JP2014530481A5 - - Google Patents

Description

上の説明は、好ましい実施の形態の動作を示すために含まれ、本発明の範囲を限定することを意図していないことが理解されるべきである。上の説明から、多くの変形が、本発明の意図及び範囲に包含されることが当業者に明らかである。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま付記しておく。
［１］
その支持体からリソグラフィシステムのモジュールを垂直方向にリフトするためのアセンブリであって、
第１及び第２のホイールが設けられた本体を具備し、前記ホイールの両方が、前記本体の中央水平面から垂直に延び、前記第１のホイールは、さらに、前記第２のホイールよりも前記本体の前記水平面からさらに延び、
前記モジュール又は前記支持体に設けられ、かつ、前記本体の前記第１及び第２のホイールと接触し、前記モジュールと前記支持体との間で前記本体をガイドするように配置されたトラックを具備し、前記トラックは、傾斜部を有し、前記モジュールと前記支持体との間への前記本体の挿入により、前記モジュールが前記支持体からリフトされるアセンブリ。
［２］
前記第１のホイールは、前記第２のホイールよりも前記本体の前記中央水平面からさらに距離ｈ延び、前記第１のホイールの軸は、前記第２のホイールの軸から水平方向に距離Ｄに配置されている請求項１のアセンブリ。
［３］
前記トラックは、第１及び第２の傾斜部を有し、前記第１の傾斜部は、前記第２の傾斜部と直接一致し、前記第１の傾斜部の開始部は、前記第２の開始部から水平方向に前記距離Ｄに、かつ、前記第２の傾斜部の開始部から垂直方向に前記距離ｈに配置されている請求項２のアセンブリ。
［４］
前記本体は、水平面を有し、前記水平面は、前記中央水平面に対して第１及び第２のホイールの反対側に配置されている請求項１ないし３のいずれか１のアセンブリ。
［５］
前記本体には、さらに、ガイドホイールが設けられている請求項１ないし４のいずれか１のアセンブリ。
［６］
前記ガイドホイールは、好ましくは、前記水平面を規定している請求項４又は５のアセンブリ。
［７］
前記トラックは、さらに、第１及び第２の水平な平坦部を有し、
前記第１の平坦部の開始部は、前記第２の平坦部の開始部から水平方向に前記距離Ｄに、かつ、前記第２の平坦部の開始部から垂直方向に前記距離ｈに配置され、
前記第１の平坦部は、前記第１の傾斜部と前記第２の傾斜部との間に配置されている請求項３ないし６のいずれか１のアセンブリ。
［８］
前記トラックは、さらに、前記第１の傾斜部の開始部に接続された第３の水平な平坦部を有する請求項７のアセンブリ。
［９］
前記第１の傾斜部は、前記第２の傾斜部に接続され、前記第１及び第２の傾斜部は、単一の傾斜部を一緒に形成している請求項３ないし６のいずれか１のアセンブリ。
［１０］
前記第１のホイール及び前記第２のホイールは、前記本体の前記中央水平面から垂直下向き方向に延びている請求項１ないし９のいずれか１のアセンブリ。
［１１］
さらに、前記モジュールを運ぶための移動可能なカートを具備し、前記カートは、
前記モジュールをガイドし支持するためのガイドホイールと、
前記本体の前記ガイドホイールで前記カートの前記ガイドホイールをアライメントさせるために、前記ガイドホイールの位置と向きとの少なくとも一方を調節するためのアジャ開始部を有する請求項５ないし１０のいずれか１のアセンブリ。
［１２］
前記第１の傾斜部の傾きは、１：５０〜１：２００の範囲にあるか、約１：１００である請求項３ないし１１のいずれか１のアセンブリ。
［１３］
前記本体を前記支持体に解放可能に接続するためのコネクタをさらに具備する請求項１ないし１２のいずれか１のアセンブリ。
［１４］
その支持体からリソグラフィシステムのモジュールを垂直方向にリフトするためのアセンブリであって、
第１及び第２の滑動装置が設けられた本体を具備し、前記滑動装置の両方は、前記本体の前記中央水平面から垂直に延び、前記第１の滑動装置は、前記第２の滑動装置よりも前記本体の前記中央水平面からさらに垂直に延び、
