーレント結像のMTFである。すなわち、空間周波数kに対するMTFを考えるとき図4の横軸を2bと読み替えればよい。
(1)インコヒーレント照明―インコヒーレント結像の場合、
MTFtotal1=MTFil*MTFim>0.002より、
MTFil* MTFim>0.002
ここで、MTFil=MTFimより
MTFil>0.045が必要である。
(2)コヒーレント照明―インコヒーレント結像の場合、
MTFtotal2=1*MTFim>0.002
MTFim>0.002が必要である。
同様に撮像装置素子25の撮像素子が256階調とすると、取得するコントラストの下限は0.01になるので、
(1)の場合MTFil=MTFim>0.1となり、図4から2b<1.61すなわちb<0.81となり、(2)のMTFim>0.01の場合は、図4から2b<1.91すなわちb<0.96となる。
(1)の場合MTFil=MTFim>0.12となり、図4から2b<1.55すなわちb<0.78となり、(2)のMTFim>0.015の場合は、図4から2b<1.89すなわちb<0.95となる。
次に、ピッチの上限の決定方法について説明する。
前述と同様にk=b*(2*NA/λ)とおけば、b=α−1であり、例えば、超解像効果αを1.5倍にする場合はb=0.5となり、1.7倍にする場合はb=0.7となる。
また、光源1を照明光学系LS1の光軸に対して、回折格子8の格子パターンと直交する方向へ所定量シフトして、回折格子8による回折光のうち0次光と1次回折光が照明光学系LS1の光軸に対して対称になるように構成すると、標本11上に形成される構造化照明の空間周波数をより高く設定することができる。所定のシフト量sは、光源1から回折格子8までの光学系の合成焦点距離をfc、回折格子8の1次回折角をθgとするとき、
ここで、回折格子8の0次光強度に対する1次回折光強度の比は、標本11上に形成される構造化照明のコントラストや、復調画像のMTFのスペクトル成分比を最適化するために、ある所定の範囲内にある必要がある。
例えば、構造化照明の空間周波数を照明光学系の解像限界程度とし、照明光学系LS1の瞳面の直径方向に最も離れた2点に光源1の像を集光させるとすると、標本11上に形成される構造化照明のコントラストC1は、照明光学系LS1内の回折格子8における0次光強度i10 に対する1次回折光強度i11の比をe1としたとき、以下のとおり表される。
ちなみに、回折格子8における0次光強度i10と1次回折光強度i11は、
さらに、この構造化照明で標本11が回折されるがその際の回折強度は、
1次回折光強度I1は、
また、さらに、再変調後、不要な回折成分を時間積分することでDC成分に変換されて復調像を得るが、その際のDC成分の割合dは、
上記(A)(B)(C)の範囲を考慮すると、照明光学系LS1内の回折格子8における0次光強度i10に対する1次回折光強度i11の比をe1としたとき、好ましいe1の範囲は、
0.37<e1<1.9
である。
0次光強度に対する1次回折光の強度比は、一般に位相型回折格子であれば段差、Duty比で決定され、濃度型回折格子であれば、OD(光学濃度)、Duty比で決定される。上記好ましいe1になるように、上記の製造パラメータを制御すればよい。
図5は、制御・演算装置42の制御に関する動作フローチャートである。図5に示すとおり、制御・演算装置42は、再変調像の画像データを取得するに当たり、撮像装置25の露光開始(ステップS11)から露光終了(ステップS13)までの期間に、構造化照明の位相を1周期分だけ変化させる(ステップS12)。
そして、以上のステップS11〜S13における復調像の画像データの取得処理は、構造化照明の方向が予め決められた全方向に設定されるまで(ステップS14YESとなるまで)繰り返され、構造化照明のパターンの消去された復調像の画像データが、設定された方向の数だけ取得される。
次に、制御・演算装置42の演算に関する動作を説明する。
先ず、制御・演算装置42は、3つの復調像の画像データI1,I2,I3の各々をフーリエ変換し、波数空間で表現された3つの復調像の画像データIk1,Ik2,Ik3を得る(ステップS21)。これら復調像の画像データIk1,Ik2,Ik3を図7(A),(B),(C)に示した。
3つの復調像の画像データIk1,Ik2,Ik3は、互いのデータ範囲を重複させている(共通の空間周波数成分を含んでいる)ので、制御・演算装置42は、合成に当たり、重複したデータについてはそれらの平均値をとり、その平均値を合成画像データIkのデータとする。この平均によって、合成画像データIkの低周波数成分の寄与が大きくなりすぎるのを抑えることで、高周波数成分の相対的な寄与が小さくなるのを防ぐことができる。
以上、本顕微鏡装置では、図1に示したとおり標本11からの光が回折格子8で再変調され、さらに回折格子8を動かして平均化して不要な回折成分を除去することによって復調像を得ている。したがって、復調演算をしない分だけ復調像の画像データは高速に得られる。
[第2実施形態]
本発明の顕微鏡装置の第2実施形態を説明する。ここでは、第1実施形態との相違点のみ説明する。相違点は、制御・演算装置42の動作にある。
例えば、制御・演算装置42は、ステップS32における位相変化処理を、構造化照明の方向が0°,120°,240°の3方向に設定されるまで繰り返し、構造化照明のパターンの消去された1つの復調像の画像データを取得する。