前記モジュール又は前記支持体に設けられ、前記本体の前記第１及び第２の滑動装置と接触するように配置されたトラックを具備し、前記トラックは、傾斜部を有し、前記モジュールと前記支持体との間への前記本体の挿入により、前記モジュールが前記支持体からリフトされるアセンブリ。
［１５］
前記第１及び第２の滑動装置の各々は、それぞれの接点で前記トラックと接触するための湾曲面又は山型部を有する請求項１４のアセンブリ。
［１６］
前記第１の滑動装置は、前記第２の滑動装置よりも前記本体の前記中央水平面から垂直にさらに距離ｈ延び、前記第１の滑動装置の接点は、前記第２の滑動装置の接点から水平方向に距離Ｄに配置されている請求項１５のアセンブリ。
［１７］
前記トラックは、第１及び第２の傾斜部を有し、前記第１の傾斜部は、前記第２の傾斜部で直接一致し、前記第１の傾斜部の開始部は、前記第２の傾斜部の開始部から水平方向に前記距離Ｄに、かつ、前記第２の傾斜部の開始部から垂直方向に前記距離ｈに配置されている請求項１６のアセンブリ。
［１８］
パターニングビームを用いてターゲットを処理するためのリソグラフィシステムであって、リソグラフィシステムは、
前記パターニングビームを与え、前記パターニングビームに対して前記ターゲットを移動させるための１組のモジュールを具備し、前記１組のモジュールは、リフト可能なモジュールを有し、
前記１組のモジュールを支持するためのフレームと、
前記リフト可能なモジュールを垂直方向にリフトするための請求項１ないし１７のいずれか１のアセンブリとを具備し、
前記リフト可能なモジュールは、支持体によって支持され、
前記支持体は、前記フレームか前記１組の他方のモジュールであり、
前記アセンブリのトラックは、前記支持体又は前記リフト可能なモジュールに配置され、前記アセンブリの前記本体は、前記リフト可能なモジュールと前記支持体との間に挿入されるように配置されているリソグラフィシステム。
［１９］
溝は、前記支持体又は前記リフト可能なモジュールに設けられ、前記リフト可能なモジュールと前記支持体との間への前記本体の挿入中に前記本体をガイドするように配置され、前記トラックが前記溝に設けられる請求項１８のリソグラフィシステム。
［２０］
前記本体は、細長い形状を有し、前記溝は、細長い形状を有する請求項１９のリソグラフィシステム。
［２１］
前記本体の挿入方向に前記モジュールの移動を制限するように配置された制限装置をさらに具備する請求項１８ないし２０のいずれか１のリソグラフィシステム。
［２２］
その支持体からリソグラフィシステムのモジュールを垂直方向にリフトするための方法であって、
請求項１８ないし２１のいずれか１のリソグラフィシステムを設ける工程と、
前記リフト可能なモジュールと前記支持体との間に前記本体を挿入する工程とを具備する方法。
［２３］
好ましくは移動可能なカートに、その支持体に対して前記リフト可能なモジュールを水平に移動させる工程をさらに具備する請求項２２の方法。
［２４］
リソグラフィシステムのモジュールを交換するための方法であって、
ａ）請求項１８ないし２１のいずれか１のリソグラフィシステムを設ける工程と、
ｂ）前記リフト可能なモジュールを運ぶために移動可能なカートを設ける工程と、
ｃ）前記リフト可能なモジュールと前記支持体との間に前記本体を挿入して、これにより、前記支持体から前記モジュールをリフトさせる工程と、
ｄ）その支持体に対して前記リフト可能なモジュールを前記移動可能なカートに水平に移動させる工程とを具備する方法。
［２５］
工程ｄ）は、さらに、
ｄ１）前記移動可能なカートのガイドホイールを前記本体のガイドホイールとアライメントさせるために、前記移動可能なカートのガイドホイールの位置と向きとの少なくとも一方を調節することと、
ｄ２）その支持体に対して前記リフト可能なモジュールを前記移動可能なカートの前記ガイドホイールに水平に移動させることとを含む請求項２４の方法。
［２６］
ｅ）他のリフト可能なモジュールを運ぶために他の移動可能なカートを設ける工程を含み、他のリフト可能なモジュールは、他の移動可能なカートに配置され、
ｆ）前記カートに対して前記他のリフト可能なモジュールを前記本体に水平に移動させる工程と、
ｇ）前記他のリフト可能なモジュールと前記支持体との間の前記本体を取り外し、これにより前記支持体に前記モジュールを下げる工程とをさらに具備する請求項２４又は２５の方法。