なお、本実施形態では、1次元の構造周期を持つ回折格子8と、その回折格子8を1方向(格子線に直交する方向)に移動させるアクチュエータ40とを使用したが、2次元の周期構造を持つ回折格子と、その回折格子を2方向(格子線に直交する方向)に移動させるアクチュエータとを使用すれば、2方向に亘る超解像画像の情報を略同時に取得することができるので、さらなる高速化を図ることができる。
なお、上述した各実施形態の顕微鏡装置は、リレーされた再変調像(拡大像24)を撮像装置25で検出したが、拡大像24を接眼レンズを介して肉眼で観察できるように変形されてもよい。
また、上述した各実施形態の顕微鏡装置は、空間変調素子として回折格子を使用したが、入射光束に対し同様の作用をする別の空間変調素子を使用してもよい。
さらに、上述の各実施形態では蛍光顕微鏡への応用であったが、特にこれに限定されるものではなく、同様に反射顕微鏡を構成することもできる。
Claims (15)
- 被観察物から射出した光の中間像を形成する結像光学系と、
前記中間像の形成面に配置され、前記中間像となる前記光から次数の異なる複数の回折光を発生させる空間変調素子と、
前記複数の回折光を干渉させることにより前記中間像の像を形成するリレー光学系と、
前記結像光学系の光路を共有し、前記空間変調素子のパターンを前記結像光学系の光路を介して前記被観察物上に投影することにより、空間的に変調された照明光で前記被観察物上を照明する照明光学系と、
を備えたことを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項1に記載の顕微鏡装置において、
前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの位相を変化させる位相変化手段を更に備えた
ことを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の顕微鏡装置において、
前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの方向を変化させる方向変化手段を更に備えた
ことを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項2に記載の顕微鏡装置において、
前記中間像の像を検出してその像のデータを生成する検出手段と、
前記位相の変化中における前記像の時間積分データを前記検出手段から取得する取得手段と
を更に備えたことを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項4に記載の顕微鏡装置において、
前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの方向を変化させる方向変化手段を更に備え、
前記取得手段は、
前記方向の異なる複数の状態の各々において前記時間積分データを取得する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項5に記載の顕微鏡装置において、
前記取得された複数の前記時間積分データを合成する演算手段を更に備えた
ことを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項6に記載の顕微鏡装置において、
前記演算手段は、
前記複数の時間積分データに共通して含まれる空間周波数成分を平均化して合成する
こと特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項2に記載の顕微鏡装置において、
前記中間像の像を検出してその像のデータを生成する検出手段と、
前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの方向を変化させる方向変化手段と、
前記位相及び前記方向の変化中における前記像の時間積分データを前記検出手段から取得する取得手段と
を更に備えたことを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項4〜請求項8の何れか一項に記載の顕微鏡装置において、前記検出手段として電荷蓄積型撮像素子が用いられ、前記取得手段は、前記撮像素子の蓄積時間を、前記照明パターンの位相が整数周期変化する時間とほぼ等しくすることを特徴とする顕微鏡装置。
- 請求項4〜請求項8の何れか一項に記載の顕微鏡装置において、前記検出手段として電荷蓄積型ではない撮像素子が用いられ、前記取得手段は、前記照明パターンの位相が整数周期変化する時間とほぼ等しい時定数を持つローパスフィルター、もしくは、積分回路を前記撮像素子の各画素に備えたことを特徴とする顕微鏡装置。
- 請求項1〜請求項10の何れか一項に記載の顕微鏡装置において、
前記中間像の像を検出してその像のデータを生成する検出手段を少なくとも備え、 前記リレー光学系の物体側開口数NA’は、
前記結像光学系の物体側開口数NAobj,前記結像光学系の結像倍率M、定数aに対してNA’>a・NAobj/Mの式を満たし、
前記定数aは、
少なくとも前記検出手段の階調で分解できる限界画像コントラストを考慮しつつ、前記結像光学系及びリレー光学系を介して前記検出手段で検出される前記像のコントラストから逆算して算出されることを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項11に記載の顕微鏡装置において、