［２７］
工程ｆ）は、さらに、
ｆ１）前記他の移動可能なカートのガイドホイールを前記本体のガイドホイールとアライメントさせるために、前記他の移動可能なカートのガイドホイールの位置と向きとの少なくとも一方を調節することと、
ｆ２）前記カートに対して前記リフト可能なモジュールを前記本体の前記ガイドホイールに水平に移動させることとを含む請求項２６の方法。
［２８］
前記移動可能なカート及び前記他の移動可能なカートは、同じカートである請求項２６又は２７の方法。

Claims (21)

1. 支持体（４０１）から、リソグラフィシステム（５００）のモジュール（１２２；５０１，５０４，５０７，５０９，５１８，５１９，５３１）を、前記支持体に対して垂直方向にリフトするためのアセンブリであって、
   第１及び第２のホイール又は第１及び第２の滑動装置（１１７，１１８）が設けられた本体（１１６）を具備し、前記第１及び第２のホイールの両方、又は第１及び第２の滑動装置の両方が、前記本体の中央水平面（１３０）から垂直に延び、
   前記モジュール又は前記支持体に設けられ、かつ、前記本体の前記第１及び第２のホイール又は第１及び第２の滑動装置と接触し、前記モジュールと前記支持体との間で前記本体をガイドするように配置されたトラック（１１０）を具備し、
   前記第１のホイール又は前記第１の滑動装置は、さらに、前記第２のホイール又は前記第２の滑動装置よりも前記本体の前記水平面からさらに延び、
   前記本体は、前記モジュールが前記支持体からリフトされるために、前記モジュールと前記支持体との間に挿入されるように構成され、
   前記トラックは傾斜部（１１１；１１２）を備え、前記本体が前記トラックの前記傾斜部に沿って前進するとき、前記モジュールが前記支持体からリフトされる、
   アセンブリ。
2. 前記第１及び第２の滑動装置の各々は、それぞれの接点で前記トラックと接触するための湾曲面又は山型部を有する、請求項１に記載のアセンブリ。
3. 前記第１のホイール又は前記第１の滑動装置は、前記第２のホイール又は前記第２の滑動装置よりも前記本体の前記中央水平面からさらに距離ｈ延び、前記第１のホイールの軸は、前記第２のホイールの軸から水平方向に距離Ｄに配置されており、又は前記第１の滑動装置の接点は、前記第２の滑動装置の接点から水平方向に距離Ｄに配置されており、
   前記トラックは、第１及び第２の傾斜部を有し、前記第１の傾斜部は、前記第２の傾斜部と直接一致し、前記第１の傾斜部の開始部は、前記第２の開始部から水平方向に前記距離Ｄに、かつ、前記第２の傾斜部の開始部から垂直方向に前記距離ｈに配置されている、請求項１又は２に記載のアセンブリ。
4. 前記トラックは、さらに、第１及び第２の水平な平坦部を有し、
   前記第１の平坦部の開始部は、前記第２の平坦部の開始部から水平方向に前記距離Ｄに、かつ、前記第２の平坦部の開始部から垂直方向に前記距離ｈに配置され、
   前記第１の平坦部は、前記第１の傾斜部と前記第２の傾斜部との間に配置されている、請求項３に記載のアセンブリ。
5. 前記トラックは、さらに、前記第１の傾斜部の開始部に接続された第３の水平な平坦部を有する、請求項４に記載のアセンブリ。
6. 前記第１の傾斜部は、前記第２の傾斜部に接続され、前記第１及び第２の傾斜部は、単一の傾斜部を一緒に形成している、請求項３ないし５のいずれか１に記載のアセンブリ。
7. 前記第１の傾斜部の傾きは、１：５０〜１：２００の範囲にあるか、又は略１：１００である、請求項３ないし６のいずれか１に記載のアセンブリ。
8. 前記第１のホイール又は前記第１の滑動装置及び前記第２のホイール又は前記第２の滑動装置は、前記本体の前記中央水平面から垂直下向き方向に延びている、請求項１ないし７のいずれか１に記載のアセンブリ。
9. 前記本体は、水平面を有し、前記水平面は、前記中央水平面に対して第１及び第２のホイール又は前記第１及び第２の滑動装置の反対側に配置されている、請求項１ないし８のいずれか１に記載のアセンブリ。
10. 前記本体には、さらに、ガイドホイールが設けられている、請求項１ないし９のいずれか１に記載のアセンブリ。