前記定数aの範囲が、2<aであることを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項1〜請求項12の何れか一項に記載の顕微鏡装置において、
前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの空間周波数の上限は、前記結像光学系及びリレー光学系のMTFを考慮して決定され、前記照明パターンの空間周波数の下限は、超解像効果を考慮して決定されることを特徴とする顕微鏡装置。 - 請求項1〜請求項13の何れか一項に記載の顕微鏡装置において、
前記空間変調素子のパターンが前記照明光学系によって前記被観察物上に投影されてできる照明パターンの空間周波数kをk=b*(2*NA/λ)で表す場合、0.5<b<0.98であることを特徴とする顕微鏡装置。
但し、NAは開口数、λは波長、bは定数である。 - 請求項1〜請求項14の何れか一項に記載の顕微鏡装置において、
前記空間変調素子が回折格子であって、0次回折光の強度に対する、1次回折光の強度の比e1が、0.37<e1<1.9であることを特徴とする顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007539854A JP4831072B2 (ja) | 2005-10-13 | 2006-09-22 | 顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005299329 | 2005-10-13 | ||
JP2005299329 | 2005-10-13 | ||
JP2006024851 | 2006-02-01 | ||
JP2006024851 | 2006-02-01 | ||
PCT/JP2006/318875 WO2007043314A1 (ja) | 2005-10-13 | 2006-09-22 | 顕微鏡装置 |
JP2007539854A JP4831072B2 (ja) | 2005-10-13 | 2006-09-22 | 顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007043314A1 JPWO2007043314A1 (ja) | 2009-04-16 |
JP4831072B2 true JP4831072B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=37942565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007539854A Expired - Fee Related JP4831072B2 (ja) | 2005-10-13 | 2006-09-22 | 顕微鏡装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8081378B2 (ja) |
EP (1) | EP1936422A4 (ja) |
JP (1) | JP4831072B2 (ja) |
WO (1) | WO2007043314A1 (ja) |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8189191B2 (en) | 2005-07-26 | 2012-05-29 | Tufts University | Spectroscopic imaging microscopy |
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JP2014515179A (ja) | 2011-03-03 | 2014-06-26 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 光ガイドピクセル |
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-
2006
- 2006-09-22 EP EP06798263A patent/EP1936422A4/en not_active Withdrawn
- 2006-09-22 WO PCT/JP2006/318875 patent/WO2007043314A1/ja active Application Filing
- 2006-09-22 US US11/887,822 patent/US8081378B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-22 JP JP2007539854A patent/JP4831072B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8081378B2 (en) | 2011-12-20 |
EP1936422A1 (en) | 2008-06-25 |
EP1936422A4 (en) | 2013-01-16 |
WO2007043314A1 (ja) | 2007-04-19 |
US20090268280A1 (en) | 2009-10-29 |
JPWO2007043314A1 (ja) | 2009-04-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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