11. 前記本体には、さらに、前記水平面を規定しているガイドホイールが設けられている、請求項９に記載のアセンブリ。
12. さらに、前記モジュールを運ぶための移動可能なカートを具備し、前記カートは、
    前記モジュールをガイドし支持するためのガイドホイールと、
    前記本体の前記ガイドホイールで前記カートの前記ガイドホイールをアライメントさせるために、前記ガイドホイールの位置と向きとの少なくとも一方を調節するための調節部を有する、請求項１０又は１１に記載のアセンブリ。
13. 前記本体を前記支持体に解放可能に接続するためのコネクタをさらに具備する、請求項１ないし１２のいずれか１に記載のアセンブリ。
14. パターニングビームを用いてターゲットを処理するためのリソグラフィシステムであって、該リソグラフィシステムは、
    前記パターニングビームを与え、前記パターニングビームに対して前記ターゲットを移動させるための１組のモジュールを具備し、前記１組のモジュールは、リフト可能なモジュールを有し、
    前記１組のモジュールを支持するためのフレームと、
    前記リフト可能なモジュールを垂直方向にリフトするための請求項１ないし１３のいずれか１に記載のアセンブリとを具備し、
    前記リフト可能なモジュールは、支持体によって支持され、
    前記支持体は、前記フレームか前記１組の他方のモジュールであり、
    前記アセンブリのトラックは、前記支持体又は前記リフト可能なモジュールに配置され、前記アセンブリの前記本体は、前記リフト可能なモジュールと前記支持体との間に挿入されるように配置されているリソグラフィシステム。
15. 溝は、前記支持体又は前記リフト可能なモジュールに設けられ、前記リフト可能なモジュールと前記支持体との間への前記本体の挿入中に前記本体をガイドするように配置され、前記トラックが前記溝に設けられる、請求項１４に記載のリソグラフィシステム。
16. 前記本体は、細長い形状を有し、前記溝は、細長い形状を有する、請求項１５に記載のリソグラフィシステム。
17. 前記本体の挿入方向に前記モジュールの移動を制限するように配置された制限装置をさらに具備する、請求項１４ないし１６のいずれか１に記載のリソグラフィシステム。
18. リソグラフィシステムのモジュールを交換するための方法であって、
    ａ）請求項１４ないし１７のいずれか１に記載のリソグラフィシステムを設ける工程と、
    ｂ）前記リフト可能なモジュールを運ぶために移動可能なカートを設ける工程と、
    ｃ）前記リフト可能なモジュールと前記支持体との間に前記本体を挿入して、これにより、前記支持体から前記モジュールをリフトさせる工程と、
    ｄ）その支持体に対して前記リフト可能なモジュールを前記移動可能なカートに水平に移動させる工程と、を具備する方法。
19. 工程ｄ）は、さらに、
    ｄ１）前記移動可能なカートのガイドホイールを前記本体のガイドホイールとアライメントさせるために、前記移動可能なカートのガイドホイールの位置と向きとの少なくとも一方を調節することと、
    ｄ２）その支持体に対して前記リフト可能なモジュールを前記移動可能なカートの前記ガイドホイールに水平に移動させることとを含む、請求項１８に記載の方法。
20. ｅ）他のリフト可能なモジュールを運ぶために前記と同じ又は他の移動可能なカートを設ける工程を含み、前記他のリフト可能なモジュールは、前記移動可能なカートに配置され、
    ｆ）前記移動可能なカートに対して前記他のリフト可能なモジュールを前記本体に水平に移動させる工程と、
    ｇ）前記他のリフト可能なモジュールと前記支持体との間の前記本体を取り外し、これにより前記支持体に前記他のモジュールを下げる工程とをさらに具備する、請求項１８又は１９に記載の方法。
21. 工程ｆ）は、さらに、
    ｆ１）前記他の移動可能なカートのガイドホイールを前記本体のガイドホイールとアライメントさせるために、前記移動可能なカートのガイドホイールの位置と向きとの少なくとも一方を調節することと、
    ｆ２）前記カートに対して前記リフト可能なモジュールを前記本体の前記ガイドホイールに水平に移動させることとを含む、請求項２０に記載の方法。